JP4012216B2 - レーザ発振器 - Google Patents
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Description
すなわち5番目の発明においては、電源出力を変更できるので、放電位相、デューティ比および/またはパルス周波数と電源出力とを組み合わせることにより、レーザ出力をさらに精密に制御することができる。また、放電位相、デューティ比、パルス周波数、電源出力のうちの少なくとも一つを制御して概ね一定のレーザ出力を得ることも可能である。
すなわち6番目の発明においては、フィードバック制御することによって、より正確なレーザ出力の制御が可能となる。
すなわち7番目の発明においては、第一の電極対および第二の電極対のそれぞれに専用の放電電源を設けた構成としているので、より高い自由度でレーザ出力を制御することができる。
すなわち12番目の発明においては、電源出力を変更できるので、放電位相、デューティ比および/またはパルス周波数と電源出力とを組み合わせることにより、レーザ出力をさらに精密に制御することができる。また、放電位相、デューティ比、パルス周波数、電源出力のうちの少なくとも一つを制御して概ね一定のレーザ出力を得ることも可能である。
すなわち13番目の発明においては、フィードバック制御することによって、より正確なレーザ出力の制御が可能となる。
すなわち14番目の発明においては、第一の電磁波キャビティおよび第二の電磁波キャビティのそれぞれに専用の放電電源を設けた構成としているので、より高い自由度でレーザ出力を制御することができる。
すなわち19番目の発明においては、電源出力を変更できるので、放電位相、デューティ比および/またはパルス周波数と電源出力とを組み合わせることにより、レーザ出力をさらに精密に制御することができる。また、放電位相、デューティ比、パルス周波数、電源出力のうちの少なくとも一つを制御して概ね一定のレーザ出力を得ることも可能である。
すなわち20番目の発明においては、フィードバック制御することによって、より正確なレーザ出力の制御が可能となる。
すなわち21番目の発明においては、第一のコイルおよび第二のコイルのそれぞれに専用の放電電源を設けた構成としているので、より高い自由度でレーザ出力を制御することができる。
図1は、本発明に基づくレーザ発振器2を備えたレーザ装置の略図である。レーザ装置100は主に金属加工用に用いられ、レーザ発振器2とレーザ加工機11とを含んでいる。図1に示されるように、これらレーザ発振器2とレーザ加工機11とは制御ユニット1を介して互いに電気的に接続されている。
ΔX ← ΔX{1+k(Pd−Pc)/Pc} (1)
ここで、係数kは正の値の適切なフィードバック係数であり、レーザ発振器2の種類およびレーザ出力値などに応じて予め定められる。位相差ΔXは0°≦ΔX≦180°の値をとりうるので、式(1)により算出された新たな位相差ΔXが負の値である場合には新たな位相差ΔXを0°とし、新たな位相差ΔXが180°より大きい場合には新たな位相差ΔXを180°とする。このようなフィードバック制御を行うことにより、より適切な位相差ΔXが得られ、より正確なレーザ出力の制御が可能となる。
当然のことながら、前述した実施形態のうちのいくつかを適宜組み合わせてもよい。例えば、第五および第六の実施形態において、二つの高周波電源4a、4bを採用することは本発明の範囲に含まれる。
2 レーザ発振器
4、4’、4a、4b 高周波電源(放電電源)
5 レーザパワーセンサ(レーザ出力検出手段)
6 リア鏡
7a、7b 放電電極対
8 出力鏡
9 放電管
29a、29b 放電セクション
51 レーザパワー指令手段(レーザ出力指令手段)
52 差分検出手段
53 制御手段(放電位相制御手段、デューティ比制御手段、パルス周波数制御手段)
65a、65b 導波管
67a、67b 電磁波キャビティ
77a、77b コイル
X、X1、X2 位相
ΔX 位相差
Y、Y1、Y2 デューティ比
Z、Z1、Z2 パルス周波数
ΣV 合計値
Claims (5)
- 放電管上に互いに直列に配置された第一および第二の電極対と、
前記第一および第二の電極対においてパルス放電を生じさせる放電電源と、
該放電電源によるパルス放電時に前記第一の電極対における第一の放電位相と前記第二の電極対における第二の放電位相との間の位相差を0°と180°との間で大きくすることによりレーザ出力を低下させると共に、前記位相差を0°と180°との間で小さくすることによりレーザ出力を増大させる、放電位相制御手段とを具備するレーザ発振器。 - 前記放電電源は前記第一の電極対における電源出力と前記第二の電極対における電源出力とが互いに異なるように制御することができる請求項1に記載のレーザ発振器。
- さらに、
前記レーザ発振器から出力されるレーザ出力を指令するレーザ出力指令手段と、
前記レーザ発振器から出力されたレーザ出力を検出するレーザ出力検出手段とを具備し、
前記レーザ出力指令手段により指令されたレーザ出力指令値と前記レーザ出力検出手段により検出されたレーザ出力検出値との間の差分を前記放電位相制御手段にフィードバックするようにした請求項1に記載のレーザ発振器。 - 前記放電電源が前記第一の電極対のための第一の放電電源および前記第二の電極対のための第二の放電電源からなる請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザ発振器。
- 前記第一の放電位相および前記第二の放電位相は、コンピュータにより可変制御される請求項1から4のいずれか一項に記載のレーザ発振器。
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