JP5362306B2 - 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ - Google Patents
導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5362306B2 JP5362306B2 JP2008250993A JP2008250993A JP5362306B2 JP 5362306 B2 JP5362306 B2 JP 5362306B2 JP 2008250993 A JP2008250993 A JP 2008250993A JP 2008250993 A JP2008250993 A JP 2008250993A JP 5362306 B2 JP5362306 B2 JP 5362306B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide layer
- layer
- semiconductor laser
- waveguide
- partial region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1028—Coupling to elements in the cavity, e.g. coupling to waveguides adjacent the active region, e.g. forward coupled [DFC] structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1028—Coupling to elements in the cavity, e.g. coupling to waveguides adjacent the active region, e.g. forward coupled [DFC] structures
- H01S5/1032—Coupling to elements comprising an optical axis that is not aligned with the optical axis of the active region
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/12—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region the resonator having a periodic structure, e.g. in distributed feedback [DFB] lasers
- H01S5/1228—DFB lasers with a complex coupled grating, e.g. gain or loss coupling
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/16—Window-type lasers, i.e. with a region of non-absorbing material between the active region and the reflecting surface
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0425—Electrodes, e.g. characterised by the structure
- H01S5/04256—Electrodes, e.g. characterised by the structure characterised by the configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/204—Strongly index guided structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
有利には第1の導波体層と第2の導波体層とは光学的に相互に結合されており、半導体レーザの側方ファセットではアクティブ層に形成されたレーザビームの少なくとも一部が第2の導波体層内を伝播する。このようにして有利には、側方ファセットにおけるアクティブ層のレーザビームの強度が、第1の導波体に光学的に結合された第2の導体を含まない従来のエッジ発光型半導体レーザの場合よりも小さくなる。電荷担体の非放射性再結合、およびこれと結び付いた半導体レーザの側方ファセットでの熱発生が、このようにしてアクティブ層の領域で緩和される。第2の導波体層は有利には、アクティブ層よりも大きな電子禁制帯を有する。これにより第2の導波体層はレーザビームに対して実質的に透明であり、したがって冒頭に述べた電荷担体の欠乏によるレーザビームの吸収の問題を側方ファセットに有さない。したがって構成素子が側方ファセットでのレーザビームの高い強度によって損傷する危険性が、第2の導波体層の領域では、アクティブ層を含む第1の導波体層の領域におけるよりも小さくなる。
位相差σ≠0は、個々の振り子の固有周波数が異なる場合に相応し、この場合は完全なエネルギー転送が不可能である。
半導体レーザの側方ファセット9に隣接する接点面8a、8bの中点は有利にはそれぞれ転移長Lcだけそれぞれの側方ファセット9から離間している。このようにして、アクティブ層3の電気的ポンピングによって第1の導波体層1内に最大強度が、半導体レーザの側方ファセット9から転移長Lcに等しい間隔をおいて形成されるようになる。この領域で形成されたレーザビームは、側方ファセット9の方向に伝播する際に第2の導波体層2に最大で交差結合することができ、これにより側方ファセット9では第2の導波体層2内に最大強度が存在し、第1の導波体層1内に相応する最小強度が存在する。接点面8a、8b、8cのこの配置はさらに破線で示した波を引き起こす。この波は、最大強度を第1の導波体層1内に側方ファセット9の領域に、電気ポンプによる励起なしで有するようになる。接点面8a、8b、8cの中点は、それぞれ転移長Lcの2倍だけ相互に離間しており、隣接する最大強度が第1の導波体層1内に励起される。
Claims (5)
- レーザビーム(13)を形成するアクティブ層(3)を備えるエッジ発光型半導体レーザであって、
前記アクティブ層は第1の導波体層(1)に埋め込まれており、
前記第1の導波体層(1)は、第1の外套層(4)と第2の外套層(5)との間に配置されており、側方向では前記半導体レーザの側方ファセット(9)に隣接しており、
・前記第2の外套層(5)には第2の導波体層(2)が隣接しており、該第2の導波体層(2)にはアクティブ層が埋め込まれておらず、
・前記第2の導波体層(2)は、少なくとも部分領域(10,11)で前記第1の導波体層(1)に光学的に結合されており、
・前記第2の導波体層(2)の、前記第1の導波体層(1)とは反対の側には第3の外套層(6)が配置されているエッジ発光型半導体レーザにおいて、
a1)前記第1の導波体層(1)と前記第2の導波体層(2)とが光学的に結合されている前記第1の導波体層(1)または前記第2の導波体層(2)の前記部分領域(10,11)は、前記第1の導波体層(1)または前記第2の導波体層(2)の、光学的結合の行われない少なくとも1つの部分領域(12)とは異なるドープ物質および/または異なるドープ物質濃度を有しているか、
または
a2)前記第1の導波体層(1)と前記第2の導波体層(2)とが光学的に結合されている前記第1の導波体層(1)または前記第2の導波体層(2)の前記部分領域(10,11)は、少なくとも部分的に酸化されており、
そして
b)前記第1の導波体層(1)と前記第2の導波体層(2)とが光学的に結合されている前記第1の導波体層(1)または前記第2の導波体層(2)の前記部分領域(10,11)は、前記第1の導波体層(1)または前記第2の導波体層(2)の、光学的結合の行われない少なくとも1つの部分領域(12)とは異なる有効屈折率を有し、
前記第2の導波体層(2)は前記第1の導波体層(1)と、前記半導体レーザの前記側方ファセット(9)では前記アクティブ層(3)で形成されたレーザビーム(13)の少なくとも一部が前記第2の導波体層(2)内を伝播するように光学的に結合されている、ことを特徴とするエッジ発光型半導体レーザ。 - 請求項1記載のエッジ発光型半導体レーザにおいて、
前記第2の導波体層(2)は前記第1の導波体層(1)に、該第1の導波体層(1)内を伝播するレーザビーム(13)が前記半導体レーザの前記側方ファセット(9)において最小強度を有するように光学的に結合されている、ことを特徴とするエッジ発光型半導体レーザ。 - 請求項1または2記載のエッジ発光型半導体レーザにおいて、
前記第1の導波体層(1)と前記第2の導波体層(2)は、第1の部分領域(10)および第2の部分領域(11)で光学的に結合されており、
前記第1の部分領域(10)と前記第2の部分領域(11)は前記半導体レーザの前記側方ファセット(9)に隣接している、ことを特徴とするエッジ発光型半導体レーザ。 - 請求項1または2項記載のエッジ発光型半導体レーザにおいて、
前記第1の導波体層(1)と前記第2の導波体層(2)は、第1の部分領域(10)および第2の部分領域(11)で光学的に結合されており、
前記第1の部分領域(10)と前記第2の部分領域(11)はそれぞれ前記半導体レーザの前記側方ファセット(9)から間隔を置いて配置されている、ことを特徴とするエッジ発光型半導体レーザ。 - 請求項3または4記載のエッジ発光型半導体レーザにおいて、
前記第1の部分領域(10)と前記第2の部分領域(11)の幅は転移長(Lc)と同じであり、
該転移長(Lc)は、1つの導波体層(1,2)内での最大強度と隣接する最小強度との間隔である、ことを特徴とするエッジ発光型半導体レーザ。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102007046722.4 | 2007-09-28 | ||
DE102007046722 | 2007-09-28 | ||
DE102007058950.8 | 2007-12-07 | ||
DE102007058950A DE102007058950A1 (de) | 2007-09-28 | 2007-12-07 | Kantenemittierender Halbleiterlaser mit einem Wellenleiter |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013183113A Division JP5611431B2 (ja) | 2007-09-28 | 2013-09-04 | 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009088532A JP2009088532A (ja) | 2009-04-23 |
JP2009088532A5 JP2009088532A5 (ja) | 2011-09-22 |
JP5362306B2 true JP5362306B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=40384476
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008250993A Active JP5362306B2 (ja) | 2007-09-28 | 2008-09-29 | 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ |
JP2013183113A Active JP5611431B2 (ja) | 2007-09-28 | 2013-09-04 | 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013183113A Active JP5611431B2 (ja) | 2007-09-28 | 2013-09-04 | 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7813399B2 (ja) |
EP (1) | EP2337169B1 (ja) |
JP (2) | JP5362306B2 (ja) |
DE (1) | DE102007058950A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011103952B4 (de) * | 2011-06-10 | 2022-05-05 | OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Kantenemittierender Halbleiterlaser |
Family Cites Families (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4159452A (en) * | 1978-01-13 | 1979-06-26 | Bell Telephone Laboratories, Incorporated | Dual beam double cavity heterostructure laser with branching output waveguides |
JPS5562792A (en) | 1978-10-11 | 1980-05-12 | Nec Corp | Injection type semiconductor laser element |
JPS6225485A (ja) | 1985-07-25 | 1987-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レ−ザ装置 |
SE449673B (sv) | 1985-09-20 | 1987-05-11 | Ericsson Telefon Ab L M | Optisk forsterkaranordning med brusfilterfunktion |
JP2825508B2 (ja) * | 1987-10-09 | 1998-11-18 | 株式会社日立製作所 | 半導体レーザ装置および光通信システム |
JP2911856B2 (ja) * | 1987-10-09 | 1999-06-23 | 株式会社日立製作所 | 半導体レーザ装置 |
JPH01100988A (ja) * | 1987-10-13 | 1989-04-19 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置 |
EP0332723A1 (en) | 1988-03-15 | 1989-09-20 | International Business Machines Corporation | High-power semiconductor diode laser |
JPH02310503A (ja) * | 1989-05-26 | 1990-12-26 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体方向性光結合器の結合長調整方法 |
DE68915763T2 (de) | 1989-09-07 | 1994-12-08 | Ibm | Verfahren zur Spiegelpassivierung bei Halbleiterlaserdioden. |
JP2957240B2 (ja) * | 1990-07-20 | 1999-10-04 | キヤノン株式会社 | 波長可変半導体レーザ |
US5171707A (en) | 1990-09-13 | 1992-12-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of fabricating semiconductor laser device using the light generated by the laser to disorder its active layer at the end surfaces thereby forming window regions |
JPH04237001A (ja) * | 1991-01-21 | 1992-08-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光デバイス |
JP3302088B2 (ja) * | 1993-03-15 | 2002-07-15 | キヤノン株式会社 | 集積型光デバイスおよびそれを用いた光通信ネットワーク |
DE69415576T2 (de) * | 1993-03-15 | 1999-06-17 | Canon Kk | Optische Vorrichtungen und optische Übertragungssystemen die diese verwenden |
JPH06302906A (ja) | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ及びその製造方法 |
JPH07183482A (ja) * | 1993-12-22 | 1995-07-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光送信素子および光送受信素子 |
EP0664587B1 (de) * | 1994-01-19 | 1997-06-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Abstimmbare Laserdiode |
JPH0815737A (ja) * | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Oki Electric Ind Co Ltd | 方向性結合器形光変調器及びその製造方法 |
WO1996011503A2 (en) | 1994-10-06 | 1996-04-18 | Philips Electronics N.V. | Radiation-emitting semiconductor diode and method of manufacturing such a diode |
JP3390893B2 (ja) * | 1995-02-24 | 2003-03-31 | 富士通株式会社 | 半導体レーザ装置 |
US5721750A (en) * | 1995-04-13 | 1998-02-24 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology | Laser diode for optoelectronic integrated circuit and a process for preparing the same |
US5528616A (en) * | 1995-04-24 | 1996-06-18 | International Business Machines Corporation | Asymmetric dual waveguide laser |
US5668049A (en) | 1996-07-31 | 1997-09-16 | Lucent Technologies Inc. | Method of making a GaAs-based laser comprising a facet coating with gas phase sulphur |
EP0898345A3 (en) | 1997-08-13 | 2004-01-02 | Mitsubishi Chemical Corporation | Compound semiconductor light emitting device and method of fabricating the same |
US6381380B1 (en) * | 1998-06-24 | 2002-04-30 | The Trustees Of Princeton University | Twin waveguide based design for photonic integrated circuits |
JP2001350044A (ja) | 2000-06-05 | 2001-12-21 | Minolta Co Ltd | 光導波路デバイス |
DE10046580A1 (de) * | 2000-09-20 | 2002-04-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiter-Laser |
JP2003156644A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Seiko Epson Corp | 方向性結合器および光通信用装置 |
DE10221952B4 (de) | 2002-05-13 | 2007-07-12 | Forschungsverbund Berlin E.V. | Verfahren zur Passivierung der Spiegelflächen von optischen Halbleiterbauelementen |
JP2006269543A (ja) * | 2005-03-22 | 2006-10-05 | Oki Electric Ind Co Ltd | 波長可変素子 |
-
2007
- 2007-12-07 DE DE102007058950A patent/DE102007058950A1/de not_active Withdrawn
-
2008
- 2008-08-28 EP EP11161727.0A patent/EP2337169B1/de active Active
- 2008-09-29 US US12/240,493 patent/US7813399B2/en active Active
- 2008-09-29 JP JP2008250993A patent/JP5362306B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-04 JP JP2013183113A patent/JP5611431B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7813399B2 (en) | 2010-10-12 |
EP2337169B1 (de) | 2017-03-22 |
EP2337169A2 (de) | 2011-06-22 |
EP2337169A3 (de) | 2011-06-29 |
US20090147815A1 (en) | 2009-06-11 |
JP2009088532A (ja) | 2009-04-23 |
DE102007058950A1 (de) | 2009-04-02 |
JP2014013926A (ja) | 2014-01-23 |
JP5611431B2 (ja) | 2014-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5363578B2 (ja) | フォトニック結晶デバイス | |
JP5082414B2 (ja) | 光半導体装置および光導波路装置 | |
FI113719B (fi) | Modulaattori | |
JP5278868B2 (ja) | 発光素子 | |
WO2018070432A1 (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2008177578A (ja) | 半導体光素子及びその製造方法 | |
JP5254045B2 (ja) | 半導体レーザ装置 | |
KR100860696B1 (ko) | 수직 공진형 표면 방출 레이저 | |
JP2023526771A (ja) | トポロジー絶縁体表面発光レーザシステム | |
JP4785327B2 (ja) | 半導体レーザー用レーザー共振器及びレーザー共振器を製造する方法 | |
US4744088A (en) | Semiconductor laser array with focused emission | |
JP4909262B2 (ja) | 光ポンピング式半導体装置 | |
JP5611431B2 (ja) | 導波体を備えるエッジ発光型半導体レーザ | |
EP1012933B1 (en) | Laser device | |
JP2003332615A (ja) | 半導体発光素子 | |
WO2017138668A1 (ja) | 半導体レーザ素子、回折格子構造、および回折格子 | |
US7050471B2 (en) | Semiconductor laser and optically pumped semiconductor device | |
JP2018046118A (ja) | ブロードエリア半導体レーザ素子 | |
JPH10223976A (ja) | 半導体レーザ | |
WO2005060058A1 (ja) | 半導体レーザーおよびその製造方法 | |
JP4582289B2 (ja) | 半導体レーザー | |
JP2006332137A (ja) | 発光素子 | |
JP2005166806A (ja) | 半導体レーザーおよびその製造方法 | |
JPS6139594A (ja) | 薄膜光導波機能素子 | |
JPH07106694A (ja) | 半導体レーザー |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101227 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20101228 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110804 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110804 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130201 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130415 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130904 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5362306 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |