JP5325814B2 - 画像形成装置および画像形成方法 - Google Patents
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Description
上記の配線パターンの形成において、レジストパターンを形成する方法としては、例えば、配線パターンに対応する透光部または遮光部を有するマスクを介して対象物上の感光性を有するレジスト膜に光を照射することにより、レジスト膜上にレジストパターンの画像を形成し、当該レジスト膜を現像することにより、配線パターンに対応するレジストパターンを形成するフォトリソグラフィが用いられる。
(1)まず、判定対象とする辺に対して、以下の局所座標系を考える。
・判定対象辺の始点(0,0)
・判定対象辺の終点(L,0) ただしL=判定対象辺の長さ
(2)次に0≦X≦Lかつ0≦Y≦Lとなる正方形の領域を設定する(以下の説明でこの正方形の領域を判定用領域と称する)。
(3)次に判定用領域内にある他の辺を求める。
(4)次にその判定用領域内の他の辺の、X方向への投影長さの合計Jを求める。
(5)L/2≦Jのとき、判定対象辺は長辺、L/2>Jのとき判定対象辺は短辺と判定する。
1 画像形成装置
33 潜像形成部
34 現像部
4 第1電位付与部
5 第2電位付与部
7 データ処理部
71 元パターンデータ記憶部
72 データ補正部
9 対象物
Claims (9)
- 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、
認識された前記外郭線からの距離、および、図形要素の前記外郭線に接しまたは平行に位置する辺を判定して、前記外郭線の外部からトナー画像が影響を受ける複数の区域に、前記線状図形要素群を区画する判定手段と、
該判定手段の判定結果に応じて区域毎に補正量を求め、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように前記元パターンデータを補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成装置。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成装置であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する画定手段と、
画定手段により画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する外郭認識手段と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する判定手段と、
該判定手段の判定結果に応じて当該図形要素のデータを、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように補正する補正手段と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成装置。 - 請求項1または2に記載の画像データ作成装置であって、
前記補正手段は、前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素のデータについて、前記対象物上に当該図形要素のトナー画像を形成した場合に、エッジ効果を打ち消して当該トナー画像が元パターンデータの当該図形要素の形状となるように細らせ補正するものであることを特徴とする画像データ作成装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の画像データ作成装置であって、
前記判定手段は、前記外郭線に対して前記図形要素の短辺が向いているのか長辺が向いているのかその両方が向いているのかを判定するものであることを特徴とする画像データ作成装置。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群の外郭線を認識する工程と、
認識された前記外郭線からの距離、および、図形要素の前記外郭線に接しまたは平行に位置する辺を判定して、前記外郭線の外部からトナー画像が影響を受ける複数の区域に、前記線状図形要素群を区画する判定工程と、
該判定工程の判定結果に応じて区域毎に補正量を求め、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように前記元パターンデータを補正する工程と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成方法。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像データを作成する画像データ作成方法であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、
画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、
判定結果に応じて当該図形要素のデータを、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように補正する工程と、
を備えたことを特徴とする画像データ作成方法。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成装置であって、
請求項1乃至3のいずれかに記載の画像データ作成装置と、
前記画像データ作成装置によって作成された補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する潜像形成部と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する現像部と、
前記トナー画像を対象物に転写するトナー画像転写部と、
を備えたことを特徴とする画像形成装置。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群の外郭線を認識する工程と、
認識された前記外郭線からの距離、および、図形要素の前記外郭線に接しまたは平行に位置する辺を判定して、前記外郭線の外部からトナー画像が影響を受ける複数の区域に、前記線状図形要素群を区画する判定工程と、
該判定工程の判定結果に応じて区域毎に補正量を求め、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように前記元パターンデータを補正する工程と、
補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、
前記トナー画像を対象物に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする画像形成方法。 - 電子写真方式で対象物上にトナー画像を形成するための画像形成方法であって、
元パターンデータの画像中のストライプよりなる線状図形要素群から、ひとかたまりの図形要素群を画定する工程と、
画定された前記ひとかたまりの図形要素群の外郭線を認識する工程と、
前記ひとかたまりの図形要素群において、認識された前記外郭線から所定距離内に位置する図形要素について、当該外郭線に対する関係を判定する工程と、
判定結果に応じて当該図形要素のデータを、前記外郭線に近いほど線状図形が細くなるように補正する工程と、
補正済データに基づいて感光体上に静電潜像を形成する工程と、
前記静電潜像にトナーを付与することにより前記静電潜像を現像して転写前のトナー画像を形成する工程と、
前記トナー画像を対象物に転写する工程と、
を備えたことを特徴とする画像形成方法。
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