JP5281651B2 - クイックロックシステムを備えるプランジャ - Google Patents
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Description
Claims (6)
- テスト装置と接続された接触装置へ電子デバイス、特にICを供給し、およびこれから離反させるためのプランジャであって、
当該プランジャは、
プランジャ保持部と、
前記プランジャ保持部にスライド可能に案内され、基体と、負圧によってデバイスを保持するために前記基体に取り付け可能なプランジャヘッドとを有するプランジャスライド部と、
を備え、
前記プランジャヘッドは、前記基体に配置された第1のロック手段と、前記プランジャヘッドに配置された第2のロック手段とを含むクイックロックシステムによって前記基体に取り付け可能であり、
前記第1及び第2のロック手段は、前記基体に対して相対的に前記プランジャヘッドを回すことで、前記プランジャヘッドが軸方向で前記基体と連結して相互に係合した位置へと移すことが可能であるように構成され、
前記基体に配置されたロック手段は、円周にわたって配分された少なくとも2つの軸方向溝およびこれらの間に位置する球面区域を有する、前記プランジャヘッドの方向に突出するボール部を含み、
前記プランジャヘッドに配置されたロック手段は、前記軸方向溝に沿って可動である、前記プランジャヘッドを回すことで前記球面区域に係合する位置へと移すことが可能なクリップ部材を有し、
前記ボール部は、一方では前記基体の前記負圧供給配管と接続されるとともに他方では前記プランジャヘッドの少なくとも1つの負圧通路と接続された負圧配管を含み、
前記プランジャヘッドは少なくとも1つの軸方向のセンタリング穴を有し、
前記プランジャ保持部には前記プランジャヘッドの方向に突出する少なくとも1つのセンタリングピンが取り付けられており、
前記センタリングピンは、前記プランジャスライド部が引き戻された位置にあるときに前記プランジャヘッドの付属の前記センタリング穴に係合し、かつ前記プランジャスライド部が押し出された位置にあるときには前記プランジャヘッドとのセンタリング係合が解除される、
ことを特徴とする、プランジャ。 - 前記プランジャヘッドはヘッド中央部を有し、
前記ヘッド中央部は前記基体の前記ボール部に合わせて適合化されたボールキャップを備え、
前記ボールキャップは前記ボール部に載置可能である、
ことを特徴とする、請求項1に記載のプランジャ。 - 前記基体は、基部と、前記プランジャの軸方向に対して横向きに浮動式に前記基部に保持された連結プレートとを有し、
前記第1のロック手段は前記連結プレートに取り付けられ、
前記プランジャヘッドは前記クイックロックシステムによって前記連結プレートと連結可能である、
ことを特徴とする、請求項2に記載のプランジャ。 - 前記プランジャヘッドは、前側の台座区域と、該前側の台座区域へ挿入及び/又は載置可能であって、デバイスのための載置面を有する熱伝導性の優れた温度調節体とを備える台座を有し、
少なくとも1つの負圧通路が前記温度調節体を貫いて延びて前記載置面に連通している、
ことを特徴とする、請求項1又は3に記載のプランジャ。 - 前記前側の台座区域に通じていて温度調節された流体を前記温度調節体へ誘導する複数の流体通路が、前記ヘッド中央部の前記ボールキャップの周囲に配置されていることを特徴とする、請求項4に記載のプランジャ。
- 前記プランジャヘッドは、前記連結プレートと対向している側に周回するシール材を有し、
前記シール材は前記流体通路の周囲に延びて前記連結プレートに流体を密封するように当接する、
ことを特徴とする、請求項5に記載のプランジャ。
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