JP5352824B2

JP5352824B2 - 太陽電池の製造方法

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Publication number: JP5352824B2
Application number: JP2008187291A
Authority: JP
Inventors: 史朗川北; 一紀島崎
Original assignee: Japan Aerospace Exploration Agency JAXA
Current assignee: Japan Aerospace Exploration Agency JAXA
Priority date: 2007-07-20
Filing date: 2008-07-18
Publication date: 2013-11-27
Anticipated expiration: 2028-07-18
Also published as: JP2009049389A

Description

本発明は、ポリマーフィルム上に形成されたフレキシブルな太陽電池とその製造方法に関する。

光電変換を利用した高効率の太陽電池としては、吸収層としてCu(In,Ga)Se₂（CIGS）薄膜を用いた太陽電池が知られている。CIGS薄膜を含む太陽電池は、一般にガラス基板上に形成している。結晶性がよく、高効率のCIGS薄膜を得るには500℃以上の温度で成膜する必要がある。
一方、太陽電池は、軽量で、フレキシブルで自由に曲げることができるものが求められている。ポリマーフィルム上にCIGS薄膜を含む太陽電池を形成することにより、フレキシブルな太陽電池を得ることができる。しかし、ポリマーフィルムはCIGS薄膜を形成するのに最適な温度（500℃以上）まで耐えられない。例えば、ポリイミドフィルムは400℃以上の温度では変形し、化学的変化が起こる。そのため、ポリマーフィルム上にCIGS薄膜を形成する場合は、結晶性の良いCIGS薄膜を得るのに最適な温度より低い温度で形成しなければならない。そのため、ポリマーフィルム上に形成したCIGS薄膜は、光の変換効率が劣っていた。

また、CIGS薄膜の結晶性を向上し、高い効率を得るためにNaは重要な元素である。ガラス基板上にCIGS薄膜を形成する場合は、基板からCIGS薄膜へNaが拡散する。しかし、一般にポリマーフィルムはNaを含有していないので、ポリマーフィルム上にCIGS薄膜を形成する場合には、CIGS薄膜にNaが拡散していかない。そのため、ポリマーフィルム上に成膜した太陽電池は、ガラス基板上に形成した太陽電池と比較して、結晶性が良くなく、欠陥が多いため、光の変換効率が劣っていた。

そのため、変換効率が高く、軽量で、フレキシブルな太陽電池が望まれている。

特許文献１は、基板上に電極層を介して光吸収層としてのCIS又はCIGS系の薄膜を形成した太陽電池において、基板がナトリウム含有の第１の基板と高融点材料からなる第２の基板との結合体からなる太陽電池を開示する。第１の基板からNa成分が拡散して結晶成長を促し、高融点材料からなる第２の基板により、熱膨張による基板の反りを防止している。

しかし、特許文献１の太陽電池は、ガラス基板上に形成されたものであり、フレキシブルではない。

特開平１１−３１２８１７号

本発明の目的は、リフトオフ技術を使用して、変換効率が高く、しかも軽量で、フレキシブルな太陽電池を提供することである。また、そのような太陽電池の製造方法を提供することである。
また、本発明の別の目的は、太陽電池層の溶液成長のプロセスでは、リフトオフ層が溶解しないように保護し、品質の良いフレキシブルな太陽電池を得ることである。

本発明ではリフトオフ技術を使用する。リフトオフとは、半導体デバイスの任意の箇所に電極、絶縁膜等を形成するのに用いられる。フォトレジストを用いて、膜を形成したくない場所にレジスト膜を形成し、全面に蒸着した後、アセトン等の有機溶媒でレジストを溶解させ、レジストの上の薄膜も同時に剥離する技術である。
本発明では、塩化ナトリウム（NaCl）を利用してリフトオフを行う。NaClは、融点が約800℃と高いので、NaCl層上に別の薄膜を高温で成膜することができる。またNaClは無機材質なので高温真空中でもアウターガスを発生しにくい。また、NaClは水に溶解するので、特別な薬品を用いることなく、室温でNaClを水で溶解するので、上に形成された膜を容易に剥離することができる。リフトオフ層として、フッ化バリウム層を使用することもできる。

本発明では、ガラス基板上に、リフトオフ層（NaCl）を形成する。その上に太陽電池を形成する。太陽電池の上に透明フィルムをラミネートする。その後、太陽電池を含む積層体が形成されたガラス基板をエッチング溶液（NaClに対しては水）に浸漬し、リフトオフ層を溶解し、基板上の積層体をガラス基板からリフトオフする。その後、積層体の裏面にもポリマーフィルムをラミネートし、フレキシブルな太陽電池が形成される。

本発明の１態様は、太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上に、水に容易に溶解する材料でリフトオフ層を形成し、
(b) 前記リフトオフ層の上に太陽電池層を形成し、
(c) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(d) 前記(a)〜(c)により前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、ステップを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法である。

前記太陽電池層は、Mo層と、Cu(In,Ga)Se₂（CIGS）層と、バッファ層と、透明電極層とを備えることが好ましい。
バッファ層はCdS層であり、透明電極層はZnO層であることが好ましい。
これにより、高効率の太陽電池を得ることができる。

前記リフトオフ層は、塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層であることが好ましい。
これにより、塩化ナトリウム層からCIGS層へナトリウムを拡散させることができる。

前記リフトオフ層を形成した後、前記太陽電池層を形成する前に、前記リフトオフ層の上に、拡散防止層を形成するステップを備えることが好ましい。
前記拡散防止層は、二酸化珪素又はアルミナを含む酸化物層であることが好ましい。これにより、リフトオフ層からナトリウムその他の不純物の拡散を制御することができる。又は、前記拡散防止層は、モリブテン、銅、又はアルミニウムを含む金属層であることが好ましい。
拡散防止層に金属を使用すると、太陽電池の形状を維持するのに役立ち、また屈曲させても割れにくいという利点がある。

前記(a)ステップでリフトオフ層を形成した後、前記リフトオフ層の外周部を保護層で保護し、前記(b)ステップで前記太陽電池層を形成した後、前記保護層を除去するステップを備えることが好ましい。
前記(c)ステップで前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付けた後、前記保護層を除去することが好ましい。
前記保護層は、前記リフトオフ層の外周部と上部に形成する拡散防止層であることが好ましい。
前記保護層は、前記リフトオフ層を形成し、前記太陽電池層のうち前記Mo層と、前記CIGS層を形成した後に前記基板の外周部に塗布した接着材層であることが好ましい。
前記保護層を除去するステップは、前記積層体が形成されたガラス基板の外周部をカットすることにより行うことが好ましい。
これにより、太陽電池層の溶液成長のプロセスでは、リフトオフ層を保護し、リフトオフ工程で確実にリフトオフ層が溶解し、品質の良い太陽電池を得ることができる。

更に、前記積層体の前記二酸化珪素層の側に、接着剤を介してポリマーフィルムを貼り付けるステップを備えることが好ましい。
これにより、ポリマーフィルムに貼り付けたフレキシブルな太陽電池を得ることができる。

本発明の他の態様は、太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上面の外周部をマスキングして、前記ガラス基板の上に塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層からなるリフトオフ層を形成し、マスキング層を除去し、
(b) 前記リフトオフ層の上に前記リフトオフ層の外周部を含めて、拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上にMo層と、CIGS層と、バッファ層と、透明電極層とを有する太陽電池層を形成し、
(c) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(d) 前記太陽電池層の外周部をカットして、前記リフトオフ層の外周部が露出するようにし、
(e) 前記(a)〜(d)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備える太陽電池の製造方法である。

本発明の他の態様は、太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上に、塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層からなるリフトオフ層を形成し、
(b) 前記リフトオフ層の上に拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上に太陽電池層のうちMo層と、CIGS層とを形成し、
(d) 前記基板の外周部に接着材層からなる保護層を形成し、
(e) 前記CIGS層の上に、太陽電池層のうちバッファ層と、透明電極層を形成し、
(f) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(g) 前記保護層と前記太陽電池層の外周部をカットして、前記リフトオフ層の外周部が露出するようにし、
(h) 前記(a)〜(g)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備える太陽電池の製造方法である。

本発明の別の態様は、Mo層と、CIGS層と、バッファ層と、透明電極層とを含む太陽電池と、前記太陽電池の上側の接着剤層及び透明フィルム層と、下側の接着剤層及びポリマーフィルム層とを備え、全体が可撓性である太陽電池である。
バッファ層はCdS層であり、透明電極層はZnO層であることが好ましい。

本発明によれば、太陽電池のCIGS層をガラス基板上に形成するので、CIGS層を高温で形成することができる。また、リフトオフ層としてNaCl層を使用する場合は、ガラス基板上のNaCl層から、CIGS層の高品質化に重要な元素であるNaが、CIGS層に拡散する。そのため、本発明による太陽電池は、ポリマーフィルム上に形成した太陽電池と比較して、結晶性がよく、欠陥が少ない。そのため、高い変換効率を得ることができる。
また、本発明では通常のガラス基板上に太陽電池を形成するプロセスを使用するので、容易に変換効率の良いCIGS層を使用したフレキシブルな太陽電池を製造することができる。
また、太陽電池層の溶液成長のプロセスでは、NaCl層を保護し、その後保護層を除去してリフトオフするので、品質の良い太陽電池を得ることができる。

以下、本発明の実施の形態を説明する。本実施の形態では、吸収層としてCIGS層を用いた太陽電池について説明するが、本発明はCIGS層を用いた太陽電池に限定されず、色々の太陽電池に適用することができる。
図１Ａ〜Ｅは、本発明の第１の実施形態によるCIGS層を用いた太陽電池の製造プロセスを示す概略断面図である。

図１Ａを参照する。ガラス基板11を準備する。ガラス基板11としては、１ｍｍ厚さのソーダライムガラスを使用した。ガラス基板11上にリフトオフ層として塩化ナトリウム（NaCl）層12を蒸着する。NaCl層12の膜厚は、100μｍ以下が適している。蒸着は、室温で行った。後述するように、NaCl層12からCIGS層にNaが拡散する。
NaCl層12の代わりとして、融点が高く、高温真空中でアウターガスを発生しにくく、水に溶解し易いものであれば使用することができ、フッ化バリウム等を使用することができる。NaCl等の材料は耐熱性も高いので、NaCl等で形成されたリフトオフ層上には、真空蒸着法、スパッタリング法等により、膜を成形することができる。

不純物の拡散を防ぐため、NaCl層12の上に拡散防止層として二酸化珪素層（SiO₂層）13を形成してもよい。SiO₂層13は必須ではない。SiO₂層13は、蒸着、スパッタリング等により形成することができ、SiO₂層13の厚さは100μｍ以下が好ましい。SiO₂層13は、NaCl層12からCIGS層へNaが過剰に拡散することを防止する。拡散防止層としてSiO₂層の代わりに、アルミナ等の酸化物を用いることもできる。又は、拡散防止層として、モリブテン、銅、アルミニウム等の金属層を使用することもできる。金属層を使用すると、太陽電池を屈曲させても割れにくいという利点がある。

図１Ｂを参照する。SiO₂層13上に太陽電池層20を形成する。太陽電池層20は、基板11側から順にMo電極21と、CIGS層からなる光吸収層22と、CdSからなるバッファ層23と、ZnOからなる透明電極24とを有する。

太陽電池層20の形成方法を説明する。まず、SiO₂層13上にMo電極21を形成する。Mo電極21は、窒素をスパッタガスとして、RFスパッタ法により約１μｍの厚さに形成した。次に、吸収層としてCIGS層22を形成する。基板温度を550℃に上げた状態で、銅、インジウム、ガリウム、セレンを同時に蒸着して、CIGS層22を、約１μｍの厚さに成形した。CIGS22の組成は、Cu(In,Ga)Se₂であり、Cu、In、Ga、Seの原子数比は1：0.75：0.25：2であった。

蒸着以外に、スパッタリング法により太陽電池層20を形成することもできる。

CIGS層22の上にCdSバッファ層23を形成する。CdSバッファ層23は、ケミカルバスデポション法により約0.1μｍの厚さに形成した。バッファ層としては、CdS以外にZnOSOH等を使用することもできる。
次に、ZnO透明電極24を形成した。ZnO透明電極24は、窒素をスパッタガスとして、スパッタ法により約0.1μｍの厚さに形成した。透明電極としては、ZnO以外にITO等を使用することもできる。こうして、太陽電池層20が形成された。

図１Ｃを参照する。次に、太陽電池層20の上に接着剤15のついた透明なポリマーフィルム16を貼り付けた。接着剤15はシリコン系接着剤である。フィルム16は0.05ｍｍ厚さの透明テフロン（登録商標）フィルムを用いた。

図１Ｄを参照する。太陽電池層20と、接着剤15と、透明フィルム16とを含む積層体が形成されたガラス基板11を水に浸漬する。リフトオフ層であるNaCl層12が水に溶解し、SiO₂層13、太陽電池層20、接着剤15、ポリマーフィルム16からなる積層体がガラス基板11から剥離する（リフトオフ）。

図１Ｅを参照する。ガラス基板11からリフトオフしたSiO₂層13からポリマーフィルム16までの積層体のSiO₂層13の側に接着剤17を介してポリマーフィルム18を貼り付けた。本実施の形態では、ポリマーフィルム18はポリイミドフィルムとした。
こうして、両面にポリマーフィルム16,18を貼り付けたフレキシブルな太陽電池ができた。

図２Ａ〜Ｇは、本発明の第２の実施形態によるCIGS層を用いた太陽電池の製造プロセスを示す概略断面図である。太陽電池層20を形成する工程で溶液成長のプロセスがある。具体的には、ケミカルデポジション法によりCdSバッファ層23を形成するときである。このとき、リフトオフ層としてのNaCl層12が溶解して、太陽電池層20が剥離し易くなる。第２の実施形態は、NaCl層12の外周部を上に形成するSiO₂層13で保護することにより、NaCl層12が溶解しにくくする。

図２Ａを参照する。ガラス基板11の外周部をマスキングして、外周部を除いてNaCl層12を蒸着し、その後、マスキングを除去する。図２Ａには一方向の断面を示すが、これと直角方向の断面も外周部にはNaCl層12は形成されていない。
図２Ｂを参照する。NaCl層12の上に、NaCl層12の着いていないガラス基板11の外周部も含めて、SiO₂層13を蒸着する。これにより、NaCl層12の外周部はSiO₂の保護層13aで覆われ、露出していない。
図２Ｃに示す太陽電池層20（Mo電極21、CIGS層22、CdSバッファ層23、ZnO透明電極24）の形成は、第１の実施形態と同様である。CdSバッファ層23を形成するとき、NaCl層12は外周部のSiO₂の保護層13aにより保護されているので、溶解しにくい。

図２Ｄに示す接着剤15によるポリマーフィルム16の貼り付けは、第１の実施形態と同様である。
図２Ｅを参照する。太陽電池のNaCl層12の形成されていない外周部をカットする。カットする幅は、保護層13aの幅より若干広くして、NaCl層12の断面が確実に出るようにする。図２Ｅに示す断面と直角方向の断面についても同様にカットする。これにより、NaCl層12が外周部に露出し、リフトオフするときに、NaCl層12が確実に溶解するようになる。

図２Ｆに示すNaCl層12を水に溶解するリフトオフ工程は、第１の実施形態と同様である。
図２Ｇに示す接着剤17によるポリマーフィルム18の貼り付けは、第１の実施形態と同様である。
第２の実施形態では、CdSバッファ層23を形成するとき、NaCl層12を保護層13aで保護し、リフトオフするときは保護層13aがないので、NaCl層12が容易に溶解する。
第２の実施形態では、接着剤15によりポリマーフィルム16を貼り付けてから、外周部をカットした。保護層13aは、CdSバッファ層23を形成するときNaCl層12保護するため形成するので、外周部をカットするのは、CdSバッファ層23を形成した後であればよい。接着剤15によりポリマーフィルム16を貼り付ける前でもよい。

図３Ａ〜Ｇは、本発明の第３の実施形態によるCIGS層を用いた太陽電池の製造プロセスを示す概略断面図である。第３の実施形態は、NaCl層12の外周部に接着剤等の保護層25を形成することにより、NaCl層12が溶解しにくくする。

図３Ａに示すガラス基板11上へのNaCl層12と、SiO₂層13の蒸着は、第１の実施形態と同様である。
図３Ｂを参照する。太陽電池層20のうち、Mo電極21と、CIGS光吸収層22を形成する。
図３Ｃを参照する。NaCl層12と、SiO₂層13と、Mo電極21と、CIGS光吸収層22を形成した基板の外周部に保護層25を形成する。保護層25は例えば接着剤を塗布する。図３Ｃには一方向の断面を示すが、これと直角方向の断面にも保護層25を形成する。
CIGS光吸収層22を形成するときは高温（約550℃）になるので、保護層25を形成するのは、Mo電極21と、CIGS光吸収層22を形成した後が好ましい。
図３Ｄを参照する。次に、CdSバッファ層23を形成する。このとき、NaCl層12は外周部の保護層25により保護されているので、溶解しにくい。次に、ZnO透明電極24を形成する。

図３Ｅに示す接着剤15によるポリマーフィルム16の貼り付けは、第１の実施形態と同様である。
図３Ｆを参照する。太陽電池の外周部の保護層25と太陽電池の外周部をカットする。カットする幅は、保護層25の幅より若干広くして、NaCl層12の断面が確実に出るようにする。図３Ｆに示す断面と直角方向の断面についても同様にカットする。これにより、NaCl層12が外周部に露出し、リフトオフするときに、NaCl層12が確実に溶解するようになる。これにより、NaCl層12が外周部に露出し、リフトオフするときに、NaCl層12が溶解するようになる。

図３Ｇに示すNaCl層12を水に溶解するリフトオフ工程は、第１の実施形態と同様である。
図３Ｈに示す接着剤17によるポリマーフィルム18の貼り付けは、第１の実施形態と同様である。
第３の実施形態では、CdSバッファ層23を形成するとき、保護層25によりNaCl層12を保護し、リフトオフするときは、保護層25がないので、NaCl層12が容易に溶解する。
第３の実施形態では、接着剤15によりポリマーフィルム16を貼り付けてから、外周部をカットした。保護層25は、CdSバッファ層23を形成するときNaCl層12保護するため形成するので、外周部をカットするのは、CdSバッファ層23を形成した後であればよい。接着剤15によりポリマーフィルム16を貼り付ける前でもよい。

図４は、本発明の実施例によるCIGS層を用いた太陽電池の外観図である。太陽電池層20の上側にポリマーフィルム16が貼り付けられ、下側にポリイミドからなるポリマーフィルム18が貼り付けられている。ポリイミドフィルムは柔軟性があるので、CIGS薄膜を使用した太陽電池を曲面状に曲げることができる。

本発明を使用して、高性能でフレキシブルな太陽電池を簡単に製造することができる。そのため、宇宙用の軽量の太陽電池として使用することができる。また、広く民生用の太陽電池として使用することができる。例えば、本発明の太陽電池をテント等の柔軟な構造物に貼り付けて使用することができる。

本発明の第１の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第１の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第１の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第１の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第１の実施形態による太陽電池の概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第２の実施形態による太陽電池の概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の製造工程を示す概略断面図。本発明の第３の実施形態による太陽電池の概略断面図。本発明の実施例による太陽電池の外観図。

符号の説明

11 ガラス基板
12 リフトオフ層（塩化ナトリウム（NaCl）層）
13 拡散防止層（SiO₂）層
15 接着剤
16 透明フィルム
17 接着剤
18 ポリマーフィルム
20 太陽電池層
21 Mo電極
22 CIGS光吸収層
23 CdSバッファ層
24 ZnO透明電極
25 保護層

Claims

太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上に、水に容易に溶解する材料でリフトオフ層を形成し、
(b) 前記リフトオフ層の外周部と上部に保護層として拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上に太陽電池層を形成し、前記太陽電池層は、Mo層と、Cu(In,Ga)Se₂（CIGS）層と、液相成長のプロセスにより形成されたCdS層からなるバッファ層と、ZnO層からなる透明電極層とを備え、
(d) 前記保護層を除去し、
(e) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(f) 前記(a)〜(e)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。
太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上に、水に容易に溶解する材料でリフトオフ層を形成し、
(b) 前記リフトオフ層の上に拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上に太陽電池層のうち、Mo層と、Cu(In,Ga)Se₂（CIGS）層とを形成し、
(d) 前記基板の外周部に保護層として接着剤層を塗布し、
(e) 太陽電池層のうち、液相成長のプロセスにより形成されるCdS層からなるバッファ層と、ZnO層からなる透明電極層とを形成し、
(f) 前記保護層を除去し、
(g) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(h) 前記(a)〜(g)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。
前記リフトオフ層は、塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層である請求項１又は２に記載の太陽電池の製造方法。
前記拡散防止層は、二酸化珪素又はアルミナを含む酸化物層である請求項１又は２に記載の太陽電池の製造方法。
前記拡散防止層は、モリブテン、銅、又はアルミニウムを含む金属層である請求項１又は２に記載の太陽電池の製造方法。
前記太陽電池層の上に接着材層を介して透明フィルムを貼り付けた後、前記保護層を除去する請求項１又は２に記載の太陽電池の製造方法。
更に、前記(f)ステップの後に、(g) 前記積層体の下側に、接着剤を介してフィルムを貼り付けるステップを備える請求項１に記載の太陽電池の製造方法。
更に、前記(h)ステップの後に、(i) 前記積層体の下側に、接着剤を介してフィルムを貼り付けるステップを備える請求項２に記載の太陽電池の製造方法。
太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上面の外周部をマスキングして、前記ガラス基板の上に塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層からなるリフトオフ層を形成し、マスキング層を除去し、
(b) 前記リフトオフ層の上に前記リフトオフ層の外周部を含めて、保護層として拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上にMo層と、CIGS層と、液相成長のプロセスによるCdS層からなるバッファ層と、ZnO層からなる透明電極層とを有する太陽電池層を形成し、
(d) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(e) 前記太陽電池層の外周部をカットして、前記リフトオフ層の外周部が露出するようにし、
(f) 前記(a)〜(e)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。
太陽電池の製造方法であって、
(a) ガラス基板の上に、塩化ナトリウム層又はフッ化バリウム層からなるリフトオフ層を形成し、
(b) 前記リフトオフ層の上に拡散防止層を形成し、
(c) 前記拡散防止層の上に太陽電池層のうちMo層と、CIGS層とを形成し、
(d) 前記基板の外周部に接着材層からなる保護層を形成し、
(e) 前記CIGS層の上に、太陽電池層のうち、液相成長のプロセスによるCdS層からなるバッファ層と、ZnO層からなる透明電極層を形成し、
(f) 前記太陽電池層の上に接着剤層を介して透明フィルム層を貼り付け、
(g) 前記保護層と前記太陽電池層の外周部をカットして、前記リフトオフ層の外周部が露出するようにし、
(h) 前記(a)〜(g)ステップにより前記太陽電池層と、前記接着剤層と、前記透明フィルム層とを含む積層体が形成されたガラス基板を水に浸漬して、前記リフトオフ層を水に溶解し、前記積層体を前記ガラス基板から剥離する、
ステップを備えることを特徴とする太陽電池の製造方法。