JP5319601B2 - 半導体装置及び電力用半導体装置 - Google Patents
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Description
本発明は、半導体装置及び電力用半導体装置に関する。
半導体装置は、半導体素子と、これを収納する筐体と、半導体素子と導通した端子と、を備えている。半導体素子は、例えばトランジスタやダイオードである。筐体は、基板上に設けれた半導体素子を内部に収納する。端子は、筐体の内部で半導体素子と導通し、筐体の外側に延出している。
端子における筐体の外部に設けられた外部延出部には、孔が設けられている。この孔は、外部接続部材(例えば、ブスバー)をボルト及びナットで外部延出部に接続するためのものである。また、筐体には、外部延出部の孔の位置に合わせてナットが埋設されている。これにより、外部接続部材が外部延出部にボルト及びナットで接続される(例えば、特許文献1参照。)。
しかしながら、半導体装置にブスバー等の外部接続部材を取り付ける際、外部接続部材と筐体側のナットとの位置合わせが困難であり、外部接続部材の取り付けに多くの労力を要している。
本発明は、外部接続部材を容易に取り付けることができる半導体装置及び電力用半導体装置を提供する。
本発明の一態様によれば、筐体と、前記筐体の内部に収納された半導体素子と、前記半導体素子と導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する端子と、前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、を備えたことを特徴とする半導体装置が提供される。
また、本発明の他の一態様によれば、基板上に実装された電力用トランジスタと、前記電力用トランジスタを内部に収納する筐体と、前記電力用トランジスタのベース、エミッタ及びコレクタとそれぞれ導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する複数の端子と、前記複数の端子のうちの少なくとも一つの前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、を備えたことを特徴とする電力用半導体装置が提供される。
本発明によれば、外部接続部材を容易に取り付けることができる半導体装置及び電力用半導体装置が提供される。
以下、本発明の実施の形態を図に基づき説明する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比係数などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比係数が異なって表される場合もある。
また、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、半導体装置110の模式的断面図である。また、同図(b)は、半導体装置110の模式的平面図である。
図2は、第1の実施の形態に係る半導体装置における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
図1は、第1の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、半導体装置110の模式的断面図である。また、同図(b)は、半導体装置110の模式的平面図である。
図2は、第1の実施の形態に係る半導体装置における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
図1(a)に表したように、本実施の形態に係る半導体装置110は、半導体素子10、筐体20、端子30及びねじ部材であるナット40を備えている。
半導体装置110では、筐体20の表面の一部である蓋部22の主面22aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
半導体装置110では、筐体20の表面の一部である蓋部22の主面22aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
半導体素子10は、例えばトランジスタやダイオードといった能動素子や、抵抗やコンデンサといった非能動素子である。本実施の形態に係る半導体装置110では、半導体素子10の一例として、トランジスタやダイオードといった能動素子が適用される。
半導体素子10は、絶縁基板1に実装される。絶縁基板1としては、例えばセラミックス基板が用いられる。絶縁基板1の一方の主面1aには、電極パターンMPが形成されている。半導体素子10の裏面は、この電極パターンMPに、例えばはんだによって接続されている。また、半導体素子10の表面に設けられた電極パッド(図示せず)は、ボンディングワイヤ等によって電極パターンMPと接続される。
絶縁基板1の他方の主面1bには、ほぼ全面に金属膜MLが形成されている。絶縁基板1は、この金属膜MLを介してベース板2に接続されている。金属膜MLとベース板2とは、例えばはんだによって接続される。ベース板2は、例えば金属製であり、半導体装置110の固定用基板及び半導体素子10の放熱板として利用される。
筐体20は、絶縁材料である例えば樹脂によって成型されている。筐体20は、枠部21と、蓋部22と、を有する。枠部21は、例えばベース板2に固定され、絶縁基板1の周辺を取り囲むように設けられる。枠部21の内側には、例えばシリコーン樹脂による封止材25が注入される。封止材25は、半導体素子10やボンディングワイヤBW等を封入する。封止材25は、半導体素子10を外因(例えば、湿気、温度、塵、外圧)から保護する役目を果たす。
蓋部22は、枠部21の開口側に取り付けられる。蓋部22には、端子30を貫通させる孔Hが設けられている。端子30は、筐体20の内部で半導体素子10と導通する内部延出部31と、筐体20の外側に延出する外部延出部32と、を有する。
内部延出部31は、筐体20内において電極パターンMPと、例えばはんだによって接続されている。内部延出部31は、電極パターンMPとの接続位置から蓋部22の孔Hを貫通し、外部延出部32に接続されている。
外部延出部32は、筐体20の外部に延出している。図1に例示する外部延出部32では、内部延出部31と同じ金属板によって形成されている。外部延出部32は、内部延出部31の延出する方向に対して、ほぼ直角に折り曲げられ、蓋部22の主面22aに沿うように設けられた部分を有する。ここで、外部延出部32には、ナット40の移動方向に合わせて、長孔32hが設けられている。
ナット40は、多角形(例えば、六角形、四角形)の外形を有する。ナット40は、筐体20における蓋部22の主面22aに沿って移動可能に設けられている。ここで、蓋部22には、主面22aに沿って溝22hが設けられている。ナット40は、この溝22h内に収められ、溝22hの伸びる方向に沿って移動可能になっている。つまり、溝22hの幅は、ナット40の外径よりも大きく、溝22h内でナット40が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット40は、溝22h内で回転することなく、溝22hに沿って平行移動可能に設けられる。
図2に表したように、ナット40は、外部延出部32と、外部接続部材(例えば、ブスバー)200とをボルト300によって接続する際に用いられる。ナット40が蓋部22の主面22aに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部32と外部接続部材200とをボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の位置に自由度が生じる。すなわち、主面22aに沿ったナット40の可動範囲だけボルト300の位置、すなわち外部接続部材200の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材200の取り付け作業が容易になる。
図1及び図2に例示した半導体装置110では、3つの端子30が設けられている。端子30は、少なくとも1つ設けられていればよい。複数の端子30を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置110では、少なくとも1つの端子30に対応したナット40が移動可能に設けられていればよい。図1に例示した半導体装置110では、3つの端子30のうち、2つの端子30A及び30Bに対応したナット40が移動可能に設けられている。
図1(b)に表したように、端子30Aに対応したナット40は、蓋部22の溝22hに沿った範囲L1で移動可能になっている。また、端子30Bに対応したナット40は、蓋部22の溝22hに沿った範囲L2で移動可能になっている。これにより、外部接続部材200をボルト300及びナット40で固定する際、ボルト300の位置をナット40の移動の範囲L1及びL2に合わせることが可能になる。
(比較例)
図3、比較例に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、比較例に係る半導体装置190の模式的断面図である。また、同図(b)は、比較例に係る半導体装置190の模式的平面図である。
図4は、比較例に係る半導体装置190における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
図3、比較例に係る半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、比較例に係る半導体装置190の模式的断面図である。また、同図(b)は、比較例に係る半導体装置190の模式的平面図である。
図4は、比較例に係る半導体装置190における外部接続部材の接続状態を例示する模式的断面図である。
図3(a)に表したように、比較例に係る半導体装置190は、半導体素子10、筐体20、端子30及びナット40を備えている。
半導体装置190では、筐体20の蓋部22にナット40が埋め込まれている。
半導体装置190では、筐体20の蓋部22にナット40が埋め込まれている。
端子30は、筐体20の内部で半導体素子10と導通する内部延出部31と、筐体20の外側に延出する外部延出部32と、を有する。
外部延出部32は、筐体20の外部において、蓋部22の主面22aに沿って折り曲げられている。外部延出部32には、ナット40の内径よりも大きく、外径よりも小さい丸孔32hcが設けられている。この丸孔32hcの位置は、蓋部22に埋め込まれたナット40の位置と合わせられている。
図4に表したように、ナット40は、外部延出部32と、外部接続部材200とをボルト300によって接続する際に用いられる。比較例に係る半導体装置190では、ナット40が蓋部22の主面22aに埋め込まれている。このため、外部延出部32と外部接続部材200とをボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の位置に対してボルト300の位置を正確に合わせる必要がある。すなわち、ナット40の位置に対してボルト300の位置合わせに自由度が少なく、ナット40の位置とボルト300の位置とが正確に合わないと、締め付けできない。このボルト300及びナット40の位置合わせに時間を要し、外部接続部材200の取り付け作業に多くの時間を必要としている。
これに対し、本実施の形態に係る半導体装置110では、ナット40が、筐体20における蓋部22の主面22aに沿って移動可能に設けられていることから、外部接続部材200をボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の移動範囲においてボルト300の位置合わせに自由度を持たせることができる。これにより、ボルト300による外部接続部材200の取り付け作業が容易になる。
(第2の実施の形態)
図5は、第2の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図5に表したように、第2の実施の形態に係る半導体装置120では、半導体素子10、筐体20、端子30及びねじ部材であるナット40を備えている。
半導体装置120では、筐体20の表面の一部である第1台座部221の主面221aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
図5は、第2の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図5に表したように、第2の実施の形態に係る半導体装置120では、半導体素子10、筐体20、端子30及びねじ部材であるナット40を備えている。
半導体装置120では、筐体20の表面の一部である第1台座部221の主面221aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
第1台座部221は、蓋部22の主面22aに対して垂直な方向に設けられている。第1台座部221は、例えば蓋部22と同じ樹脂によって、蓋部22と一体的に設けられている。第1台座部221の主面221aは、蓋部22の主面22aに対して垂直な方向に沿って設けられている。
第1台座部221には、主面221aに沿って溝221hが設けられている。この溝221h内にナット40が収められている。したがって、ナット40は、溝221hに沿って移動可能に設けられる。つまり、ナット40は、主面221a(主面22aと垂直な面)に沿って移動可能になっている。
また、ナット40は、多角形(例えば、六角形、四角形)の外形を有する。溝221hの幅は、ナット40の外径よりも大きく、溝22h内でナット40が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット40は、溝221h内で回転することなく、溝221hに沿って平行移動可能に設けられる。
端子30の外部延出部32は、蓋部22の主面22aに対して垂直な方向に延出している。また、外部延出部32は、第1台座部221の溝221hが設けられた側に隣接して配置される。これにより、外部延出部32は、第1台座部221の主面221aに沿うように設けられた部分を有する。
なお、図5に例示する半導体装置120では、3つの端子30が設けられている。端子30は、少なくとも1つ設けられていればよい。複数の端子30を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置120では、少なくとも1つの端子30に対応して第1台座部221が設けられ、この第1台座部221にナット40が移動可能に設けられていればよい。図5に例示した半導体装置120では、3つの端子30のうち、2つの端子30A及び30Bに対応して第1台座部221が設けられ、この第1台座部221にナット40が移動可能に設けられている。
ナット40は、外部延出部32と、外部接続部材200とをボルト300によって接続する際に用いられる。ナット40が第1台座部221の主面221aに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部32と外部接続部材200とをボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の位置に自由度が生じる。
一方、外部延出部32には、ナット40の移動方向に合わせて長孔32hが設けられている。ナット40の移動方向は、長孔32hの長軸方向に沿っている。これにより、主面221aに沿ったナット40の可動範囲だけボルト300の位置、すなわち、外部接続部材200の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材200の取り付け作業が容易になる。
(第3の実施の形態)
図6は、第3の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図6に表したように、第3の実施の形態に係る半導体装置130では、半導体素子10、筐体20、端子30及びねじ部材であるナット40を備えている。
半導体装置120では、筐体20の表面の一部である第2台座部222の主面222aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
図6は、第3の実施の形態に係る半導体装置の構成を例示する模式的断面図である。
図6に表したように、第3の実施の形態に係る半導体装置130では、半導体素子10、筐体20、端子30及びねじ部材であるナット40を備えている。
半導体装置120では、筐体20の表面の一部である第2台座部222の主面222aに沿って、ナット40が移動可能に設けられている。
第2台座部222は、蓋部22の主面22aに対して垂直な方向に設けられている。第2台座部222は、例えば蓋部22と同じ樹脂によって、蓋部22と一体的に設けられている。第2台座部222の主面222aは、蓋部22の主面22aに対して斜め(例えば、45°)に設けられている。
第2台座部222には、主面222aに沿って溝222hが設けられている。この溝222h内にナット40が収められている。したがって、ナット40は、溝222hに沿って移動可能に設けられる。つまり、ナット40は、主面222a(主面22aと垂直な面)に沿って移動可能になっている。
また、ナット40は、多角形(例えば、六角形、四角形)の外形を有する。溝222hの幅は、ナット40の外径よりも大きく、溝222h内でナット40が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット40は、溝222h内で回転することなく、溝222hに沿って平行移動可能に設けられる。
端子30の外部延出部32は、蓋部22の主面22aに対して斜め(例えば、45°)に延出する部分を含む。外部延出部32の斜めに延出する部分は、第2台座部222の溝222hが設けられた側で、第2台座部222の主面222aに沿うように設けられている。
なお、図6に例示する半導体装置130では、3つの端子30が設けられている。端子30は、少なくとも1つ設けられていればよい。複数の端子30を有する場合、本実施の形態に係る半導体装置130では、少なくとも1つの端子30に対応して第2台座部222が設けられ、この第2台座部222にナット40が移動可能に設けられていればよい。図6に例示した半導体装置130では、3つの端子30のうち、2つの端子30A及び30Bに対応して第2台座部222が設けられ、この第2台座部222にナット40が移動可能に設けられている。
ナット40は、外部延出部32と、外部接続部材200とをボルト300によって接続する際に用いられる。ナット40が第2台座部222の主面222aに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部32と外部接続部材200とをボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の位置に自由度が生じる。
一方、外部延出部32には、ナット40の移動方向に合わせて長孔32hが設けられている。ナット40の移動方向は、長孔32hの長軸方向に沿っている。これにより、主面222aに沿ったナット40の可動範囲だけボルト300の位置、すなわち、外部接続部材200の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材200の取り付け作業が容易になる。
なお、図6に例示した半導体装置130では、端子30A及び30Bに対応した第2台座部222のそれぞれの主面222aが、蓋部22の主面22aに対して同じ角度になっているが、それぞれ異なる角度で設けられていてもよい。また、端子30に対応した台座部として、第2台座部222と第1台座部221(図5参照)とが混在して設けられていてもよい。
また、本実施の形態に係る半導体装置110、120及び130においては、ナット40が配置される溝として、蓋部22の主面22aに設けられた溝22h(図1参照)、第1台座部221に設けられた溝221h(図5参照)及び第2台座部222に設けられた溝222h(図6参照)の2つ以上を組み合わせてもよい。また、溝22h、221h及び222hに設けられるねじ部材は、ナット40の代わりにボルトであってもよい。
(第4の実施の形態)
図7は、第4の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、電力用半導体装置150の模式的断面図である。同図(b)は、電力用半導体装置150の等価回路図である。
図7は、第4の実施の形態に係る電力用半導体装置の構成を例示する模式図である。
同図(a)は、電力用半導体装置150の模式的断面図である。同図(b)は、電力用半導体装置150の等価回路図である。
図7に表したように、電力用半導体装置150は、電力用トランジスタ10T、筐体20、複数の端子30(30Te、30Tc及び30Tb)及びねじ部材であるナット40を備えている。
電力用トランジスタ10Tは、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)、IEGT(Injection Enhanced Gate Transistor)、パワーMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタといった高電圧及び大電流に対応したトランジスタ素子である。本実施の形態に係る電力用半導体装置150では、電力用トランジスタ10Tの一例としてIGBTが適用されている。
電力用トランジスタ10Tは、例えばセラミックス基板である絶縁基板1に実装される。絶縁基板1には、電極パターンMPが形成されており、この電極パターンMPに電力用トランジスタ10Tが、例えばはんだによって接続されている。また、絶縁基板1には、電力用トランジスタ10Tのほか、必要に応じてダイオード10Dが実装されている。ダイオード10Dは、例えばFRD(Fast Recovery Diode)である。
複数の端子30のうち、端子30Tbは、電力用トランジスタ10Tのベースに接続される。端子30Teは、電力用トランジスタ10Tのエミッタに接続される。端子30Tcは、電力用トランジスタ10Tのコレクタに接続される。各端子30Te、30Tc及び30Tbは、筐体20の内部で半導体素子10と導通する内部延出部31と、筐体20の外側に延出する外部延出部32と、を有する。
ナット40は、この複数の端子30Te、30Tc及び30Tbのうち、少なくとも一つにおける、筐体20と外部延出部32との間に設けられ、筐体20の表面(主面20a)に沿って移動可能に設けられている。図7に例示した電力用半導体装置150では、端子30Te及び30Tcについて、筐体20と外部延出部32との間に移動可能にナット40がそれぞれ設けられている。すなわち、端子30Te及び30Tcには、このナット40及びボルト300を用いて、高電圧及び大電流に対応した外部接続部材(例えば、ブスバー)200が接続される。一方、端子30Tbには、高電圧及び大電流が流れないため、コネクタ(図示せず)等を介して配線が接続される。
ナット40は、多角形(例えば、六角形、四角形)の外形を有する。ナット40は、筐体20における蓋部22の主面22aに沿って設けられた溝22h内に収められている。溝22hの幅は、ナット40の外径よりも大きく、溝22h内でナット40が回転しない程度の大きさになっている。これにより、ナット40は、溝22h内で回転することなく、溝22hに沿って平行移動可能に設けられる。
ナット40が蓋部22の主面22aに沿って移動可能に設けられていることで、外部延出部32と外部接続部材200とをボルト300及びナット40で固定する際、ナット40の位置に自由度が生じる。すなわち、主面22aに沿ったナット40の可動範囲だけボルト300の位置、すなわち外部接続部材200の取り付け位置に余裕を持たせることができる。したがって、外部接続部材200の取り付け作業が容易になる。
図7に例示した電力用半導体装置150では、筐体20内に1つの電力用トランジスタ10Tが設けられ、この電力用トランジスタ10Tに対応して3つの端子30Te、30Tc及び30Tbが設けられているが、筐体20内に複数の電力用トランジスタ10Tが設けられ、各電力用トランジスタ10Tに対応して複数の端子30が設けられていてもよい。
また、本実施の形態に係る電力用半導体装置150においては、ナット40が配置される溝として、蓋部22の主面22aに設けられた溝22hのほか、第1台座部221に設けられた溝221h(図5参照)や、第2台座部222に設けられた溝222h(図6参照)であってもよい。また、溝22h、221h及び222hのいずれか2つを組み合わせてもよい。また、溝22h、221h及び222hに設けられるねじ部材は、ナット40の代わりにボルトであってもよい。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。例えば、前述の各実施の形態に対して、当業者が適宜、構成要素の追加、削除、設計変更を行ったものもや、各実施の形態の特徴を適宜組み合わせたものも、本発明の要旨を備えている限り、本発明の範囲に含有される。
1…絶縁基板、2…ベース板、10…半導体素子、10D…ダイオード、10T…電力用トランジスタ、20…筐体、22…蓋部、22h…溝、25…封止材、30…端子、31…内部延出部、32…外部延出部、32h…長孔、32hc…丸孔、40…ナット、110〜150,190…半導体装置、200…外部接続部材、221…第1台座部、221h…溝、222…第2台座部、222h…溝、300…ボルト、BW…ボンディングワイヤ、H…孔、ML…金属膜、MP…電極パターン
Claims (6)
- 筐体と、
前記筐体の内部に収納された半導体素子と、
前記半導体素子と導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する端子と、
前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 前記ねじ部材は、前記外部延出部に設けられた長孔の長軸方向に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記ねじ部材は、前記筐体に設けられた台座部の主面に沿って移動可能に設けられたことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記外部延出部は、前記筐体の前記表面に沿って延出する部分を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記端子は、一端が前記筐体の内部で前記半導体素子と導通し、他端が前記外部延出部と導通する内部延出部をさらに備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 基板上に実装された電力用トランジスタと、
前記電力用トランジスタを内部に収納する筐体と、
前記電力用トランジスタのベース、エミッタ及びコレクタとそれぞれ導通し、前記筐体の外部に延出した外部延出部を有する複数の端子と、
前記複数の端子のうちの少なくとも一つの前記外部延出部と前記筐体との間において前記筐体の表面に沿って移動可能に設けられ、前記外部延出部に外部端子を固定するねじ部材と、
を備えたことを特徴とする電力用半導体装置。
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