JP2018047599A - 流路部材の製造方法、流路部材、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ヒケ等による非接合部による不具合を低減することが可能な流路部材の製造方法、流路部材、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置を提供する。【解決手段】互いに積層された第１部材３０および第２部材３１の間に流路を有する流路部材の製造方法であって、互いに接するように積層された第１部材および第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、第１溶着部４１ａにおいて第１部材および第２部材を互いに溶着する第１工程と、第１溶着部とは異なる位置の第２溶着部４２ｂにおいて第１部材および第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、第１部材および第２部材を互いに溶着する第２工程と、を含み、第２工程において第２溶着部に加わる圧力は、第１工程において第２溶着部に加わる圧力よりも大きい。【選択図】図１２

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどの液体吐出ヘッドから吐出される液体が流れる流路部材の製造方法、流路部材、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置に関する。

液体吐出装置は液体吐出ヘッドを備え、この液体吐出ヘッドから各種の液体を吐出（噴射）する装置である。この液体吐出装置としては、例えば、インクジェット式プリンターやインクジェット式プロッター等の画像記録装置があるが、最近ではごく少量の液体を所定位置に正確に着弾させることができるという特長を生かして各種の製造装置にも応用されている。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターを製造するディスプレイ製造装置，有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイやＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極を形成する電極形成装置，バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置に応用されている。そして、画像記録装置用の記録ヘッドでは液状のインクを吐出し、ディスプレイ製造装置用の色材吐出ヘッドではＲ（Red）・Ｇ（Green）・Ｂ（Blue）の各色材の溶液を吐出する。また、電極形成装置用の電極材吐出ヘッドでは液状の電極材料を吐出し、チップ製造装置用の生体有機物吐出ヘッドでは生体有機物の溶液を吐出する。

上記の液体吐出装置においては、液体吐出ヘッドに液体を供給したり、流路内の液体の圧力を調整するための気体を供給したりするために、これらの流体が流通する流路が形成された流路部材が設けられたものがある。例えば、特許文献１に開示されている流路部材（流路構造体）は、合成樹脂製の平板状の第１部材と第２部材とを積層状態で互いに接合することで、内部に複数の流路が形成されている。これらの基板の接合には、例えば、接着剤による接着の他に、レーザーを使用した熱溶着や、超音波を利用して超音波溶着等が好適に用いられる。

特開２０１５−１７４３９１号公報

ところが、上記の流路部材を構成する第１部材や第２部材のような樹脂製部品の成型の際には、特に製品の中央部や他の部分よりも厚肉となっている部分において表面が部分的に窪むいわゆるヒケが生じる。このヒケが部品同士の接合面に生じた部分においては、樹脂製部品の密着性が不十分となり、接合が不十分となる場合があった。すなわち、接合面内に非接合部が生じる場合があった。そして、例えば、液体流路を規定している周縁の接合部分においてヒケが生じた場合、接合が不十分な部分から液体が漏れる等の不具合が生じてしまう問題があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、ヒケ等による非接合部による不具合を低減することが可能な流路部材の製造方法、流路部材、液体吐出ヘッド、および、液体吐出装置を提供するものである。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、互いに積層された第１部材および第２部材の間に流路を有する流路部材の製造方法であって、
互いに接するように積層された前記第１部材および前記第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、第１溶着部において前記第１部材および前記第２部材を互いに溶着する第１工程と、
前記第１溶着部とは異なる位置の第２溶着部において前記第１部材および前記第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、前記第１部材および前記第２部材を互いに溶着する第２工程と、
を含み、
前記第２工程において前記第２溶着部に加わる圧力は、前記第１工程において前記第２溶着部に加わる圧力よりも大きいことを特徴とする。

本発明によれば、第２工程において第２溶着部に加わる圧力は、第１工程の開始当初において第１溶着部および第２溶着部に加わる圧力よりも大きいので、第２溶着部において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、例えば、第２溶着部の近傍においていずれかの部材に非接合部（ヒケ）が存在した場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態（液密性あるいは気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、流路における液漏れや空気漏れ等の不具合が抑制される。

また、上記方法では、前記第１工程において、前記第１部材の本体の形状と前記第２部材の本体の形状を維持した状態で、前記第１溶着部へ加わる前記圧力が低下するに連れて前記第２溶着部へ加わる前記圧力が増加するようにすることができる。

この方法によれば、第１部材の本体の形状と第２部材の本体の形状が維持されつつ、第２溶着部に加わる圧力が増加した状態で第１部材と第２部材とが接合されるので、第１部材と第２部材との相対的な位置ずれを抑えつつ両部材を溶着することができる。

または、上記方法において、前記第１工程において、前記第１部材および前記第２部材を前記第１溶着部で溶着することにより、前記第１部材または前記第２部材の少なくとも一方が撓んだ状態とし、
前記第２工程において、前記第１部材および前記第２部材を前記第２溶着部で溶着することにより、前記一方の撓みを減少させるようにすることもできる。

この方法によれば、第１部材の本体の形状と前記第２部材の本体の形状を維持する治具が不要であり、製造装置の簡素化が可能となる。

また、上記方法において、前記第１部材は、厚肉部と薄肉部とを有し、
前記第２溶着部と前記厚肉部との距離は、前記第１溶着部と前記厚肉部との距離よりも短くすることが望ましい。

この方法によれば、非接合部が生じやすい厚肉部により近い位置の第２溶着部において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、厚肉部に非接合部が存在した場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態で区画形成される。なお、より望ましくは、第２溶着部と厚肉部との最短距離を、第１溶着部と厚肉部との最短距離よりも短くすることにより、溶着をより確実にできる。

また、上記方法において、前記厚肉部と前記薄肉部とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことが望ましい。

この方法によれば、厚肉部と薄肉部との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい厚肉部と第２溶着部との距離に応じて、厚肉部と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と厚肉部との距離を、第１溶着部と厚肉部との距離よりも短くしやすい。

また、上記方法において、前記第１部材は、前記流路と連通する継手を当該第１部材の一方の面から突出した状態で有し、
前記第２溶着部は、前記第１溶着部よりも前記継手に近いことが望ましい。

この方法によれば、非接合部が生じやすい継手により近い位置の第２溶着部において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、継手の近傍に非接合部が存在した場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態で区画形成される。なお、より望ましくは、第２溶着部と継手との最短距離を、第１溶着部と継手との最短距離よりも短くすることにより、溶着をより確実にできる。

また、上記方法において、複数の前記継手は、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことが望ましい。

この方法によれば、複数の継手の並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい中央の継手（または、複数の継手の中央）と第２溶着部との距離に応じて、中央の継手と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と中央の継手との距離を、第１溶着部と中央の継手との距離よりも短くしやすい。

また、上記方法において、複数の前記第１溶着部は、前記第２溶着部を間に挟む位置に設けられることが望ましい。

この方法によれば、非接合部が生じやすい部材の中央部に近い位置の第２溶着部において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、部材の中央部に非接合部が存在した場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態で区画形成される。また、第２溶着部が複数の第１溶着部で挟まれているので、複数の第１溶着部に溶着に伴って第２溶着部に作用する力がより大きくなる。このため、第２溶着部において第１部材と第２部材とをさらに確実に溶着することができる。

また、上記方法において、前記流路部材の固定に係る固定部材を収容する収容部を備え、
前記第２溶着部は、前記第１溶着部よりも、前記収容部に近いことが望ましい。

この方法によれば、非接合部が生じやすい固定部材の収容部に近い位置の第２溶着部において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、収容部の近傍で非接合部が存在した場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態で区画形成される。なお、より望ましくは、第２溶着部と収容部との最短距離を、第１溶着部と収容部との最短距離よりも短くすることにより、溶着をより確実にできる。

また、上記方法において、前記収容部と当該収容部を有しない部分とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことが望ましい。

この方法によれば、収容部と当該収容部を有しない部分との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい収容部と第２溶着部との距離に応じて、収容部と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と収容部との距離を、第１溶着部と収容部との距離よりも短くしやすい。

また、上記方法において、前記第１溶着部は、前記第２溶着部の周囲を囲むように形成されることが望ましい。

この方法によれば、第１溶着部は、第２溶着部の周囲を囲むように形成されることにより、万一、流路から液漏れ等が生じた場合においても、当該漏れ出した液体が外部に漏出することが第１溶着部によって阻止される。

また、上記方法において、前記第１部材と前記第２部材との積層方向において、前記第２部材のうち前記積層方向に直交する平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みは、前記第１部材のうち前記平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みよりも薄いことが望ましい。

この方法によれば、非接合部が生じやすい部分を相対的に厚い第１部材に集中させることができるので、第１溶着部および第２溶着部を設けるべき位置がより明確となり、溶着部および流路のレイアウトが容易となる。

また、本発明の流路部材は、厚肉部と薄肉部とを有する第１部材と、
前記第１部材に積層された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
を備え、
前記溶着部は、前記厚肉部からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記厚肉部からの距離が相対的に短い第２溶着部と、を含み、
前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする。

この構成によれば、第２溶着部の流路などへのはみ出し量が、第１溶着部の流路などへのはみ出し量よりも大きいことから、第２溶着部の溶着時に加わった圧力が第１溶着部の溶着時に加わった力よりも大きいことを示し、これにより、第２溶着部において第１部材と第２部材とがより確実に溶着されている。このため、例えば、溶着前における厚肉部に非接合部が存在していた場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態（液密性あるいは気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、流路における液漏れや空気漏れ等の不具合が抑制される。

また、上記構成において、前記厚肉部と前記薄肉部とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置された構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、厚肉部と薄肉部との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい厚肉部と第２溶着部との距離に応じて、厚肉部と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と厚肉部との距離を、第１溶着部と厚肉部との距離よりも短くしやすい。

また、本発明の流路部材は、第１部材と、
前記第１部材に積層された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
を備え、
前記第１部材は、前記流路と連通する継手を一方の面から突出した状態で有し、
前記溶着部は、前記継手からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記継手からの距離が相対的に短い第２溶着部とを含み、
前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする。

この構成によれば、第２溶着部の流路などへのはみ出し量が、第１溶着部の流路などへのはみ出し量よりも大きいことから、第２溶着部の溶着時に加わった圧力が第１溶着部の溶着時に加わった力よりも大きいことを示し、これにより、第２溶着部において第１部材と第２部材とがより確実に溶着されている。このため、例えば、溶着前における継手の近傍に非接合部が存在していた場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態（液密性あるいは気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、流路における液漏れや空気漏れ等の不具合が抑制される。

また、上記構成において、複数の前記継手は、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置された構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、複数の継手と並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい中央の継手（または、複数の継手の中央）と第２溶着部との距離に応じて、中央の継手と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と中央の継手との距離を、第１溶着部と中央の継手との距離よりも短くしやすい。

また、本発明の流路部材は、第１部材と、
前記第１部材に積層された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
を備え、
前記溶着部は、前記第１部材において、複数の第１溶着部と、当該複数の第１溶着部の間に位置する第２溶着部と、を含み、
前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする。

この構成によれば、第２溶着部の流路などへのはみ出し量が、第１溶着部の流路などへのはみ出し量よりも大きいことから、第２溶着部の溶着時に加わった圧力が第１溶着部の溶着時に加わった力よりも大きいことを示し、これにより、第２溶着部において第１部材と第２部材とがより確実に溶着されている。このため、例えば、溶着前における第１部材または第２部材の中央部に非接合部が存在していた場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態（液密性あるいは気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、流路における液漏れや空気漏れ等の不具合が抑制される。

また、本発明の流路部材は、流路部材の固定に係る固定部材を収容する収容部を有する第１部材と、
前記第１部材に積層された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
を備え、
前記溶着部は、前記収容部からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記収容部からの距離が相対的に短い第２溶着部とを含み、
前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする。

この構成によれば、第２溶着部の流路などへのはみ出し量が、第１溶着部の流路などへのはみ出し量よりも大きいことから、第２溶着部の溶着時に加わった圧力が第１溶着部の溶着時に加わった力よりも大きいことを示し、これにより、第２溶着部において第１部材と第２部材とがより確実に溶着されている。このため、例えば、溶着前における収容部の近傍に非接合部が存在していた場合であっても、第１部材と第２部材とで規定される流路がより確実に密閉された状態（液密性あるいは気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、流路における液漏れや空気漏れ等の不具合が抑制される。また、流路内の液体が収容部側に漏れ出して外部に流れる不具合が抑制される。

また、上記構成において、前記収容部と当該収容部を有しない部分とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置された構成を採用することが望ましい。

この構成によれば、収容部と当該収容部を有しない部分との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向が揃っているので、非接合部が生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、非接合部が生じやすい収容部と第２溶着部との距離に応じて、収容部と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、第２溶着部と収容部との距離を、第１溶着部と収容部との距離よりも短くしやすい。

また、上記構成において、前記第１溶着部は、前記第２溶着部の周囲を囲むように形成されたことが望ましい。

この構成によれば、第１溶着部は、第２溶着部の周囲を囲むように形成されていることにより、万一、流路から液漏れ等が生じた場合においても、当該漏れ出した液体が外部に漏出することが第１溶着部によって阻止される。

また、上記方法において、前記第１部材と前記第２部材との積層方向において、前記第２部材のうち前記積層方向に直交する平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みは、前記第１部材のうち前記平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みよりも薄いことが望ましい。

この構成によれば、非接合部が生じやすい部分を相対的に厚い第１部材に集中させることができるので、第１溶着部および第２溶着部を設けるべき位置がより明確となり、溶着部および流路のレイアウトが容易となる。

また、本発明の液体吐出ヘッドは、上記何れか一の構成の流路部材から液体を導入し、導入した液体をノズルから吐出することを特徴とする。

本発明によれば、流路における液漏れや空気漏れのおそれが少なく信頼性が向上する。

また、本発明の液体吐出装置は、上記構成の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする。

本発明によれば、流路における液漏れや空気漏れのおそれが少なく信頼性が向上する。

プリンターの内部構成を説明する斜視図である。 記録ヘッドを斜め上方から観た分解斜視図である。 記録ヘッドを斜め下方から観た分解斜視図である。 流路部材の構成を説明する図である。 図４におけるＡ−Ａ線断面図である。 図４におけるＢ−Ｂ線断面図である。 図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。 図４におけるＤ−Ｄ線断面図である。 液体導入継手の近傍における液体流路の接合構造ついて説明する模式図である。 液体導出継手の近傍における液体流路の接合構造ついて説明する模式図である。 流路部材の製造工程について説明する図である。 流路部材の製造工程について説明する図である。 流路部材の製造工程について説明する図である。 流路部材の製造工程の変形例について説明する図である。 流路部材の製造工程の変形例について説明する図である。 流路部材の製造工程の変形例について説明する図である。 第２の実施形態における流路部材の断面図である。 第３の実施形態における流路部材の断面図である。 第４の実施形態における第１基板の平面図である。 図１９におけるＦ−Ｆ線断面図である。 第５の実施形態における圧力調整部材の一側面図である。 第５の実施形態における圧力調整部材の上面図である。 第５の実施形態における圧力調整部材の他側面図である。

以下、本発明を実施するための形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）３にインクおよび空気を供給する流路部材１３を搭載したインクジェット式プリンター１（液体吐出装置の一種。以下、単にプリンターという。）を例示する。

プリンター１の構成について、図１を参照して説明する。プリンター１は、記録紙等の記録媒体２の表面に対して液体状のインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンター１は、複数のヘッドユニット４を備える記録ヘッド３、記録媒体２を搬送する搬送機構５、及び、ヘッドユニット４の各ノズル面に対向する位置に搬送された記録媒体２を支持する媒体支持部６（プラテンとも呼ばれる）等を装置本体７の内部に備えている。

本実施形態における記録ヘッド３は、記録媒体２の搬送方向（第１方向）に交差（本実施形態においては直交）する方向（第２方向）に長尺なラインヘッドである。この記録ヘッド３には、液体の一種であるインクを貯留した図示しないインクカートリッジの内部と連通する液体供給チューブ８が接続されている。インクカートリッジからのインクは、液体供給チューブ８を介して記録ヘッド３の流路部材１３（後述）に供給される。なお、インクカートリッジを記録ヘッド上に装着する構成を採用することもできる。また、記録ヘッド３の流路部材１３には、図示しないポンプを用いて気体（本実施形態では空気）を記録ヘッドに供給する気体供給チューブ９が接続されている。また、図示しないが、記録ヘッド３には、制御部からの駆動信号等を記録ヘッドに供給するＦＦＣ等の配線部材も接続されている。

搬送機構５は、媒体支持部６よりも第１方向における上流側に上下一対に配置された第１の搬送ローラー１０ａと、媒体支持部６よりも搬送方向における下流側に上下一対に配置された第２の搬送ローラー１０ｂと、を備えている。供給側からの記録媒体２は、これらの搬送ローラー１０ａ，１０ｂの駆動により、上下のローラーに挟まれた状態で媒体支持部６上を通過して排出側に向けて搬送される。また、搬送機構が、無端ベルトやドラムにより構成されるものもあり、このような構成では、ベルトやドラムが媒体支持部として機能する。さらに、媒体支持部としては、記録媒体を静電気力により吸着させる構成のものや、吸引ポンプ等で負圧を発生させることで記録媒体を吸着させる構成のものを採用することもできる。

図２は、斜め上方から見た記録ヘッド３の分解斜視図であり、図３は、斜め下方から見た記録ヘッド３の分解斜視図である。なお、以下においては、記録ヘッド３の各構成部材の積層方向を、適宜上下方向として説明する。本実施形態における記録ヘッド３は、各ヘッドユニット４へインクを供給する流路が形成された流路部材１３と、内部を流れるインクの圧力を調整する圧力調整部材１４と、圧力調整部材１４を内部に収容する保護板１５と、保護板１５を固定するベース板１６の下面に取り付けられたヘッドユニット４と、を備えている。

流路部材１３は、内部にインクが流れる液体流路３２（本発明における流路の一種）および気体（空気）が流れる気体流路３３（本発明における流路の一種）が形成された、各ヘッドユニット４にインクを供給する合成樹脂製の板状部材である。この流路部材１３の上面（後述する第１基板３０の上面）には、各色に対応した液体供給チューブ８が接続される液体導入継手１８（本発明における継手の一種）が、円筒状に突出した状態で、第１方向に沿って複数（本実施形態では４つ）形成されている。本実施形態においては、図４に示されるように、隣り合う２つの液体導入継手１８同士が組を成している。そして、第１方向において、一方の組は第１基板３０の上面の一方の縁に寄せて配置され、他方の組は第１基板３０の上面の他方の縁に寄せて配置されている。このため、これらの液体導入継手１８の組の間には間隙が形成されている。各液体導入継手１８は、流路部材１３の内部の液体流路３２を介して流路部材１３の下面（後述する第２基板３１の下面）に形成された液体導出継手２０（本発明における継手の一種）と連通されている。また、流路部材１３の上面には、気体供給チューブ９が接続される気体導入継手１９（本発明における継手の一種）が複数（本実施形態では２つ）形成されている。図４に示されるように、第１方向において、これらの気体導入継手１９の組は第１基板３０の上面における中央部（上記液体導入継手１８の組の間隙に対応する位置）に配置されている。気体導入継手１９は、流路部材１３の内部の気体流路を介して流路部材１３の下面に形成された気体導出継手２１（本発明における継手の一種）と連通されている。本実施形態における流路部材１３には、液体供給チューブ８を通じて４種類（例えば、ブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ））のインクが供給されるとともに、気体供給チューブ９を通じて２系統の空気が供給される。そして、流路部材１３は、４種類の各インクと２系統の空気を、本実施形態においては合計６つのヘッドユニット４に分配する。なお、流路部材１３の詳細については後述する。

圧力調整部材１４は、合成樹脂製の部材であり、流路基板３１とベース板１６との間において各ヘッドユニット４に対応して複数（本実施形態においては６つ）配置されている。各圧力調整部材１４の上面には、流路部材１３の液体導出継手２０に対応する液体流入口２３、及び、流路部材１３の気体導出継手２１に対応する気体流入口２４がそれぞれ形成されている。液体流入口２３は、圧力調整部材１４の内部に形成された液体流路を介して圧力調整部材１４の下方に突設された液体流出口２５と連通されている。なお、本実施形態における圧力調整部材１４の内部の液体流路は、気体流入口２４から流入した空気により加圧することができるように構成されている。このため、ポンプを駆動させて気体供給チューブ９、流路部材１３、および気体流入口２４を介して圧力調整部材１４に空気が送られることにより、液体流路内のインクの圧力を高めることができ、これによりヘッドユニット４内のインクの圧力を高めることができる。各圧力調整部材１４は、流路部材１３が各ヘッドユニット４に分配した４系統のインクの流路の開閉やインクの供給圧力を２系統の空気に応じて制御する。そして、このヘッドユニット４内のインクの圧力を制御することで、記録ヘッド３は、例えば、各ノズル２６からインクを強制的に排出するクリーニング動作等を行うこともできる。

６個のヘッドユニット４は、上記の第２方向に沿って配列されている。各ヘッドユニット４は、複数のノズル２６からインクを吐出する図示しないヘッドチップを有している。各ヘッドユニット４において、ノズル２６は、第１方向および第２方向に対して所定の角度で傾斜する第３方向に沿って合計６列のノズル列として配列されている。そして、各圧力調整部材１４を経由した４種類のインクが６列のノズル列に内部流路を通じて供給される。各ヘッドユニット４は、内部流路に導入されたインクを、図示しない圧電素子等のアクチュエーターを駆動することにより各ノズル２６から選択的に吐出させることができる。

図２に示されるように、ベース板１６における圧力調整部材１４の配置面にはヘッドユニット４毎に４個の供給口２７が形成されている。各供給口２７は、それぞれ対応するヘッドユニット４の内部流路と連通している。圧力調整部材１４がベース板１６に装着された状態では、各ヘッドユニット４の各供給口２７は、圧力調整部材１４の出口流路を形成する各液体流出口２５に挿入される。したがって、各ヘッドユニット４の４個の供給口２７には、圧力調整部材１４の液体流出口２５から４種類のインクが供給される。

図４は、流路部材１３の上面図（上段）、側面図（中段）、および下面図（下段）である。また、図５は、図４におけるＡ−Ａ線断面図、図６は、図４におけるＢ−Ｂ線断面図、図７は、図４におけるＣ−Ｃ線断面図である。さらに、図８は、図４におけるＤ−Ｄ線断面図である。本実施形態における流路部材１３は、第１基板３０（本発明における第１部材の一種）と第２基板３１（本発明における第２部材の一種）とを相互に対向した状態で接合した平板状の構造体である。第１基板３０および第２基板３１は、上記の第２方向に長尺な平板材であり、例えばポリプロピレン等の樹脂材料で成型されている。第１基板３０と第２基板３１は、互いに積層された状態でレーザー溶着または超音波溶着によって接合されている。本実施形態において、第１基板３０の厚さ（ここでは、後述する液体導入継手１８等の突出部分を除いた部分の厚さ）は、第２基板３１の厚さ（同じく、後述する液体導出継手２０等の突出部分を除いた部分の厚さ）よりも厚くなっており、また、第１基板３０は、黒色、あるいは、人の目で黒色に近いと認識される程度に濃い色に着色された樹脂材料により成型されている。要するに、第１基板３０は、レーザー光に対して吸収性（光吸収性）を有する熱可塑性樹脂により作製されている。光吸収性を有する熱可塑性樹脂としては、例えばポリアミド等に、カーボンブラック、染料や顔料等の所定の着色材を混入したものを用いることができる。なお、これらの基板３０，３１の「厚さ」に関し、後述するように特に特定した場合には継手を含む厚さを意味する場合もある。

これに対し、第２基板３１は、第１基板３０よりも薄く、また、レーザー光に対して透過性（光透過性）を有する樹脂材料により作製されている。光透過性を有する熱可塑性樹脂としては、例えばポリアミド（ＰＡ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリスチレン（ＰＳ）、スチレン−アクリロニトリル共重合体、ＡＢＳ樹脂、アクリル樹脂（ＰＭＭＡ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等を挙げることができる。なお、必要に応じてガラス繊維、炭素繊維等の補強繊維や着色材を添加したものを用いてもよい。これにより、後述する溶着工程（第１工程および第２工程）におけるレーザー光が、第２基板３１を透過して第１基板３０の接合部（後述する接合予定部４２）に集光されるようにすることができる。なお、第１基板３０の光吸収性材料と第２基板３１の光透過性材料は、レーザー光Ｌを１００％吸収または透過するものには限られない。光吸収性部材と光透過性部材とはレーザー光Ｌの少なくとも１の波長に対して光吸収率（または光透過率）が互いに異なっていて、且つ光透過性部材の方が光吸収性部材よりも透過し易ければよい。このため、光吸収性部材と光透過性部材は、光吸収率（または光透過率）が１００％より小さいものであってもよい。また、第１基板と第２基板とは、熱硬化性樹脂により作製されてもよい。

第１基板３０の上面（第２基板３１との接合面とは反対側の面であり、流路部材１３の上面）には、上述したように合計４個の液体導入継手１８と、合計２個の気体導入継手１９とが形成されている。また、第２基板３１の下面（第１基板３０との接合面とは反対側の面であり、流路部材１３の下面）には、合計４個の液体導出継手２０と、合計２個の気体導出継手２１とが、６個のヘッドユニット４の各々について個別に形成されている。

第１基板３０の接合面（第２基板３１と対向する面）には、各色のインクに対応する４条の液体流路３２と、２条の気体流路３３とが形成されている。各液体流路３２および各気体流路３３は、流路部材１３の長手方向である第２方向に沿って延在している。流路部材１３の短手方向である第１方向において、２条の気体流路３３を間に挟んで片側に２本ずつ両側で合計４本の液体流路３２が形成されている。つまり、流路部材１３の第１方向において、中央側に気体流路３３が配置され、これよりも外側に液体流路３２が配置されている。各液体流路３２は、それぞれ対応する液体導入継手１８に平面視で重なる位置に形成され、当該液体導入継手１８内に形成された液体導入路３５と連通するとともに、液体導出継手１９内に形成された液体導出路３７と連通する。同様に、各気体流路３３は、それぞれ対応する気体導入継手１９に平面視で重なるように形成され、当該気体導入継手１９内に形成された気体導入路３６と連通するとともに、気体導出継手２１内に形成された気体導出路３８と連通する。

流路部材１３において、液体導入路３５から流入したインクは、第２方向における一方と他方に分岐して、液体流路３２の両端部（第２方向の両端部）に向けて流れる。そして、液体流路３２の両端部に向けて流れるインクは、本実施形態においては合計６つの液体導出路３７から流出される。なお、液体導入路３５と液体導出路３７についての数と配置は、本実施形態で例示したものに限られるものではない。

ここで、図８に示されるように、液体流路３２の長手方向（第２方向）の両端を規定する両端面は、第１基板３０の上面側から下面側に向かうに連れて液体流路３２の長手方向の内寸が拡大する方向に傾斜した傾斜面４０となっている。このような傾斜面４０とすることにより、液体流路３２を第２方向に沿って流れるインクが傾斜面４０に案内されて、第２方向に並ぶ液体導出路３７のうちの両端に位置する各液体導出路３７に円滑に流れることができる。これにより、液体流路３２の両端においてインクが滞留することが抑制され、その結果、気泡の排出性を向上させることができる。

図９および図１０は、第１基板３０と第２基板３１との接合について説明する断面斜視図である。より具体的には、図９は液体導入継手１８の近傍における液体流路３２の接合構造を模式的に示し、図１０は液体導出継手２０の近傍における液体流路の接合構造を模式的に示している。なお、気体流路の接合構造も図９および図１０で示すものと概ね同様な構造となっている。また、図示されているヒケＳ（非接合部）については、接合部４１に生じる可能性があることを示すものであり、全ての接合部４１に必ず生じることを示すものではない。これらの液体流路３２および気体流路３３は、第１基板３０と第２基板３１が互いの接合面同士を接触させるように積層され、少なくともいずれか一方に形成された流路となる空部（例えば、溝や凹部）の開口周縁部を接合することによって画成される。すなわち、平面視において、液体流路３２および気体流路３３は、接合部４１によって周囲を囲まれることで当該接合部４１によって平面視における流路としての外形が規定されている。この流路空部の開口周縁部において第１基板３０および第２基板３１同士を接合する部分が接合部４１である。なお、接合前（溶着前）の段階では、接合部４１に対応する部分は、後述する接合予定部４２である。そして、接合予定部４２においてレーザー等の熱により樹脂が溶融された後、温度が下がることで当該部分が凝固することにより第１基板３０と第２基板３１とが溶着された部分が接合部４１である。したがって、接合部４１は、第１基板３０の樹脂と第２基板３１の樹脂とが熱により共に溶融して混じり合っている場合もある。そして、適宜、溶着前の接合予定部４２も含めて接合部４１と称する。

平面視において、液体流路３２および気体流路３３は、接合部４１によって周囲を囲まれている。上述したように、第１基板３０が光吸収性部材で構成される一方、第２基板３１は光透過性部材で構成されているので、第１基板３０と第２基板３１との接合時には、第２基板３１基板の表面からレーザー光が照射されて第１基板３０の接合部４１（接合予定部４２）に集光され、当該接合部４１が溶融された後、当該部分が凝固することにより溶着される。したがって、液体流路３２，３３を囲む接合部４１は、レーザー溶着による溶着面で構成されており、本発明における溶着部に相当する。

ここで、本実施形態における流路部材１３を構成する第１基板３０および第２基板３１のような樹脂製部品の成型の際には、表面の一部が窪んだようになる所謂ヒケ（非接合部に相当）Ｓが生じることがある。このヒケＳは、樹脂製部品自体が全体としてより厚肉になるほど生じやすく、また、同一の樹脂製部品において他の部分よりも厚肉な部分でより生じやすい。さらに、樹脂製部品のより中央部分においてヒケＳが生じやすい。厚肉部について定義すると、第１に、同一部材内で相対的に他の部分より厚い部分を意味する。例えば、第１基板３０において、継手１８，１９が形成された部分（継手１８，１９を形成している壁の延長上にある接合部４１）、もしくは、液体流路３２の長手方向（第２方向）の両端を規定する傾斜面４０（図８参照）、または、後述するナット収容部７０を区画する区画壁７２（図２０参照）等である。第２に、同一部材において流路を規定する部分（流路を区画する壁となる部分）のうち相対的に厚い部分を意味する。例えば、継手１８，１９が形成された部分や、液体流路３上記傾斜面４０等である。第３に、流路部材を構成する第１部材および第２部材のうちの一方の部材の流路を規定する部分よりも厚い、他方の部材の流路を規定する部分を意味する。例えば、一方の部材である第２基板３１の接合部４１に対応する部分よりも厚い、他方の部材である第１基板３０の接合部４１等である。第４に、流路部材を構成する第１部材および第２部材のうちの一方の部材の最も厚い部分よりも他方の部材の厚い部分である。例えば、後述するように一方の部材である第２基板５３の区画壁５３ｂよりも厚い、他方の部材である第１基板５２の厚肉部５４である（図１７参照）。これに対し、薄肉部とは、第１〜第４のそれぞれにおいて、厚肉部ではない部分を意味する。例えば、流路部材を構成する部材の接合面に沿った流路（継手内の流路を除く）を規定する部分の最も薄い部分である。あるいは、第２基板３１において継手２０，２１が形成されていない部分である。あるいは、後述するように第１基板５２において流路５７を規定する部分のうち、厚みが相対的に薄い薄肉部５５である（図１８参照）。

本実施形態においては、特に、第２基板３１よりも全体的に厚肉な第１基板３０において、液体導入継手１８や気体導入継手１９が複数密集して形成されている領域の中央部の接合部４１においてヒケＳが生じやすくなっている。このヒケＳが部品同士の接合面（界面）に生じた部分においては接合が不十分となる場合がある。そして、図９および図１０に示されるように、流路等を規定している接合部４１においてヒケＳが生じた場合、接合が不十分な部分から液体が漏れる等の不具合が生じてしまう問題があった。このような問題に鑑み、本実施形態における流路部材１３の製造方法では、接合部４１にヒケＳが生じている場合においても、第１基板３０および第２基板３１をより確実に接合することができるようにしている。以下、この点について説明する。

図１１から図１３は、流路部材１３の製造方法、主に、第１基板３０と第２基板３１との接合（溶着）について説明する工程図である。なお、これらの図においては、理解の容易のため第１基板３０および第２基板３１を模式的に図示している。各図において液体流路３２や気体流路３３となる部分を空部４３として示している。また、第１基板３０の接合面における空部４３の開口周縁部が、溶着された接合部４１となる部分である接合予定部４２である。そして、第１基板３０における中央部分に近い位置に設けられた接合予定部４２の端面（頂面）には、ヒケＳが生じている。以下、このような部分をヒケ発生部と称する。

まず、図１１に示されるように、第１基板３０と第２基板３１とが、互いの接合面を接触させた状態で積層されて支持台４４に載置される。支持台４４は、第１基板３０の第２基板３１側の接合面とは反対側の面を支持する。また、支持台４４に載置された状態の第２基板３１の第１基板３０との接合面とは反対側の面には、例えば、ガラス等の透光性を有する押圧板４５が配置される。これにより、積層された第１基板３０と第２基板３１は、支持台４４と押圧板４５とに挟まれた状態となる。押圧板４５は、図１１において白抜きの矢印で示されるように、第１基板３０と第２基板３１とが互いに近づく方向（積層方向）における支持台４４側に向けて第２基板３１を所定の力で押圧する。これにより、各接合予定部４２には、それぞれ黒矢印で示されるように、圧力が付与される。各接合予定部４２が同一面上に揃っているとして、接合前（溶着前）の段階では各接合予定部４２に付与される圧力は概ね均等となる。

上記の状態で、まず、複数並設された接合予定部４２のうち上記ヒケ発生部より最も遠い位置にある第１接合予定部４２ａに対して、押圧板４５および第２基板３１を透過してレーザー光Ｌが照射・集光されて、当該部分が熱により溶融する。レーザー光Ｌについては、第２基板３１の材料の吸収スペクトルや板厚（透過長）等に応じて適宜選択される。また、接合予定部４２へのレーザー光の照射は、一括照射でもよいし、レーザー光のスポットを接合予定部４２に沿って移動させる走査式であってもよい。なお、後の第２接合予定部４２ｂのようにヒケＳが生じている部分に対するレーザー光の照射を複数回に分けて行う場合、ヒケＳが生じている部分でレーザー光の照射を区切ることがないようにすることが望ましい。

第１接合予定部４２ａにレーザー光が照射された際に発生する熱は第２基板３１の第１接合予定部４２ａに対応する部分にも伝わり溶融する。そして、これらの部分が凝固（硬化）することにより、当該部分において第１基板３０と第２基板３１とが互いに溶着される（第１工程）。この第１接合予定部４２ａが溶融・硬化してなる第１接合部４１ａは、本発明における第１溶着部に相当する。この第１工程において、第１接合予定部４２ａにおける樹脂（第１基板３０の樹脂と第２基板３１の樹脂とを含む。以下、同様。）が溶融するので、第１接合予定部４２ａであった面の高さは、第２接合予定部４２ｂの面の高さよりも少し低くなる。このため、第１工程において、第１接合予定部４２ａの高さが低下するのに伴って第１接合予定部４２ａへ加わる圧力が、第１工程の開始当初の圧力よりも低下し、これに応じて第２接合予定部４２ｂに加わる圧力がその分だけ第１工程の開始当初の第１接合予定部４２ａおよび第２接合予定部４２ｂに加わる圧力よりも増加することになる（図１２の黒矢印参照）。これにより、第２接合予定部４２ｂにおいては上記圧力により樹脂部分が多少圧縮されて応力を有する状態となる。本実施形態においては、第１基板３０および第２基板３１は、押圧板４５と支持台４４との間に挟まれて概ねフラットな状態（第１基板３０および第２基板３１の本体の形状を維持した状態）に保たれる。つまり、接合予定部４２のような一部分の変形を除いて基板３０，３１の全体としては当初の形状を維持している。なお、第１接合部４１ａにおいて、溶融した樹脂の一部が流路となる空部４３に突出した形となる。この部分的に第１基板３０あるいは第２基板３１の本体（空部４３を画成している壁面）よりも空部４３側にはみ出た部分が第１はみ出し部４７ａである。

第１工程の後、第２接合予定部４２ｂに加わる圧力が増加した状態で、上記のヒケ発生部により近い位置にある第２接合予定部４２ｂに対してレーザー光Ｌが照射・集光されて、当該部分の樹脂が溶融された後、硬化することにより、当該部分において第１基板３０と第２基板３１とが互いに溶着される（第２工程）。この第２接合予定部４２ｂにおける樹脂が溶融・硬化してなる第２接合部４１ｂは、本発明における第２溶着部に相当する。この第２工程の開始当初において第２接合予定部４２ｂに加わる圧力は、第１工程の開始当初における第１接合予定部４２ａおよび第２接合予定部４２ｂに加わる圧力よりも大きくなるので、第２接合予定部４２ｂの端面にヒケＳが生じていた場合であっても、当該部分における第１基板３０と第２基板３１との密着力が高められる。そして、当該第２接合予定部４２ｂにレーザー光Ｌが照射・集光されて当該部分の樹脂が溶融すると、図１３に示されるように、ヒケＳが消失し（もしくは概ね無視できる程度に減少し）、その後硬化することで第２接合部４１ｂにおいて第１基板３０と第２基板３１とが溶着される。液体流路３２や気体流路３３となる空部４３がより確実に密閉された状態（液密性が確保された状態、気密性が確保された状態）で区画形成される。その結果、液体流路３２における液漏れや気体流路３３における空気漏れが抑制される。また、第１基板３０および第２基板３１は、押圧板４５と支持台４４との間に挟まれて概ねフラットな状態に保たれた状態で接合されるので、第１基板３０と第２基板３１との相対的な位置ずれが抑えられる。これにより、より高い位置精度で第１基板３０および第２基板３１が接合された流路部材１３を製造することができる。そして、このようにして形成された第２接合部４１ｂにおいても第１接合部４１ａと同様に、溶融した樹脂の一部が流路となる空部４３に突出した第２はみ出し部４７ｂが形成される。この第２はみ出し部４７ｂのはみ出し量ｗ２は、第１はみ出し部４７ａのはみ出し量ｗ１よりも大きくなる。つまり、第２はみ出し部４７ｂのはみ出し量ｗ２が、第１はみ出し部４７ａのはみ出し量ｗ１よりも大きいことから、第２接合部４１ｂの溶着時に加わった圧力が第１接合部４１ａの溶着時に加わった力よりも大きいことを示し、これにより、第２接合部４１ｂにおいて第１基板３０と第２基板３１とがより確実に溶着されていることになる。

上記製造方法における第１工程と第２工程は工程の相対的な順序を示すものであり、溶着すべき箇所である接合予定部４２の数が、図１１から図１３の場合よりも多い場合には、ヒケＳが生じやすい部分（構成部材の中央部、厚肉部、あるいは継手）からより遠い位置の接合予定部４２から順に上記の第１工程と第２工程とが繰り返される。すなわち、図５から図７の各図で説明すると、各流路３２，３３の並設方向（第１方向）における最も外側に位置する第１接合部４１ａから、第２接合部４１ｂ、第３接合部４１ｃ、および第４接合部４１ｄの順で溶着工程が行われる。この場合、例えば、第３接合部４１ｃに対して溶着を行う時点では、これよりもひとつ前の第２接合部４１ｂ（第１接合部）の溶着工程が第１工程であり、第３接合部４１ｃ（第２接合部）についての溶着工程が第２工程である。なお、図５から図７においては便宜上ヒケＳが接合部４１に生じている状態としているが、本製造方法により流路部材１３が製造された場合には、このヒケＳは殆ど残らない。このように、ヒケＳが生じやすい部分（構成部材の中央部、厚肉部、あるいは継手）の接合部４１において第１部材と第２部材とをより確実に溶着することができる。このため、接合部４１にヒケＳが存在した場合であっても、第１部材（第１基板３０）と第２部材（第２基板３１）とで規定される流路がより確実に密閉された状態で区画形成される。また、各接合部４１（接合予定部４２）の位置関係では、第１工程の溶着において形成される複数の接合部４１（第１接合部）が、第２工程の溶着において形成される接合部４１（第２接合部）を挟む位置に設けられる。これにより、第１工程における複数の第１接合部に溶着に伴って第２接合部に作用する力がより大きくなるので、ヒケＳが生じやすい第２接合部でさらに確実に溶着することができる。

さらに、本実施形態においては、第１基板３０と第２基板３１との積層方向において、第２基板３１の各流路３２，３３を規定する部分（流路３２，３３と対向する部分）の厚みは、第１基板３０の各流路３２，３３を規定する部分の厚みよりも薄いので、ヒケＳが生じやすい部分を第１基板３０に集中させることができる。このため、第１基板３０および第２基板３１の両方にヒケが生じやすい部分を設ける場合と比較すると、第１接合部および第２接合部を設けるべき位置がより明確となり、各接合部４１および流路３２，３３のレイアウトが容易となる。なお、溶着方法に関し、本実施形態においては、光透過性材料の第２基板３１を第１基板３０よりも全体的に薄くすることにより、レーザー光に対する透過性を向上させることもできる。ただし、レーザー光による溶着を例示したが、これには限られず、超音波を利用して溶着方法を採用することも可能である。この場合には、第１基板３０に関しては必ずしも光吸収性部材でなくてもよく、同様に、第２基板３１に関しては必ずしも光透過性部材でなくてもよい。また、本実施形態においては、第２基板３１よりも第１基板３０にヒケＳが生じやすい部分を設けることにより、例えば液体導入継手１８内の液体導入路３５の径を、液体導出継手２０内の液体導出路３７の径よりも大きくしたり、気体導入継手１９内の気体導入路３６の径を、気体導出継手２１内の気体導出路３８の径よりも大きくしたりしやすい。それにより、液体導出路３７や気体導出路３８に分岐する前の液体導入路３５や気体導入路３６における圧力損失を低減させることができる。

図１４から図１６は、流路部材１３の製造方法（第１基板３０と第２基板３１との接合）の変形例について説明する工程図である。本変形例においては、積層された第１基板３０および第２基板３１が押圧板４５により押圧されることなく溶着が行われる点で、上記の製造方法と異なっている。すなわち、図１４に示されるように、第１基板３０と第２基板３１とが、互いの接合面を接触させた状態で積層されて支持台４４に載置される。この状態で、まず、複数並設された接合予定部４２のうち上記ヒケ発生部より最も遠い位置にある第１接合予定部４２ａにおいて第１基板３０と第２基板３１とが互いに溶着される（第１工程）。レーザー光の照射時には、第２基板３１の接合面とは反対側の面から第１接合予定部４２に向けて圧力が加えられる（図１４中、黒矢印）。これに応じて第２接合予定部４２ｂにも多少圧力が加わるが、当該圧力は積極的に付与されるものではない。

第１工程において第１接合予定部４２ａにおける樹脂が溶融・硬化してなる第１接合部４１ａは、本発明における第１溶着部に相当する。この第１工程において、第１接合予定部４２ａにおける樹脂が溶融するので、第１接合予定部４２ａであった部分の面の高さは、第２接合予定部４２ｂの面の高さよりも少し低くなる。これにより、第１基板３０が撓んだ状態となり、第２工程においてレーザー光の照射時に接合予定部４２ｂに加えられる押圧力と第１基板３０の元のフラットな状態に戻ろうとする復元力との基板積層方向の合力が第２接合予定部４２ｂに加わる。これにより、当該第２接合予定部４２ｂに加わる圧力が、第１工程の開始当初の圧力よりも増加することになる（図１５の黒矢印参照）。本変形例においても、第１接合部４１ａにおいて、溶融した樹脂の一部が空部４３に突出した第１はみ出し部４７ａが形成される。

第１工程の後、第２接合予定部４２ｂに加わる圧力が増加した状態で、上記のヒケＳ発生部により近い位置にある第２接合予定部４２ｂにおいて第１基板３０と第２基板３１とが互いに溶着される（第２工程）。この第２接合予定部４２ｂにおける樹脂が溶融・硬化してなる第２接合部４１ｂは、本発明における第２溶着部に相当する。このように、第１工程において第１基板３０および第２基板３１が第１接合予定部４２ａ（第１接合部４１ａ）で溶着されることで、これらの基板３０，３１のうちの少なくとも一方が撓んだ状態とされ、第２工程において第１基板３０および第２基板３１が第２接合予定部４２ｂ（第２接合部４１ｂ）で溶着されることで撓んだ基板の撓みが減少される（元のフラットの状態に近づく）ように第１基板３０と第２基板３１とが接合される。これにより、第２工程の開始当初において第２接合予定部４２ｂに加わる圧力は、撓んだ基板の復元力の分だけ第１工程の開始当初における第１接合予定部４２ａおよび第２接合予定部４２ｂに加わる圧力よりも大きくなるので、第２接合予定部４２ｂにヒケＳが生じていた場合であっても、第２接合予定部４２ｂにレーザー光Ｌが照射・集光されて当該部分の樹脂が溶融すると、ヒケＳが消失または減少し、その後硬化することで第２接合部４１ｂにおいて第１基板３０と第２基板３１とが溶着されて、液体流路３２や気体流路３３となる空部４３がより確実に密閉された状態で区画形成される。その結果、液体流路３２における液漏れや気体流路３３における空気漏れが抑制される。そして、このようにして形成された第２接合部４１ｂにおいても第１接合部４１ａと同様に、溶融した樹脂の一部が空部４３に突出した第２はみ出し部４７ｂが形成される。この第２はみ出し部４７ｂのはみ出し量は、第１はみ出し部４７ａのはみ出し量よりも大きくなる。このような流路部材１３を備える記録ヘッド３およびプリンター１においては、液体流路３２における液漏れや気体流路３３における空気漏れのおそれが少ないので、信頼性が向上する。

図１７は、第２の実施形態における流路部材５１の構成を説明する断面図である。本実施形態における第１基板５２（本発明における第１部材の一種）は、全体として第２基板５３よりも厚く、さらに、厚みが相対的に厚い厚肉部５４と、厚みが相対的に薄い薄肉部５５とを有している。これに対し、第２基板５３（本発明における第２部材の一種）は、基板本体部５３ａと、基板本体部５３ａの接合面（第１基板５２と対向する面）側から第１基板５２側に向けてそれぞれ延出した区画壁５３ｂとを有している。区画壁５３ｂは、第２方向に沿って延在する壁であり、第１方向に互いに間隔を空けて複数（本実施形態においては区画壁５３ｂ１〜５３ｂ４の合計４つ）設けられている。また、この第２方向に沿った区画壁５３ｂの他、基板本体部５３ａの接合面の第２方向における両縁から第１基板５２側に向けてそれぞれ延出した図示しない終端壁も延出されている。この終端壁は、流路５７の第２方向における端を規定する壁である。基板本体部５３ａの接合面側の面から区画壁５３ｂの端面までの長さ（基板本体部５３ａの接合面側の面から終端壁の端面までの長さ）は、第１基板５２の接合面（第２基板５３と対向する面）における厚肉部５４と薄肉部５５との高低差に揃えられている。第２区画壁５３ｂ２と第３区画壁５３ｃとの間隔は、これらの間に第１基板５２の厚肉部５４が配置される分だけ、第１区画壁５３ｂ１と第２区画壁５３ｂ２との間隔、または、第３区画壁５３ｂ３と第４区画壁５３ｂ４との間隔よりも大きく設定されている。すなわち、第１区画壁５３ｂ１と第２区画壁５３ｂ２とは、第１流路５７ａを区画するための壁であり、また、第２区画壁５３ｂ２は、第１基板５２の厚肉部５４との間で、第２流路５７ｂを区画するための壁でもある。同様に、第３区画壁５３ｂ３と第４区画壁５３ｂ４とは、第４流路５７ｄを区画するための壁であり、また、第３区画壁５３ｂ３は、第１基板５２の厚肉部５４との間で、第３流路５７ｃを区画するための壁でもある。この第２基板５３において最も厚い部分である各区画壁５３ｂでの厚みは、第１基板５２における厚肉部５４における厚さよりも薄くなっている。

そして、第１基板５２において、第２基板５３の第１区画壁５３ｂ１の端面および第４区画壁５３ｂ４の端面とそれぞれ当接する部分が第１接合部５６ａである。同様に、第１基板５２において、第２基板５３の第２区画壁５３ｂ２の端面および第３区画壁５３ｂ３の端面とそれぞれ当接する部分が第２接合部５６ｂである。そして、第２基板５３の基板本体部５３ａの接合面と当接する第１基板５２における厚肉部５４の端面が第３接合部５６ｃとなっている。これらの第１基板５２と第２基板５３とが各接合部５６で接合されることにより、流路部材６６の内部に流路５７ａ〜５７ｄが画成される。本実施形態においては、厚肉部５４からの距離に関し、第１接合部５６ａが最も長く、第３接合部５６ｃが最も短く、第２接合部５６ｂがこれらの中間の距離となっている。本実施形態においては、各流路５７の並設方向（第１方向）における最も外側に位置する第１接合部５６ａと、これよりも１つ内側（中央部側）に位置する第２接合部５６ｂと、により規定される第１流路５７ａおよび第４流路５７ｄが、液体用の流路として用いられ、第２接合部５６ｂと第３接合部５６ｃとにより規定される第２流路５７ｂおよび第３流路５７ｃが、気体用の流路として用いられる。

本実施形態においては、厚肉部５４の頂面においてヒケＳが生じやすい。このため、第１基板５２と第２基板５３との接合の際には、第１の実施形態（または変形例）と同様に、まず、厚肉部５４からより遠い位置にある第１接合部５６ａに対しレーザーあるいは超音波により溶着が行われ、次に、第２接合部５６ｂに対して溶着が行われる。その後、第３接合部５６ｃに対して溶着が行われる。本実施形態においても、第２工程（第１接合部５６ａ（第１溶着部）の溶着工程（第１工程）の後の第２接合部５６ｂ（第２溶着部）の溶着工程、または、第２接合部５６ｂ（第１溶着部）の溶着工程（第１工程）の後の第３接合部５６ｃ（第２溶着部）の溶着工程）の開始当初において第２溶着部に加わる圧力は、第１工程における第１溶着部の樹脂部の溶融に伴って第１工程の開始当初における第１溶着部および第２溶着部に加わる圧力よりも大きくなるので、厚肉部５４の端面にヒケＳが生じていた場合であっても、第１基板５２と第２基板５３とがより確実に接合され、流路５７がより確実に密閉された状態で区画形成される。その結果、流路５７における液漏れ等が抑制される。また、本実施形態において、厚肉部５４と薄肉部５５とは、第１基板５２において第１方向に沿って配置され、第１溶着部と第２溶着部とは、第１基板５２において第１方向に沿って配置されている。すなわち、厚肉部５４と薄肉部５５との並び方向と、第１溶着部および第２溶着部（接合部５６ａ〜５６ｃ）の並び方向とが揃っているので、ヒケＳが生じやすい部分および溶着部（接合部５６）について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、ヒケＳが生じやすい厚肉部５４と第２溶着部との距離に応じて、厚肉部５４と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、本実施形態のように、第２溶着部と厚肉部５４との距離を、第１溶着部と厚肉部５４との距離よりも短くしやすい。そして、本実施形態においても、第１接合部５６ａと第２接合部５６ｂと第３接合部５６ｃとに、それぞれ流路５７側に突出したはみ出し部５８ａ，５８ｂ，５８ｃが形成される。これらのはみ出し部５８ａ，５８ｂ，５８ｃのはみ出し量ｗ１，ｗ２，ｗ３の大きさについては、ｗ１＜ｗ２＜ｗ３となる。すなわち、第１接合部５６ａ、第２接合部５６ｂ、および第３接合部５６ｃの順に溶着時に加わった力が大きいことを示し、これにより、ヒケＳが最も生じやすい第３接合部５６ｃにおいて第１基板５２と第２基板５３とがより確実に溶着されていることになる。また、はみ出し量が比較的大きい流路５７ｂ，５７ｃには、気体流路が割り当てられているので、はみ出し部４７による気泡の付着等の問題が生じる可能性がある液体用の流路５７ａ，５７ｄと比較して当該はみ出し部４７による不具合のおそれがない。なお、他の構成については、第１の実施形態と同様である。

図１８は、第３の実施形態の流路部材５９の構成を説明する断面図である。本実施形態における第１基板６０（本発明における第１部材の一種）は、全体として第２基板６１よりも厚く、さらに、一方の面（第２基板６１との接合面とは反対側の面）から突出すると共に、互いに第１方向に並ぶ２本の継手６２ａ，６２ｂを有している。これらの継手６２ａ，６２ｂは、第１基板６０と第２基板６１とにより規定される流路６３ａ〜６３ｄのうちの第２流路６３ｂおよび第３流路６３ｃにそれぞれ連通する。これらの第１基板６０と第２基板６１とが各接合部６４で接合されることにより、流路部材５９の内部に流路６３ａ〜６３ｄが画成される。このように、本実施形態においては、２本の継手６２の中央からの距離に関し、第１接合部６４ａが最も長く、第３接合部６４ｃが最も短く、第２接合部６４ｂがこれらの中間の距離となっている。本実施形態においては、各流路６３の並設方向（第１方向）における最も外側に位置する第１接合部６４ａと、これよりも１つ内側（中央部側）に位置する第２接合部６４ｂと、により規定される第１流路６３ａおよび第４流路６３ｄが、液体用の流路として用いられ、第２接合部６４ｂと第３接合部６４ｃとにより規定される第２流路６３ｂおよび第３流路６３ｃが、気体用の流路として用いられる。

本実施形態においては、継手６２の近傍である第３接合部６４ｃにおいてヒケＳが生じやすい。このため、第１基板６０と第２基板６１との接合の際には、第１の実施形態（または変形例）と同様に、まず、継手６２からより遠い位置にある第１接合部６４ａに対しレーザーあるいは超音波により溶着が行われ、次に、第２接合部６４ｂに対して溶着が行われ、最後に第３接合部６４ｃに対して溶着が行われる。本実施形態においても、第２工程（第１接合部５６ａ（第１溶着部）の溶着工程（第１工程）の後の第２接合部５６ｂ（第２溶着部）の溶着工程、または、第２接合部５６ｂ（第１溶着部）の溶着工程（第１工程）の後の第３接合部５６ｃ（第２溶着部）の溶着工程）の開始当初において第２溶着部に加わる圧力は、第１工程における第１溶着部の樹脂部の溶融に伴って第１工程の開始当初における第１溶着部および第２溶着部に加わる圧力よりも大きくなるので、継手６２の近傍である接合部６４ｂにおいてヒケＳが生じていた場合であっても、第１基板６０と第２基板６１とがより確実に接合され、流路６３がより確実に密閉された状態で区画形成される。その結果、流路６３における液漏れ等が抑制される。また、本実施形態において、複数の継手６２と当該継手６２を有しない部分とは、第１基板６０において第１方向に沿って配置され、第１溶着部と第２溶着部とは、第１基板６０において第１方向に沿って配置されている。すなわち、複数の継手６２と当該継手６２を有しない部分との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向とが揃っているので、ヒケＳが生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、複数の継手６２の中央（すなわち、ヒケＳが生じやすい部分）と第２溶着部との距離に応じて、継手６２の中央と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、本実施形態のように、第２溶着部と継手６２の中央との距離を、第１溶着部と継手６２の中央との距離よりも短くしやすい。そして、本実施形態においても、本実施形態においても、第１接合部６４ａと第２接合部６４ｂと第３接合部６４ｃとに、それぞれ流路６３側に突出したはみ出し部６５ａ，６５ｂ，６５ｃが形成される。これらのはみ出し部６５ａ，６５ｂ，６５ｃのはみ出し量ｗ１，ｗ２，ｗ３の大きさについても、ｗ１＜ｗ２＜ｗ３となる。すなわち、第１接合部６４ａ、第２接合部６４ｂ、および第３接合部６４ｃの順に溶着時に加わった力が大きいことを示し、これにより、ヒケＳが最も生じやすい第３接合部６４ｃにおいて第１基板６０と第２基板６１とがより確実に溶着されていることになる。また、はみ出し量が比較的大きい流路６３ｂ，６３ｃには、気体流路が割り当てられているので、はみ出し部６５による気泡の付着等の問題が生じる可能性がある液体用の流路６３ａ，６３ｄと比較して当該はみ出し部６５による不具合のおそれがない。なお、他の構成については、第１の実施形態と同様である。

図１９および図２０は、第４の実施形態における流路部材６６の構成を説明する図であり、図１９は第１基板６７の下面図（接合面）、図２０は図１９におけるＦ−Ｆ線断面図である。本実施形態における流路部材６６は、上記流路部材１３の液体流路３２や気体流路３３と同様な流路６９を複数備える他に、当該流路部材６６の固定に係るナット（固定部材の一種）が収容されるナット収容部７０（本発明における収容部の一種）が設けられている。このナット収容部７０は、ナットの形状（すなわち平面視で六角形）に倣った凹部７０ａと、ナットに対応するボルトの軸が挿通される挿通孔７０ｂと、を有し、周囲を区画壁７２により囲まれた部分である。本実施形態においては、第１基板６７（本発明における第１部材の一種）において流路６９の並設方向（第１方向）の両側の縁部からそれぞれ突出した合計４つの突出部７３にナット収容部７０が形成されている。また、第１基板６７において流路６９の並設方向の中央側であって、突出部７３のナット収容部７０とは第２方向において異なる位置にも、第１基板６７の長手方向（第２方向）に間隔を空けて合計４つのナット収容部７０が形成されている。そして、第１基板６７における接合面においてナット収容部７０の周縁部、すなわち、区画壁７２の下面は、第２基板６８との溶着に係る接合部７１となっている。本実施形態においては、各流路６９ａ〜６９ｄおよびナット収容部７０の並設方向（第１方向）における最も外側に位置する第１接合部７１ａと、これよりも１つ内側（中央部側）に位置する第２接合部７１ｂと、により規定される第１流路６９ａおよび第４流路６９ｄが、液体用の流路として用いられる。また、第３接合部７１ｃと第４接合部７１ｄとにより規定される第２流路６９ｂおよび第３流路６９ｃが、気体用の流路として用いられる。

上記ナット収容部７０は、ナットおよびボルトにより流路部材６６を固定対象に固定する際に比較的大きな力が作用するため、それに応じた強度が要求される。このため、このナット収容部７０においても第１基板６７と第２基板６８（本発明における第２部材の一種）との接合時により確実に溶着されることが望ましい。ここで、第１基板６７における各ナット収容部７０のうち、第１方向における外側に位置するナット収容部７０（突出部７３に形成されたナット収容部）よりも、第１方向における中央側に位置するナット収容部７０の近傍において上記のヒケＳが生じやすい。より具体的には、図２０において、中央部のナット収容部７０の周縁部に位置する第４接合部７１ｄにおいてヒケＳが生じやすい。このため、本実施形態においても、流路６９の並設方向（第１方向）における最も外側に位置するナット収容部７０の周縁部の第１接合部７１ａから、第２接合部７１ｂ、第３接合部７１ｃ、第４接合部７１ｄの順で溶着工程が行われる。これにより、ナット収容部７０の周縁部における第４接合部７１ｄにヒケＳが生じていた場合であっても、ナット収容部７０の周縁部がより確実に溶着されるとともに、流路６９がより確実に密閉された状態で区画形成される。その結果、ナット収容部７０について必要な接合強度をより確実に確保することができる。また、流路６９とナット収容部７０との間の接合部７１がより確実に溶着されるので、例えば、流路６９の液体が、ナット収容部７０側に漏れ出して流路部材１３の外部に拡散していくことが抑制される。

また、本実施形態において、ナット収容部７０と当該ナット収容部７０を有しない部分とは、第１基板６７において第１方向に沿って配置され、第１溶着部と第２溶着部とは、第１基板６７において第１方向に沿って配置されている。すなわち、ナット収容部７０と当該ナット収容部７０を有しない部分との並び方向と、第１溶着部と第２溶着部との並び方向とが揃っているので、ヒケＳが生じやすい部分および溶着部について溶着すべき順番が明確となり、溶着工程が容易となる。また、ヒケＳが生じやすいナット収容部７０と第２溶着部との距離に応じて、ナット収容部７０と第１溶着部との距離を変えやすい。例えば、本実施形態のように、第２溶着部とナット収容部７０との距離を、第１溶着部とナット収容部７０との距離よりも短くしやすい。そして、本実施形態においても、図示しないが、各接合部７１においてはみ出し部が形成され、各はみ出し部のはみ出し量は、中央部のナット収容部７０に近いほど大きくなる。なお、他の構成については、第１の実施形態と同様である。

図２１から図２３は、第５の実施形態における圧力調整部材７５（本発明における流路部材の一種）の構成を説明する図であり、図２１は、圧力調整部材７５の一側面図、図２２は、圧力調整部材７５の上面図、図２３は、圧力調整部材７５の他側面図である。この圧力調整部材７５は、インクカートリッジ等のインク供給源からヘッドユニットに供給するインクの供給圧を調整する部材であり、互いに独立した２系統の液体流路を有している。これらの液体流路は、ケーシング７７に設けられた液体流入口７９と液体流出口８０とを連通する流路であり、途中には流路室８２と圧力調整室８３とをそれぞれ有している。

本実施形態における圧力調整部材７５は、第１流路に対応する可撓フィルム８６aおよび蓋部材８７ａと、第２流路に対応する可撓フィルム８６ｂおよび蓋部材８７ｂとをケーシング７７に接合した流路部材である。ケーシング７７は、第１の実施形態における第１基板３０と同様にレーザー光に対して吸収性を有する熱可塑性樹脂の射出成形で形成されている。このケーシング７７の上面に、第１流路および第２流路の液体流入口７９がそれぞれ形成され、ケーシング７７の下面に第１流路および第２流路の液体流出口８０がそれぞれ形成されている。

第１流路の蓋部材８７ａと第２流路の可撓フィルム８６ｂとがケーシング７７の一側面に接合され、第１流路の可撓フィルム８６ａと第２流路の蓋部材８７ｂとがケーシング７７の他側面に接合されている。可撓フィルム８６は、透光性を有するとともに可撓性を有する薄手の素材である。また、蓋部材８７は、第１の実施形態における第２基板３１と同様に光透過性を有する熱可塑性樹脂から作製された板材である。可撓フィルム８６と蓋部材８７とはケーシング７７を挟んで相互に対向するように配置されている。以下、第１流路に対応する構成と、第２流路に対応する構成とは、回転対象の関係にあるため、一方の流路に対応する構成について説明する。

ケーシング７７の蓋部材８７で被覆される領域には、流路室８２となる凹部と、導出流路８８となる溝部と、第１固定部８９と、第２固定部９０と、が形成されている。流路室８２および導出流路８８は、ケーシング７７の側面より窪んだ部分である。流路室８２は液体流入口７９に連通し、導出流路８８のうちケーシング７７の底面側の端部は液体流出口８０に連通する。これに対し、第１固定部８９および第２固定部９０は、ケーシング７７の側面から突出した部分である。第１固定部８９は、蓋部材８７の外形に倣って流路室８２および導出流路８８の外側を囲繞するように環状に形成された溶着用の突起である。第２固定部９０も同様に溶着用の突起であり、第１固定部８９よりも内側において第１流路室８２の開口周縁および導出流路８８の開口周縁に沿って形成されている。そして、蓋部材８７はこれらの固定部８９，９０の端面に接合され、これにより、蓋部材８７とケーシング７７に形成された凹部とにより流路室８２および導出流路８８が画成されている。固定部８９に対する蓋部材８７の接合には、後述するように固定部８９をレーザー光Ｌの照射で溶融させて蓋部材８７を接合するレーザー溶着が採用される。

上記流路室８２の内側には、液体流路を流れるインクを濾過して気泡や異物を捕集するフィルター８４が設置される。このフィルター８４は、流路室８２の周囲の第２固定部９０の端面よりもケーシング７７の反対側面に落ち窪んだ部分に配置されている。このため、第２固定部９０に接合された蓋部材８７とフィルター８４との間には、インクが通過可能な間隙が設けられている。また、流路室８２の底部には、当該流路室８２と反対側面の圧力調整室８３とを連通する連通口９１が形成されている。

流路室８２とは反対側面に形成されている圧力調整室８３は、流路室８２と導出流路８８との間に形成された空間であり、ケーシング７７の側面から窪んだ平面視で円形状の凹部が可撓フィルム８６で封止されることにより形成されている。可撓フィルム８６で被覆される領域には、圧力調整室８３となる凹部の開口周縁に沿って環状に形成された第３固定部９５が設けられている。この第３固定部９５の端面に可撓フィルム８６がレーザー又は超音波により溶着されている。圧力調整室８３と流路室８２との間には圧力調整機構９２が設置される。この圧力調整機構９２は、圧力調整室８３内の圧力（負圧）に応じて可撓フィルム８６が変形するのに連動して流路室８２から連通口９１を通じて圧力調整室８３へのインクの流通・遮断を切り替える弁機構である。圧力調整機構９２が連通口９１を開放することで流路室８２から連通口９１を通じて圧力調整機構９２へのインクの流通を許容すると、圧力調整室８３に流入したインクが導出口９３から導出流路８８に流れ、当該導出流路８８に連通する液体流出口８０からヘッドユニット側に供給される。すなわち、圧力調整部材７５においては、液体流入口７９、流路室８２、導出流路８８、連通口９１、圧力調整室８３、導出口９３、導出流路８８、および液体流出口８０という経路でインクを流通させる２系統の液体流路が形成されている。

上記構成におけるケーシング７７の成型の際においても、上記第１の実施形態における第１基板３０と同様に、表面が部分的に窪んだヒケＳが生じることがある。より具体的には図２１または図２３において、第２固定部９０のＸで示される部分でヒケＳが生じやすい。この第２固定部９０は、流路室８２および導出流路８８の液密性に係る重要な部分であるため、この第２固定部９０においてケーシング７７と蓋部材８７とをより確実に接合する必要がある。本実施形態においては、ケーシング７７と蓋部材８７との接合の際には、第１の実施形態（または変形例）と同様に、まず、ヒケ発生部Ｘからより遠い位置にある第１固定部８９（本発明における第１溶着部の一種）に対しレーザーあるいは超音波により溶着が行われ（第１工程）、その後、第２固定部９０（本発明における第２溶着部の一種）に対して溶着がおこなわれる（第２工程）。この場合においても、第２工程の開始当初において第２固定部９０に加わる圧力は、第１工程における第１固定部８９の樹脂部の溶融に伴って、第１工程の開始当初における第１固定部８９および第２固定部９０に加わる圧力よりも大きくなるので、第２固定部９０にヒケＳが生じていた場合であっても、流路室８２および導出流路８８がより確実に密閉された状態で区画形成される。その結果、流路室８２および導出流路８８における液漏れが抑制される。また、本実施形態においては、第１固定部８９が設けられていることにより、万一、流路室８２または導出流路８８から液漏れが生じた場合においても、当該漏れ出したインクが外部に漏出することが第１固定部８９によって阻止される。なお、流路室８２または導出流路８８からの液漏れが生じる虞が無い場合には、第１固定部８９に関しては少なくとも第２固定部９０における接合を確実にするための機能を有すればよいため、必ずしも環状に閉じたものでなくてもよい。

そして、以上では、液体吐出ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド３（記録ヘッド３）を例に挙げて説明したが、本発明は、第１部材および第２部材を溶着により接合してなる流路部材を備えるものであれば、他の液体吐出ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材吐出ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材吐出ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物吐出ヘッド等を複数備える液体吐出ヘッドユニット、および、これを備える液体吐出装置にも本発明を適用することができる。

１...プリンター，２...記録媒体，３...記録ヘッド，４...ヘッドユニット，５...搬送機構，６...媒体支持部，７...装置本体，８...液体供給チューブ８...気体供給チューブ，１０...搬送ローラー，１３...流路部材，１４...圧力調整部材，１５...保護板，１６...ベース板，１８...液体導入継手，１９...気体導入継手，２０...液体導出継手，２１...気体導出継手，２２...取付孔，２３...液体流入口，２４...液体流出口，２６...ノズル，２７...供給口，３０...第１基板，３１...第２基板，３２...液体流路，３３...気体流路，３５...液体導入路，３６...気体導入路，３７...液体導出路，３８...気体導出路，４０...傾斜面，４１...接合部，４２...接合予定部，４３...空部，４４...支持台，４５...押圧板，４７...はみ出し部，５１...流路部材，５２...第１基板，５３...第２基板，５４...厚肉部，５５...薄肉部，５６...接合部，５７...流路，５８...はみ出し部，５９...流路部材，６０...第１基板，６１...第２基板，６２...継手，６３...流路，６４...接合部，６５...はみ出し部，６６...流路部材，６７...第１基板，６８...第２基板，６９...流路，７０...ナット収容部，７１...接合部，７２...区画壁，７３...突出部，７５...圧力調整部材，７６...液体流路，７７...ケーシング，７９...液体流入口，８０...液体流出口，８２...流路室，８３...圧力調整室，８４...フィルター，８６...可撓フィルム，８７...蓋部材，８８...導出流路，８９...第１接合部，９０...第２接合部，９１...連通口，９２...圧力調整機構，９３...導出口，９５...第３接合部

Claims (23)

1. 互いに積層された第１部材および第２部材の間に流路を有する流路部材の製造方法であって、
   互いに接するように積層された前記第１部材および前記第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、第１溶着部において前記第１部材および前記第２部材を互いに溶着する第１工程と、
   前記第１溶着部とは異なる位置の第２溶着部において前記第１部材および前記第２部材に対して積層方向に圧力を付与した状態で、前記第１部材および前記第２部材を互いに溶着する第２工程と、
   を含み、
   前記第２工程において前記第２溶着部に加わる圧力は、前記第１工程において前記第２溶着部に加わる圧力よりも大きいことを特徴とする流路部材の製造方法。
2. 前記第１工程において、前記第１部材の本体の形状と前記第２部材の本体の形状とを維持した状態で、前記第１溶着部へ加わる前記圧力が低下するに連れて前記第２溶着部へ加わる前記圧力が増加することを特徴とする請求項１に記載の流路部材の製造方法。
3. 前記第１工程において、前記第１部材および前記第２部材を前記第１溶着部で溶着することにより、前記第１部材または前記第２部材の少なくとも一方が撓んだ状態とし、
   前記第２工程において、前記第１部材および前記第２部材を前記第２溶着部で溶着することにより、前記一方の撓みを減少させることを特徴する請求項１に記載の流路部材の製造方法。
4. 前記第１部材は、厚肉部と薄肉部とを有し、
   前記第２溶着部と前記厚肉部との距離は、前記第１溶着部と前記厚肉部との距離よりも短いことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
5. 前記厚肉部と前記薄肉部とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
   前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項４に記載の流路部材の製造方法。
6. 前記第１部材は、前記流路と連通する継手を当該第１部材の一方の面から突出した状態で有し、
   前記第２溶着部は、前記第１溶着部よりも前記継手に近いことを特徴とする請求項１から請求項５の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
7. 複数の前記継手は、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
   前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項６に記載の流路部材の製造方法。
8. 複数の前記第１溶着部は、前記第２溶着部を間に挟む位置に設けられることを特徴とする請求項１から請求項７の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
9. 前記流路部材の固定に係る固定部材を収容する収容部を備え、
   前記第２溶着部は、前記第１溶着部よりも、前記収容部に近いことを特徴とする請求項１から請求項８の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
10. 前記収容部と当該収容部を有しない部分とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
    前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項９に記載の流路部材の製造方法。
11. 前記第１溶着部は、前記第２溶着部の周囲を囲むように形成されたことを特徴とする請求項１から請求項１０の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
12. 前記第１部材と前記第２部材との積層方向において、前記第２部材のうち前記積層方向に直交する平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みは、前記第１部材のうち前記平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１から請求項１１の何れか一項に記載の流路部材の製造方法。
13. 厚肉部と薄肉部とを有する第１部材と、
    前記第１部材に積層された第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
    前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
    を備え、
    前記溶着部は、前記厚肉部からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記厚肉部からの距離が相対的に短い第２溶着部と、を含み、
    前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする流路部材。
14. 前記厚肉部と前記薄肉部とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
    前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項１３に記載の流路部材。
15. 第１部材と、
    前記第１部材に積層された第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
    前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
    を備え、
    前記第１部材は、前記流路と連通する継手を一方の面から突出した状態で有し、
    前記溶着部は、前記継手からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記継手からの距離が相対的に短い第２溶着部とを含み、
    前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする流路部材。
16. 複数の前記継手は、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
    前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項１５に記載の流路部材。
17. 第１部材と、
    前記第１部材に積層された第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
    前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
    を備え、
    前記溶着部は、前記第１部材において、複数の第１溶着部と、当該複数の第１溶着部の間に位置する第２溶着部と、を含み、
    前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする流路部材。
18. 流路部材の固定に係る固定部材を収容する収容部を有する第１部材と、
    前記第１部材に積層された第２部材と、
    前記第１部材と前記第２部材とにより規定された流路と、
    前記第１部材と前記第２部材とが溶着された溶着部と、
    を備え、
    前記溶着部は、前記収容部からの距離が相対的に長い第１溶着部と、前記収容部からの距離が相対的に短い第２溶着部とを含み、
    前記第２溶着部のはみ出し量は、前記第１溶着部のはみ出し量よりも大きいことを特徴とする流路部材。
19. 前記収容部と当該収容部を有しない部分とは、前記第１部材において第１方向に沿って配置され、
    前記第１溶着部と前記第２溶着部とは、前記第１部材において前記第１方向に沿って配置されたことを特徴とする請求項１８に記載の流路部材。
20. 前記第１溶着部は、前記第２溶着部の周囲を囲むように形成されたことを特徴とする請求項１３から請求項１９の何れか一項に記載の流路部材。
21. 前記第１部材と前記第２部材との積層方向において、前記第２部材のうち前記積層方向に直交する平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みは、前記第１部材のうち前記平面に沿って延在する前記流路を規定する部分の厚みよりも薄いことを特徴とする請求項１３から請求項２０の何れか一項に記載の流路部材。
22. 請求項１３から請求項２１の何れか一項に記載の流路部材から液体を導入し、導入した液体をノズルから吐出することを特徴とする液体吐出ヘッド。
23. 請求項２２に記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出装置。

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