JP5358300B2 - 反射防止膜を有する光学素子及び医療用光学機器 - Google Patents
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Description
実施例1の光学素子1は、基板2に、五酸化二タンタル(Ta2O5)からなる高屈折層3と、酸化ケイ素(SiO2)からなる低屈折率層4と、五酸化二タンタルからなる高屈折率層5を積層し、その上に光学特性に影響を与えない程度の厚さの防汚コート(フッ素化合物)6を積層することにより形成されている。五酸化二タンタルの代わりに、二酸化ハフニウム(HfO2)を積層してもよい。
<2>実施例2
実施例2の光学素子1は、基板2に、五酸化二タンタル(Ta2O5)からなる高屈折層3と、酸化ケイ素(SiO2)からなる低屈折率層4と、五酸化二タンタルからなる高屈折率層5と酸化ケイ素からなる低屈折率層7とを積層し、その上に光学特性に影響を与えない程度の厚さの五酸化二タンタルからなる高屈折率層8及び防汚コート(フッ素化合物)6を積層することにより形成されている。五酸化二タンタルの代わりに、二酸化ハフニウム(HfO2)を積層してもよい。
2…基板
3、5…五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウム
4…二酸化ケイ素
6…フッ素化合物
Claims (5)
- ランタン系ガラス基板に、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層と、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折率層を積層し、その上に物理膜厚が1nm〜10nmの防汚コートを積層し、前記防汚コートは、パーフルオロメチルシラザン、フルオロアルキルシラン系化合物、パーフルオロヘキサン、パーフルオロポリメチルイソプロピル等のフッ素化合物であり、これらのフッ素化合物の複数種類がブレンドされていることを特徴とする光学素子。
- ランタン系ガラス基板に、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層と、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折率層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層を積層し、その上に物理膜厚が1nm〜10nmの五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウム及び防汚コートを積層し、前記防汚コートは、パーフルオロメチルシラザン、フルオロアルキルシラン系化合物、パーフルオロヘキサン、パーフルオロポリメチルイソプロピル等のフッ素化合物であり、これらのフッ素化合物の複数種類がブレンドされていることを特徴とする光学素子。
- 合成石英ガラス基板に、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層と、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折率層を積層し、その上に物理膜厚が1nm〜10nmの防汚コートを積層し、前記防汚コートは、パーフルオロメチルシラザン、フルオロアルキルシラン系化合物、パーフルオロヘキサン、パーフルオロポリメチルイソプロピル等のフッ素化合物であり、これらのフッ素化合物の複数種類がブレンドされていることを特徴とする光学素子。
- 合成石英ガラス基板に、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層と、五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウムからなる高屈折率層と、酸化ケイ素からなる低屈折率層を積層し、その上に物理膜厚が1nm〜10nmの五酸化二タンタル又は二酸化ハフニウム及び防汚コートを積層し、前記防汚コートは、パーフルオロメチルシラザン、フルオロアルキルシラン系化合物、パーフルオロヘキサン、パーフルオロポリメチルイソプロピル等のフッ素化合物であり、これらのフッ素化合物の複数種類がブレンドされていることを特徴とする光学素子。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の光学素子を有することを特徴とする医療用光学機器。
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