JP5337888B2 - 表示装置及び電子機器 - Google Patents
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-
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- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
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Description
薄膜トランジスタ(TFT)を用いた表示装置およびその駆動方法に関する。また、表示
装置を用いた電子機器に関する。
り多くの情報伝達が予想される。一方、パーソナルコンピュータもその軽量化によって、
モバイル対応の製品が生産されている。電子手帳に始まったPDAと呼ばれる情報端末も
多数生産され、普及しつつある。また、表示装置の発展により、それらの情報携帯機器の
ほとんどにはフラットパネルディスプレイが装備されている。
表示装置を使用する方向に向かっている。アクティブマトリクス型表示装置は画素1つず
つに対してTFTを配置し、そのTFTによって画面を制御している。このようなアクテ
ィブマトリクス型表示装置はパッシブマトリクス型表示装置と比較して、高性能化、高画
質化、動画対応などの長所を持っている。それゆえに、液晶表示装置もパッシブマトリク
ス型からアクティブマトリクス型に主流が移ると考えられる。
導体を用いた多結晶半導体を用いた薄膜トランジスタを用いて、表示装置の製品化が進め
られている。上記の低温とは、結晶化温度が600℃以下であり、従来の結晶化温度の1
000℃以上と比較すると、低温であるという意味である。低温で成膜した多結晶半導体
を用いたTFTでは、画素だけでなく、画素部の周囲に駆動回路を一体形成することが可
能である為、表示装置の小型化や、高精細化が可能である。このため、今後はさらに普及
が見込まれる。
2に、アクティブマトリクス型液晶表示装置の構成の例を示す。一つの画素220はソー
ス信号線203とゲート信号線205と容量線219と画素TFT207と保持容量21
1と液晶215により構成される。ただし、容量線は他の配線などと兼用できれば必ずし
も必要ではない。画素TFT207のゲート電極は、ゲート信号線205に接続され、画
素TFT207のドレイン領域またはソース領域の1方は、ソース信号線203に接続さ
れ、もう一方は、保持容量211及び液晶215に接続されている。
、209がNチャネル型(Nch)の場合はゲート信号線205がHiのときにアクティ
ブとなり、画素TFT207、209がオンとなる。画素TFT207、209がオンに
なるとソース信号線203、204の電位が保持容量211、213と液晶215、21
7に書き込まれる。次のライン期間には隣のゲート信号線206がアクティブとなり、画
素TFT208、210がHiになり、同様にして保持容量212、214と液晶216
,218にソース信号線203、204の電位を書き込んでいく。書き込まれた電位に応
じて、液晶215〜218は配向し、光の透過率を変化させる。このようにしてアクティ
ブマトリクス型液晶表示装置は液晶を光シャッターとして表示をおこなう。
うものも開発されている(たとえば特許文献1を参照。)。
6、液晶1404が含まれている。ソース信号線駆動回路1401はソース信号線140
8、1409に映像信号を出力する。ゲート信号線駆動回路1402によってゲート信号
線1410が選択されると、SRAM1403に映像信号が、ソース信号線1408、1
409を介して、書き込みが行われる。SRAM1403に記憶されたデータに基づき、
スイッチ1405、1406のいずれかが動作しVaまたはVbのいずれかの電位が液晶
1404に印加される。この状態はSRAMに次の書き込みが行われるまで保持される。
このようにして表示が行われる。
ィブマトリクス型表示装置の画素部は、上述したように、保持容量とスイッチ回路のよる
ダイナミックRAM(DRAM)型の構成をとっているため、定期的にリフレッシュ動作
が必要である。図3にその動作波形を示す。画素信号波形ははソース信号線波形がt1お
よびt4で変化するとその時点からソース信号線波形の方に引かれて行く。
題ないが、リフレッシュ動作を行わないまたは、リフレッシュの期間が長いと、保持容量
に蓄積した電荷が、スイッチTFTのリーク電流によって放電し、液晶駆動に必要な電圧
が保持できなくなる。したがって、静止画のように本来画像データが変化しない表示する
場合においても、定期的な書き込みを必要としていた。その結果として、その書き込み動
作のために消費電力が大きくなるという課題があった。
RAM回路を構成するトランジスタ数が多く、画素面積が小さい場合、画素の中に入りき
らない、もしくは開口率が低下するという問題があった。
、画素に不揮発性のメモリ素子、たとえば強誘電体材料を用いた不揮発性メモリを設け、
その記憶内容が、リフレッシュを行わなくとも、保存されるようにする。強誘電体材料を
使うことにより、SRAMが不要となるので、必要な素子面積を減らすことができる。
って、画素にスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と画素電極とを有するものである。
スイッチング素子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メ
モリ素子と画素電極に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続されて
いる。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と画素電極を有し、スイッチング素子は入力
端子が前記ソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と画素電極
に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はそれぞれスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と画素電極を有し、スイッチング素
子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と画素
電極に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、1つの画素中の
スイッチング素子はそれぞれ異なるソース信号線に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素列に対して、n本のソース信号線を
配置し、1つの画素はn個のサブ画素からなり、サブ画素はそれぞれスイッチング素子と
不揮発性メモリ素子と画素電極を有し、スイッチング素子は入力端子がソース信号線に電
気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と画素電極に電気的に接続され、制御端
子がゲート信号線に電気的に接続され、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異な
るn本のソース信号線のいずれか1つに接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はそれぞれスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と画素電極を有し、スイッチング素
子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と画素
電極に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、1つの画素中の
スイッチング素子はそれぞれ異なるゲート信号線に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素列に対してn本のゲート信号線を配
置し、1つの画素はn個のサブ画素からなり、前記サブ画素はそれぞれスイッチング素子
と不揮発性メモリ素子と画素電極を有し、スイッチング素子は入力端子がソース信号線に
電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と画素電極に電気的に接続され、制御
端子がゲート信号線に電気的に接続され、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異
なるn本のゲート信号線のいずれか1つに接続されている。
した表示装置であって、画素にスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と駆動素子と画素
電極とを有するものである。スイッチング素子は入力端子がソース信号線に電気的に接続
され、出力端子が不揮発性メモリ素子と駆動素子に電気的に接続され、制御端子がゲート
信号線に電気的に接続され、駆動素子は前記画素電極に電気的に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と駆動素子と画素電極を有し、スイッチング
素子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と駆
動素子に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、駆動素子は画
素電極に電気的に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はそれぞれスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と駆動素子と画素電極を有し、スイ
ッチング素子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ
素子と駆動素子に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、駆動
素子は画素電極に電気的に接続され、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異なる
ソース信号線に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素列に対して、n本のソース信号線を
配置し、1つの画素はn個のサブ画素からなり、サブ画素はそれぞれスイッチング素子と
不揮発性メモリ素子と駆動素子と画素電極を有し、スイッチング素子は入力端子がソース
信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と駆動素子に電気的に接続さ
れ、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、駆動素子は画素電極に電気的に接続さ
れ、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異なるn本のソース信号線のいずれか1
つに接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素は複数のサブ画素からなり、サブ画
素はそれぞれスイッチング素子と不揮発性メモリ素子と駆動素子と画素電極を有し、スイ
ッチング素子は入力端子がソース信号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ
素子と駆動素子に電気的に接続され、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、駆動
素子は画素電極に電気的に接続され、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異なる
ゲート信号線に接続されている。
トリクス状に配置した表示装置であって、1つの画素列に対してn本のゲート信号線を配
置し、1つの画素はn個のサブ画素からなり、サブ画素はそれぞれスイッチング素子と不
揮発性メモリ素子と駆動素子と画素電極を有し、スイッチング素子は入力端子がソース信
号線に電気的に接続され、出力端子が不揮発性メモリ素子と駆動素子に電気的に接続され
、制御端子がゲート信号線に電気的に接続され、駆動素子は画素電極に電気的に接続され
、1つの画素中のスイッチング素子はそれぞれ異なるn本のゲート信号線のいずれか1つ
に接続されている。
い。また、スイッチング素子は薄膜トランジスタを用いることができる。
、ゲート信号線駆動回路を形成することができる。ソース信号線駆動回路および/または
ゲート信号線駆動回路は単極性のトランジスタで構成することができる。
出力するときでも、書き込みが必要であり、消費電力が大きいという問題があった。また
、SRAMを用いた表示装置では、画素内にTFTが多く必要なため、開口率の低下や、
画素内に必要な素子が入らないという問題があった。
レッシュ動作を不用にし、且つ、少ない素子数で保持ができるため、開口率を著しく低下
させることなく表示を可能にすることができた。
で説明を行うが、本発明は3ビットには限定されない。1つの画素152は3つのスイッ
チング素子、3つの不揮発性メモリ素子によって構成されている。スイッチング素子はゲ
ート信号線によってオンオフが制御される。不揮発性メモリ素子は一端が各スイッチング
素子、他端が共通電極151に接続されている。スイッチング素子は入力端子、出力端子
、制御端子を有し、入力端子はソース信号線に電気的に接続され、出力端子は不揮発性メ
モリ素子および画素電極(図示せず)を介して液晶素子に電気的に接続され、制御端子は
ゲート信号線に電気的に接続されている。
力される。ゲート信号線駆動回路102がゲート信号線109〜111を選択すると、ス
イッチング素子115〜117、121〜123がオンし、ソース信号線103〜108
のデジタル映像信号を不揮発性メモリ素子127〜129、133〜135に書き込む。
ゲート信号線駆動回路102がゲート信号線109〜111の選択を解除するとスイッチ
ング素子115〜117、121〜123はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子12
7〜129、133〜135には状態が記憶されているので、液晶139〜141、14
5〜147は書き込みが行われた状態で表示を行うことができる。
ッチング素子118〜120、124〜126がオンし、ソース信号線103〜108の
デジタル映像信号を不揮発性メモリ素子130〜132、136〜138に書き込む。ゲ
ート信号線駆動回路102がゲート信号線112〜114の選択を解除するとスイッチン
グ素子118〜120、124〜126はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子130
〜132、136〜138には状態が記憶されているので、液晶142〜144、148
〜150は書き込みが行われた状態で表示を行うことができる。
すなわち、3ビットの表示を行う場合には画素電極の面積を4:2:1に設定し、必要な
階調に応じて、必要な状態を記憶することによって階調を表現することができる。
i1-x]O3)を使用すると、電源がオフになってもその状態は保持されるので、静止画を表
示するときには、表示装置の電源をオフにでき、電力の削減を図ることが可能である。こ
のようにして、本発明では従来の問題点であった、リフレッシュ動作を不要にすることが
可能であり、低消費電力化が可能になった。また、強誘電体材料はPZTに限定されず他
の材料でも良い。
必要とせず、画素が小さい場合や、開口率の著しい低下をまねくことなく、使用が可能で
ある。また、以上は液晶を例にとり説明をおこなったが液晶以外たとえば電気泳動素子な
どを用いてもよい。
路は画素と同一基板上に一体形成しても良いし、別基板上に形成しCOG(Chip On Glas
s)またはTAB(Tape Automated Bonding)などの技術を用いて実装しても良い。
る構成している。図4は3ビットの階調を示す例である。ここでは3ビットで説明を行う
が本発明は3ビットには限定されない。1つの画素452は3つのTFT、3つの不揮発
性メモリ素子によって構成されている。TFTはゲート信号線によってオンオフが制御さ
れる。不揮発性メモリ素子は一端が各TFTおよび画素電極(図示せず)を介して液晶素
子、他端が共通電極451に接続されている。
力される。ゲート信号線駆動回路402がゲート信号線409〜411を選択すると、T
FT415〜417、421〜423がオンし、ソース信号線403〜408のデジタル
映像信号を不揮発性メモリ素子427〜429、433〜435に書き込む。ゲート信号
線駆動回路402がゲート信号線409〜411の選択を解除するとTFT415〜41
7、421〜423はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子427〜429、433〜
435には状態が記憶されているので、液晶439〜441、445〜447は書き込み
が行われた状態で表示を行うことができる。
T418〜420、424〜426がオンし、ソース信号線403〜408のデジタル映
像信号を不揮発性メモリ素子430〜432、436〜438に書き込む。ゲート信号線
駆動回路402がゲート信号線412〜414の選択を解除するとTFT418〜420
、424〜426はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子430〜432、436〜4
38には状態が記憶されているので、液晶442〜444、448〜450は書き込みが
行われた状態で表示を行うことができる。
すなわち、3ビットの表示を行う場合には画素電極の面積を4:2:1に設定し、必要な
階調に応じて、必要な状態を記憶することによって階調を表現することができる。
の状態は保持されるので、静止画を表示するときには、表示装置の電源をオフにでき、電
力の削減を図ることが可能である。このようにして、本発明では従来の問題点であった、
リフレッシュ動作を不要にすることが可能であり、低消費電力化が可能になった。
必要とせず、画素が小さい場合や、開口率の著しい低下をまねくことなく、使用が可能で
ある。
したことが、実施例1と異なっている。図4は3ビットの階調を示す例である。ここでは
3ビットで説明を行うが本発明は3ビットには限定されない。1つの画素548は3つの
TFT、3つの不揮発性メモリ素子によって構成されている。TFTはゲート信号線によ
ってオンオフが制御される。不揮発性メモリ素子は一端が各TFTおよび画素電極(図示
せず)を介して液晶素子、他端が共通電極547に接続されている。以下にその動作を説
明する。
力される。ゲート信号線駆動回路502がゲート信号線505を選択すると、TFT51
1、517がオンし、ソース信号線503、504のデジタル映像信号を不揮発性メモリ
素子523、529に書き込む。ゲート信号線駆動回路502がゲート信号線505の選
択を解除するとTFT511、517はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子523、
529には状態が記憶されているので、液晶535、541は書き込みが行われた状態で
表示を行うことができる。
、518がオンし、ソース信号線503、504のデジタル映像信号を不揮発性メモリ素
子524、530に書き込む。ゲート信号線駆動回路502がゲート信号線506の選択
を解除するとTFT512、518はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子524、5
30には状態が記憶されているので、液晶536、542は書き込みが行われた状態で表
示を行うことができる。
、519がオンし、ソース信号線503、504のデジタル映像信号を不揮発性メモリ素
子525、531に書き込む。ゲート信号線駆動回路502がゲート信号線507の選択
を解除するとTFT513、519はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子525、5
31には状態が記憶されているので、液晶537、543は書き込みが行われた状態で表
示を行うことができる。このようにして1つの画素548のデータ書き込みが終了する。
これらの書き込みは1水平ライン期間に行われる。
9、510が順に選択され、それに応じて、TFT514、520、515、521、5
16、522が順次オンし、ソース信号線503、504のデータを不揮発性メモリ素子
538、544、539、545、540、546に書き込んでいく。このようにして、
表示を行っていく。本実施例ではソース信号線の数を削減することが可能であるため、開
口率の向上に貢献することが可能となる。
6のソース信号線駆動回路はシフトレジスタ601と1stラッチ回路614と2ndラ
ッチ回路615によって構成されている。以下に動作を説明する。
信号線614のデジタル映像信号がラッチ回路602〜604に記憶される。次にシフト
レジスタ601の出力パルスがラッチ回路608〜610に入力されると、映像信号線6
14のデジタル映像信号がラッチ回路608〜610に記憶される。同様にして、シフト
レジスタの出力パルスを順次走査していき、1ライン分の映像信号を1stラッチ回路6
14に蓄える。次のラインの映像が始まる前に、ラッチ信号線615によりラッチパルス
をラッチ回路605〜607、611〜613に入力し、1stラッチ回路614のデー
タを2ndラッチ回路615に記憶する。そして、ソース信号線にデータを出力する。こ
のようにして、ソース信号線駆動回路は動作する。
線駆動回路は実施例2の画素構成に対応したものである。シフトレジスタ701の出力パ
ルスにて、順次、映像信号線714のデータをラッチ回路702〜704、708〜71
0に記憶し、1ライン分のデータが記憶されたのちラッチ信号線715のラッチパルスに
よってラッチ回路705〜707、711〜713にデータを転送する。
チ716で切り換え、それぞれ1ライン期間の3分の1ずつソース線に出力する。このよ
うにすることによって、ソース信号線の本数を削減することができる。すなわちソース信
号線の信号を時分割で活用することが可能である。ここでは3分割したが、3分割には限
定されない。同様に、ラッチ回路711〜713の出力もスイッチ717によって切り換
え、ソース信号線に出力することが可能である。
線駆動回路またはその他の回路を単極性の回路にすることによって、表示装置のコスト低
減を図ることができる。図8はNchの例であるが、単極性はNchのみまたはPチャネ
ル型(Pch)のみのいずれを用いても良い。単極性のプロセスを用いることによって、
マスク枚数の低減が可能となる。
チ用TFT811を経て、シフトレジスタ801に入力される。シフトレジスタはブート
ストラップを用いたセットリセット型のシフトレジスタである。以下にシフトレジスタ8
01の動作を説明する。
806がオンになるとTFT804のゲートはロウになりTFT804はオフになる。ま
た、TFT810のゲートもロウになるためTFT810もオフとなる。TFT803の
ゲートは電源電位まで上がるため、まずTFT809のゲートは電源−Vgsまで上昇す
る。出力1は初期電位がロウであるため、TFT809は出力1と容量808を充電しな
がらソース電位を上げていく、TFT809のゲートが電源−Vgsまで上昇したときに
、TFT809はまだオンしているので、出力1はさらに上昇を続ける。TFT809の
ゲートは放電経路がないので、ソースに合わせて上昇し、電源をこえてもさらに上昇を続
ける。
が停止し、そこでTFT809の電位上昇が止まる。このようにして、出力1は電源電位
に等しいハイ電位を出力できる。この時はCLbの電位はハイとする。CLbがロウに落
ちると、容量808電荷はTFT809を介してCLbにぬけて、出力1はロウに落ちる
。出力1のパルスは次の段のシフトレジスタに伝わっていく。以上が本実施例の回路の動
作である。本実施例は本発明の他の実施例と組み合わせて使用することができる。
号線904〜906、TFT907〜909、不揮発性メモリ素子910〜912、共通
電極913〜915、画素電極916〜918によって構成されている。この実施例は3
ビットの例であるが、3ビットには限定されない。図9に示すように、不揮発性メモリ素
子910〜912は占有面積が狭いので、開口率を落とさずにメモリ回路を内蔵すること
が可能になる。
階調が実現できる。同様にnビットの場合は、サブ画素をn個設け、それぞれの面積比を
1から2のn−1乗とすることによって、3ビット以外においても実現ができる。
するスイッチング用TFTと、駆動回路や他の論理回路を構成するTFT及び不揮発性の
ラッチ回路を構成する強誘電体材料を用いた容量を同時に作製する方法について詳細に説
明する。図10〜図13はその作製工程を説明する断面図である。
ミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板、石英基板、SUS基板等を用いることができる
。また、プラスチック等の可撓性を有する合成樹脂からなる基板は、一般的に上記基板と
比較して耐熱温度が低い傾向にあるが、作製工程における処理温度に耐え得るのであれば
用いることが可能である。
縁膜から成る下地膜1001及び1002を形成する。例えば、プラズマCVD法でSi
H4、NH3、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜1001を10〜200nm(好
ましくは50〜100nm)形成し、同様にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素
化シリコン膜1002を50〜200nm(好ましくは100〜150nm)の厚さに積
層形成する。本実施例では下地膜を2層構造として示したが、前記絶縁膜の単層膜または
2層以上積層させた構造として形成しても良い。また、石英基板など不純物の拡散がさし
て問題とならない場合は、必ずしも設ける必要はない。
公知の熱結晶化法を用いて作製した結晶質半導体膜で形成する(図10(B))。この島
状半導体層1003〜1005の厚さは25〜100nm(好ましくは30〜60nm)
の厚さで形成する。なお島状半導体層1003〜1005は、非晶質半導体であっても良
いし、多結晶半導体であっても良い。また半導体は珪素だけではなくシリコンゲルマニウ
ムも用いることができる。シリコンゲルマニウムを用いる場合、ゲルマニウムの濃度は0
.01〜4.5atomic%程度であることが好ましい。
キシマレーザやYAGレーザ、YVO4レーザを用いる。これらのレーザを用いる場合に
は、レーザ発振器から放射されたレーザ光を光学系で線状に集光し半導体膜に照射する方
法を用いると良い。結晶化の条件は実施者が適宣選択するものであるが、エキシマレーザ
を用いる場合はパルス発振周波数30Hzとし、レーザーエネルギー密度を100〜40
0mJ/cm2(代表的には200〜300mJ/cm2)とする。また、YAGレーザを
用いる場合にはその第2高調波を用いパルス発振周波数1〜10kHzとし、レーザーエ
ネルギー密度を300〜600mJ/cm2(代表的には350〜500mJ/cm2)と
すると良い。そして幅100〜1000μm、例えば400μmで線状に集光したレーザ
光を基板全面に渡って照射し、この時の線状レーザ光の重ね合わせ率(オーバーラップ率
)を80〜98%として行う。
10(C))。ゲート絶縁膜1006はプラズマCVD法またはスパッタ法を用い、厚さ
を40〜150nmとしてシリコンを含む絶縁膜で形成する。本実施例では、120nm
の厚さの酸化窒化シリコン膜で形成する。勿論、ゲート絶縁膜1006はこのような酸化
窒化シリコン膜に限定されるものでなく、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構
造として用いても良い。例えば、酸化シリコン膜を用いる場合には、プラズマCVD法で
TEOS(Tetraethyl Ortho Silicate)とO2とを混合し、反応圧力40Pa、基板温度
300〜400℃とし、高周波(13.56MHz)、電力密度0.5〜0.8W/cm
2で放電させて形成することができる。このようにして作製される酸化シリコン膜は、そ
の後400〜500℃の熱アニールにより絶縁膜として良好な特性を得ることができる。
102を形成する。ゲート電極1100〜1102はタンタル(Ta)、チタン(Ti)
、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、前記元素を主成分とする合金、あるいは多
結晶シリコンなどで形成すれば良い。まず表面上に導電層を形成し、レジストマスク(図
示せず)を用いて、導電層をエッチングすることで、ゲート電極1100〜1102が形
成される。
型の低濃度不純物領域1103〜1108が形成される。
ト電極1101と該レジストマスクをマスクとして自己整合的にn型不純物元素を添加し
、また、ゲート電極1101をマスクとして自己整合的にp型不純物元素を添加する。
型不純物領域1111、1112、1113、1114及びpチャネル型TFTのソース
領域またはドレイン領域として機能する高濃度p型不純物領域1109、1110を形成
する。n型を付与する不純物元素にはリン(P)あるいは砒素(As)を、p型を付与す
る不純物元素にはボロン(B)を、それぞれ用いる。
ニール、レーザーアニール、ランプアニール、またはこれらを組み合わせた方法を用いる
とよい。熱アニール法では酸素濃度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素
雰囲気中で400〜700℃で行う。
は酸窒化珪素膜による第1の層間絶縁膜1115を形成する。
の論理回路を構成するTFTが形成される。次に第1の層間絶縁膜1112の上に強誘電
体材料を用いた容量の形成を行う。
ッタ法、イオンビームスパッタ法、レーザアブレーション法などから選べば良い。下部電
極層1201の材料にはPt/IrO2、Pt/Ta/SiO2などを用いる事ができる。
強誘電体薄膜の電気的特性は結晶の配向に強く依存するため、下部電極の表面には配向制
御が容易なPtを用いるのが特に好ましい。金属膜形成後不要な部分をプラズマエッチン
グなどで処理して下部電極層1201を形成する。
誘電体はPZT、PbTiO3などの鉛含有ペロブスカイト、Bi4Ti3O12などのビス
マス層状化合物、LiNbO3、LiTaO3などのイルメナイト系化合物を用いる事がで
きる。このうち鉛含有ペロブスカイトを用いた強誘電体、とりわけPZTは広いの組成範
囲で強誘電体の性質を示すため好ましい。
ーザアブレーション法などから選べば良い。特にCVD法は膜組成や結晶性の制御性が高
く、大面積化や量産化に優れて好ましい。CVD法で形成する場合、材料の条件として比
較的低温で大きな蒸気圧を持ち、長時間にわたって安定であること、また堆積温度範囲内
において析出速度が原料の供給量によって決まること、気相での核生成反応が起こらない
ことなどが挙げられるが、PZTはこれらの点でも優れている。
0Pa、基板温度500〜650度でPZTによる強誘電体層を形成させることができる
。
成方法は下部電極1201と同様にCVD法、スパッタ法、イオンビームスパッタ法、レ
ーザアブレーション法などから選ぶ事ができる。上部電極層1203の材料には下部電極
層1201で用いた材料のほかIr/IrO2などを用いる事ができる。
間絶縁膜1307を成膜した後、コンタクトホールを形成し、該コンタクトホールを介し
て配線1300〜1306を形成する。なお、配線1300〜1306とTFTとの電気
的な接続の形態は、本実施例に限定されない。
成する。保護層1308の材料としてはポリイミドやアクリル樹脂などの光硬化型または
熱硬化型の有機樹脂材料を用いることができる。
FT、及び不揮発性のラッチ回路を構成する強誘電体材料を用いた容量を同一基板上に同
時に作製することができる。
ップしないLDD領域を有する構造を、駆動回路及び論理回路を構成するTFTとして、
シングルドレイン構造を、それぞれ作製する場合を示したが、本実施例はこの構造に限定
されない。必要に応じ、GOLD構造や他のLDD構造などの用途に適したTFT構造を
、公知の方法に従って作製すればよい。
す場合には、ソース信号線駆動回路1601より、デジタル映像信号をソース信号線16
04〜1606に出力する。このときスイッチ1619〜1621は不揮発性メモリを選
択しているものとする。ゲート信号線駆動回路1602がゲート信号線1625〜162
7を選択すると、スイッチング素子1610〜1612がオンし、映像信号を不揮発性メ
モリ1613〜1615と液晶1622〜1624に書き込む。
線1604〜1606に出力する。このときスイッチ1619〜1621は保持容量16
16〜1618を選択しているものとする。ゲート信号線駆動回路1602がゲート信号
線1625〜1627を選択すると、スイッチング素子1610〜1612がオンし、ア
ナログ映像信号を保持容量1616〜1618と液晶1622〜1624に書き込む。こ
のようにして表示を行うことが可能になる。
れるときに選択される。ゲート線1801が選択されることによって、トランジスタ18
03がオンになる。また、画像を表示し続けているとき、ゲート信号線1802が選択さ
れる。ゲート信号線1802が選択されることによって、トランジスタ1804がオンに
なる。また、不揮発性メモリ1613と保持容量1616を含む画素の断面図を図19に
示す。
例である。ここでは3ビットで説明を行うが本発明は3ビットには限定されない。本実施
例ではスイッチング素子、および駆動素子を用いるが以下の説明ではそれらをスイッチン
グTFT、駆動TFTとして説明する。しかし、スイッチング素子、駆動素子はTFTに
限定されるものではない。
の不揮発性メモリ素子1727、1728、1729、3つの駆動TFT1753、17
54、1755、3つのEL素子1739、1740、1741によって構成されている
。スイッチングTFTはゲート信号線によってオンオフが制御される。不揮発性メモリ素
子は一端が各スイッチングTFT、他端が共通電極151に接続されている。スイッチン
グTFTのドレインまたはソースのいずれか一方はソース信号線に電気的に接続され、ド
レインまたはソースの他の一方は不揮発性メモリ素子および駆動TFTのゲートに電気的
に接続され、ゲートはゲート信号線に電気的に接続されている。駆動TFTのソースは電
源供給線1765、1766に電気的に接続され、ドレインは画素電極(図示せず)を介
してEL素子に電気的に接続される。
号が出力される。ゲート信号線駆動回路1702がゲート信号線1709〜1711を選
択すると、スイッチングTFT1715〜1717、1721〜1723がオンし、ソー
ス信号線1703〜1708のデジタル映像信号を不揮発性メモリ素子1727〜172
9、1733〜1735に書き込む。ゲート信号線駆動回路1702がゲート信号線17
09〜1711の選択を解除するとスイッチングTFT1715〜1717、1721〜
1723はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子1727〜1729、1733〜17
35には状態が記憶されているので、駆動TFT1753〜1755、1759〜176
1のゲートは書き込みが行われた状態であり、書き込み内容に応じて、EL素子1739
〜1741、1745〜1747を駆動し、表示を行うことができる。
、スイッチングTFT1718〜1720、1724〜1726がオンし、ソース信号線
1703〜1708のデジタル映像信号を不揮発性メモリ素子1730〜1732、17
36〜1738に書き込む。ゲート信号線駆動回路1702がゲート信号線1712〜1
714の選択を解除するとスイッチングTFT1718〜1720、1724〜1726
はオフする。しかし、不揮発性メモリ素子1730〜1732、1736〜1738には
状態が記憶されているので、駆動TFT1756〜1758、1762〜1764は書き
込みが行われた状態であり、書き込み内容に応じて、EL素子1742〜1744、17
48〜1750を駆動し、表示を行うことができる。
示したようにソース信号線を1画素列に対して1本とし、ゲート信号線を3本としても良
い。
すなわち、3ビットの表示を行う場合には画素電極の面積を4:2:1に設定し、必要な
階調に応じて、必要な状態を記憶することによって階調を表現することができる。前述し
たように、本発明は3ビットに限定されるものではない。
以上において、駆動TFTを飽和領域で動作させ、EL素子を定電流駆動にしても良い
し、駆動TFTを線形領域で動作させ、EL素子を定電圧駆動にしても良い。
もその状態は保持されるので、静止画を表示するときには、表示装置の電源をオフにでき
、電力の削減を図ることが可能である。このようにして、本発明では従来の問題点であっ
た、リフレッシュ動作を不要にすることが可能であり、低消費電力化が可能になった。ま
た、強誘電体材料はPZTに限定されず他の材料でも良い。
必要とせず、画素が小さい場合や、開口率の著しい低下をまねくことなく、使用が可能で
ある。
路は画素と同一基板上に一体形成しても良いし、別基板上に形成しCOGまたはTABな
どの技術を用いて実装しても良い。
る。以下に、本発明を用いて形成された表示装置を表示媒体として組み込んだ電子機器に
ついて説明する。
レイ(ゴーグル型ディスプレイ)、ゲーム機、カーナビゲーション、パーソナルコンピュ
ータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等)などが挙げら
れる。それらの一例を図15に示す。
3、操作キー3104、外部接続ポート3105、シャッター3106等を含む。本発明
の表示装置はカメラの表示部3102に用いることができる。
、キーボード3204、外部接続ポート3205、ポインティングマウス3206等を含
む。本発明の表示装置は表示部3203に使用することができる。
3、操作キー3304、赤外線ポート3305等を含む。本発明の表示装置は表示部33
02に使用することができる。
本体3401、筐体3402、記録媒体(CD、LDまたはDVD等)読込部3405、
操作スイッチ3406、表示部(a)3403、表示部(b)3404等を含む。表示部
Aは主として画像情報を表示し、表示部Bは主として文字情報を表示するが、本発明の表
示装置は記録媒体を備えた画像再生装置の表示部(a)、(b)に用いることができる。
なお、記録媒体を備えた画像再生装置としては、CD再生装置、ゲーム機器などに本発明
を用いることができる。
部3502を装着することができる。
ッチ3603、音声出力部3604などを含む。本発明の表示装置は表示部3602に用
いることができる。
声入力部3704、アンテナ3705、操作キー3706、外部接続ポート3707など
を含む。本発明の表示装置を表示部3703に用いることができる。
が可能である。また、本実施例の電子機器は実施例1〜9のどのような組み合わせからな
る構成を用いても実現することができる。
Claims (5)
- 第1乃至第4の配線と、第1乃至第3のトランジスタと、不揮発性メモリと、保持容量と、画素電極と、共通電極と、を有し、
前記第1のトランジスタのゲートは、前記第1の配線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2の配線と電気的に接続され、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方、及び前記画素電極と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのゲートは、前記第3の配線と電気的に接続され、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記不揮発性メモリの第1の電極と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのゲートは、前記第4の配線と電気的に接続され、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記保持容量の第1の電極と電気的に接続され、
前記不揮発性メモリの第2の電極及び前記保持容量の第2の電極は、前記共通電極と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1において、
前記不揮発性メモリは、前記不揮発性メモリの第1の電極と、前記不揮発性メモリの第2の電極との間に、強誘電体層を有することを特徴とする表示装置。 - 請求項2において、
前記第2のトランジスタ、前記第3のトランジスタ、及び前記保持容量上の第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上の前記不揮発性メモリと、
前記不揮発性メモリ上の第2の絶縁膜と、
前記第2の絶縁膜上の前記共通電極と、を有し、
前記保持容量は、前記第1の絶縁膜及び前記第2の絶縁膜に形成された第1のコンタクトホールを介して前記共通電極と電気的に接続され、
前記不揮発性メモリは、前記第2の絶縁膜に形成された第2のコンタクトホールを介して前記共通電極と電気的に接続されていることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
静止画を表示する際、前記第2のトランジスタはオン、前記第3のトランジスタはオフであり、
動画を表示する際、前記第2のトランジスタはオフ、前記第3のトランジスタはオンであることを特徴とする表示装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の表示装置を有することを特徴とする電子機器。
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