KR101141306B1 - 고속 잠금 시스템을 구비한 플런저 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자 부품, 특히 집적회로를 테스트 장치와 연결된 접촉 장치로 공급하고 상기 접촉 장치로부터 이동하는 플런저에 관한 것이다. 플런저 헤드(23)는 고속 잠금 시스템을 이용하여 베이스 본체(7)에 고정될 수 있다. 상기 고속 잠금 시스템은 록킹수단(31, 33)을 구비하고, 상기 록킹수단은 베이스 본체(7)에 대해 플런저 헤드(23)를 회전시키는 경우 반대쪽 후방-결합 위치로 이동될 수 있으며, 상기 위치에서 플런저 헤드(23)는 축 방향으로 베이스 본체(7)와 연결되어 있다.

Description

고속 잠금 시스템을 구비한 플런저{PLUNGER WITH A QUICK LOCKING SYSTEM}

본 발명은 청구항 1의 전제부에 따라 전자 부품, 특히 ICs를 테스트 장치와 연결된 접촉 장치로 공급하고 상기 접촉 장치로부터 이동하는 플런저 홀더 부재 및 플런저 슬라이딩 부재를 구비한 플런저에 관한 것이다.

예를 들어 IC(통합 스위치를 장착한 반도체 부품)와 같은 전자 부품은 도체 판에 장착되거나 또는 그 밖의 다른 용도로 사용되기 전에 통상적으로 상기 전자 부품의 기능이 테스트 된다. 테스트할 부품은 "핸들러"로 표기된 로봇에 의해 접촉 장치와 접촉하며, 특히 상기 접촉 장치는 접촉 받침대로부터 형성되어 있고 테스트 장치의 테스트 헤드와 전기 접촉을 하고 있다. 테스트 과정 종료 후 부품은 핸들러를 이용하여 접촉 장치로부터 제거되고 테스트 결과에 따라 분류된다.

부품을 고정 및 접촉시키기 위해 통상적으로 핸들러는 플런저, 즉 상기 플러저를 따라 피스톤처럼 왕복 이동 및 움직일 수 있는 고정 장치를 구비하며, 상기 고정 장치는 특히 압력(진공)을 수단으로 하는 흡입력 공급을 통해 부품을 고정할 수 있다. 플런저는 핸들러 내에서 플런저 헤드 위에 부품을 밀어넣고 난 이후에 위치가 이동되며, 상기 위치에서 플런저는 부품이 접촉 장치와 접촉할 때까지 직선 경로에서 접촉 장치로 계속해서 전방 이동될 수 있다.

테스트 과정 실행 이후에 부품은 플런저를 이용하여 다시 테스트 헤드로부터 제거되며, 부품이 언로딩스테이션을 통해 핸들러로부터 제거 및 테스트 결과에 따라 분류될 수 있도록 놓인다.

흡입력을 통해 테스트할 부품이 고정되어 있는 플런저 헤드는 보통 플런저 슬라이딩 부재의 베이스 본체에 고정되어 있고 나사를 통해 분리될 수 있다. 이로 인해 부품 유형 교체시 플런저 헤드만 다른 새로운 부품에 적합한 플러저 헤드로 대체하는 것이 가능하고, 반면에 플런저의 나머지 부품은 그대로 유지될 수 있다. 그러나 플런저 헤드의 교체는 작업 비용이 많이 들고 종종 원하는 간단한 방법으로 실행될 수 없다.

본 발명의 목적은 서두에서 언급한 방식으로 빠르고 간단한 방법으로 플런저 헤드 교체가 가능한 플런저를 제공하는 것이다.

본 발명에 따른 상기 목적은 청구항 1의 특징부를 구비한 플런저를 통해 해결된다. 본 발명의 바람직한 실시 형태는 또 다른 청구항에 개시되어 있다.

본 발명에 따른 플런저의 경우 플런저 헤드가 고속 잠금 시스템을 통해 베이스 본체에 고정될 수 있고, 상기 고속 잠금 시스템은 베이스 본체에 배열된 첫 번째 연동장치 및 플런저 헤드에 배열된 두 번째 연동장치를 포함하며, 상기 두 연동장치는 베이스 본체에 대해 플런저 헤드를 회전시킴으로써 반대쪽 후방 위치로 이동될 수 있으며, 상기 위치에서 플런저 헤드는 축 방향으로 베이스 본체와 연결되도록 형성되어 있다.

본 발명에 따른 플런저의 경우 플런저 헤드는 상기 플런저 헤드가 특정한 회전각 위치에서 축 방향으로 베이스 본체에 연결되고, 그런 다음 특정한 각도로 회전되어 축 방향으로 연동 됨으로써 매우 간단하고 빠른 방법으로 플런저 슬라이딩 부재의 베이스 본체에 고정될 수 있다. 본체로부터 플런저 헤드의 분리는 플런저 헤드의 역방향 회전 및 베이스 본체로부터 축 방향으로 끌어당김으로써 실행된다. 이것은 전적으로 공구 없이 실행될 수 있다.

특히 바람직한 실시 형태에 따라 베이스 본체에 배열된 연동장치는 플런저 헤드 방향의 전방에 위치한 볼 부품(ball part)를 포함하며, 상기 볼 부품는 볼 부품의 범위에 분할 배치된 두 개의 축 방향 슬롯 및 상기 슬롯 중간에 위치한 볼 표면 절단면을 구비하고 있다. 플런저 헤드에 배열된 연동장치는 클립 부재를 구비하며, 상기 클립 부재는 축 방향 슬롯을 따라 움직일 수 있고, 플랜저 헤드의 회전을 통해 볼 표면 절단면의 후방 위치로 이동될 수 있다. 고속 연동장치의 상기 실시 형태는 핸들러 내에서 수작업으로 실행될 수 있는 플랜저 헤드의 간단하고 빠른 교체만 가능하게 하는 것이 아니라, 그밖에 부품을 접촉 장치의 연결 접촉부에 부착시킬 때 부품이 플런저 헤드와 함께 모든 방향으로 움직일 수 있도록 함으로써, 부품이 접촉 장치의 위치에 최적화로 형성될 수 있다. 이를 위해 접촉 장치에 대해 플런저 헤드 중앙 쪽 중앙 장치, 즉 센터링 장치는 플런저 헤드에 제공되어 있다. 상기 중앙 장치는 예를 들어 플런저 헤드의 센터 홀 또는 중앙 슬롯으로 구성될 수 있고, 중앙 핀으로 삽입될 수 있으며, 상기 중앙 핀은 접촉 장치(접촉 받침대)로부터 돌출해 있다. 접촉 장치에 대해 플런저와 부품의 중심은 플런저 슬라이딩 부재의 경직된 가이드를 통해 방해받지 않으며 플런저에 장력이 발생하지 않는다.

특히 바람직한 실시 형태에 따라 볼 부품은 압력 라인(진공 라인)을 구비하며, 상기 압력 라인은 한편으로는 베이스 본체의 압력 공급 라인과 연결되어 있고, 다른 한편으로는 적어도 하나 이상의 플런저 헤드의 압력 루트와 연결되어 있다. 이로 인해 부품을 고정하기 위해 필요한 압력이 간단하고 적은 공간을 구비한 방법으로 플런저 헤드의 접촉 면으로 가이드 될 수 있다.

특히 바람직한 실시 형태에 따라 베이스 본체는 베이스 부재와 연결 플레이트를 구비하고 있으며, 상기 연결 플레이트는 플런저의 축 방향에 대해 횡방향으로 부유하면서 베이스 부재에 고정되어 있으며, 첫 번째 연동장치는 연결 플레이트에 고정되어 있고 플런저 헤드는 고속 연동장치를 이용하여 연결 플레이트에 연결될 수 있다. 부유하면서 고정된 연결 플레이트는 부품이 접촉 장치에 부착된다면 플런저 헤드 측면, 즉 플런저의 종방향에 대해 횡방향으로 적정 범위에서 움직일 수 있다. 접촉 장치에 대해 부품의 중심은 다루기 쉽고 장력 없는 방법으로 가능하다.

본 발명은 도면과 관련하여 예를 들어 아래와 같이 상세하게 설명된다.
도 1은 당겨진 플런저 슬라이딩 부재를 장착한 본 발명에 따른 플런저의 사시도이다.
도 2는 전방으로 이동된 플런저 슬라이딩 부재를 장착한 도 1의 플런저를 도시하고 있다.
도 3은 도 1에 따른 설명을 도시하고 있으며, 플런저 헤드와 연결 플레이트 영역에서 절단된 플런저가 도시되어 있다.
도 4는 도 2에 따른 설명을 도시하고 있으며, 플런저 헤드와 연결 플레이트 영역에서 절단된 플런저가 도시되어 있다.
도 5는 플런저 헤드가 첫 번째 연동장치에 대해 축 방향으로 이동될 수 있는 위치에서 플런저 헤드와 첫 번째 공 모양의 연동장치의 사시도이다.
도 6은 플런저 헤드가 첫 번째 연동장치에 대해 축 방향으로 연동하여 있는 위치에서 플런저 헤드와 첫 번째 연동장치를 나타내는 도면이다.
도 7은 도 6의 플런저 헤드와 첫 번째 연동장치를 통한 단면을 도시하고 있다.
도 8은 플런저 헤드를 미장착한 플런저, 즉 연결 플레이트의 평면도이다.

도 1 내지 도 4에 도시된 플런저(1)는 기본적으로 플런저 홀더 부재(2) 및 플런저 슬라이딩 부재(3)를 포함하며, 상기 부품은 종 방향으로 이동될 수 있는 플런저 홀더 부재(2)에 고정되어 있다.

핸들러 내부의 플런저(1)는 플런저 홀더 부재(2)를 이용하여 도시되어 있지 않은 피봇 장치 또는 회전 카에 고정될 수 있다. 플런저 슬라이딩 부재(3)의 전방 접촉 면(4)에 부착되고 상기 면에서 압력(진공)을 통해 고정된 도시 되어 있지 않은 전자 부품은 플런저 슬라이딩 부재(3)가 직선으로 전방 이동될 수 있는 특정 위치로 이동될 수 있으며, 상기 접촉 위치에서 부품의 연결 다리 또는 연결 접촉부가 대응하지만 도시되어 있지 않은 접촉 받침대의 연결 접촉부에 부착된다. 전방 이동은 도시되지 않은 이송 운동 장치를 통해 실행되며, 상기 장치는 플런저 슬라이딩 부재(3)의 후방 단부면(5)에 압력을 가하고, 도 2 및 도 4에 도시되어 있는 것처럼 상기 플런저 슬라이딩 부재는 플런저 홀더 부재(2)에 대해 전방으로 이동한다. 도 1 및 도 3에 도시된 출발 위치로 플런저(1)가 복귀하는 것은 용수철 형태의 리턴 스프링(6)을 통해 실행되며, 상기 스프링은 후방 단부와 함께 플런저 홀더 부재(2)에 고정되어 있고, 전방 단부와 함께 플런저 슬라이딩 부재(3)의 베이스 본체(7)에 고정되어 있다.

플런저 홀더 부재(2)는 홀더 플레이트(8), 홀더 바디(9) 및 두 개의 중앙 핀(10)을 구비하고 있다. 홀더 플레이트(8)는 측면 플랜지 방식으로 홀더 바디(9) 위에 설비되어 있고, 두 개의 대각선 방향으로 맞은편에 놓여 있는 에지 영역에 도시되어 있지 않은 나사를 구비한 오목부 쪽으로 보어(11)를 구비하고 있으며, 상기 나사로 고정 플레이트(8)가 도시되어 있지 않은 피봇 장치 또는 회전 카에 고정될 수 있다.

홀더 바디(9)는 홀더 플레이트(8)의 후방 측면에 배열되어 있고 상기 고정 홀더에 일체로 형성되어 있다. 두 개의 중앙 핀(10)은 서로 평행하게 배열되어 있고, 홀더 바디(9)의 후방 단면부 영역에 있는 상기 중앙 핀의 후방 단부에 고정되어 있다. 나아가 중앙 핀(10)은 고정 플레이트(8)를 훨씬 넘어 전방 쪽으로 설비되어 있다. 중앙 핀의 길이는 도 3에 도시되어 있는 것처럼 플런저 슬라이딩 부재(3)가 당겨진 상태에서 전체 베이스 본체(7)를 통해 상기 베이스 본체(7)에 고정된 분해 가능한 플런저 헤드(23)의 중앙 보어(12) 깊숙이 뻗어 있는 정도로 측정된다. 도 3 및 도 4에 도시되어 있는 것처럼 플런저 슬라이딩 부재(3)의 전방 이동된 상태에서 중앙 핀(10)은 중앙 보어(12)와 접촉 없이 도달하므로, 플런저 헤드(23)는 베이스 본체(7)에 대해 회전하고, 나중에 자세하게 설명되겠지만 모든 방향으로 미미하게 젖혀질 수 있다. 그러나 플런저 슬라이딩 부재(3)의 전방 이동된 상태에서 가이드 슬리브(14)와 여전히 접촉하고 있고, 상기 가이드 슬리브는 베이스 본체(7)의 후방 단부에 배열되어 있다. 플런저 슬라이딩 부재(3)가 당겨진 상태에서 가이드 슬리브(14)는 플런저 홀더 부재(2) 내부에 있으므로, 상기 가이드 슬리브는 도 1 및 도 3에서는 인식될 수 없다.

베이스 본체(7)는 베이스 부재(15)로 구성되며, 상기 베이스 부재의 후방 단부에 가이드 슬리브가 형성되어 있고, 측면으로 부유하면서 베이스 부재(15)에 고정되어 있는 전방 중간 플레이트 또는 연결 플레이트(16)로 구성된다.

상기 부유 홀딩에 따라 연결 플레이트(16)는 베이스 부재(15)에 대해 플런저(1)의 종 방향에 대해 수직으로 놓여 있는 평면의 특정한 범위에서 움직일 수 있다. 이것은 도 8에 도시되어 있는 것처럼 플런저 슬라이딩 부재(3)가 당겨진 상태에서 중앙 핀(10)이 연결 플레이트를 통해 돌출해 있는 상기 연결 플레이트(16)의 보어(17)는 지름을 구비하며, 상기 지름은 특정 범위에서 중앙 핀(10)의 외부 지름보다 크다. 중앙 핀(10)은 보어(17) 내에서 측면 공차를 구비하고 있다.

베이스 부재(15)에 연결 플레이트(16)를 축 방향으로 고정하는 것은 두 개의 나사(18)를 통해 실행되며, 도 8에서 상기 나사는 나사 머리(19)만 인식될 수 있다. 나사(18)의 나사 생크(screw shank)는 연결 플레이트(16)의 보어를 관통하고, 상기 보어는 다시 나사 생크의 외부 지름보다 큰 지름을 구비하고 있다. 나아가 나사 머리(19)는 카운터 보어(20)에 위치하고 있으며, 상기 카운터 보어의 지름은 나사 머리(19)의 외부 지름보다 크다. 카운터 보어(20)의 영역에서 연결 플레이트(16)를 덮고 있는 나사 머리(19)는 적은 축 방향 공차를 구비한 연결 플레이트(16)를 고정하지만, 연결 플레이트(16)에서 측면 방향으로 움직인다.

도 8에 도시되어 있는 것처럼 연결 플레이트(16)는 알맞은 온도로 조절된 유체, 특히 조절된 가스를 연결 플레이트(16)를 통해 관통시키기 위해 축 방향 보어(21)를 구비하고 있다. 상기 알맞은 온도로 조절된 유체는 부품이 특정한 온도 조건에서 테스트 되어야 할 때, 플런저(1)에 달라붙은 부품을 냉각 또는 가열시키기 위해 사용된다. 이를 위해 축 방향 보어(21)는 자세하게 도시되어 있지 않은 베이스 부재(15)의 또 다른 축 방향 보어와 일직선상에 놓여 있으며, 상기 자세하게 도시되어 있지 않은 축 방향 보어는 플런저 슬라이딩 부재(3)의 유체 공급 라인(22) (도 1 내지 도 4)과 연결되어 있다. 유체 공급 라인(22)은 플런저 고정 부품(2)의 대응하는 오목부를 관통하고, 플런저 슬라이딩 부재(3)의 당겨진 위치에서 후방 쪽으로 플런저 홀더 부재를 지나 뻗어 있다.

나아가 플런저(1)는 플런저 헤드(23)를 구비하고 있으며, 상기 플런저 헤드는 특수하며, 나중에 자세하게 설명될 고속 잠금 시스템을 이용하여 연결 플레이트(16)에 고정될 수 있다. 플런저 헤드(23)는 기본적으로 받침대(24), 헤드 중심부(25)와 온도 바디(26)를 구비하고 있다. 헤드 중심부(25)는 받침대(24)와 단단하게 연결되어 있고, 상기 받침대와 함께 일체로 형성되어 있다.

받침대(24)는 직육면체꼴의 후방 받침대 절단면(24a) 및 감소한 외부 지름을 구비한 전방 받침대 절단면(24b)으로 구성된다. 받침대(24)에 있는 축 방향으로 관통하고 있는 중앙 슬롯(27)은 받침대(24)의 후방 단부 영역에 헤드 중심부(25)와 온도 바디(26)의 슬리브 형태의 생크 절단면(28)이 전방으로부터 장착될 수 있을 정도로 그 치수가 정해진다.

후방 받침대 절단면(24a)에 두 개의 중앙 보어(12)가 스터드 홀 보어의 형태로 설치되어 있고, 상기 스터드 홀 보어는 플런저 헤드(23)가 완전히 조립된 상태에서 연결 플레이트(16)의 보어(17)와 일직선상에 놓여 있다. 중앙 보어(12)의 후방 절단면(12a)은 중앙 핀(10)을 위한 도입 경사를 형성하기 위해 원추 모양으로 후방으로 확장되어 있다. 이와 반대로 중앙 보어(12)의 전방 절단면(12a) 지름은 플런저 슬라이딩 부재(3)가 최대한 당겨진 단부 위치로 되돌려 진다면, 중앙 핀(10)은 단지 적은 방사상 공차로만 수용될 수 있을 정도로 그 크기가 정해진다. 당겨진 단부 위치에서 플런저 헤드(23)는 베이스 본체(7) 및 플런저 홀더 부재(2)에 대해 중앙 핀(10)을 통해 촛점이 맞추어져 있다. 상기 "백 센터링"(back centering)에 따라 플런저 헤드(23)는 한정된 출발 위치로 다시 되돌려 지고, 동시에 측면으로 연동하므로, 플런저가 핸들러 내의 당겨진 위치에서 움직인다면 플런저 헤드는 더 이상 원하지 않는 방식으로 측면 이동될 수 없다. 이와 반대로 플런저 슬라이딩 부재(3)가 흡입된 부품과 함께 접촉 받침대 방향의 전방으로 움직인다면, 중앙 핀(10)이 중앙 보어(29)와 접촉하지 않으므로, 플런저 헤드(23)는 연결 플레이트(16)과 함께 측면으로 특정 범위로 움직이며, 나중에 상세하게 설명되겠지만 연결 플레이트(16)에 대해 모든 면으로 약간 젖혀질 수 있다. 플런저 헤드(23)와 베이스 본체(7) 사이의 경직된 연결의 지양은 플런저 헤드(23)가 테스트 장치 면에 배열된 접촉 장치, 예를 들어 접촉 받침대에 도달하기 바로 전에 장력 없이 다른 중앙 장치에 의해 촛점이 맞춰지는 것이 가능하며, 상기 중앙 장치는 접촉 장치 영역에 배열되어 있다. 이를 위해 후방 받침대 절단면(24a)이 에지 영역에 중앙 슬롯(30)을 구비하며, 상기 중앙 슬롯은 부품이 접촉 장치에 부착된다면 도시되어 있지는 않지만 접촉 장치 영역에 배열된 중앙 핀과 접촉할 수 있다.

플런저 헤드(23)를 연결 플레이트(16)에 고정하기 위해 볼 부품(32)의 형태로 되어 있는 첫 번째 연동장치(31)가 연결 플레이트(16)에 고정되어 있고, 상기 볼 부품은 4 개의 클립 부재(34)의 형태로 되어 있는 두 번째 연동장치와 함께 작용하며, 상기 클립 부재는 헤드 중심부(25)에 배열되어 있다.

볼 부품(32)은 연결 플레이트(16)의 중앙에 고정되어 있고, 연결 플레이트(16)의 중앙 나선형 보어에 돌려 끼울 수 있는 생크 절단면(35) 및 연결 플레이트(16)를 지나 전방으로 돌출되어 있는 볼 헤드(36)를 구비하고 있다. 볼 부품(32)은 중앙을 관통하는 압력 라인(37)으로 설치되어 있으며, 상기 압력 라인은 상기 라인의 후방 단부에서 압력 파이프로 형성된 플런저 슬라이딩 부재(3) (도 3)의 압력 공급 라인(38)과 연결되어 있다. 압력 파이프(38)는 베이스 본체(7)에 고정되어 있고 중앙 핀(10) 사이 및 상기 중앙 핀에 대해 평행하게 플런저 홀더 부재(2)를 통해 플런저 공급 부재(39)까지 후방으로 뻗어 있다. 상기 플런저 공급 부재(39)는 압력 생성 장치와 압력 파이프(38)를 연결하기 위한 연결부를 구비하고 있으며, 상기 연결부는 자세하게 도시되어 있지 않다. 나아가 유체 공급 라인(22)은 플런저 공급 부재(39)에서 끝나므로, 플런저 공급 부재(39)를 통해 유체가 유체 공급 라인(22)으로 유입될 수 있다. 유체가 가열되어야 한다면 예를 들어 나선형 모양으로 감긴 전기 저항 히터 형태의 히터 장치가 공급 라인(22)에 있을 수 있다.

홀더 플레이트(8)의 가이드 보어에 가이드 되어 있는 압력 파이프(38)는 두 개의 중앙 핀(10)과 함께 플런저 홀더 부재(2)의 플런저 슬라이딩 부재(3)를 가이드 하기 위한 또 다른 가이드 구성 요소로서 사용된다.

나아가 볼 부품(32)의 생크 절단면(35)은 압력 파이프(38)와 함께 움직일 수 있게 연결되어 있으므로 볼 부품(32)은 연결 플레이트(16)와 함께 베이스 부재(15)에 대해 측면으로 움직일 수 있다.

볼 헤드(36)에 헤드 중심부(25)의 부재인 볼 스크레이퍼(40)가 부착될 수 있다. 도 7은 볼 스크레이퍼(40)가 볼 헤드(36)에 놓여 있는 상태를 도시하고 있다. 도 5 내지 도 7에 도시되어 있는 것처럼 클립 부재(34)는 후방 쪽 볼 스크레이퍼(40)를 지나 설비되어 있는 손가락 모양의 돌출부로부터 구성되며, 도 7의 절단면에 도시되어 있는 것처럼 클립 부재(34)의 내부 면은 볼 스크레이퍼(40)의 반원형 모양을 상기 내부 면의 자유단에 이르기까지 계속해서 이어가고 있다. 클립 부재(34)는 두 개의 반대 방향에 놓여 있는 클립 부재(34) 간의 내부 간격이 상기 구성 요소의 볼 스크레이퍼(40)의 과도영역에서보다 자유 단부 영역에서 작을 정도로 볼 헤드(36) 주변에 뻗어 있다. 이로 인해 도 6 및 도 7에 도시되어 있는 위치에서 플런저 헤드(23)는 더 이상 볼 헤드(36)에 의해 축 방향으로 이동될 수 없다. 다른 한편, 이로 인해 볼 헤드 홀딩이 만들어지며, 상기 볼 헤드 홀딩은 기본적으로 플런저 헤드(23)를 모든 면으로 선회 및 접히도록 하며, 플런저(1)의 종축 주변을 회전하도록 한다.

도 6 및 도 7에 도시된 연동 위치로 플런저 헤드(23)가 이동됨으로써 볼 헤드(36)는 네 개의 균등하게 상기 헤드 범위에 할당 분배된 축 방향 슬롯 및 도 5 및 도 6에 도시되어 있는 것처럼 경사면으로 된 슬롯(41)을 구비하고 있다. 반대 방향에 놓여 있는 두 개의 축 방향 슬롯(41) 사이의 간격은 반대 방향에 놓여 있는 클립 부재(34) 사이의 가장 적은 간격보다 미미할 정도로 적다. 이러한 방식으로 클립 부재(34)가 축 방향 슬롯(41)에 위치한다면 상기 클립 부재(34)는 축 방향 슬롯(41)을 따라 이동하는 것이 가능해 진다. 이것은 도 5에 도시되어 있다. 이때 플런저 헤드(23)는 연결 플레이트(16)에 대해 회전 위치에 놓이게 되며, 상기 회전 위치는 작동 위치에 대응하지 않는다. 이와 반대로 축 방향 슬롯(41)의 가장 후방 단부에 플런저 헤드(23)가 클립 부재(34)와 함께 연결 플레이트(16)에 대해 회전할 수 있도록 볼 헤드(36)의 볼 표면은 내부 방향으로 아치형이 되며, 클립 부재(34)는 축 방향 슬롯(41)으로부터 중간에 놓여 있는 볼 표면 절단부(42)의 영역에 도달하고 볼 헤드(36)를 뒤덮는다. 도 6에 도시되어 있는 것처럼 상기 위치에서 플런저 헤드(23)는 볼 헤드(36)와 함께 축 방향으로 연동 된다.

도 7에 도시되어 있는 것처럼 헤드 중심부(25)는 균등하게 상기 중심부 외부 범위에 분배된 유체 경로(43)를 구비하고 있다. 상기 유체 경로(43)를 통해 유체 공급 라인(22) 및 연결 플레이트(16)의 축 방향 보어(21)를 통해 공급되는 알맞은 온도의 유체가 온도 바디(26)와 만나고, 상기 바디에 대응하여 알맞은 온도로 조절하기 위해 후방 받침대 절단면(24a)으로부터 전방 받침대 절단면(24b)로 가이드 된다. 연결 플레이트(16)의 축 방향 보어(21)로부터 배출된 유체가 헤드 중심부(25)의 모든 유체 경로(43)에 균등하게 분배됨으로써 받침대(24)는 후방 단부면에 포켓 모양의 슬롯(44)을 구비하며(도 5, 도 6), 유체 경로(43)가 상기 슬롯에 도달한다.

플런저 헤드(23)와 연결 플레이트(16) 사이의 유체 농축을 위해 O-링 형태의 순환하는 밀봉 장치(45)가 설비되어 있으며, 상기 밀봉 장치는 플런저 헤드(23)의 대응하는 순환 슬롯으로 삽입되어 있다. 상기 밀봉 장치(45)는 중앙 보어(12) 및 받침대(24)의 포켓 모양 슬롯(44)을 완벽하게 에워싸고 있다. 나아가 도 8에 도시되어 있는 것처럼 연결 플레이트(16)의 전방 면에 순환 슬롯(46)이 설비되어 있으며, 플런저 헤드(23)가 연결 플레이트(16)에 부착된다면 상기 순환 슬롯에 밀봉 장치(45)가 추가로 놓이게 된다. 밀봉 장치(45)는 볼 헤드(36) 주변에서 플런저 헤드(23)가 특정 범위만큼 젖혀질 수 있을 정도로 약하게 형성되어 있다.

온도 바디(26)는 도 7에 도시되어 있는 것처럼 횡단면에서 기본적으로 T-형태로 형성되어 있고, 축 방향으로 뻗어 있는 생크 절단면(28) 및 축 방향에 대해 횡 방향으로 배열된 접촉 플레이트(47)로 구성되며, 상기 접촉면에 테스트할 수 있는 부품이 부착되고 압력을 통해 고정된다. 온도 바디(26)는 우수한 열 전도성 재료, 특히 알루미늄 같은 금속으로 합목적적으로 구성되며 부품의 온도 조절뿐 아니라, 압력 시스템의 일부로서 기능하며, 이미 상기 압력 시스템으로 접촉면(4)의 압력이 조절된다. 이를 위해 온도 바디(26)의 생크 절단면(28)은 헤드 중심부(25)의 전방 파이프 지지대(48)와 연결되어 있고 중앙 경로(49)를 구비하며, 상기 중앙 경로는 파이프 지지대(48)를 통해 볼 부품(32)의 압력 라인(37)과 연결되어 있다. 중앙 경로(49)의 전방 단부로부터 압력 경로(50)의 대다수가 접촉면(4) 방향으로 뻗어 있으며, 상기 압력 경로는 서로 다른 위치에서 접촉면(4)에 이른다. 이로 인해 부품이 서로 다른 위치에서 달라붙으며, 플런저 헤드(23)에 부품을 매우 안정적으로 고정하는 것을 보장한다.

온도 바디(26)의 접촉면(4)은 평평하고 테스트할 부품의 바디가 넓은 면에 놓일 수 있을 정도로 측정된다.

온도 바디(26)의 생크 절단면(28)의 외부 지름은 합목적적으로 플런저 헤드(23)의 축 방향 슬롯(27)의 내부 넓이보다 적으므로, 알맞은 온도로 조절된 유체가 유체 경로(43)로부터 온도 바디(26)로 모든 면으로부터 유동할 수 있다. 온도 바디(26)의 온도 조절을 향상시키기 위해 상기 온도 바디는 유동 면에 배열된 표면 증가 리브를 구비할 수 있다. 접촉 플레이트(47)의 측면 슬롯(51)을 통해 알맞게 온도 조절된 유체가 축 방향 슬롯(27)으로부터 측면 바깥쪽 방향으로 흘러나갈 수 있다.

본 발명의 범위에서 다양한 변환이 가능할 수 있다. 예를 들어 반드시 부유 연결 플레이트(16)가 설비될 필요는 없다. 고속 연동장치는 플런저 헤드(23)와 베이스 부품(15) 사이에서 직접적으로 구현될 수 있다. 나아가 반드시 온도 바디(26)의 접촉 플레이트(47)가 도면에 도시된 것처럼 전방 받침대 절단면(24b)을 덮을 필요는 없다. 오히려 온도 바디(26)는 받침대(24)의 축 방향 슬롯(27) 내에서 완벽하게 배열될 수 있다. 나아가 이 경우 전방 받침대 절단면(24b)의 벽이 부품의 연결 다리용 받침대로서 사용되도록 접촉면(4)이 부품을 위해 배열될 수도 있다. 4 개의 클립 부재(34)가 두 번째 연동장치(33)로서 사용하는 것이 바람직하더라도 이 숫자에 해당하지 않는 클립 부재(34), 적어도 두 개의 클립 부재(34), 바람직하게는 두 개 내지 여덟 개의 클립 부재를 제공하는 것이 가능하다.

Claims (9)

1. 전자 부품, 특히 IC를 테스트 장치와 연결된 접촉 장치로 공급하고 상기 접촉 장치로부터 이동을 위해,
   - 플런저 홀더 부재(2) 및,
   - 플런저 홀더 부재(2)로 슬라이딩 될 수 있게 가이드 되어 있고 부품을 압 력을 이용하여 홀딩하기 위해 베이스 본체(7) 및 상기 베이스 본체(7)에 고정될 수 있는 플런저 헤드(23)를 구비하고 있는 플런저 슬라이딩 부재(3)를 구비한 플런저에 있어서,
   베이스 본체(7)에 배열된 첫 번째 연동장치(31) 및 플런저 헤드(23)에 배열된 두 번째 연동장치(33)를 포함하는 고속 잠금 시스템이 제공되어, 상기 고속 잠금 시스템의 두 연동장치(31, 33)는 베이스 본체(7)에 대해 플런저 헤드(23)를 회전시킴으로써 반대쪽 후방 위치로 이동될 수 있으며, 상기 위치에서 플런저 헤드(23)는 축 방향으로 베이스 본체(7)와 연결됨으로써, 상기 플런저 헤드(23)가 베이스 본체(7)에 고정될 수 있고,
   베이스 본체(7)에 배열된 상기 연동장치(31)는 플런저 헤드(23) 방향으로 전방에 위치한 볼 부품(32)을 포함하며, 상기 볼 부품은 볼 부품의 범위에 분할 배치된 두 개의 축 방향 슬롯(41) 및 상기 슬롯 중간에 위치한 볼 표면 절단면(42)을 구비하고, 플런저 헤드(23)에 배열된 연동장치(33)는 클립 부재(34)를 구비하며, 상기 클립 부재는 축 방향 슬롯(41)을 따라 움직일 수 있고, 플랜저 헤드(23)의 회전을 통해 볼 표면 절단면(42)의 후방 위치로 이동될 수 있는 것을 특징으로 하는 플런저.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,
   플런저 헤드(23)는 베이스 본체(7)의 볼 부품(32)에 형성된 볼 스크레이퍼(40)를 구비한 헤드 중심부(25)를 구비하고 있으며, 상기 볼 스크레이퍼는 볼 부품(32)에 부착될 수 있는 것을 특징으로 하는 플런저.
4. 제1항에 있어서,
   볼 부품(32)은 압력 라인(37)을 구비하며, 상기 압력 라인은 한편으로는 베이스 본체(7)의 압력 공급 라인(38)과 연결되어 있고, 다른 한편으로는 적어도 하나 이상의 플런저 헤드(23)의 압력 루트(50)와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 플런저.
5. 제1항에 있어서,
   베이스 본체(7)는 베이스 부재(15) 및 플런저(1)의 종축 방향에 대해 횡 방향으로 부유하면서 베이스 부재(15)에 고정되어 있는 연결 플레이트(16)를 구비하며, 첫 번째 연동장치(31)는 연결 플레이트(16)에 고정되고 플런저 헤드(23)는 고속 잠금 시스템을 통해 연결 플레이트(16)에 연결될 수 있는 것을 특징으로 하는 플런저.
6. 제5항에 있어서,
   플런저 헤드(23)는 적어도 하나 이상의 축 방향 중앙 보어(12)를 구비하고, 플런저 헤드(23) 방향의 전방에 놓여 있는 적어도 하나 이상의 중앙 핀(10)이 플런저 홀더 부재(2)에 고정되어 있으며, 상기 중앙 핀은 플런저 슬라이딩 부재(3)의 당겨진 위치에서 플런저 헤드(23)의 배열된 중앙 보어(12)와 접촉하고 플런저 슬라이딩 부재(3)의 전방 이동된 상태에서 플런저 헤드(23)와 중심부가 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 플런저.
7. 제4항에 있어서,
   플런저 헤드(23)는 전방 받침대 절단면(24b)과 상기 받침대 절단면(24b)을 구비한 받침대(24)를 장착 및/또는 상기 받침대 절단면에 부착될 수 있는 부품을 위한 접촉면(4)을 구비한 우수한 열 전도성의 온도 바디(26)를 구비하며, 적어도 압력 경로(50)가 온도 바디(26)를 통해 뻗어 있고 접촉면(4)에 도달하는 것을 특징으로 하는 플런저.
8. 제7항에 있어서,
   헤드 중심부(25)의 볼 스크레이퍼(40) 주변에 복수의 유체 경로(43)가 배열되어 있으며, 상기 유체 경로는 전방 받침대 절단부(24b)로 공급되고, 알맞게 온도 조절된 유체가 온도 바디(26)로 가이드 되는 것을 특징으로 하는 플런저.
9. 제8항에 있어서,
   플런저 헤드(23)는 상기 플런저 헤드의 연결 플레이트(16)측 표면에 순환하는 밀봉 장치(45)를 구비하며, 상기 밀봉 장치는 유체 경로(43) 주변으로 뻗어 있으며 연결 플레이트(16)에 밀봉되어 놓여 있는 것을 특징으로 하는 플런저.

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