JP5361953B2 - 流路構成体およびその製造方法、インクジェット記録ヘッド、ならびに記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、複数の流路形成部材が積層され、各流路形成部材の間に流路が形成される流路構成体およびその製造方法、インクジェット記録ヘッド、ならびに記録装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドの代表的なものとして、インクジェット記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」とも称する。）がある。記録ヘッドには、記録媒体の搬送方向と交差する方向に記録媒体の幅に対応する範囲にわたってインク吐出口が配列されたフルライン型のものがある。特許文献１に、記録ヘッドにインクを供給する流路だけでなく、循環流路や、流路内に溜まった気泡を除去するための流路などが形成された記録ヘッドが開示されている。

特許文献２には、インク等の流体を所定の方向に案内することが可能な流路が設けられた流路構成体が開示されている。特許文献２に開示された流路構成体は、第１の流路形成部材の上に第２の流路形成部材が積載された構成を有している。

この流路構成体の第１の流路形成部材の上面には、流路となる流路溝が形成されており、流路溝に沿った溶着リブが当該流路溝の両側に形成されている。第２の流路形成部材の下面には、第１の流路形成部材に積載される際に、第１の流路形成部材の溶着リブを受け入れる溝が形成されている。第１の流路形成部材の溶着リブは、第２の流路形成部材の溝に超音波溶着法により溶着されている。

これにより、第１の流路形成部材と第２の流路形成部材とが溶着されると、第１の流路形成部材の流路溝は、第２の流路形成部材の下面によって閉塞される。これにより、第１の流路形成部材の流路溝は、インク等の流体を当該流路溝に沿って案内することが可能な管状の流路となる。このように、特許文献２に記載された流路構成体では、第１の流路形成部材の上に第２の流路形成部材を積載することにより第１の流路形成部材と第２の流路形成部材との間に流路が形成される。

特許文献２に記載の流路構成体は、第１の流路形成部材上に第２の流路形成部材のみを積載する構成であるが、第２の流路形成部材上にさらに第３の流路形成部材を積載する構成も考えられる。

このような構成の流路構成体では、第２の流路形成部材の上面に第１の流路形成部材と同様の流路溝および溶着リブが形成され、第３の流路形成部材の下面に第２の流路形成部材と同様の溝が形成されている。そして、第３の流路形成部材の溶着リブが、第１の流路形成部材の溝に超音波溶着法により溶着される。

このような流路構成体では、第２の流路形成部材と第３の流路形成部材との間にも流路が形成される。これにより、流路構成体には上下に並んだ２つの流路が形成される。流路構成体は、複数の流路を有することにより、同時に複数の種類のインク等の流体を個別に案内することが可能となる。

特開２００８−８７４６５号公報 特開２００７−２８３６６８号公報

上述のように、記録ヘッドに複数の流路が形成された流路構成体を用いると、記録ヘッドが大型化する。

また、上述した第１の流路形成部材、第２の流路形成部材および第３の流路形成部材が積層された流路構成体を製造する場合、まず、第１の工程として、第１の流路形成部材の溶着リブが第２の流路形成部材の溝に超音波溶着法により溶着される。その後、第２の工程として、第２の流路形成部材の溶着リブが第３の流路形成部材の溝に超音波溶着法により溶着される。

したがって、第２の工程で、第２の流路形成部材の溶着リブが第３の流路形成部材の溝に超音波溶着法による溶着時の振動等の負荷により、第１の工程で溶着された第１の流路形成部材の溶着リブが第２の流路形成部材の溝から部分的に剥がれてしまう場合がある。

工程順番を代えて、第１の工程で第２の流路形成部材の溶着リブを第３の流路形成部材の溝に溶着し、第２の工程で第１の流路形成部材の溶着リブを第２の流路形成部材の溝に溶着することも考えられる。しかし、この場合も、第２の工程で、第１の流路形成部材の溶着リブが第２の流路形成部材の溝に超音波溶着法による溶着時の負荷により、第１の工程で溶着された第２の流路形成部材の溶着リブが第３の流路形成部材の溝から部分的に剥がれてしまう場合がある。

上記のように、溶着リブが溝から剥がれた流路構成体では、流路を通過するインク等の流体がその剥がれた部分から漏れ出してしまう。

そこで、本発明は、３枚以上の流路形成部材が積層され、各流路形成部材の間に流路が形成される、コンパクトで、かつ信頼性の高い流路構成体を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の流路構成体の製造方法は、第１の流路形成部材の第１の面と第２の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第１の溶着部を形成すると共に第１の流路を形成する工程と、第１の溶着部及び第１の流路を形成した後、第１の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面と前記第２の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面とのいずれか一方と、第３の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第２の溶着部を形成すると共に第２の流路を形成する工程とを備え、第１の溶着部の単位長さあたりの溶着面積は、第２の溶着部の単位長さあたりの溶着面積より大きいことを特徴とする。

本発明によれば、３枚以上の流路形成部材が積層され、各流路形成部材の間に流路が形成される流路構成体の信頼性を向上することができる。

本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。 図１に示した記録素子基板の概略構成図である。 図１に示したインク供給ユニットの分解斜視図である。 図１に示したインク供給ユニットの分解斜視図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドの概略構成図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドを適用可能な記録装置の斜視図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドの機能ブロック図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドの部分断面図である。 図１に示したインクジェット記録ヘッドの溶着部を示した図である。 図９に示した構成の変形例を示した図である。 図９に示した構成の変形例を示した図である。 本発明の第２の実施形態に係る流路構成体の斜視図である。 図１３に示した流路構成体の断面図である。 図１３に示した流路構成体の平面図である。 図１３に示した流路構成体の製造工程を示した断面図である。 図１３に示した流路構成体の製造工程を示した断面図である。 図１３に示した流路構成体の変形例の断面図である。 本発明の第３の実施形態に係る流路構成体の断面図である。 本発明の第４の実施形態に係る流路構成体の断面図である。 本発明の第５の実施形態に係る流路構成体の断面図である。 本発明の第６の実施形態に係る流路構成体の断面図である。 本発明の第７の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの斜視図である。

次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
（第１の実施形態）
（インクジェット記録ヘッド）
まず、本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド９０の構成について説明する。図１および図２はインクジェット記録ヘッド９０の概略構成図であり、図１は斜視図であり、図２は分解斜視図である。

インクジェット記録ヘッド９０は、いわゆるフルライン型の記録装置に搭載可能である。インクジェット記録ヘッド９０は、図１の矢印Ｌ方向に搬送される紙等の記録媒体に対して記録素子基板１００に設けられた吐出口からインクを吐出する。これにより、インクジェット記録ヘッド９０では記録媒体に記録を行う。

インクジェット記録ヘッド９０には、図１および図２に示すように、液体吐出基板としての記録素子基板１００や、固定部材２００や、電気配線部材３００や、液体供給部材としてのインク供給ユニット４００などが設けられている。記録素子基板１００と、該記録素子基板１００が固定される固定部材２００と、は一体となって液体吐出部材として機能する。

インクジェット記録ヘッド９０には、１８個の記録素子基板１００が設けられている。各記録素子基板１００は、記録媒体の搬送方向に重なっている重複領域Ｎ（図１参照）が形成されるように千鳥状に固定部材２００上に配置されている。インクジェット記録ヘッド９０の、記録素子基板１００が配置されている部分の全幅である印字幅は１３インチ程度である。

各記録素子基板１００は電気配線部材３００とワイヤーボンディング等の方法で電気的接続がなされ、その各電気的接続部分は封止材７００で封止されることにより保護されている。また、固定部材２００の、記録素子基板１００が配置されている面の裏面には、インク供給ユニット４００が設けられている。インク供給ユニット４００は、接着剤による接着やゴム部材を介したネジ止め等により記録素子基板１００の裏面に固定されている。

次に、インクジェット記録ヘッド９０を構成する各部材について詳細に説明する。

図３はインクジェット記録ヘッド９０の記録素子基板１００を拡大して示した図であり、図３（ａ）は斜視図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。

記録素子基板１００はインクを吐出するためのデバイスである。図３（ｂ）に示すように、シリコン基板１０１には、長溝状のインク供給口１０２が形成されている。シリコン基板１０１の表面には、インクを吐出するためのエネルギーを発生させるエネルギー発生素子である複数の電気熱変換素子１０３と、該電気熱変換素子１０３に接続されるアルミニウム等の電気配線（不図示）と、が成膜技術によって形成されている。

また、記録素子基板１００の長手方向の両端部には、電気配線部材３００（図１および図２参照）との電気的接続がなされる電極１０４が設けられている。さらに、シリコン基板１０１上には、樹脂材料からなる吐出口形成部材１０５が形成されている。

吐出口形成部材１０５には、複数の電気熱変換素子１０３に対応する位置に、インクを吐出するための吐出口１０６が形成されている。また、吐出口形成部材１０５には、吐出口１０６に連通するインク貯蔵室１０７が形成されている。吐出口１０６およびインク貯蔵室１０７は、フォトリソグラフィー技術を用いて形成されている。

図１および図２に示す固定部材２００は、複数の記録素子基板１００を固定し、各記録素子基板１００にインクを供給するために設けられている。固定部材２００の内部には、インク供給ユニット４００に接続されたインク流路が形成されている。また、図２に示すように、固定部材２００の表面に記録素子基板１００にインクを供給するための開口部２０１が形成されている。

図１および図２に示す電気配線部材３００は、記録装置（不図示）から送られる駆動信号等を記録素子基板１００に伝達する。電気配線部材３００には、記録素子基板１００を組み込むための開口部３０１や、記録素子基板１００の電極１０４に対応する電極端子３０２や、記録装置１からの駆動信号等を受けるための外部信号入力端子３０３などが設けられている。

図４および図５はインクジェット記録ヘッド９０のインク供給ユニット４００の分解斜視図である。供給ユニット４００は、記録装置に接続され、固定部材２００を介して記録素子基板１００にインクを供給する。

インク供給ユニット４００には、フィルタ収容部材４０１、第１のプレート４０２、第２のプレート４１０、第３のプレート４０３、第１のフィルタ５０１、第２のフィルタ５０２、およびジョイントゴム６００が設けられている。フィルタ収容部材４０１、第１のプレート４０２、第２のプレート４１０、第３のプレート４０３は、樹脂材料を用いて射出成形法により形成されている。

フィルタ収容部材４０１には、第１のプレート４０２によって閉じられる溝状のインク流路４０６Ａ，４０７Ａが形成されている。また、第１のプレートには、第２のプレート４１０およびフィルタ収容部材４０１と組み合わせられてインク流路４１１となる溝が形成されている。

また、フィルタ収容部材４０１には、インク流路４０６Ａに接続されたインク流路４０６Ｂが設けられている。インク流路４０６Ａと流路４０６Ｂとの接続部には、第１のフィルタ収容室４０８が設けられている。また、フィルタ収容部材４０１には、インク流路４０７Ａに接続されたインク流路４０７Ｂが設けられている。インク流路４０７Ａと流路４０７Ｂとの接続部には、第２のフィルタ収容室４０９が設けられている。

第１のフィルタ収容室４０８および第２のフィルタ収容室４０９には、インクジェット記録ヘッド９０内へのゴミの侵入を防ぐため、それぞれ第１のフィルタ５０１および第２のフィルタ５０２が設けられている。第１のフィルタおよび第２のフィルタ５０２は、それぞれ第１のフィルタ収容室４０８および第２のフィルタ収容室４０９に熱溶着されている。

また、インクジェット記録ヘッド９０には、ジョイントゴム６００がジョイントゴム収容室４０５Ａ、４０５Ｂ、４０５Ｃにそれぞれ圧入されている。インクジェット記録ヘッド９０は、記録装置に取り付けられた際に、記録装置に設けられたインクジョイントパイプ（不図示）にジョイントゴム６００を介して接続される。

図４および図５に示したインク供給ユニット４００が組み合わされる際には、第１のプレート４０２および第３のプレート４０３はフィルタ収容部材４０１に接合され、第２のプレート４１０は第１のプレート４０２に接合される。

（インク流路構成）
図１に示すように、インクジェット記録ヘッド９０には、インク供給ユニット４００が長手方向の両端に一つずつ互いに逆向きに設けられている。図６は、インクジェット記録ヘッド９０の概略構成図である。

記録装置には、インクジェット記録ヘッド９０に供給されるインク７を貯蔵するインクタンクＴと、該インクタンクＴとインク供給ユニット４００を連通させるインク流路５Ａ，５Ｂが設けられている。また、インクタンクＴ内のインク７を、インクタンクＴとインクジェット記録ヘッド９０と間で循環させるための循環手段としてのポンプＰが、インク流路５Ａ，５Ｂの少なくとも一方に設けられる。本実施形態では、ポンプＰがインク流路５Ｂに設けられている。

インク流路５Ｂにはバルブ６Ａ，６Ｂが設けられている。記録装置の記録動作時には、第１のバルブ６Ａが開かれ、第２のバルブ６Ｂが閉られ、インクジェット記録ヘッド９０内では、図中の矢印ａで示す経路をインク７が循環するようになる。具体的には、インク７は、インクタンクＴから、インク流路５Ａを通り、インク供給ユニット４００内の第１のフィルタ５０１を通過する。そして、フィルタ５０１を通過したインク７は、固定部材２００に形成されたインク流路２０２内を流れ、第２のフィルタ５０２を通過してインクタンクＴに戻る。

このように、インク供給ユニット４００は、記録装置の記録動作時に、安定してインク流路２０２から記録素子基板１００へとインク７を供給し、かつ、インク７を循環させて記録素子基板１００の冷却を行うことができるように構成されている。記録装置の記録動作時に、記録素子基板１００へインク７を供給するまでの経路中にある第１のフィルタ５０１は、該第１のフィルタ５０１がインク７の経路内での流抵抗を大きくすることを抑制するために、面積が大きいことが望ましい。

第１のフィルタ５０１によってインク７の流抵抗が大きくなると、記録素子基板１００へのインク供給不良などが生じることがある。本実施形態では、記録素子基板１００の冷却のために必要なインク流路２０２におけるインク流量が５０〜２００ｃｃ／ｍｉｎ程度である。そのために、第１のフィルタ５０１には、穴径が５μｍ程度であり、面積が１０００〜４０００ｍｍ²程度のものを用いた。

一方、記録素子基板１００からインクを導出する側に設けられた第２のフィルタ５０２は、その流抵抗により記録素子基板１００によるインク７の吐出には影響を与えないため、面積を小さくすることが可能である。

また、第１のフィルタ５０１を通過したインク７の一部は記録素子基板１００に送り込まれ、記録に用いられる。そのため、第２のフィルタ５０２を通過するインク７は、第１のフィルタ５０１を通過するインク７よりも少ない。そのため、この点においても、第２のフィルタ５０２の面積は第１のフィルタ５０１の面積よりも小さくてよい。

また、インクジェット記録ヘッド９０内の気泡を除去するためには、第２のフィルタ５０２の面積は小さい方がよい。一方で第２のフィルタ５０２の面積が大きいほどインクの濾過性能が高くなる。本実施形態では、この両方の観点から、第２のフィルタ５０２として、穴径が５μｍ程度であり、面積が５０〜２００ｍｍ²程度であるものを用いた。

フィルタ収容室４０８は、フィルタ５０１を介して、フィルタ収容室４０８Ａとフィルタ４０８Ｂとに分けられている。

記録前におけるインクジェット記録ヘッド９０へのインク充填時や、記録動作を行っていない時にフィルタ収容室４０８Ａに溜まった空気抜き（泡抜き）を行う際には、第１のバルブ６Ａを閉じ、かつ、第２のバルブ６Ｂを開く。これにより、インクジェット記録ヘッド９０内では、図中の矢印ｂで示す経路をインク７が循環する。

記録装置の非記録時には、記録素子基板１００の吐出口を保湿するために、インクジェット記録ヘッド９０内に循環用のインク７を入れておく。インクジェット記録ヘッド９０を記録装置に装着した際には、インクジェット記録ヘッド９０内の循環用のインク７を排出して、インクジェット記録ヘッド９０内を空の状態とする。このようにインクジェット記録ヘッド９０内を空の状態にしてから、記録用のインク７を充填する。

インクジェット記録ヘッド９０内にインクを充填する際に、仮に、最初から矢印ａで示した経路でインクを循環させるとする。この場合、第１のフィルタ５０１の底部からインク７が流れてフィルタ収容室４０８Ｂ内に流入するため、フィルタ収容室４０８Ａ内がインク７で充填されない。したがって、まず矢印ｂの経路でインク７を循環させてフィルタ収容室４０８Ａ内をインク７で充填する必要がある。

また、記録装置の記録動作に、インク流路４０６Ａなどの中に混入している気泡が、フィルタ収容室４０８Ａ内に溜まることがある。フィルタ収容室４０８Ａ内に気泡が溜まると、第１のフィルタ５０１におけるインク７が通過する面積が小さくなってしまう。これにより、インク７が第１のフィルタ５０１を通過する際の流抵抗が高くなってしまう。これを防止するためにも、記録動作前に、矢印ｂに示す経路にインク７を流してフィルタ収容室４０８Ａ内の気泡を除去する。

（記録装置）
次に、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドが搭載される記録装置に関して説明する。

図７は、インクジェット記録ヘッド９０を適用可能な記録装置１を部分的に示した概略構成図である。また、図７は、本実施形態における記録装置１内の制御系の機能ブロック図である。図７では、記録装置１が記録を行っている状態を示している。記録装置１には、たとえば、Ｂｋ、Ｃ、Ｍ、Ｙの４色のインクに対応した４つのインクジェット記録ヘッド９０が搭載され、各インクジェット記録ヘッド９０の間には紙搬送用ローラ６０が配置され、該紙搬送用ローラ６０によって記録媒体７０が搬送される。

記録装置１に設けられた制御手段としてのＣＰＵ１２は、記録信号等に基づき、インクジェット記録ヘッド９０の電気熱変換素子１０３を駆動させて吐出口１０６（図３参照）からインク７を吐出する。これにより、インク７が記録媒体７０に付着し、記録媒体７０に記録信号に基づいた記録がなされる。

このように、複数のインクジェット記録ヘッド９０が紙搬送方向に並べられているため、インクジェット記録ヘッド９０の並び方向（図７におけるＸ方向）の寸法は小さいことが望ましい。そのために、たとえば、インクジェット記録ヘッド９０間のピッチを狭くして配列することができる。これにより記録装置１の小型化が可能である。さらに、インクジェット記録ヘッド９０に対して記録媒体を平行に保つ必要のある領域が狭くなるため、記録媒体の搬送精度が向上され、紙ジャムが防止される。これらにより記録装置１による記録媒体への高品位の記録が可能となる。

図８を参照して、記録装置１の構成について詳細に説明する。

記録装置１は、ユーザにより入力された記録情報をホストコンピュータ４から受信する。記録装置１が受信した記録情報は、記録装置１内に設けられた入出力インターフェイス１１に一時保存されるとともに、記録装置１内で処理可能なデータに変換され、インクジェット記録ヘッド駆動信号の供給手段を兼ねるＣＰＵ１２に入力される。

ＣＰＵ１２は、ＲＯＭ１３に保存されている制御プログラムに基づき、ＣＰＵ１２に入力されたデータをＲＡＭ１４等の周辺ユニットを用いて処理する。また、ＣＰＵ１２は、当該処理により、記録媒体に対してインクによるドットを形成するか否かを表す２値化データ（記録データ）に変換する。

インクジェット記録ヘッド９０に設けられている電気熱変換素子１０３を駆動するヘッドドライバ１７には、上述した記録データと、ＣＰＵ１２から出力されたインクジェット記録ヘッド駆動データと、が入力されている。ヘッドドライバ１７は、２値化データやインクジェット記録ヘッド駆動データに応じて電気熱変換素子１０３を駆動させ、インクジェット記録ヘッド９０にインクを吐出させる。

（インク供給ユニット）
インクジェット記録ヘッド９０に用いられるインク供給ユニット４００について、図９および図１０を用いて詳細に説明する。図９はインク供給ユニット４００の図１における矢印Ａで示す平面における断面図である。また、図１０は各溶着部４１４，４１５における溶着面積を示す模式図である。

上述のとおり、インク供給ユニット４００は、記録装置１の記録動作中における安定したインク供給性能、記録素子基板１００の冷却性能、インク充填性能、流路内の泡抜き性能に優れている。インクジェット記録ヘッド９０のサイズを小さくするために、大面積を有するフィルタ５０１をフィルタ収容部材４０１の側面に配設している（図４および図５参照）。このような構成により、インクジェット記録ヘッド９０のサイズは、最小限に抑えられている。

また、インクジェット記録ヘッド９０の幅方向（図７における矢印Ｘ方向）の寸法の小型化を図るべく、インク流路４０６Ａ，４０６Ｂ，４１１を２層に分けて形成している。そのため、流路４０６Ａ，４０６Ｂ，４１１を形成する３つの流路形成部材である、フィルタ収容部材４０１、第１のプレート４０２、第２のプレート４１０を積層している。

図９に示すように、第１のプレート４０２の下面には複数の溶着リブ４１２が形成され、第２のプレート４１０の下面には複数の溶着リブ４１３が形成されている。第１のプレート４０２の溶着リブ４１２はフィルタ収容部材４０１のインク流路４０６Ａ，４０７Ａが形成された上面に超音波溶着され、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３は第１のプレート４０２のインク流路４１１が形成された上面に超音波溶着される。これにより、フィルタ収容部材４０１、第１のプレート４０２、第２のプレート４１０は、それぞれが流路形成部材として機能し、積層されて個別に溶着されることにより一体となり、流路構成体となる。

溶着リブ４１２，４１３の先端部における平面度や、溶着される面の平面度のばらつきにより、超音波の付与により潰れる量（溶ける量）が異なる箇所が存在する場合があり、溶着リブの潰れる量が少ない箇所では溶着幅が小さく、溶着強度も相対的に小さくなる場合がある。本実施形態に係るインク供給ユニット４００のプレート４０２，４０３の超音波溶着される部分は、長手方向の長さが１００〜２００ｍｍ程度と長く、その面積は比較的大きいため、プレートの反りなどの影響により溶着リブの潰れ量が異なり、溶着強度の高い箇所と低い箇所が混在する場合が発生し易い。

本実施形態では、フィルタ収容部材４０１に第１のプレート４０２を超音波溶着した後に、第１のプレート４０２に第２のプレート４１０を超音波溶着する。したがって、第１のプレート４０２と第２のプレート４１０との超音波溶着の際に、既に超音波溶着されたフィルタ収容部材４０１と第１のプレート４０２との溶着部分の内、溶着強度が低い箇所が、超音波の衝撃によって部分的に剥がれる場合がある。

これに対し、本実施形態では以下に説明する構成とすることで信頼性の高い流路構成体を製造可能である。

フィルタ収容部材４０１には、第１のプレート４０２が溶着されると、第１のプレート４０２によって塞がれる、インク流路４０６Ａおよびインク流路４０７Ａが設けられている。第１のプレート４０２には、第２のプレート４１０が溶着されると、第２のプレート４１０によって塞がれるインク流路４１１が設けられている。

図１０には、フィルタ収容部材４０１の、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２が溶着される溶着部４１４を斜線で示している。また、第１のプレート４０２の、第２のプレート４０３の溶着リブ４１３が溶着される溶着部４１５を斜線で示している。

図９に示すように、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２と第２のプレート４１０の溶着リブ４１３の断面形状は略同一である。なお、図９では、溶着リブ４１２，４１３の、超音波溶着により潰される部分（溶ける部分）を破線で示している。溶着リブ４１２と溶着リブ４１３とでは、超音波溶着時の潰し量も略同一である。したがって、溶着部４１４と溶着部４１５とでは、幅がほぼ等しい。

しかし、フィルタ収容部材４０１では２つのインク流路４０６Ａ，４０７Ａがあるのに対し、第１のプレート４０２とでは１つのインク流路４１１しかない。したがって、フィルタ収容部材４０１と第１のプレート４０２とでは溶着すべき部分の面積が大きい。換言すると、溶着部４１４の総溶着面積と溶着部４１５の総溶着面積とでは、溶着部４１４の総溶着面積の方が大きい。

したがって、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３を第１のプレート４０２に超音波溶着する際に必要なエネルギー（振幅や荷重）は、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２をフィルタ収容部材４０１に超音波溶着する場合よりも小さい。そのため、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２をフィルタ収容部材４０１に溶着した後、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３を第１のプレート４０２に溶着する際に、第１の溶着部４１４に加わる超音波による衝撃を抑制することができる。

なお、超音波溶着法による溶着の条件を変更することにより、溶着リブの潰し量を変更することが可能である。また、溶着リブの断面形状は、図９に示すような形状に限らない。溶着リブの変形例を図１１および図１２に示す。図１１および図１２は図９に対応する図であり、第２のプレート４１０の溶着リブ以外の構成は、図９に示した構成と同様である。

図１１に示した第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ａは、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２より小さい。溶着リブ４１２，４１３ａは互いに相似関係にある三角形状の断面を有する。ここで、溶着リブ４１２の断面の幅をＷ_aとし、溶着リブ４１２の断面の高さをｄ₁とする。また、溶着リブ４１３ａの断面の幅をＷ_bとし、溶着リブ４１３ａの高さをｄ₂とする。この場合、Ｗ_a＞Ｗ_bであり、かつ、ｄ₁＞ｄ₂である。

図１１に示すように、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ａを、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２より小さくすることによって、図１０に示す溶着部４１４の幅が溶着部４１５の幅より大きくなる。これにより、フィルタ収容部材４０１の溶着部４１４の総溶着面積と、第１のプレート４０２の溶着部４１５の総溶着面積と、の差がさらに大きくなる。この場合、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ａを第１のプレート４０２に超音波溶着する際の超音波のエネルギーが小さくて済む。そのため、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２をフィルタ収容部材４０１に溶着した後、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ａを第１のプレート４０２に溶着する際に、第１の溶着部４１４に加わる超音波による衝撃を抑制することができる。

図１２に示した第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ｂは、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２より小さい。溶着リブ４１３ｂは、第２のプレート４１０の下面に垂直であり、先端が三角形状である断面を有する。ここで、溶着リブ４１３ａの断面の幅をＷ_bとし、溶着リブ４１３ａの高さをｄ₂とする。この場合、Ｗ_a＞Ｗ_bであり、かつ、ｄ₁＝ｄ₂である。

図１２に示すように、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ｂを、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２より小さくすることによって、図１０に示す溶着部４１４の幅が溶着部４１５の幅より大きくなる。これにより、フィルタ収容部材４０１の溶着部４１４の総溶着面積と、第１のプレート４０２の溶着部４１５の総溶着面積と、の差がさらに大きくなる。この場合、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ｂを第１のプレート４０２に超音波溶着する際の超音波のエネルギーが小さくて済む。そのため、第１のプレート４０２の溶着リブ４１２をフィルタ収容部材４０１に溶着した後、第２のプレート４１０の溶着リブ４１３ａを第１のプレート４０２に溶着する際に、第１の溶着部４１４に加わる超音波による衝撃を抑制することができる。

また、本実施形態では、３本のインク流路が形成された流路構成体について説明を行ったが、インク流路の数はこれに限られることはなく、流路構成体にはインクの色数に対応した数の流路を形成することができる。また、本実施形態では、フィルタ収容部材４０１、第１のプレート４０２、第２のプレート４１０の３つの流路形成部材を積層してインク流路を形成する場合について説明したが、これに限られない。たとえば、４つ以上の流路形成部材を積層して流路を形成することもできる。

また、本実施形態では、フィルタ収容部材４０１に第１のプレート４０２を超音波溶着した後に、第１のプレート４０２に第２のプレート４１０を超音波溶着した。しかし、第１のプレート４０２に第２のプレート４１０を超音波溶着した後にフィルタ収容部材４０１に第１のプレート４０２を超音波溶着してもよい。ただし、この場合には、第１のプレート４０２と第２のプレート４１０との溶着部の総溶着面積が、フィルタ収容部材４０１と第１のプレート４０２との溶着部の総溶着面積よりも大きいことが必要である。

すなわち、超音波溶着を行う順番が早い溶着部の総溶着面積が大きくなるような順番で超音波溶着を行えば、先に超音波溶着を行った溶着部が、後の超音波溶着によって剥がれることを防止できる。

ただし、図９に示したように、下層となるフィルタ収容部材４０１と第１のプレート４０２との間、すなわち、記録ヘッドの記録素子基板に近い側により多くのインク流路を配設する構成がインク供給安定性の観点からは好ましい。上層に配設されるインク流路は、流路形成部材の接合箇所が増えるため、部品の位置ずれによる段差箇所に気泡が溜まったりするなどしてインク供給性能を損なう可能性がある。本実施例では、記録動作時に使用するインク流路４０６Ａ，４０７Ａを下層に配設しているため、インク供給性能を損なう可能性が低く、また、上層に配設したインク流路４１１は、先に述べたように、フィルタ収容室４０８Ａ内の気泡を除去する時のみに使用する流路であるため、仮に部品の位置ずれによる段差箇所に気泡が溜まったとしても、通常の記録動作に影響することがない。

さらに、下層の総溶着面積が大きくなるような構成とすることで、上層のインク流路を形成する部品寸法をより小さくすることが可能である。図４に示すように、長手方向の寸法の大きいインク流路４０７Ａが下層に配設され、それよりも長手方向の寸法が小さいインク流路４１１を上層に配設することで、第２のプレート４１０の長手寸法を第１のプレート４０２の長手寸法よりも小さくすることが可能である。部品を小さくできることはコスト面のメリットだけでなく、上述した通り、超音波溶着は部品の平面度の影響を受けるため、平面度を高くするには、部品をなるべく小さくすることが望ましい。

また、本実施形態ではフルライン型のインクジェット記録ヘッドについて説明したが、本実施形態による超音波溶着を用いた積層体の作製方法の適用範囲はこれに限られることはない。本実施形態による方法は、複数の部材が積層されて複数の流路が形成される積層体全般に適用が可能である。本実施形態による方法を適用した積層体には、リークが発生しにくく、信頼性の高い流路が形成される。
（第２の実施形態）
図１３は、本発明の第２の実施形態に係る流路構成体を示した概略構成図であり、図１３（ａ）は分解斜視図であり、図１３（ｂ）は斜視図である。図１４は本実施形態に係る流路構成体の断面図であり、図１４（ａ）は図１３（ａ）のＣ−Ｃ線に沿った断面図であり、図１４（ｂ）は図１３（ｂ）のＤ−Ｄ線に沿った断面図である。また、図１５（ａ）は流路形成部材１の上面図であり、図１５（ｂ）は流路形成部材２の下面図である。

この流路構成体は、第１の流路形成部材１、第２の流路形成部材２、および第３の流路形成部材３の３枚の平板状の部材により構成されている。

流路形成部材１の上面には長手方向に沿って流路溝１１および２つの溝１２が形成されている。流路溝１１は流路形成部材１の上面の中央部に設けられており、各溝１２は流路溝１１の両側に設けられている。

流路形成部材２の下面には、流路形成部材１の各溝１２に対向する位置に、それぞれ下方に突出した溶着リブ２３が設けられている。

流路形成部材２の上面には長手方向に沿って流路溝２１および２つの溝２２が形成されている。流路溝２１は流路形成部材２の上面の中央部に設けられており、各溝２２は流路溝２１の両側に設けられている。

流路形成部材３の下面には、流路形成部材２の各溝２２に対向する位置に、それぞれ下方に突出した溶着リブ３３が設けられている。

各溶着リブ２３，３３は、その長手方向に沿って、該長手方向直交する断面形状が同一となるように形成されている。図１４に示すように、溶着リブ２３，３３は、頂角が下向きの二等辺三角形状の断面を有する。ここで、本実施形態では溶着リブ２３の頂角の角度ａ°と溶着リブ３３の頂角の角度ｂ°は等しい。すなわち、ａ°＝ｂ°という式が成り立つ。また、溶着リブ２３の流路形成部材２の下面からの高さｈ₁と、溶着リブ３３の流路形成部材３の下面からの高さｈ₂と、は等しい。すなわち、ｈ₁＝ｈ₂という式が成り立つ。つまり、本実施形態では溶着リブ２３と溶着リブ３３とは同様の形状を有している。

溶着リブ２３，３３は超音波により溶解可能な樹脂等の材料で形成されている。したがって、超音波溶着法によって、溶着リブ２３を溝１２に溶着して溶着部１４を形成し、溶着リブ３３を溝２２に溶着して溶着部２４を形成することができる。これにより、流路形成部材１，２，３が一体化して図１３（ｂ）および図１４（ｂ）に示す流路構成体となる。

図１３（ｂ）および図１４（ｂ）に示す流路構成体では、流路形成部材１の流路溝１１が流路形成部材２の下面によって閉塞されて第１の流路となり、流路形成部材２の流路溝２１が流路形成部材３の下面によって閉塞されて第２の流路となる。したがって、本実施形態に係る流路構成体では、流路形成部材１，２，３が積層されることにより２つの流路が形成されている。

図１６および図１７を参照して本実施形態に係る流路構成体の製造方法について説明する。図１６および図１７は本実施形態に係る流路構成体の製造方法の流れを例示した図である。

図１６に示した流路構成体の製造方法では、まず、流路形成部材１と流路形成部材２を溶着する第１の工程（ａ）を行う。工程（ａ）では、流路形成部材１上に流路形成部材２を積載し、流路形成部材２上に溶着ホーン４を積載する。溶着ホーン４は流路形成部材２を下方に加圧した状態で、超音波を溶着リブ２３に付与することにより、流路形成部材２の溶着リブ２３を溶融させて流路形成部材１の溝１２に溶着する。これにより、流路形成部材１と流路形成部材２とが溶着された溶着部１４が形成される。

その後、流路形成部材２と流路形成部材３を溶着する第２の工程（ｂ）を行う。工程（ｂ）では、流路形成部材２上に流路形成部材３を積載し、流路形成部材３上に溶着ホーン４を積載する。溶着ホーン４は超音波を溶着リブ３３に付与することにより、流路形成部材３の溶着リブ３３を溶融させて流路形成部材２の溝２２に溶着する。これにより本実施形態に係る流路構成体が完成する（図１６（ｃ））。

工程（ｂ）において流路形成部材３の溶着リブ３３を流路形成部材２の溝２２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部に負荷がかかるが、本実施形態では、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部が剥がれにくい構成となっている。以下、当該構成について説明する。

図１４（ｂ）に示すように、流路形成部材１の溝１２と流路形成部材２の溶着リブ２３との溶着部１４の幅をＷ₁とし、流路形成部材２の溝２２と流路形成部材３の溶着リブ３３との溶着部２４の幅をＷ₂とする。

図１６に示した流路構成体の製造方法では、工程（ａ）および工程（ｂ）において、Ｗ₁がＷ₂より大きくなるように、すなわち、Ｗ₁＞Ｗ₂となるように溶着ホーン４を制御する。したがって、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４の単位長さ当たりの溶着面積は、流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４の単位長さ当たりの溶着面積よりも大きい。

ここで、溶着リブの、溶着ホーン４によって溶融させる部分の、溶着リブの先端からの長さの設定値を「設定溶かし込み量」ということとする。本実施形態に係る超音波溶着法では、溶着ホーン４は、超音波を発していないときにも、流路形成部材を下方に加圧し続ける。したがって、溶着ホーン４が、溶着リブに超音波を付与し終えた後にも、流路形成部材を加圧し続ける。そのため、溶着リブの実際の溶かし込み量、すなわち溶着リブの、溶着ホーン４によって溶融させる部分の、溶着リブの先端からの実際の長さは、設定溶かし込み量より大きくなる。

溶着リブの溶かし込み量の制御は、溶着ホーン４が超音波を発する時間や、溶着ホーン４が発する超音波のエネルギー（単位は「Ｊ：ジュール」である。）を調整することによって行うことができる。溶着ホーン４が超音波を発する時間を長くすると、溶着リブの溶かし込み量が大きくなる。また、溶着ホーン４が発する超音波のエネルギーを大きくすると、溶着リブの溶かし込み量が大きくなる。

本実施形態では、溶着リブ２３の設定溶かし込み量を０．６ｍｍとし、溶着リブ２３の実際の溶かし込み量は０．７ｍｍであった。また、溶着リブ３３の設定溶かし込み量を０．３ｍｍとし、溶着リブ３３の実際の溶かし込み量は０．４ｍｍであった。このように溶着ホーン４を制御することにより、Ｗ₁＞Ｗ₂とすることができた。

したがって、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４の溶着強度は、流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４の溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材３の溶着リブ３３を流路形成部材２の溝２２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４に負荷がかかっても、溶着リブ２３が溝１２から剥がれにくい。

次に、図１７に示した流路構成体の製造方法では、まず、流路形成部材２と流路形成部材３を溶着する第１の工程（ａ）を行う。工程（ａ）では、流路形成部材２上に流路形成部材３を積載し、流路形成部材３上に溶着ホーン４を積載する。溶着ホーン４は流路形成部材３を下方に加圧した状態で、超音波を溶着リブ３３に付与することにより、流路形成部材３の溶着リブ３３を溶融させて流路形成部材２の溝２２に溶着する。これにより、流路形成部材２と流路形成部材３とが溶着された溶着部２４が形成される。

その後、流路形成部材１と流路形成部材２を溶着する第２の工程（ｂ）を行う。工程（ｂ）では、流路形成部材１上に流路形成部材２を積載し、流路形成部材２上に溶着ホーン４を積載する。溶着ホーン４は超音波を溶着リブ２３に付与することにより、流路形成部材２の溶着リブ２３を溶融させて流路形成部材１の溝１２に溶着する。これにより本実施形態に係る流路構成体が完成する（図１７（ｃ））。

図１７に示した流路構成体の製造方法では、工程（ａ）および工程（ｂ）において、Ｗ₂がＷ₁より大きくなるように、すなわち、Ｗ₂＞Ｗ₁となるように溶着ホーン４を制御する。したがって、流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４の単位長さ当たりの溶着面積は、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４の単位長さ当たりの溶着面積よりも大きい。

本実施形態では、溶着リブ３３の設定溶かし込み量を０．６ｍｍとし、溶着リブ３３の実際の溶かし込み量は０．７ｍｍであった。また、溶着リブ２３の設定溶かし込み量を０．３ｍｍとし、溶着リブ２３の実際の溶かし込み量は０．４ｍｍであった。このように溶着ホーン４を制御することにより、Ｗ₂＞Ｗ₁とすることができた。

したがって、流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４の溶着強度は、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４の溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材２の溶着リブ２３を流路形成部材１の溝１２に溶着する際に流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４に負荷がかかっても、流路形成部材３の溶着リブ３３が流路形成部材２の溝２２から剥がれにくい。

このように、図１６および図１７に係る流路構成体の製造方法によれば、先に流路形成部材同士を溶着した溶着部において流路形成部材の溶着リブが流路形成部材の溝から剥がれにくい。したがって、本製造方法によれば、信頼性の高い流路構成体を製造することができる。また、本実施形態に係る流路構成体は、流路を平面的ではなく立体的に設けるため、小型化が可能である。

なお、図１４に示すように本実施形態に係る流路構成体は、流路形成部材１と流路形成部材２との溶着部１４は、流路形成部材２と流路形成部材３との溶着部２４の真下にある。しかし、流路構成体の溶着部の位置は適宜変更可能である。たとえば、流路構成体は、図１８のように、流路形成部材２ａと流路形成部材３ａとの溶着部２４ａを、流路形成部材１と流路形成部材２ａとの溶着部１４ａから、流路溝２１ａ側に距離ｄだけオフセットした構成でもよい。

また、流路溝の形状も図１３〜１５に示す構成に限らない。たとえば、流路構成体は、図１８に示す第２の流路形成部材２ａの流路溝２１ａのように、流路溝の幅を狭くする構成でもよい。

また、本実施形態に係る溶着リブは二等辺三角形状の断面を有するが、溶着リブの断面の形状は適宜変更可能である。たとえば、溶着リブの断面の形状は、任意の三角形状であってよい。また、本実施形態では溶着リブが流路形成部材の下面に形成され、溝が流路形成部材の上面に形成されているが、溶着部は溶着リブと溝により形成されていればよく、流路形成部材の上面に形成され、溝が流路形成部材の下面に形成されていてもよい。

また、本実施形態に係る流路構成体の製造方法では、溶着リブを溝に溶着して溶着部を形成したが、溶着部の形成方法は適宜変更可能である。さらに、本実施形態に係る流路構成体は、３枚の流路形成部材によって構成されているが、流路形成部材の枚数は３枚以上の枚数で適宜決定することができる。ただし、いずれの場合にも、溶着する順番が早い溶着部ほど、単位長さ当たりの溶着面積を大きくする。
（第３の実施形態）
図１９は本発明の第２の実施形態に係る流路構成体の断面図である。図１９は第１の実施形態に係る流路構成体の図１４に対応する。

この流路構成体は、第１の流路形成部材１、第２の流路形成部材２ｂ、および第３の流路形成部材３ｂの３枚の平板状の部材により構成されている。本実施形態に係る流路構成体の第１の流路形成部材１は、第１の実施形態に係る第１の流路形成部材１と共通する。第２の流路形成部材２ｂは第１の実施形態に係る流路形成部材２と溶着リブの形状のみが異なり、第３の流路形成部材３ｂは第１の実施形態に係る流路形成部材３と溶着リブの形状のみが異なる。

流路形成部材２ｂ，３ｂの各溶着リブ２３ｂ，３３ｂは、第１の実施形態に係る溶着リブ２３，３３と同様に、その長手方向に沿って、該長手方向直交する断面形状が同一となるように形成されている。溶着リブ２３ｂ，３３ｂは、頂角が下向きの二等辺三角形状の断面を有する。ここで、本実施形態では溶着リブ２３ｂの頂角の角度ｃ°は、溶着リブ３３ｂの頂角の角度ｄ°より大きい。すなわち、ｃ°＞ｄ°の式が成り立つ。また、溶着リブ２３ｂの流路形成部材２ｂの下面からの高さｈ₃と、溶着リブ３３ｂの流路形成部材３ｂの下面からの高さｈ₄は等しい。すなわち、ｈ₃＝ｈ₄という式が成り立つ。

流路形成部材２ｂの溝２２ｂは、第１の実施形態に係る流路形成部材２の溝２２と同様に形成されている。したがって、超音波溶着法によって、溶着リブ２３ｂを溝１２に溶着して溶着部１４ｂを形成し、溶着リブ３３ｂを溝２２ｂに溶着して溶着部２４ｂを形成することができる。これにより、流路形成部材１，２ｂ，３ｂが一体化して図１９（ｂ）に示す流路構成体となる。

本実施形態に係る流路構成体は、図１６に示した流路構成体の製造工程と同様の流れに沿って製造することが可能である。

図１９（ｂ）に示すように、流路形成部材１の溝１２と流路形成部材２ｂの溶着リブ２３ｂとの溶着部１４ｂの幅をＷ₃とし、流路形成部材２ｂの溝２２ｂと流路形成部材３ｂの溶着リブ３３ｂとの溶着部２４ｂの幅をＷ₄とする。

本実施形態では、第１の流路形成部材１と第２の流路形成部材２ｂを溶着する工程（ａ）と、第２の流路形成部材２ｂと第３の流路形成部材３ｂを溶着する工程（ｂ）と、で溶着ホーン４を同様の設定条件（超音波を発する時間や超音波のエネルギー等）とした。具体的には、溶着リブ２３ｂ，３３ｂの設定溶かし込み量をともに０．４ｍｍとした。なお、溶着リブ２３ｂ，３３ｂの実際の溶かし込み量は０．５ｍｍであった。

本実施形態では、溶着リブ２３ｂ，３３ｂで溶かし込み量が等しく、上述したようにｃ°＞ｄ°であるため、Ｗ₃＞Ｗ₄となる。このように、先に行われる工程（ａ）で溶着される流路形成部材１と流路形成部材２ｂとの溶着部１４ｂの幅Ｗ₃が、後に行われる工程（ｂ）で溶着される流路形成部材２ｂと流路形成部材３ｂとの溶着部２４ｂの幅Ｗ₄より大きくなる。

したがって、流路形成部材１と流路形成部材２ｂとの溶着部１４ｂの溶着強度は、流路形成部材２ｂと流路形成部材３ｂとの溶着部２４ｂの溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材３ｂの溶着リブ３３ｂを流路形成部材２ｂの溝１２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２ｂとの溶着部１４ｂに負荷がかかっても、溶着リブ２３ｂが溝１２から剥がれにくい。

このように、本実施形態に係る流路構成体の製造方法によれば、先に溶着した溶着部において流路形成部材の溶着リブが流路形成部材の溝から剥がれにくい。したがって、本製造方法によれば、信頼性の高い流路構成体を製造することができる。
（第４の実施形態）
図２０は本発明の第３の実施形態に係る流路構成体の断面図である。図２０は第１の実施形態に係る流路構成体の図１４に対応する。

この流路構成体は、第１の流路形成部材１、第２の流路形成部材２ｃ、および第３の流路形成部材３ｃの３枚の平板状の部材により構成されている。本実施形態に係る流路構成体の第１の流路形成部材１は、第１の実施形態に係る第１の流路形成部材１と共通する。第２の流路形成部材２ｃは第１の実施形態に係る流路形成部材２と溶着リブの形状のみが異なり、第３の流路形成部材３ｃは第１の実施形態に係る流路形成部材３と溶着リブの形状のみが異なる。

流路形成部材２ｃ，３ｃの各溶着リブ２３ｃ，３３ｃは、第１の実施形態に係る溶着リブ２３，３３と同様に、その長手方向に沿って、該長手方向直交する断面形状が同一となるように形成されている。溶着リブ２３ｃは、頂角が下向きの二等辺三角形状の断面を有する。溶着リブ３３ｃは、溶着リブ２３ｃと同様の断面形状を有する２つの溶着リブにより構成される。

流路形成部材２ｃの溝２２ｃは、第１の実施形態に係る流路形成部材２の溝２２と同様に形成されている。したがって、超音波溶着法によって、溶着リブ２３ｃを溝１２に溶着して溶着部１４ｃを形成し、溶着リブ３３ｃを溝２２ｃに溶着して溶着部２４ｃを形成することができる。これにより、流路形成部材１，２ｃ，３ｃが一体化して図２０（ｂ）に示す流路構成体となる。

本実施形態に係る流路構成体は、図１６に示した流路構成体の製造工程と同様の流れに沿って製造することが可能である。

本実施形態では、第１の流路形成部材１と第２の流路形成部材２ｃを溶着する工程（ａ）と、第２の流路形成部材２ｃと第３の流路形成部材３ｃを溶着する工程（ｂ）と、で溶着ホーン４を同様の設定条件（超音波を発する時間や超音波のエネルギー等）とした。具体的には、溶着リブ２３ｃ，３３ｃの設定溶かし込み量をともに０．４ｍｍとした。なお、溶着リブ２３ｃ，３３ｃの実際の溶かし込み量は０．５ｍｍであった。

本実施形態では、溶着リブ２３ｃ，３３ｃで溶かし込み量が等しく、第２の流路形成部材２ｃの溶着リブ２３ｃは、第３の流路形成部材３ｃの溶着リブ３３ｃと同様の形状の２つの溶着リブを有する。そのため、溶着部２４ｃの幅の合計は、溶着部１４ｃの幅の２倍となる。

したがって、流路形成部材１と流路形成部材２ｃとの溶着部１４ｃの溶着強度は、流路形成部材２ｃと流路形成部材３ｃとの溶着部２４ｃの溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材３ｃの溶着リブ３３ｃを流路形成部材２ｃの溝１２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２ｃとの溶着部１４ｃに負荷がかかっても、溶着リブ２３ｃが溝１２から剥がれにくい。

このように、本実施形態に係る流路構成体の製造方法によれば、先に溶着した溶着部において流路形成部材の溶着リブが流路形成部材の溝から剥がれにくい。したがって、本製造方法によれば、信頼性の高い流路構成体を製造することができる。
（第５の実施形態）
図２１は本発明の第４の実施形態に係る流路構成体の断面図である。図２１は第１の実施形態に係る流路構成体の図１４に対応する。

この流路構成体は、第１の流路形成部材１、第２の流路形成部材２ｄ、および第３の流路形成部材３ｄの３枚の平板状の部材により構成されている。本実施形態に係る流路構成体の第１の流路形成部材１は、第１の実施形態に係る第１の流路形成部材１と共通する。第２の流路形成部材２ｄは第１の実施形態に係る流路形成部材２と溶着リブの形状のみが異なり、第３の流路形成部材３ｄは第１の実施形態に係る流路形成部材３と溶着リブの形状のみが異なる。

流路形成部材２ｄ，３ｄの各溶着リブ２３ｄ，３３ｄは、第１の実施形態に係る溶着リブ２３，３３と同様に、その長手方向に沿って、該長手方向直交する断面形状が同一となるように形成されている。溶着リブ２３ｄ，３３ｄは、頂角が下向きの二等辺三角形状の断面を有する。ここで、本実施形態では溶着リブ２３ｄの頂角の角度ｅ°は溶着リブ３３ｄの頂角の角度ｆ°より大きい。すなわち、ｅ°＞ｆ°という式が成り立つ。また、溶着リブ２３ｄの流路形成部材２ｄの下面からの高さｈ₅は、溶着リブ３３の流路形成部材３ｄの下面からの高さｈ₆より高い。すなわち、ｈ₅＞ｈ₆という式が成り立つ。

流路形成部材２ｄの溝２２ｄは、第１の実施形態に係る流路形成部材２の溝２２と同様に形成されている。したがって、超音波溶着法によって、溶着リブ２３ｄを溝１２に溶着して溶着部１４ｄを形成し、溶着リブ３３ｄを溝２２ｄに溶着して溶着部２４ｄを形成することができる。これにより、流路形成部材１，２ｄ，３ｄが一体化して図２１（ｂ）に示す流路構成体となる。

本実施形態に係る流路構成体は、図１６に示した流路構成体の製造工程と同様の流れに沿って製造することが可能である。

図２１（ｂ）に示すように、流路形成部材１の溝１２と流路形成部材２ｄの溶着リブ２３ｄとの溶着部１４ｄの幅をＷ₅とし、流路形成部材２ｄの溝２２ｄと流路形成部材３ｄの溶着リブ３３ｄとの溶着部２４ｄの幅をＷ₆とする。

本実施形態では、溶着リブ２３ｄの設定溶かし込み量を０．６ｍｍとし、溶着リブ２３ｄの実際の溶かし込み量は０．７ｍｍであった。また、溶着リブ３３ｄの設定溶かし込み量を０．３ｍｍとし、溶着リブ３３ｄの実際の溶かし込み量は０．４ｍｍであった。このように溶着ホーン４を制御することにより、Ｗ₅＞Ｗ₆とすることができた。

したがって、流路形成部材１と流路形成部材２ｄとの溶着部１４ｄの溶着強度は、流路形成部材２ｄと流路形成部材３ｄとの溶着部２４ｄの溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材３ｄの溶着リブ３３ｄを流路形成部材２ｄの溝１２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２ｄとの溶着部１４ｄに負荷がかかっても、溶着リブ２３ｄが溝１２から剥がれにくい。

このように、本実施形態に係る流路構成体の製造方法によれば、先に溶着した溶着部において流路形成部材の溶着リブが流路形成部材の溝から剥がれにくい。したがって、本製造方法によれば、信頼性の高い流路構成体を製造することができる。
（第６の実施形態）
図２２は本発明の第５の実施形態に係る流路構成体の断面図である。図２２は第１の実施形態に係る流路構成体の図１４（ａ）に対応する。

この流路構成体は、第１の流路形成部材１、第２の流路形成部材２ｅ、および第３の流路形成部材３ｅの３枚の平板状の部材により構成されている。本実施形態に係る流路構成体の第１の流路形成部材１は、第１の実施形態に係る第１の流路形成部材１と共通する。第２の流路形成部材２ｅは第１の実施形態に係る流路形成部材２と溶着リブの形状のみが異なり、第３の流路形成部材３ｅは第１の実施形態に係る流路形成部材３と溶着リブの形状のみが異なる。

流路形成部材２ｅ，３ｅの各溶着リブ２３ｅ，３３ｅは、第１の実施形態に係る溶着リブ２３，３３と同様に、その長手方向に沿って、該長手方向直交する断面形状が同一となるように形成されている。溶着リブ２３ｅは、頂角が下向きの二等辺三角形状の断面を有する。溶着リブ３３ｅは板状であり、先端が、頂角が下向きの二等辺三角形状である矢印状の断面を有する。ここで、本実施形態では溶着リブ２３ｅの頂角の角度ｇ°と溶着リブ３３ｅの頂角の角度ｈ°とは等しい。すなわち、ｇ°＝ｈ°という式が成り立つ。また、溶着リブ２３ｅの流路形成部材２ｅの下面からの高さｈ₇と、溶着リブ３３の流路形成部材３ｅの下面からの高さｈ₈と、は等しい。すなわち、ｈ₇＝ｈ₈という式が成り立つ。

流路形成部材２ｅの溝２２ｅは、第１の実施形態に係る流路形成部材２の溝２２と同様に形成されている。したがって、超音波溶着法によって、溶着リブ２３ｅを溝１２に溶着して溶着部１４ｅを形成し、溶着リブ３３ｅを溝２２ｅに溶着して溶着部２４ｅを形成することができる。これにより、流路形成部材１，２ｅ，３ｅが一体化して流路構成体となる。

本実施形態に係る流路構成体は、図１６に示した流路構成体の製造工程と同様の流れに沿って製造することが可能である。

本実施形態では、第１の流路形成部材１と第２の流路形成部材２ｅを溶着する工程（ａ）と、第２の流路形成部材２ｅと第３の流路形成部材３ｅを溶着する工程（ｂ）と、で溶着ホーン４を同様の設定条件（超音波を発する時間や超音波のエネルギー等）とした。具体的には、溶着リブ２３ｅ，３３ｅの設定溶かし込み量をともに０．４ｍｍとした。なお、溶着リブ２３ｅ，３３ｅの実際の溶かし込み量は０．５ｍｍであった。

本実施形態では、溶着リブ２３ｅ，３３ｅで溶かし込み量が等しく、溶着リブ３３ｅの溶融する部分は、板状の部分まで達している。したがって、溶着リブ２３ｅの溶融量と溶着リブ３３ｅの溶融量とでは、溶着リブ２３ｅの溶融量の方が多い。

したがって、流路形成部材１と流路形成部材２ｅとの溶着部１４ｅの溶着強度は、流路形成部材２ｅと流路形成部材３ｅとの溶着部２４ｅの溶着強度と比較して強固である。そのため、工程（ｂ）において流路形成部材３ｅの溶着リブ３３ｅを流路形成部材２ｅの溝１２に溶着する際に流路形成部材１と流路形成部材２ｅとの溶着部１４ｅに負荷がかかっても、溶着リブ２３ｅが溝１２から剥がれにくい。

このように、本実施形態に係る流路構成体の製造方法によれば、先に溶着した溶着部において流路形成部材の溶着リブが流路形成部材の溝から剥がれにくい。したがって、本製造方法によれば、信頼性の高い流路構成体を製造することができる。
（第７の実施形態）
図２３は、本発明の第６の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの概略構成図であり、図２３（ａ）は分解斜視図であり、図２３（ｂ）は斜視図である。

本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドＨ１０００は、記録素子基板Ｈ１１００，支持部材Ｈ１２００，電気配線基板Ｈ１３００からなる記録素子ユニットＨ１００２と、第１の実施形態に係る流路構成体Ｈ１００１と、で構成されている。

記録素子基板Ｈ１１００はシリコン製の基板であり、中央にインク供給口が形成されている。また、記録素子基板Ｈ１１００上には複数の発熱抵抗体が配列されている。このような発熱抵抗体を形成した記録素子基板Ｈ１１００はヒーターボードと呼ばれている。ヒーターボードには発熱抵抗体に電力を供給するための配線が形成されており、両端に設置された電極パッドに結線されている。このようなヒーターボードの上に複数の吐出口が形成されたオリフィスプレート等が設けられて記録素子基板Ｈ１１００が完成する。

記録素子基板Ｈ１１００は、支持部材Ｈ１２００に高精度で接着される。支持部材Ｈ１２００の両端部には、それぞれ、第１の実施形態に係る流路構成体Ｈ１００１が接続される流路孔Ｈ１２００ａ，Ｈ１２００ｂが形成されている。

第１の実施形態に係る流路構成体Ｈ１００１の端部には、支持部材Ｈ１２００の流路孔Ｈ１２００ａ，Ｈ１２００ｂに接続される接続部Ｈ１００１ａ，Ｈ１００１ｂが形成されている。ひとつの支持部材Ｈ１２００あたり２つの流路構成体Ｈ１００１が接続される。各流路構成体Ｈ１００１の接続部はＨ１００１ａ，Ｈ１００１ｂは支持部材Ｈ１２００の流路孔Ｈ１２００ａ，Ｈ１２００ｂに接続される。流路構成体Ｈ１００１は、支持部材Ｈ１２００の両端部に接着あるいはビス締め等で接続される。

各流路構成体Ｈ１００１には、支持部材１２００に接続される接続部Ｈ１００１ａ，Ｈ１００１ｂとは反対側の端部に、プリンタ本体（不図示）に接続される接続部Ｈ１００１ｃ，Ｈ１００１ｄが設けられている。

電気配線基板Ｈ１３００には、記録素子基板Ｈ１１００の発熱抵抗体に電力を供給するための配線が引き回されている。電気配線基板Ｈ１３００も、支持部材Ｈ１２００に高精度で接着される。また記録素子基板Ｈ１１００と電気配線基板Ｈ１３００は、インナーリードを用いたＴＡＢ実装法によって電気な接合がなされ、その接合部分は封止材によって封止される。

このように、図２３（ｂ）に示すインクジェット記録ヘッドＨ１０００が完成する。インクジェット記録ヘッドＨ１０００では、プリンタ本体のインク供給部から供給されたインクが各流路構成体Ｈ１００１の接続部Ｈ１００１ｃから流路構成体Ｈ１００１の下側の流路を通って接続部Ｈ１００１ａまで導かれる。そして、インクは流路構成体Ｈ１００１の接続部Ｈ１００１ａから支持部材Ｈ１２００の流路孔Ｈ１２００ａへ流入する。

また、これと同時に、プリンタ本体のインク供給部から供給されたインクが各流路構成体Ｈ１００１の接続部Ｈ１００１ｄから流路構成体Ｈ１００１の上側の流路を通って接続部Ｈ１００１ｂまで導かれる。そして、インクは流路構成体Ｈ１００１の接続部Ｈ１００１ａから支持部材Ｈ１２００の流路孔Ｈ１２００ｂへ流入する。

支持部材Ｈ１２００に流入したインクは、支持部材Ｈ１２００の内部の流路を通過し、記録素子基板Ｈ１１００に供給され、記録素子基板Ｈ１１００の吐出口から記録媒体に吐出される。なお、インクが流れる流路には、ゴミ等の混入を防止するフィルタを設けることが望ましい。

第１の実施形態に係る小型の流路構成体Ｈ１００１を用いることにより、本実施形態に係るインクジェット記録ヘッドＨ１０００は小型化している。また、流路構成体Ｈ１００１は、インクジェット記録ヘッドＨ１０００を長手方向に直交する方向に並列して配置する場合の妨げとはならない。そのため、たとえば、インクジェット記録ヘッドを各色別に並列して配置する場合にも、小さいスペースに収めることができる。

溶着リブ４０１ フィルタ収容部材
４０２ 第１のプレート
４１０ 第２のプレート
４１２，４１３ 溶着リブ
４０６Ａ，４０７Ａ，４１１ インク流路

Claims (11)

1. 液体を供給する流路を備える流路構成体の製造方法であって、
   第１の流路形成部材の第１の面と第２の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第１の溶着部を形成すると共に第１の流路を形成する工程と、
   前記第１の溶着部及び前記第１の流路を形成した後、前記第１の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面と前記第２の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面とのいずれか一方と、第３の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第２の溶着部を形成すると共に第２の流路を形成する工程と、
   を備え、
   前記第１の溶着部の単位長さあたりの溶着面積は、前記第２の溶着部の単位長さあたりの溶着面積より大きいことを特徴とする流路構成体の製造方法。
2. 前記第１の溶着部及び前記第１の流路を形成する際の前記超音波溶着法における超音波のエネルギーは、前記第２の溶着部及び前記第２の流路を形成する際の前記超音波溶着法における超音波のエネルギーより高い、請求項１に記載の流路構成体の製造方法。
3. 前記第１の溶着部を溶着する際の超音波を発する時間は、前記第２の溶着部を溶着する際の超音波を発する時間より長い、請求項１に記載の流路構成体の製造方法。
4. 前記第１の溶着部を形成する前記第１の流路形成部材の前記第１の面と前記第２の流路形成部材の前記第１の面のうちの一方には、突出した第１の溶着リブが形成されており、前記第２の溶着部を形成する前記第１の流路形成部材の前記第２の面または前記第２の流路形成部材の前記第２の面と、前記第３の流路形成部材の前記第１の面のうちの一方には、突出した第２の溶着リブが形成されており、前記超音波溶着法により前記溶着リブを溶着する、請求項１に記載の流路構成体の製造方法。
5. 前記第１の溶着リブの体積は、前記第２の溶着リブの体積より大きい、請求項４に記載の流路構成体の製造方法。
6. 前記第１の溶着リブの先端の角度は、前記第２の溶着リブの先端の角度より大きい、請求項４または５に記載の流路構成体の製造方法。
7. 液体を供給する流路を備える流路構成体の製造方法であって、
   第１の流路形成部材の第１の面と第２の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第１の溶着部を形成すると共に第１の流路を形成する工程と、
   前記第１の溶着部及び前記第１の流路を形成した後、前記第１の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面と前記第２の流路形成部材の第１の面の裏面である第２の面とのいずれか一方と、第３の流路形成部材の第１の面とを超音波溶着法によって溶着することにより、第２の溶着部を形成すると共に第２の流路を形成する工程と、
   を備え、
   前記第１の溶着部の総面積は、前記第２の溶着部の総面積より大きく、
   前記第１の溶着部を形成する前記第１の流路形成部材の前記第１の面と前記第２の流路形成部材の前記第１の面のうちの一方には、突出した第１の溶着リブが形成されており、前記第２の溶着部を形成する前記第１の流路形成部材の前記第２の面または前記第２の流路形成部材の前記第２の面と、前記第３の流路形成部材の前記第１の面のうちの一方には、突出した第２の溶着リブが形成されており、前記超音波溶着法により前記溶着リブを溶着し、
   前記第１の溶着リブの先端の角度は、前記第２の溶着リブの先端の角度より大きいことを特徴とする流路構成体の製造方法。
8. 前記第１の溶着リブの体積は、前記第２の溶着リブの体積より大きい、請求項７に記載の流路構成体の製造方法。
9. 液体を供給する流路を備える流路構成体であって、
   第１の流路形成部材と、
   前記第１の流路形成部材の第１の面と超音波溶着法によって接合されており、その接合面である第１の面に第１の流路溝が形成されている第２の流路形成部材と、
   前記第２の流路形成部材の前記第１の面の裏面である第２の面と超音波溶着法によって接合されており、その接合面である第１の面に第２の流路溝が形成されている第３の流路形成部材と、
   を含み、
   前記第１の流路形成部材の前記第１の面と前記第２の流路形成部材の前記第１の面とを溶着する際の第１の溶着部の単位長さあたりの溶着面積は、前記第２の流路形成部材の前記第２の面と前記第３の流路形成部材の前記第１の面とを溶着する際の第２の溶着部の単位長さあたりの溶着面積より大きいことを特徴とする流路構成体。
10. 前記第１の流路の数は前記第２の流路の数より多い、請求項９に記載の流路構成体。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の流路構成体と、前記第３の流路形成部材の前記第１の面の裏面である第２の面に接合された、液体を吐出する液体吐出ユニットと、を有する記録ヘッド。

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