JP5312100B2 - 測定方法及び測定装置 - Google Patents
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Description
このように、ステップS105は、第i番目の部分領域を除くN−1箇所の部分領域の測定時の姿勢ばらつきに起因する誤差(セッティングエラー)及びN箇所の部分領域に共通な測定装置に起因する誤差(システムエラー)を算出する誤差算出ステップである。ステップS105では、これらの誤差を打ち消すような補正値を求める。
T1、T2 部分領域
T12 重なり領域
Claims (10)
- 被測定物をN箇所(Nは2以上の整数)の部分領域に分割して測定し、該N箇所の部分領域を繋ぎ合わせて該被測定物の全体形状を測定する測定方法であって、
前記N箇所の部分領域の1つが他のN−1箇所の部分領域の少なくとも1つと重なり領域を有するように、該N箇所の部分領域を測定する部分領域測定ステップと、
前記N箇所の部分領域のうち第i番目の部分領域(iは1以上N以下の整数)の測定時の姿勢ばらつきに起因する誤差を固定する基準決定ステップと、
前記第i番目の部分領域を除くN−1箇所の部分領域の前記測定時の姿勢ばらつきに起因する誤差、及び、前記N箇所の部分領域に共通な測定装置に起因する誤差を算出する誤差算出ステップと、
前記誤差算出ステップで算出された各誤差に応じた補正を行い、前記N箇所の部分領域を繋ぎ合わせる繋ぎ合せステップと、を有し、
前記基準決定ステップ、前記誤差算出ステップ及び前記繋ぎ合わせステップは、前記iを変えてM回(Mは2以上N以下の整数)繰り返し実行されることを特徴とする測定方法。 - 前記誤差算出ステップは、最小二乗法を用いて前記各誤差を算出することを特徴とする請求項1記載の測定方法。
- 前記M回繰り返し実行されることにより得られるM個の繋ぎ合わせ結果に基づいて前記被測定物の測定値とする全体形状測定ステップを更に有することを特徴とする請求項1又は2に記載の測定方法。
- 前記全体形状測定ステップは、前記M個の繋ぎ合わせ結果の平均値を前記被測定物の測定値とすることを特徴とする請求項3記載の測定方法。
- 前記全体形状測定ステップは、前記M個の繋ぎ合わせ結果を重み付けして得られた平均値を前記被測定物の測定値とすることを特徴とする請求項3記載の測定方法。
- 前記全体形状測定ステップは、前記M個の繋ぎ合わせ結果の平均値と、該M個の繋ぎ合わせ結果と該平均値との差をそれぞれ算出し、該差が最小となるときの繋ぎ合わせ結果を前記被測定物の測定値とすることを特徴とする請求項3記載の測定方法。
- 前記全体形状測定ステップは、前記M個の繋ぎ合わせ結果の各部分領域同士の重なり領域における演算結果の差の二乗和をそれぞれ計算し、該二乗和が最小となる繋ぎ合わせ結果を前記被測定物の測定値とすることを特徴とする請求項3記載の測定方法。
- 前記全体形状測定ステップは、前記M個の繋ぎ合わせ結果のうち異常値を除外して得られた結果の平均値を前記被測定物の測定値とすることを特徴とする請求項3記載の測定方法。
- 前記各誤差は、Zernike多項式を用いて算出されることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一に記載の測定方法。
- 請求項1乃至9のいずれか一に記載の測定方法を用いて被測定物の全体形状を測定するように構成されていることを特徴とする測定装置。
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