JP5292002B2 - 測長装置 - Google Patents
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- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
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Description
走査ユニット10をX方向では堅く連結し、かつこのX方向に対して横方向では帯行体14に連結している。この手段により、帯行体14の誤った方向付けは走査ユニット10へ伝達されない。連結体15は概略的にしか示していない。連結体は例えば測定方向で堅いスプリングワイヤとしての特許文献1による周知の方法で、あるいは球連結体としての特許文献3による周知の方法で形成されている。
センサーチップ13の下面において、あるいはケーシングされているケーシング132の下面において直接行われる。この場合、ケーシングの下面は、熱を発生させるシップ領域に直接相対している面である。良好に熱伝導するセンサーチップ13と熱伝導部材19の間の接続は、熱伝達抵抗を小さく維持するために、接続面が5mm2未満である場合に達せられる。
帯行体14において良好に熱伝導するように接続されている。同様にこの接続は、ろう付けによって行われるかあるいは図2で示したように、締付ネジを介した締付による帯行体14の内壁への大きな面の接触により行われる。
−ケーシング22内のスケール20を備えており、
−スケール20とケーシング22のユニットに対して測定方向Xで移動可能な走査ユニット10を備えていて、この場合、走査ユニット10がケーシング22内に設けられており、かつ少なくとも一つの熱を発生する電気構成部品13を有しており、
−帯行体14を備えていて、この帯行体が、測定方向Xで堅くかつ帯行体に対して横方向に可撓な連結体15を介して、走査ユニット10に固定されており、かつケーシング22の外部に設けられた組立領域141に対して延びている測長装置において、
電気構成部品13で発生した熱を帯行体14に伝達するように、
かつ測定方向Xに対して少なくとも横方向での、帯行体14と走査ユニット10の間の相対運動を許容するように設計されている熱伝導部材19を備えていることを特徴とする測長装置に関する。
2 物体
10 走査ユニット
13 電気構成部品、センサーチップ
14 帯行体
15 連結体
16 コネクター
19 熱伝導部材
20 スケール
22 ケーシング
30 回路基板
133 走査センサー
141 組立領域
191 フレキシブルな部分
SD 位置測定値
X 測定方向
Claims (11)
- 二つの物体(1,2)の相対位置を測定するための測長装置であって、
−ケーシング(22)内のスケール(20)を備えており、
−スケール(20)とケーシング(22)のユニットに対して測定方向Xで移動可能な走査ユニット(10)を備えていて、この場合、走査ユニット(10)がケーシング(22)内に設けられており、かつ少なくとも一つの熱を発生する電気構成部品(13)を有しており、
−帯行体(14)を備えていて、この帯行体が、測定方向Xで堅くかつ帯行体に対して横方向に可撓な連結体(15)を介して、走査ユニット(10)に固定されており、かつケーシング(22)の外部に設けられた組立領域(141)に対して延びている測長装置において、
電気構成部品(13)で発生した熱を帯行体(14)に伝達するように、
かつ測定方向Xに対して少なくとも横方向での、帯行体(14)と走査ユニット(10)の間の相対運動を許容するように設計されている熱伝導部材19を備えていることを特徴とする測長装置。 - 電気構成部品がセンサーチップ(13)であり、このセンサーチップが、スケール(20)を走査し、かつ走査信号(SA)を発生させるための走査センサー(133)、ならびにこの走査信号(SA)を処理して位置測定値(SD)にするための手段(134)を備えていることを特徴とする請求項1記載の測長装置。
- センサーチップ(13)からの位置測定値(SD)が、二桁以上のデジタルコードワードの形式の出力信号としてビットシリアルに供給されることを特徴とする請求項2記載の測長装置。
- 熱伝導部材(19)が、一方では電気構成部品(13)に良好に熱伝導するように結合しており、他方では帯行体(14)に良好に熱伝導するように結合していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の測長装置。
- 帯行体(14)が、ケーシング(22)の外部に設けられた、測定すべき物体(1)に帯行体(14)を固定するための組立領域(141)を備えており、熱伝導部材(19)から収容された熱を組立領域(141)に伝達するために、帯行体(14)が良好に熱伝導する材料でできていることを特徴とする請求項4記載の測長装置。
- 熱伝導部材(19)がフレキシブルで可撓な少なくとも一つの部分(191)を備えていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の測長装置。
- フレキシブルな部分(191)が帯状であることを特徴とする請求項6記載の測長装置。
- 熱伝導部材19が銅の材料を有していることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の測長装置。
- 電気構成部品(13)が回路基板(30)に設けられていて、熱伝導部材(19)が、電気構成部品(13)から回路基板(30)を介して案内される第一の部分(192)と、後続する第二の部分(191)を備えており、この第二の部分が第一の部分(192)から出発して帯行体(14)に案内され、かつ測定方向Xに対して横方向での帯行体(14)と走査ユニット(10)の間の相対運動を許容することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の測長装置。
- 電気構成部品(13)が回路基板(30)上に設けられており、熱伝導部材が、走査ユニット(10)から帯行体(14)に案内されている回路基板(30)の構成部品であることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の測長装置。
- フレキシブル導体(18)が、センサーチップ(13)から組立領域(141)のコネクタ(16)へ位置測定値(SD)を伝達するための電気的接続導線(17)と、一方では、センサーチップ(13)に熱伝導するように結合しており、他方では、帯行体(14)に熱伝導するように結合している、熱伝導部材(19)として形成された導線とを備えていることを特徴とする請求項10記載の測長装置。
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