JP5306604B2 - 二値半導体記憶装置 - Google Patents
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熱酸化法を適用することに依り、Si基板11上にトンネルSiO2 膜であるゲート絶縁膜12を形成する。
RTA(rapid thermal annealing)法を適用することに依り、窒素雰囲気中で1000℃、30秒の条件でアニールを行う。このアニール工程は省略することもできるが、次に堆積するHfO2 膜との反応を抑止したい場合に必要となる。
MOCVD法を適用することに依り、アモルファスHfO2 膜を 0 .5nmから2nm程度の厚さに成膜し、窒素雰囲気中で1050℃、1分の条件で熱処理を行って結晶化した微細なHfO2 ナノドット13Aを得る。尚、MOCVD法は、ALD(atomic layer deposition)法やスパッタリング法に代替することができる。
また、形成したHfO2 ナノドット13Aをプラズマ窒化法やNH3 アニール法などを適用してHfONのナノドットにしても良い。
この後、MOCVD法を適用することに依り、Al2 O3 を2nm〜5nm程度に成膜し、窒素雰囲気中で1000℃、30秒の条件でアニールする。尚、この場合のMOCVD法も、工程(4)で説明した他の成膜法に代替して良い。
LPCVD(low pressure chemical vapor deposition)法を適用することに依り、厚さ10nm程度のHTO(high temperature oxide)からなるコントロール絶縁膜14を成膜する。尚、コントロール絶縁膜14の膜厚は約3nm〜20nm程度の範囲で選択することができ、その選択は目標とするメモリの動作電圧や電荷保持特性を基礎にして決める。尚、コントロール絶縁膜14の成膜には、PCVD(plasma chemical vapour depotion)法を適用しても良いし、Si酸化膜に窒素を添加してSiON膜にしても良い。
LPCVD法を適用することに依り、多結晶Si膜を形成してゲート電極15とする。
尚、ここで用いた多結晶Siは、リンやホウ素をドーピングした多結晶Siを用いたり、メタルを用いても良い。
以上説明した工程を経て作製したゲートスタック構造を断面TEM(transmission electron microscope)観察することにより、Al2 O3 からなる電荷保持膜13中にHfO2 ナノドットが二次元的に埋め込まれているのを確認した。
半導体基板上に作成された不揮発性メモリであって、
SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜と前記絶縁膜中に埋め込んだHfO 2 、TiO 2 、或いは、ZrO 2 のいずれかからなる微細なドットとからなる電荷保持層と、
前記電荷保持層を挟み込むトンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜と
を備え、
前記微細なドットが前記半導体基板表面から等距離に位置する2次元平面上に分布して層を成すことを特徴とする二値半導体記憶装置。
半導体基板上に作成された不揮発性メモリであって、
HfO 2 、TiO 2 、或いは、ZrO 2 のいずれかからなる微細なドットと該ドット間の隙間を埋めるSiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜からなる電荷保持膜と、
前記電荷保持層を挟み込むトンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜と
を備え、
前記微細なドットの少なくとも一部が前記トンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜の少なくとも一方に接している
ことを特徴とする二値半導体記憶装置。
前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜の材料が金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化物から選択されたものであること
を特徴とする(付記1)または(付記2)に記載の二値半導体記憶装置。
前記ドットの層は1層以上設けられてなること
を特徴とする(付記1)または(付記2)に記載の二値半導体記憶装置。
前記微細なドットの面密度が1×1012/cm2以上であり且つ直径が5nm以下であること
を特徴とする(付記1)または(付記2)に記載の二値半導体記憶装置。
前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜が前記微細なドットに比較して深いトラップレベルをもつ材料からなること
を特徴とする(付記1)または(付記2)に記載の二値半導体記憶装置。
前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜のコンダクションバンド端エネルギーが、前記微細なドットのコンダクションバンド端エネルギーに比較して大きく且つその差であるコンダクションバンドオフセットが0.48eV以上であること
を特徴とする(付記1)または(付記2)に記載の二値半導体記憶装置。
(付記1)或いは(付記2)記載の二値半導体記憶装置を製造するに際し、前記微細なドットを高温熱処理に依って自己組織的に形成すること
を特徴とする二値半導体記憶装置の製造方法。
12 トンネルSiO2 膜であるゲート絶縁膜
13 HfO2 ナノドット13Aを導入したAl2 O3 からなる電荷保持膜
14 SiO2 からなるコントロール用絶縁膜
15 ゲート電極
16 n型ソース領域
17 n型ドレイン領域
Claims (5)
- 半導体基板上に作成された不揮発性メモリであって、
SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜と前記絶縁膜中に埋め込んだHfO 2 、TiO 2 、或いは、ZrO 2 のいずれかからなる微細なドットとからなる電荷保持層と、
前記電荷保持層を挟み込むトンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜と
を備え、
前記微細なドットが前記半導体基板表面から等距離に位置する2次元平面上に分布して層を成すことを特徴とする二値半導体記憶装置。 - 半導体基板上に作成された不揮発性メモリであって、
HfO 2 、TiO 2 、或いは、ZrO 2 のいずれかからなる微細なドットと該ドット間の隙間を埋めるSiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜からなる電荷保持膜と、
前記電荷保持層を挟み込むトンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜と
を備え、
前記微細なドットの少なくとも一部が前記トンネル絶縁膜及びコントロール絶縁膜の少なくとも一方に接している
ことを特徴とする二値半導体記憶装置。 - 前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜の材料が金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化物から選択されたものであること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の二値半導体記憶装置。 - 前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜が前記微細なドットに比較して深いトラップレベルをもつ材料からなること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の二値半導体記憶装置。 - 前記SiO2に比較して誘電率が高い絶縁膜のコンダクションバンド端エネルギーが、前記微細なドットのコンダクションバンド端エネルギーに比較して大きく且つその差であるコンダクションバンドオフセットが0.48eV以上であること
を特徴とする請求項1または請求項2に記載の二値半導体記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007049807A JP5306604B2 (ja) | 2007-02-28 | 2007-02-28 | 二値半導体記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2007049807A JP5306604B2 (ja) | 2007-02-28 | 2007-02-28 | 二値半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008218482A JP2008218482A (ja) | 2008-09-18 |
JP5306604B2 true JP5306604B2 (ja) | 2013-10-02 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5306604B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5468227B2 (ja) * | 2008-09-30 | 2014-04-09 | 株式会社東芝 | 半導体記憶素子、半導体記憶素子の製造方法 |
JP5235930B2 (ja) * | 2010-03-26 | 2013-07-10 | 株式会社東芝 | 半導体記憶装置、及びその製造方法 |
JP5025754B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2012-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体記憶素子、及び半導体記憶装置 |
JP6614612B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2019-12-04 | キオクシア株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
JP7079762B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2022-06-02 | キオクシア株式会社 | 不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4014431B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-11-28 | 富士通株式会社 | 半導体記憶装置及び半導体記憶装置の製造方法 |
WO2003099708A1 (fr) * | 2002-05-28 | 2003-12-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Procede de production de nanoparticules et nanoparticules produites selon ce procede |
JP2007519240A (ja) * | 2004-01-06 | 2007-07-12 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | トンネル層に量子ドットを有するトランジスタ |
JP2005328029A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-24 | Asahi Glass Co Ltd | 不揮発性半導体記憶素子およびその製造方法 |
JP2005340768A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-12-08 | Asahi Glass Co Ltd | 多値不揮発性半導体記憶素子およびその製造方法 |
JP4359207B2 (ja) * | 2004-08-30 | 2009-11-04 | シャープ株式会社 | 微粒子含有体の製造方法 |
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JP2008218482A (ja) | 2008-09-18 |
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