JP5353706B2 - 下型の製造方法 - Google Patents
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Description
11 基材
12 阻止層
13 表面層
14 被覆層
15 成形面
30 スパッタ装置
31 真空チャンバー
32 スパッタ電極
33 ターゲット
34 シャッター
35 回転軸
36 基材ホルダー
37 ヒーター
50 溶融ガラス滴
51 凹部
52 下面
53 隙間
54 ガラスゴブ
55 ガラス成形体
60 上型
63 ノズル
下型の基材11には、予め、製造するガラス成形体等に応じた所定の形状の成形面15を加工しておく(図2(a))。本発明においては、基材11の上に成膜された被覆層14に対して粗面化処理を行うため、被覆層14の成膜前に基材11を粗面化しておく必要はない。そのため、基材11の材料は、粗面化の容易性や、粗面化した場合の耐久性等を考慮することなく選択することができる。
次に、基材11の上に被覆層14を成膜する(成膜工程)。被覆層14は、阻止層12及び表面層13からなり、基材11の上に阻止層12を成膜(S11:図2(b))した後、阻止層12の上に更に表面層13を成膜する(S12:図2(c))。
次に、エッチングによって被覆層14の表面の粗面化を行う(粗面化工程S13)(図2(d))。上述の通り、本発明においては、エッチングレートの大きい表面層13の下にエッチングレートの小さい阻止層12が設けられているため、エッチングによって容易に微小な凹凸を形成できると共に、エッチングの影響が基材11にまで及ぶことを防止することができる。
ガラスゴブの製造方法について図8〜図10を参照しながら説明する。図8は、ガラスゴブの製造方法の1例を示すフローチャートである。また、図9、図10は本実施形態におけるガラスゴブの製造方法を説明するための模式図である。図9は下型に溶融ガラス滴を滴下させる工程(S22)における状態を、図10は、滴下した溶融ガラス滴を下型の上で冷却・固化する工程(S23)における状態を、それぞれ示している。
ガラス成形体の製造方法について図11〜図13を参照しながら説明する。図11は、ガラス成形体の製造方法の1例を示すフローチャートである。また、図12、図13は本実施形態におけるガラス成形体の製造方法を説明するための模式図である。図12は下型に溶融ガラス滴を滴下する工程(S33)における状態を、図13は、滴下した溶融ガラス滴を下型と上型とで加圧する工程(S35)における状態を、それぞれ示している。
図1に示すフローチャートに従って下型の製造を行った。基材11の材質は炭化珪素(SiC)、阻止層12及び表面層13の材質はクロム(Cr)とした。阻止層12及び表面層13の成膜はスパッタ法により行った。スパッタ装置は、図4に示した平行平板型のスパッタ装置を使用した。ターゲット33は直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用い、ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は65mmとした。
実施例1と同じ基材を用い、同様の条件でクロム膜の成膜を行った。但し、クロム膜の成膜の途中で成膜条件の変更は行わず、アルゴンガスの圧力は0.33Paで固定したまま、500Wの高周波電力を印加して、0.7μmのクロム膜を成膜した。
実施例1と同じ基材を用い、比較例1と同様に0.7μmのクロム膜を成膜した。但し、アルゴンガスの圧力は0.99Paで固定とした。その後、実施例1と同じ条件でエッチングを行った。算術平均粗さ(Ra)は0.01μm、粗さ曲線要素の平均長(RSm)は0.03μmであった。
実施例1と同様、図1に示すフローチャートに従って下型の製造を行った。基材11の材質はタングステンカーバイド(WC)、阻止層12及び表面層13の材質はクロム(Cr)とした。また、基材11と阻止層12の間に下地層として窒化チタン(TiN)膜を成膜し、被覆層14の密着性を向上させた。スパッタ装置は、スパッタ電極32及びターゲット33をそれぞれ2つずつ備え、2元同時スパッタが可能な装置を使用した。一方のターゲット33には直径152mm(6インチ)の窒化チタンターゲット、他方のターゲット33には直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用いた。ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は100mmとした。
実施例1、2と同様、図1に示すフローチャートに従って下型の製造を行った。基材11の材質はタングステンカーバイド(WC)、阻止層12及び表面層13の材質はクロム(Cr)とした。また、基材11と阻止層12の間に下地層としてチタン(Ti)膜を成膜し、被覆層14の密着性を向上させた。スパッタ装置は、パッタ電極32及びターゲット33をそれぞれ2つずつ備え、2元同時スパッタが可能な装置を使用した。一方のターゲット33には直径152mm(6インチ)のチタンターゲット、他方のターゲット33には直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用いた。ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は165mmとした。
実施例1と同様、図1に示すフローチャートに従って下型の製造を行った。基材11の材質はタングステンカーバイド(WC)、阻止層12及び表面層13の材質はクロム(Cr)とした。また、基材11と阻止層12の間に下地層として窒化チタン(TiN)膜を成膜し、被覆層14の密着性を向上させた。スパッタ装置は、スパッタ電極32及びターゲット33をそれぞれ2つずつ備え、2元同時スパッタが可能な装置を使用した。一方のターゲット33には直径152mm(6インチ)の窒化チタンターゲット、他方のターゲット33には直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用いた。ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は100mmとした。
実施例1と同様、図1に示すフローチャートに従って下型の製造を行った。基材11の材質はタングステンカーバイド(WC)、阻止層12及び表面層13の材質はクロム(Cr)とした。また、基材11と阻止層12の間に下地層として窒化チタン(TiN)膜を成膜し、被覆層14の密着性を向上させた。スパッタ装置は、スパッタ電極32及びターゲット33をそれぞれ2つずつ備え、2元同時スパッタが可能な装置を使用した。一方のターゲット33には直径152mm(6インチ)の窒化チタンターゲット、他方のターゲット33には直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用いた。ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は100mmとした。
実施例2〜5と同じ基材(WC)を用い、下型の製造を行った。但し、下地層、阻止層、表面層の成膜は行わず、基材面を直接エッチングした。しかし、エッチングレートを適切に制御できず、粗面の算術平均粗さ(Ra)は0.4μm、粗さ曲線要素の平均長(RSm)は0.6μmであった。
比較例3と同じ基材を用い、クロム膜の成膜を行った。スパッタ装置のターゲット33には直径152mm(6インチ)のクロムターゲットを用いた。ターゲット33と成膜面の間の距離(D)は65mmとした。
上記実施例1〜5及び比較例1〜3の合計8種類の条件で作製した下型10を用いて、図11に示すフローチャートに従ってガラス成形体の製造を行った。ガラス材料はTgが480℃のリン酸系ガラスを用いた。工程S31における加熱温度は、下型10が500℃、上型60が450℃とした。ノズル63の先端付近の温度は1000℃とし、約190mgの溶融ガラス滴50が滴下するように設定した。加圧の際の荷重は1800Nとした。
Claims (8)
- 上方より滴下した溶融ガラス滴を受けるための下型の製造方法において、
基材の上に、阻止層及び該阻止層の上に形成される表面層を含む被覆層を成膜する成膜工程と、
エッチングによって前記被覆層の表面を粗面化する粗面化工程と、を有し、
前記表面層は、前記阻止層よりも前記粗面化工程の際のエッチングレートが大きいことを特徴とする下型の製造方法。 - 前記粗面化工程において、前記表面層のエッチングレートは前記阻止層のエッチングレートの1.5倍以上、10倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の下型の製造方法。
- 前記成膜工程は、スパッタ法によって前記被覆層を成膜する工程であって、
前記表面層を成膜する際の成膜条件は、前記阻止層を成膜する際の成膜条件よりも、成膜面に到達するスパッタ粒子の有するエネルギーが小さくなる条件であることを特徴とする請求項1または2に記載の下型の製造方法。 - 前記表面層を成膜する際の成膜条件は、前記阻止層を成膜する際の成膜条件よりも、スパッタガスの圧力が高いことを特徴とする請求項3に記載の下型の製造方法。
- 前記阻止層と前記表面層とは、クロム、アルミニウム、及びチタンのうち少なくとも1つの元素を含むことを特徴とする請求項1から4のうちの何れか1項に記載の下型の製造方法。
- 前記阻止層と前記表面層とは、同じ構成元素からなることを特徴とする請求項1から5のうちの何れか1項に記載の下型の製造方法。
- 前記阻止層と前記表面層とは、成膜条件を連続的に変化させながら連続して成膜を行うことを特徴とする請求項6に記載の下型の製造方法。
- 前記粗面化工程は、前記被覆層の表面の算術平均粗さ(Ra)を0.01μm〜0.2μm、且つ、粗さ曲線要素の平均長(RSm)を0.5μm以下とする工程であることを特徴とする請求項1から7のうちの何れか1項に記載の下型の製造方法。
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