JP5299304B2 - パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造中間体 - Google Patents
パワーモジュール用基板の製造方法およびパワーモジュール用基板の製造中間体 Download PDFInfo
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Description
まず、製造中間体10を製造する。すなわち、ろう付用のろう箔40、セラミックス基板20および金属板30,31の少なくともいずれかの表面(本実施形態ではろう箔40のセラミックス基板20に接する表面)であってマージン部10Bとなる位置に、前記セラミックス基板と前記金属板との接合を妨害する接合妨害部40aを設けておく。
10A 製品部
10B マージン部
11,12 接合部
13 識別記号
20 セラミックス基板
30,31 金属板
32 回路パターン
33 放熱層
40,41 ろう箔
40a 接合妨害部
90 パワーモジュール用基板
100 パワーモジュール
101 電子部品
102 ヒートシンク
102a 流路
103 はんだ材
104 ボンディングワイヤ
Claims (5)
- 識別記号を有する製造中間体を経てパワーモジュール用基板を製造する方法であって、
前記パワーモジュール用基板となる製品部とマージン部とを一体に有する前記製造中間体を製造する工程として、
ろう付用のろう箔、セラミックス基板および金属板の少なくともいずれかの表面であって前記マージン部となる位置に、前記セラミックス基板と前記金属板との接合を妨害する接合妨害部を設ける工程と、
前記セラミックス基板と前記金属板との間に前記ろう箔を配置するように、前記セラミックス基板、前記金属板および前記ろう箔を積層する工程と、
この積層方向に加圧しながら加熱して、前記セラミックス基板と前記金属板とをろう付する工程とを有し、
前記セラミックス基板と前記金属板との間に、前記セラミックス基板と前記金属板とが互いに接合されている接合部と、前記接合妨害部によって前記セラミックス基板と前記金属板とが互いに接合されていない部分とを設け、この接合されていない部分による識別記号を形成して前記製造中間体を製造し、
この製造中間体から前記パワーモジュール用基板を製造する工程として、
前記マージン部において前記識別記号が形成された部分の表面にマスクを形成した状態で前記金属板を所定形状にエッチングする工程と、
前記マージン部を取り除くとともに前記製品部を所定形状に分割する工程とを有し、
前記識別記号が取り除かれたパワーモジュール用基板を製造することを特徴とするパワーモジュール用基板の製造方法。 - 前記接合妨害部は、前記ろう箔、前記セラミックス基板または前記金属板の前記表面に塗料により形成された塗膜であることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- 前記接合妨害部は、前記金属板の前記表面に形成された凹部であることを特徴とする請求項1に記載のパワーモジュール用基板の製造方法。
- パワーモジュール用基板となる製品部とマージン部とを一体に有する製造中間体であって、
互いに接合されたセラミックス基板と金属板とを備え、
前記セラミックス基板と前記金属板との間に、前記セラミックス基板と前記金属板とが互いに接合されている接合部と、前記セラミックス基板と前記金属板とが互いに接合されていない部分により形成された識別記号とが設けられ、
前記識別記号は、前記マージン部に形成されていることを特徴とするパワーモジュール用基板の製造中間体。 - 前記識別記号は、前記金属板の表面に形成された凹部であることを特徴とする請求項4に記載のパワーモジュール用基板の製造中間体。
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