JP5330309B2 - ジンバル付きmemsミラー・ヒンジ用折り返し縦トーション・ヒンジ - Google Patents
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Description
適用外
連邦政府の資金提供による研究または開発の下で為された発明に対する権利についての記述。
「シーケンス・リスト」、表、またはコンパクト・ディスク上で提出されたコンピュータ・プログラムのリストの別表に対する参照。
wはヒンジ幅であり、
Lはヒンジ長さであり、
Nはヒンジ要素の数であり、
Eはヤング係数である。
κθは縦トーションばね定数であり、
vはポアソン比である。
Iは一次トーションモードの慣性モーメントであり、
Rはミラー半径であり、
ρはミラー密度である。
Δzsagは重力によるミラー・サグであり、
gは重力加速度である。
Claims (9)
- 平行プレート静電動作用の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造であって、
静電電極(20,22,24,26)を埋め込んだミクロミラー・アレイの基板(37)と、
前記基板の前記アレイ内のミラー(12)と、
前記ミラーの周りのジンバルと、そして
4つのジンバル・ヒンジ構造(40,42,46,48)と
を備え、
前記4つのジンバル・ヒンジ構造の各々は単純な縦蛇行ヒンジ構造であって、各単純な縦蛇行ヒンジ構造が2つの外部連結点(180,182)の間に各単純な縦蛇行ヒンジ構造の回転軸と平行な方向に配置された少なくとも3つのトーション・ヒンジ要素(190,196,210,216)を備え、
前記4つのジンバル・ヒンジ構造が前記ジンバル・リング(44)上の4つの位置に配置され、第1の対の前記ジンバル・ヒンジ構造(40,42)が前記ミラーを前記ジンバル・リング(44)に連結し、そして第2の対の前記ジンバル・ヒンジ構造(46,48)が前記基板(37)を前記ジンバル・リング(44)に連結し、
前記トーション・ヒンジ要素がその端部で剛性ブレース(200,201,202,206,220,221,226)により蛇行するように互いに結合され、そして
各単純な縦蛇行ヒンジ構造が、前記ミラーの対向する側に在る単純な縦蛇行ヒンジ構造に対して回転対称に配置される
二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。 - 前記ミラーが円形である請求項1に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
- 各単純な縦蛇行ヒンジ構造が、多重折り返しトーション要素で形成される請求項1に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
- 前記多重折り返しトーション要素の各々が、その端部で剛性ブレース(70−75)によって蛇行するように互いに結合され、
第1の外部連結点(80,84,87)が回転軸の第1の側でアレイの横端部から中心を外して配置され、そして
第2の外部連結点(82,85,88)が回転軸の第2の側でアレイの横端部から中心を外して配置される
請求項3に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。 - 対称に連結されたジンバル・ミラー構造を形成するように、第1の単純な縦蛇行ヒンジ構造(46)の前記第1の外部連結点は、前記ミラーの対向する側の第2の単純な縦蛇行ヒンジ構造の前記第1の外部連結点と同じ前記回転軸の側に在る請求項4に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
- 回転対称に連結されたジンバル・ミラー構造を形成するように、第1の単純な縦蛇行ヒンジ構造(846、946)の前記第1の外部連結点が、前記ミラーの対向する側の第2の縦蛇行ヒンジ構造(848、948)の前記第1の外部連結点と反対の前記回転軸の側に在る請求項4に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
- 平行プレート静電動作用の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造であって、
静電電極(20,22,24,26)を埋め込んだミクロミラー・アレイの基板(37)と、
前記基板の前記アレイ内のミラー(12)と、
前記ミラーの周りのジンバル・リング(44)と、そして
各々が少なくとも二重に重ねられている4つの複合縦ジンバル・ヒンジ構造(40,42,46,48)と
を備え、
前記ジンバル・リング上の4つの位置に配置された前記4つの複合縦ジンバル・ヒンジ構造の各々が、
前記複合縦ジンバル・ヒンジ構造の回転軸と平行に第1のアレイ内に配置され、その端部で第1の剛性ブレースによって蛇行するように互いに結合されている複数の第1のトーション要素と、
前記複合縦ジンバル・ヒンジ構造の前記回転軸と平行に第2のアレイ内に配置され、その端部で第2の剛性ブレースによって蛇行するように互いに結合されている複数の第2のトーション要素と、
前記複合縦ジンバル・ヒンジ構造を形成するために、第1の端部で前記第1のアレイに連結され、第2の端部で前記第2のアレイに連結されているU字形の剛性横ブレース(351,352)と、
前記回転軸の第1の側に隣接し、その第1の側に配置された前記第1のアレイへの第1の連結点(350)と、そして
前記回転軸の第2の側で前記第2のアレイの横端部に配置された前記第2のアレイへの第2の連結点(348)と
をそれぞれ備える
二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。 - 重ね複合縦ジンバル・ヒンジ構造を形成するように、複数の前記複合縦ジンバル・ヒンジ構造が前記回転軸に沿って直列に前記連結点で結合される請求項7に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
- 対称に連結されたジンバル・ミラー構造を形成するように、第1の複合縦ジンバル・ヒンジ構造の前記第1の連結点が前記ミラーの対向する側の第2の複合縦ジンバル・ヒンジ構造の前記第1の連結点と同じ前記回転軸の側に在る請求項7に記載の二重ジンバル付きミクロ機械加工ミラー構造。
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