JP5345774B2 - 微細コンタクトホールを有する半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
106 下部ハードマスク膜
106a 第1下部ハードマスクパターン
106b 第2下部ハードマスクパターン
109 第1上部ハードマスクパターン
112 犠牲膜
112a グルーブ
112b 犠牲パターン
115 第2上部ハードマスクパターン
118a 活性領域
121 素子分離膜
139、239 層間絶縁膜
142、242 エッチング阻止膜
145 バッファ膜
145a 第1バッファパターン
145b 第2バッファパターン
148、248 第1モールディングライン
148a 第1モールディングパターン
151、251 スペーサ膜
152 スペーサパターン
154、254 第2モールディングライン
154a 第2モールディングパターン
157、257 フォトレジストパターン
155a、248a 第1オープニングモールディングパターン
155b、254a 第2オープニングモールディングパターン
160 マスクパターン
161a、261a 第1開口部
161b、261b 第2開口部
163a 第1コンタクトホール
163b 第2コンタクトホール
CN コンタクトプラグ
Claims (19)
- 半導体基板に活性領域を画定する素子分離膜を形成する段階と、
前記半導体基板上に層間絶縁膜を形成する段階と、
前記層間絶縁膜上に第1モールディングラインを形成する段階と、
前記第1モールディングラインを覆うコンフォーマルなスペーサ膜を形成する段階と、
前記スペーサ膜上にモールディング膜を形成する段階と、
前記モールディング膜を平坦化することにより第2モールディングラインを形成し、該第2モールディングラインが前記第1モールディングラインの間に位置し、かつ前記第1モールディングラインから離隔する段階と、
第1及び第2モールディングパターンを形成するために前記第1及び第2モールディングラインをパターニングし、前記第2モールディングパターンが、前記第1モールディングパターン間に位置しかつ前記第1モールディングパターンから離隔し、前記第1モールディングパターンの1つの幅が、前記第2モールディングパターンの1つの幅と同一に形成する段階と、
前記第1及び第2モールディングパターンの側壁を露出させるように前記スペーサ膜をエッチングする段階と、
前記第1モールディングパターンの側壁及び前記第2モールディングパターンの側壁を囲むマスクパターンを形成する段階と、
前記マスクパターン内に開口部を形成するために前記第1及び第2モールディングパターンを除去する段階と、
前記マスクパターンをエッチングマスクとして用いて前記層間絶縁膜をエッチングしてコンタクトホールを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記第1及び第2モールディングラインは、互いに同一レベルに位置することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1モールディングラインを形成する前に、
前記半導体基板上にバッファ膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第1モールディングラインを形成した後に、
前記第1モールディングラインの両側に位置する前記バッファ膜を部分エッチングしてリセスされた領域を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第2モールディングラインを形成する段階は、
前記リセスされた領域を有する前記バッファ膜と前記第1モールディングラインを覆う前記コンフォーマルなスペーサ膜を形成する段階と、
前記スペーサ膜上にモールディング膜を形成する段階と、
前記第2モールディングラインを形成するために前記モールディング膜を平坦化する段階と、
を含むことを特徴とする請求項4に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第1及び第2モールディングパターンを形成する段階は、
前記スペーサ膜及び前記第2モールディングライン上に前記第1及び第2モールディングラインを横切るフォトレジストパターンを形成し、前記フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて前記スペーサ膜をエッチングする段階と、
前記フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて前記第1及び第2モールディングラインをエッチングし、前記フォトレジストパターンを除去する段階と、
前記第1及び第2モールディングパターンをエッチングマスクとして用いて前記第1及び第2モールディングライン間に残存する前記スペーサ膜をエッチングし、前記第1及び第2モールディングパターンをエッチングマスクとして用いて前記リセスされた領域により露出した前記バッファ膜をエッチングする段階と、
を含むことを特徴とする請求項5に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第1及び第2モールディングパターンを形成する段階は、
前記スペーサ膜及び第2モールディングライン上に前記第1モールディングライン及び前記第2モールディングラインを横切るフォトレジストパターンを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンをエッチングマスクとして用いて前記第1モールディングライン及び前記第2モールディングラインをエッチングして前記第1及び第2モールディングパターンを形成する段階と、
前記フォトレジストパターンを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 平面図で見た場合に、前記第1及び第2モールディングパターンのそれぞれは、長軸及び短軸を有するように形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記活性領域は、前記半導体基板を横切る長さ方向に沿って延長され、前記第1モールディングパターンの長軸方向及び前記第2モールディングパターンの長軸方向は、前記長さ方向と同じ方向性を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記活性領域は、前記素子分離膜により互いに離隔された複数個に限定され、前記活性領域のそれぞれは、前記素子分離膜によりライン状に限定されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第1モールディングパターンのそれぞれは、前記活性領域のうち奇数番目の活性領域または偶数番目の活性領域と重畳するように形成し、
前記第2モールディングパターンのそれぞれは、前記活性領域のうち前記第1モールディングパターン間に位置する活性領域と重畳するように形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記素子分離膜を形成する段階は、
前記半導体基板上に第1ハードマスクパターンを形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターン間に第2ハードマスクパターンを形成する段階であって、前記第2ハードマスクパターンは前記第1ハードマスクパターンと離隔する段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターン間に位置する前記半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、
前記トレンチを埋め込む絶縁物質を形成する段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターンを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記素子分離膜を形成する段階は、
前記半導体基板上にバッファ膜を形成する段階と、
前記バッファ膜上に第1ハードマスクパターンを形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターン周辺の前記バッファ膜を部分エッチングしてリセスされた領域を形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターンを覆うと共に前記リセスされた領域を覆うコンフォーマルな犠牲膜を形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターン間にそれぞれ前記犠牲膜で囲まれた第2ハードマスクパターンを形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターン上の前記犠牲膜をエッチングし、前記第1ハードマスクパターンと前記第2ハードマスクパターンとの間の前記犠牲膜をエッチングして前記第2ハードマスクパターン下部に残存する犠牲パターンを形成する段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターンをエッチングマスクとして用いて前記前記半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、
前記トレンチを絶縁物質で埋め込む段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターンを除去する段階と、
前記犠牲パターンを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記素子分離膜を形成する段階は、
前記半導体基板上に第1ハードマスクパターンを形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターンの側壁を覆う犠牲膜を形成する段階と、
前記第1ハードマスクパターン間に位置して両側壁が前記犠牲膜と接する第2ハードマスクパターンを形成する段階と、
前記犠牲膜を除去する段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターンをエッチングマスクとして用いて前記第1ハードマスクパターンと前記第2ハードマスクパターンとの間に位置する前記半導体基板をエッチングしてトレンチを形成する段階と、
前記トレンチを絶縁物質で埋め込む段階と、
前記第1及び第2ハードマスクパターンを除去する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記層間絶縁膜を形成する前に、
前記活性領域上にゲート構造体を形成する段階と、
前記ゲート構造体の両側の前記活性領域に不純物領域を形成する段階と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記ゲート構造体のうち少なくとも一つは、順に積層された第1誘電膜、記憶保存層、第2誘電膜及びゲート電極を含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ゲート構造体のうち少なくとも一つは、順に積層されたゲート誘電膜、フローティングゲート、ゲート間の誘電膜及び制御ゲートを含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記マスクパターンは、有機物質膜で形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記マスクパターンを除去する段階と、
前記コンタクトホールを埋め込むコンタクトプラグを形成する段階と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
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