JP7119949B2 - 判定装置及び判定方法 - Google Patents
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Description
A1.判定システムの構成
図1は、本開示の一実施形態としての判定システム5の概略構成を示す図である。判定システム5は、検査装置20と、自動分類装置40と、目視検査装置50と、学習装置70と、転送装置90と、検査データベース60と、を備える。判定システム5における各装置は、ネットワークにより接続されている。自動分類装置40と目視検査装置50とを「判定装置10」とも呼ぶ。判定装置10は、判定対象物の良否判定を実行するための装置である。
第2実施形態の判定システム5では、判定実行部44は、第2種判定対象部分P2について、第1判定部43における良の基準と不良の基準とを第1種判定対象部分P1よりも厳しく設定して、第1判定部43に判定を実行させる。また、判定実行部44は、第1判定部43により不良候補と判定された第2種判定対象部分P2について、第2判定部51に良否判定結果の取得を実行させる。その他の判定システム5の構成は、第1実施形態と同様であるため説明を省略する。
図17は、第3実施形態における判定システム5aの概略構成を示す図である。この判定システム5aは、センシング部21aが、パターンマッチング部22aとテンプレートデータ23aとを有する点が、図1に示した判定システム5と異なり、他の構成は図1と同じである。判定システム5aでは、検査装置20aのセンシング部21aが、判定対象物について判定装置10aにおける判定が必要か否かを判定する。また、判定システム5aでは、自動分類装置40aの判定実行部44aが、センシング部21aにより判定が必要とされた判定対象物における判定対象部分pについて、上述の良否判定処理を実行する。
D1.他の実施形態1
図19は、他の実施形態1における良否判定処理のイメージを示す図である。上記第1実施形態においては、図13に示したように、判定実行部44は、第2種判定対象部分P2については、第1判定部43による判定を実行せず、第2判定部51に判定員による良否判定結果の取得を実行させている。これに対し、第1判定部43は第2種判定対象部分P2を「不良候補」と判定するように構成されており、判定実行部44は、第2種判定対象部分P2について第1判定部43による判定を実行させる。この形態においても、全ての第2種判定対象部分P2は、上記第1実施形態と同様に、判定員により良否判定される。そのため、第1実施形態と同様に、第1判定部43において変更部分CPを含む第2種判定対象部分P2の良否が誤判定されることを抑制することができる。
上記実施形態において、判定実行部44、44aは、自動分類装置40、40aに代えて、判定装置10、10aの備える目視検査装置50や、判定システム5、5aの備える学習装置70や、判定システム5、5aにネットワークで接続された他の装置に備えられていてもよい。この場合、第1判定部43と、第2判定部51と、判定実行部44、44aとの機能を実現する装置を「判定装置」と呼ぶこともできる。
上記実施形態において、センシング部21、21aは、例えば、対象物の匂い、味、音響等、画像以外の結果を取得してもよい。
上記実施形態において、学習装置70は、第2種判定対象部分P2の判定員による良否判定結果を用いて学習を行ってもよい。判定実行部44、44aは、学習装置70に、第2種判定対象部分P2の判定員による良否判定結果による学習を、第1種判定対象部分P1よりも優先させてもよい。例えば、判定実行部44、44aは、判定対象部分に第2種判定対象部分P2を識別するためのラベルを付与した良否判定結果付き画像を検査データベース60に保存し、学習装置70は、ラベルが付与された判定対象部分の判定員による良否判定結果による学習頻度や学習の重み付けを、ラベルが付与されていない良否判定結果による学習頻度よりも高くしてもよい。また、学習装置70は、第2種判定対象部分P2の判定員による良否判定結果を用いて学習された判定モデルを、例えば、クロスバリデーション方式により評価してもよい。判定実行部44、44aは、当該学習された判定モデルの評価結果が予め定めた条件を満たす場合に、第2種判定対象部分P2を当該判定モデルにより判定可能と判断してもよい。判定実行部44、44aは、第2種判定対象部分P2を判定モデルにより良と不良と不良候補とに判定可能になった場合に、変更部分取得部41による変更部分CPの取得を行わず、判定対象部分pについて第1判定部43に判定を実行させ、第1判定部43により不良候補と判定された前記判定対象部分pについて第2判定部51に良否判定結果の取得を実行させてもよい。
上記形態において、変更部分CPは旧判定対象物からの設計の変更により生じているが、変更部分CPは、判定対象物の製造プロセスが、旧判定対象物から変更されることにより生じていてもよい。
本開示は、上述した実施形態に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の形態で実現することができる。例えば、本開示は、以下の形態によっても実現可能である。以下に記載した各形態中の技術的特徴に対応する上記実施形態中の技術的特徴は、本開示の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、本開示の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組合せを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。
Claims (5)
- 判定対象物のセンシング部によるセンシング結果により得られた判定対象部分の良否を判定する判定装置であって、
旧判定対象物からの前記判定対象物の変更部分を取得する変更部分取得部と、
前記判定対象部分の判定員による良否判定結果により学習された判定モデルを用いて、前記判定対象部分を良と不良と不良候補のいずれかに判定する第1判定部と、
前記判定対象部分について判定員による良否判定結果を取得する第2判定部と、
前記判定対象部分について、前記第1判定部と前記第2判定部との少なくとも一方を用いた良否判定処理を実行する判定実行部と、を備え、
前記判定実行部は、前記良否判定処理において、
前記変更部分を含まない前記判定対象部分である第1種判定対象部分については、前記第1判定部に判定を実行させ、前記第1判定部により不良候補と判定された場合に前記第1種判定対象部分について前記第2判定部に良否判定結果の取得を実行させ、
前記変更部分が含まれる前記判定対象部分である第2種判定対象部分について、前記第2判定部に良否判定結果の取得を実行させる、判定装置。 - 請求項1に記載の判定装置であって、
前記判定実行部は、前記第2種判定対象部分について、前記第1判定部に判定を実行させず、前記第2判定部に良否判定結果の取得を実行させる、判定装置。 - 請求項1に記載の判定装置であって、
前記判定実行部は、
前記第2種判定対象部分について、良又は不良と判定される確率を低下させるとともに不良候補と判定される確率を上昇させるように前記第1判定部における良と不良の判定基準を、前記第1種判定対象部分よりも厳しく設定して、前記第1判定部に判定を実行させ、
前記第1判定部により不良候補と判定された場合に前記第2種判定対象部分について、前記第2判定部に良否判定結果の取得を実行させる、判定装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の判定装置であって、
前記判定実行部は、前記センシング部により判定が必要とされた前記判定対象物における前記判定対象部分について、前記良否判定処理を実行する、判定装置。 - 判定対象物のセンシング結果により得られた判定対象部分の良否を判定する判定方法であって、
旧判定対象物からの変更部分を取得する変更部分取得工程と、
前記判定対象部分の判定員による良否判定結果により学習された判定モデルを用いて、前記判定対象部分を良と不良と不良候補のいずれかに判定する第1判定工程と、
前記判定対象部分について判定員による良否判定結果を取得する第2判定工程と、を備え、
前記変更部分を含まない前記判定対象部分である第1種判定対象部分について、前記第1判定工程において判定を実行し、前記第1判定工程において不良候補と判定された前記第1種判定対象部分について前記第2判定工程において良否判定結果の取得を実行し、
前記変更部分が含まれる前記判定対象部分である第2種判定対象部分について、前記第2判定工程において良否判定結果の取得を実行する、判定方法。
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---|---|---|---|---|
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JP7435303B2 (ja) * | 2020-06-23 | 2024-02-21 | オムロン株式会社 | 検査装置、ユニット選択装置、検査方法、及び検査プログラム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005128628A (ja) | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Toshiba Corp | パターン識別における照合に用いられるテンプレートの生成ならびに同テンプレートを用いたパターン識別のための方法、装置、およびプログラム |
JP2011192032A (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Nippon Steel Corp | 疵学習装置、疵学習方法、及びコンピュータプログラム |
JP2014137284A (ja) | 2013-01-17 | 2014-07-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 教師データ作成支援装置、教師データ作成装置、画像分類装置、教師データ作成支援方法、教師データ作成方法および画像分類方法 |
JP2014190821A (ja) | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 |
JP2017049974A (ja) | 2015-09-04 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | 識別器生成装置、良否判定方法、およびプログラム |
JP2018045673A (ja) | 2016-09-09 | 2018-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 |
WO2018150607A1 (ja) | 2017-02-20 | 2018-08-23 | Serendipity株式会社 | 外観検査装置、照明装置、撮影照明装置 |
US20180293721A1 (en) | 2017-04-07 | 2018-10-11 | Kla-Tencor Corporation | Contour based defect detection |
Family Cites Families (10)
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---|---|---|---|---|
JP2003222659A (ja) * | 2002-01-31 | 2003-08-08 | Umc Japan | 解析シミュレータ、解析シミュレート方法及び解析シミュレートプログラム |
JP5312100B2 (ja) * | 2009-03-03 | 2013-10-09 | キヤノン株式会社 | 測定方法及び測定装置 |
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US20170069075A1 (en) * | 2015-09-04 | 2017-03-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Classifier generation apparatus, defective/non-defective determination method, and program |
US11467300B2 (en) * | 2016-08-03 | 2022-10-11 | Schlumberger Technology Corporation | Multi-scale deep network for fault detection |
US10546373B2 (en) * | 2016-08-03 | 2020-01-28 | Sightline Innovation Inc. | System and method for integrated laser scanning and signal processing |
JP6615847B2 (ja) * | 2017-11-08 | 2019-12-04 | 株式会社東芝 | 画像処理装置、画像処理システム、画像処理方法、およびプログラム |
US10677742B2 (en) * | 2018-03-09 | 2020-06-09 | Kla-Tencor Corp. | Detecting die repeating programmed defects located in backgrounds with non-repeating features |
US10803617B2 (en) * | 2018-03-21 | 2020-10-13 | Wipro Limited | Method and system for detecting and correcting an orientation of an image |
-
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005128628A (ja) | 2003-10-21 | 2005-05-19 | Toshiba Corp | パターン識別における照合に用いられるテンプレートの生成ならびに同テンプレートを用いたパターン識別のための方法、装置、およびプログラム |
JP2011192032A (ja) | 2010-03-15 | 2011-09-29 | Nippon Steel Corp | 疵学習装置、疵学習方法、及びコンピュータプログラム |
JP2014137284A (ja) | 2013-01-17 | 2014-07-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 教師データ作成支援装置、教師データ作成装置、画像分類装置、教師データ作成支援方法、教師データ作成方法および画像分類方法 |
JP2014190821A (ja) | 2013-03-27 | 2014-10-06 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 欠陥検出装置および欠陥検出方法 |
JP2017049974A (ja) | 2015-09-04 | 2017-03-09 | キヤノン株式会社 | 識別器生成装置、良否判定方法、およびプログラム |
JP2018045673A (ja) | 2016-09-09 | 2018-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 分類器構築方法、画像分類方法、分類器構築装置および画像分類装置 |
WO2018150607A1 (ja) | 2017-02-20 | 2018-08-23 | Serendipity株式会社 | 外観検査装置、照明装置、撮影照明装置 |
US20180293721A1 (en) | 2017-04-07 | 2018-10-11 | Kla-Tencor Corporation | Contour based defect detection |
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