JP5342616B2 - 微小なレーザ出力を安定に制御するレーザ装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明に基づくレーザ装置の一般的構成を示す略図である。周知であるように、一般的には、レーザ装置の複数の励起領域への注入エネルギを増減することによりレーザ出力を増減させている。そのような場合には、全ての励起領域に対して同時にエネルギを加える方式と、複数の励起領域に対して順番にエネルギを加えていく方式とが存在する。本発明のようなガスレーザの場合には放電管に励起領域が形成される。しかしながら、本発明はガスレーザに限定されず、固体レーザであってもよい。固体レーザである場合には結晶ロッドまたは光ファイバに励起領域が形成されることに留意されたい。以下においては、ガスレーザである場合について説明する。
Es*=G2×(G1×(Pt−Pm)−Esm*)
この式から分かるように、Es*の影響によってレーザ出力は迅速に増減し、レーザ出力Ptの強度は指令値に近づくようになる。
10 CNC
11 指令作成部
12 指令演算部
13 記憶部
21 放電電極対
22 放電電極対
23 リア鏡
24 出力鏡
25 レーザパワーセンサ
26 放電管
27、27’ 熱交換器
28 送風機
33 レーザガス圧制御システム
34 冷却水循環システム
A 第一レーザ励起領域
B 第二レーザ励起領域
Em 第一レーザ励起領域におけるエネルギ
Es 第二レーザ励起領域におけるエネルギ
Pm レーザ検出値
PSU1 第一高周波電源ユニット
PSU2 第二高周波電源ユニット
Claims (4)
- レーザ装置において、
レーザ励起領域にエネルギを注入する電源ユニットを具備し、
該電源ユニットは、第一のエネルギと、該第一のエネルギよりも小さい第二のエネルギとの間でエネルギをパルス状に注入しており、
前記第一のエネルギはレーザ発振が開始される臨界注入エネルギ以上の所定の励起エネルギであり、前記第二のエネルギは前記レーザ励起領域で予備放電するのに必要とされる予備励起エネルギと前記臨界注入エネルギとの間のエネルギであり、
前記電源ユニットは、前記予備励起エネルギと前記臨界注入エネルギとの間で前記第二のエネルギを変更し、それにより、レーザ出力を制御するレーザ装置。 - 前記第二のエネルギは、所定の偏差エネルギを前記予備励起エネルギに加算または前記予備励起エネルギから減算して設定されるようにした請求項1に記載のレーザ装置。
- さらに、レーザ出力の目標値と、前記第一のエネルギと、前記レーザ出力の目標値および前記第一のエネルギに応じて定まる第二のエネルギとを互いに対応させてデータテーブルまたは関数として記憶する記憶部を具備し、
前記レーザ出力の目標値と、前記レーザ装置を動作させるプログラムに記載された第一のエネルギと、前記記憶部に記憶されたデータテーブルまたは関数とに基づいて前記第二のエネルギを定めるようにした請求項1に記載のレーザ装置。 - さらに、レーザ出力の目標値に対応する前記第一および第二のエネルギの指令値を作成する指令作成部と、
前記レーザ装置から出力されたレーザの検出値を取得する出力検出部と、
前記指令作成部により作成された前記第一および第二のエネルギの指令値と前記出力検出部により検出されたレーザの検出値とに基づいて所定の演算により前記第二のエネルギの指令値を更新する指令演算部とを具備する請求項1に記載のレーザ装置。
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