JP5281611B2 - 分離装置及びその分離方法 - Google Patents

分離装置及びその分離方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5281611B2
JP5281611B2 JP2010119565A JP2010119565A JP5281611B2 JP 5281611 B2 JP5281611 B2 JP 5281611B2 JP 2010119565 A JP2010119565 A JP 2010119565A JP 2010119565 A JP2010119565 A JP 2010119565A JP 5281611 B2 JP5281611 B2 JP 5281611B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
base material
separation
substrate
separated
chuck unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010119565A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011082490A (ja
Inventor
啓恆 秦
信芳 何
Original Assignee
南亞電路板股▲ふん▼有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 南亞電路板股▲ふん▼有限公司 filed Critical 南亞電路板股▲ふん▼有限公司
Publication of JP2011082490A publication Critical patent/JP2011082490A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5281611B2 publication Critical patent/JP5281611B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、分離装置に関し、特に、プリント回路基板に貼り付けられた薄膜を分離する分離装置及びその分離方法に関する。
たとえばプリント回路基板とABF膜との間のプレスを完成した後、ABF膜の上に位置する保護膜(例えば、PE、或いはPET(polyethylene terephthalate、テレフタル酸ポリエチレン)を剥がす工程が必要な場合がある(特許文献1参照)。回路基板から膜やフィルムを剥がす際に、人手による手作業方式を採用することがある。
しかし、手作業方式で保護膜をはがす時、作業コストが増え、且つ効率が下がる以外に、更にプリント回路基板に、傷や汚染、あるいは異物の付着などの損害を与え、プリント回路基板の品質に悪影響を与える。
特開2001−105555号公報
これに鑑みて、本発明は、たとえばプリント回路基板の膜をはがす効率を効果的に高め、しかも作業コストを下げる以外に、プリント回路基板に、傷や汚染あるいは異物の付着などの損害を有効に避けることができ、プリント回路基板等の製品の品質向上を確保できる分離装置及びその分離方法を提供する。
本発明の分離装置は、互いに接続する第一基材と第二基材との間を完全に分離することができる。本発明の分離装置は、ベースと第一チャックユニットを含む。ベースは互いに接続する第一基材と第二基材をサポートするのに用いられる。第一チャックユニットはベースに相対して第一位置と第二位置との間にを移動できる。第一チャックユニットは第一位置と第二位置との間の所定位置に位置した時、第一チャックユニットは、第一基材と第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、分離された第二基材を挟んで固定し、且つ第一チャックユニットは所定位置から第二位置に移動した時、第一チャックユニットにより挟んで固定された第二基材は第一チャックユニットに駆動され、第一基材から完全に分離する。
好ましくは、分離装置は位置決め装置を更に含み、位置決め装置は互いに接続する第一基材と第二基材をベースの上に位置決めする。位置決め装置は複数の位置決め部を含み、位置決め装置の複数の位置決め部は回転可能な方式で第一基材の上を圧迫しても良い。
好ましくは、第一チャックユニットは吸着装置と剥離装置を含み、第一チャックユニットが第一位置と第二位置との間の所定位置に位置した時、吸着装置は吸着方式によって第一基材と第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、剥離装置は第一基材と第二基材との間の部分的に分離を招き、且つ分離された第二基材を挟んで固定する。たとえば吸着装置は吸盤で構成してあり、剥離装置は刀刃で構成してある。
好ましくは、ベースは互いに接続する第一基材と第二基材に対して直立式のサポートを行う。
好ましくは、分離装置は第二チャックユニットを更に含み、第一チャックユニットにより挟んで固定された第二基材は第一チャックユニットに駆動され、第一基材から完全に分離した時、第二チャックユニットは、分離された第二基材を挟んで固定し、その後に、第一チャックユニットは、分離された第二基材から分離する。
好ましくは、分離装置は、受け取り装置を更に含み、受け取り装置は、分離された第二基材を受け取る。
好ましくは、分離装置は作業流体を供給する気体供給装置を更に含み、第一基材と第二基材との間の分離を行った時、気体供給装置により提供された作業流体は第一基材と第二基材との間に送られる。作業流体は、たとえば気体である。
好ましくは、分離装置は電極を有する静電気除去装置を更に含み、この静電気除去装置の電極は第二基材の周辺空気に対して放電を行い、且つ静電気除去装置の電極は第一チャックユニットの移動につれ移動する。
たとえば第一基材は回路基板であり、第二基材は少なくとも薄膜である。
本発明は分離方法を更に提供し、この分離方法は互いに接続する第一基材と第二基材との間の完全な分離を行う。本発明の分離方法は、次のステップを含む。本発明の方法は、互いに接続する第一基材と第二基材に対してサポートを行うステップと、
第二基材を吸着することによって、第一基材と第二基材との間に部分的に分離を招くステップと、
第一基材と第二基材を部分的に再分離し、且つ分離された第二基材に対して挟んで固定するステップと、
挟んで固定され、且つ部分的に分離された第二基材を引っ張ることによって第二基材と第一基材との間を完全に分離させるステップとを含む。
互いに接続する第一基材と第二基材にサポートを行う時に第一基材に対して圧迫を行ってもよい。
挟んで固定され、且つ部分的に分離された第二基材を引っ張ることによって、第一基材から完全に分離した後、すでに第一基材から完全に分離された第二基材を挟んで固定することで、第二基材が第一基材に接するのを防ぐようにしてもよい。
挟んで固定され、且つ部分的に分離された第二基材を引っ張ることによって、第二基材と第一基材との間の分離プロセスを行い、第一基材と第二基材との間に対して同時に気体を吹いてもよい。
挟んで固定され、且つ部分的に分離された第二基材を引っ張ることによって第二基材と第一基材との間の分離プロセスを行い、第二基材の周辺空気に対して同時に放電してもよい。
本発明の分離装置及びその分離方法によれば、第一基材がプリント回路基板であり、第二基材が膜などである場合に、プリント回路基板の膜などを剥がす効率を効果的に高めることができ、作業コストを下げる以外に、プリント回路基板に傷や汚染、あるいは異物の付着などの損害を有効に避けることができ、プリント回路基板の品質を確保できる。
本発明の分離装置を利用して、互いに接続する第一基材と第二基材との間に対して分離を行う作業手順の概略図である。 図1Aの続きの作業手順を示す概略図である。 図1Bの続きの作業手順を示す概略図である。 図1Cの続きの作業手順を示す概略図である。 図1Dの続きの作業手順を示す概略図である。 図1Eの続きの作業手順を示す概略図である。 図1Aに対応した側面図である。 図1Bに対応した側面図である。 図1Cに対応した側面図である。 図1Dに対応した側面図である。 図1Eに対応した側面図である。 図1Fに対応した側面図である。 第一基材と第二基材との間の完全分離を完成した後の第一基材に対して分離を行う作業概略図である。 図3Aの続きの作業手順を示す概略図である。 図3Bの続きの作業手順を示す概略図である。 図3Cの続きの作業手順を示す概略図である。
本発明についての目的、特徴、長所が一層明確に理解されるよう、以下に実施形態を例示し、図面を参照にしながら、詳細に説明する。
図1A、図1B、図1C、図1D、図1E、図1Fは、本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2との間を分離する作業手順の概略図である。図2A、図2B、図2C、図2D、図2E、図2Fは、図1A、図1B、図1C、図1D、図1E、図1Fに対応して本発明の分離装置を利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1、F2との間を分離する作業手順の側面図である。
図1A/図2A、図1B/図2Bを同時に参照して分かるように、図1A、図2Aは本発明の分離装置Mに基づいた概略図を表している。図1B、図2Bは本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1、F2に対してサポートと位置決めを行う前の概略図を表している。図1C、図2Cは本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1、F2に対してサポートと位置決めを完成した後の概略図を表している。
分離装置Mは互いに接続する第一基材Bと第二基材F1、F2との間を完全に分離する。本実施例において、第一基材Bはプリント回路基板であり、第二基材F1、F2は二つのPET(polyethylene terephthalate、テレフタル酸ポリエチレン)薄膜を含み、二つのPET薄膜は分離可能な方式でプリント回路基板の二つの表面に貼り付いている。しかし、本実施例においての第二基材F1、F2としての二つのPET薄膜は本発明を限定するものではなく、その他の実施例において、本発明の分離装置を利用して単一表面に単一のPET薄膜を貼り付けたいずれかの回路基板、或いはいずれかの類似部材に対して二者との間の分離を行う。たとえば、第一基材は、回路基板に限定されず、その他の基板、または基板以外の基材でも良い。また、第二基材は、PETフィルムに限定されず、その他のフィルムあるいは薄膜、その他の基材でも良い。
分離装置Mは、ベース1と、第一チャックユニット2と、位置決め装置3と、第二チャックユニット4と、受け取り装置5と、気体供給装置6と、静電気除去装置7とを含む。
ベース1は互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2に対してサポートを行う。位置決め装置3は互いに間隔を置く複数の位置決め部30を含み、これらの位置決め部30は回転方式で第一基材Bの上を直接圧迫することによって、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2を位置決めすることができる。本実施例において、各位置決め部30はL型状を有し、且つ複数の位置決め部30は90度の回転方式で互いに接続する第一基材Bと第二基材F1、F2に対して直立式の位置決めを行い(例えば、図1B、図2Bに示すように)、即ち、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2を水平面(図に図示しない)に垂直する方向で位置決めを行う。
第一チャックユニット2はベース1に相対して、第一位置(或いは初始位置)P1と第二位置P2との間を移動できる。図1A/図2A、図1B/図2Bの第一チャックユニット2は第一位置P1に位置する。図2Aに示すように、第一チャックユニット2は吸着装置21と剥離装置22を含む。本実施例において、第一位置P1と第二位置P2はそれぞれ異なる水平高度の位置を有し、且つ第一位置P1の高度は第二位置P2の高度より高い。
吸着装置21は吸盤であり、剥離装置22は、相互に交差するように配置されたV型構造を有する一対の刀刃であり、各刀刃は、端部220を有し、端部220の先端が鋭利になっている。一対の刀刃22の端部220の間には、図2Dに示す第二基材F1,F2の縁f01,f02が入り込む隙間が形成してある。この実施例では、第一チャックユニット2の内部において、吸着装置21が剥離装置22の前進移動方向の前方(図示上下側)に配置してある。
この実施例では、第一基材Bの両面に第二基材F1,F2が貼着してあるために、第一基材Bと第二基材F1,F2との二つの貼着面に合わせて、第一基材Bの両側位置に、それぞれ吸着装置21と一対の刀刃とが配置してあり、第一チャックユニット2は、第一位置P1から第二位置P2に向けて前進移動可能になっていると共に、第二位置P2から第一位置P1に向けて後退移動可能になっている。
静電気除去装置7は移動可能な電極70を含み、この移動可能な電極70は第一チャックユニット2の移動につれて移動し、移動可能な電極70によって、外に向けて高圧放電を発生することができ、周辺空気が電離され、大量の正、負イオンを形成させることができる。
図1Fおよび図2Fを同時に参照して分かるように、第二チャックユニット4と受け取り装置5は、ベース1の片側、或いは最下方の位置に設置され、第二チャックユニット4によって、すでに第一基材Bから完全に分離された第二基材F1、F2に対して挟んで固定している。以下は、第二基材F1、F2が如何に完全に第一基材Bから分離するかを詳しく説明する。受け取り装置5によって、第二チャックユニット4により放出された第二基材F1、F2を受ける。気体供給装置6はベース1の片側、或いは最上方の位置に設置され、気体供給装置6により供給された作業流体W(例えば、空気、或いはその他の気体)は、じきに分離される互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2の片側に向けて持続的に送る。
図1Dおよび図2Dは、本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2との間を部分的に分離する状態を示す概略図である。
図1Dおよび図2Dに示すように、第一チャックユニット2は、第一位置P1から下向きに所定位置Pa(第一位置P1と第二位置P2との間に位置する)までに移動した時、吸着装置21は吸着方式によって、第一基材Bと第二基材F1,F2との間に部分的な分離を招く。即ち、吸着装置21の真空吸着により発生された吸引力Nを利用して、第二基材F1,F2の縁f01,f02を第一基材Bから部分的に分離させることによって、第二基材F1,F2の縁f01,f02と第一基材Bとの間に隙間(図に図示しない)を形成することができる。しかも同時に、剥離装置22において第二基材F1,F2の平面と平行に配置してある刀刃の一方の端部220が隙間に挿入され、且つ剥離装置22の他方の端部220を利用して、部分的に分離された第二基材F1,F2の縁f01,f02を、一対の刀刃の端部220間に挟んで固定する。
図1Eおよび図2Eは本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2との間を部分的に分離する時の概略図である。
図1Eおよび図2Eに示すように、部分的に分離された第二基材F1,F2の縁f01,f02は、第一チャックユニット2の剥離装置22の端部220の間に挟んで固定され、第一チャックユニット2は所定位置Paから下向きに第二位置P2に向け移動した時、部分的に分離された第二基材F1,F2は徐々に第一基材Bから分離する。即ち、第二基材F1,F2と第一基材Bとの間の実際の粘着面積は徐々に減少され、且つ気体供給装置6により供給された作業流体Wは第一基材Bと第二基材F1,F2との間の分離されたエリアに向けて持続的に送られることによって、分離された第二基材F1,F2との間で、再び第一基材Bとの間に結合が発生しないように確保し、且つ、同時に、その他の汚染と異物が第一基材Bの上に粘着するのを防止する。第一基材Bと第二基材F1,F2の分離プロセスにおいて、静電気を発生することがあるが、この時、静電気除去装置7の電極70の放電作用により形成された大量の正、負イオンによって、第一基材Bの静電を中和することで、静電作用によって不当な異物、或いは粒子が第一基材Bの上に吸着されるのを防ぐことができる。
図1Fは本発明の分離装置Mを利用して、互いに接続する第一基材Bと第二基材F1,F2との間を完全に分離した後の概略図である。
図1Fおよび図2Fに示すように、第一チャックユニット2の剥離装置22が持続的に下向きに駆動され、或いは引っ張りを受けた時、且つ第一チャックユニット2の剥離装置22が第二位置P2に移動した時、第一チャックユニット2により挟まれて固定された第二基材F1,F2は第一基材Bから完全に分離する。その後に、第二チャックユニット4を利用して、分離された第二基材F1,F2を挟んで固定し、且つ、後に第一チャックユニット2は、分離された第二基材F1,F2から分離することができる。次に、第二チャックユニット4が第二基材F1、F2を完全に放出した時、受け取り装置5によって、第二チャックユニット4により放出された第二基材F1,F2を受けることができる。
図3A、図3B、図3C、図3Dは、第一基材Bと第二基材F1,F2との間の完全分離を完成した後に、第一基材Bに対して分離を行う作業概略図である。図3Aおよび図3Bは、位置決め装置3の複数の位置決め部30が回転方式で挟んで固定された第一基材Bに対して完全放出を行い、その後に作業員(図に図示しない)により集められることを表している。図3Cおよび図3Dは、第一チャックユニット2が第二位置P2から第一位置P1に移動し、且つ分離装置Mは図1Aの待機状態に回復することによって、図1A〜図1Fのような分離装置Mの作業手順を続けて行う準備ができることを示している。
以上、本発明の好適な実施例を例示したが、図または説明書の説明では、類似または同一の部分は、同一の符号を用いている。また、図では、実施例の形状または厚さは拡大することができ、標示を簡易化することができる。また、図中の各素子の部分はそれぞれ説明されるが注意するのは、これは本発明を限定するものではなく、本発明の精神及び範囲を逸脱しない限りにおいては、当業者であれば行い得る少々の変更や修飾を付加することが可能である。従って、本発明が請求する保護範囲は、特許請求の範囲を基準とする。
1 ベース
2 第一チャックユニット
21 吸着装置
22 剥離装置
220 端部
3 位置決め装置
30 位置決め部
4 第二チャックユニット
5 受け取る装置
6 気体供給装置
7 静電気除去装置
70 移動可能な電極
B 第一基材
f01,f02 縁
F1,F2 第二基材
M 分離装置
N 吸引力
P1 第一位置
P2 第二位置
Pa 所定位置
W 作業流体

Claims (16)

  1. 互いに接続する第一基材と第二基材との間を完全に分離するために用いられる分離装置であって、前記分離装置は、
    互いに接続する前記第一基材と前記第二基材をサポートするのに用いられるベースと、
    前記ベースに相対して第一位置と第二位置との間に移動でき、前記第一位置と前記第二位置との間の所定位置に位置した時、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、分離された前記第二基材を挟んで固定し、且つ前記所定位置から前記第二位置に移動した時、挟んで固定された前記第二基材が駆動され、前記第一基材から完全に分離されるようになっている第一チャックユニットと、を含み、
    前記第一チャックユニットは、吸着装置と剥離装置を含み、前記剥離装置はV型構造を有する一対の刀刃を備え、前記第一チャックユニットが前記第一位置と前記第二位置との間の前記所定位置に位置した時、前記吸着装置は吸着方式によって、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くと共に、前記一対の刀刃の端部は、前記第一基材と前記第二基材との間の部分的な分離を招くとともに、且つ分離された前記第二基材を挟んで固定し、
    電極を有する静電気除去装置を更に含み、前記静電気除去装置の前記電極は前記第二基材の周辺空気に対して放電を行う
    分離装置。
  2. 位置決め装置を更に含み、前記位置決め装置は、互いに接続する前記第一基材と前記第二基材を前記ベースの上に位置決めする請求項1に記載の分離装置。
  3. 前記位置決め装置は複数の位置決め部を含み、前記位置決め装置の前記複数の位置決め部は回転可能な方式で前記第一基材の上を圧迫する請求項2に記載の分離装置。
  4. 前記吸着装置は少なくとも吸盤を含み、前記剥離装置は少なくとも刀刃を含む請求項1〜3のいずれかに記載の分離装置。
  5. 前記ベースは、互いに接続する前記第一基材と前記第二基材に対して直立式のサポートを行う請求項1〜4のいずれかに記載の分離装置。
  6. 第二チャックユニットを更に含み、前記第一チャックユニットにより挟んで固定された前記第二基材は、前記第一チャックユニットに駆動され、前記第一基材から完全に分離した時、前記第二チャックユニットは、分離された前記第二基材を挟んで固定し、前記第一チャックユニットは、分離された前記第二基材から分離される請求項1〜5のいずれかに記載の分離装置。
  7. 受け取り装置を更に含み、前記受け取り装置は、分離された前記第二基材を受け取るように構成してある請求項1〜6のいずれかに記載の分離装置。
  8. 作業流体を供給する気体供給装置を更に含み、前記第一基材と前記第二基材との間の分離を行った時、前記気体供給装置により提供された作業流体は前記第一基材と前記第二基材との間に送られる請求項1〜7のいずれかに記載の分離装置。
  9. 前記作業流体は気体を含む請求項8に記載の分離装置。
  10. 前記第一基材は回路基板を含み、前記第二基材は少なくとも薄膜を含む請求項1〜9のいずれかに記載の分離装置。
  11. 前記静電気除去装置の前記電極は前記第一チャックユニットの移動につれ移動する請求項1〜10のいずれかに記載の分離装置。
  12. 互いに接続する第一基材と第二基材との間を完全に分離する分離方法であって、前記分離方法は、
    互いに接続する前記第一基材と前記第二基材に対してサポートを行うステップ、
    前記第二基材を吸着することによって、前記第一基材と前記第二基材との間に部分的に分離を招くステップ、
    V型構造を有する一対の刀刃が前記第一基材と前記第二基材を部分的に再分離し、且つ前記一対の刀刃の端部は分離された前記第二基材を挟んで固定するステップ、及び
    挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間を完全に分離させるステップとを含む分離方法。
  13. 互いに接続する前記第一基材と前記第二基材のサポートを行う時に前記第一基材に対して圧迫を行う請求項12に記載の分離方法。
  14. 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第一基材から完全に分離した後、すでに前記第一基材に完全に分離された前記第二基材を挟んで固定することで、前記第二基材が前記第一基材に接するのを防ぐ請求項12または13に記載の分離方法。
  15. 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間の分離プロセスを行い、前記第一基材と前記第二基材との間に対して同時に気体を吹く請求項12〜14のいずれかに記載の分離方法。
  16. 挟んで固定され、且つ部分的に分離された前記第二基材を引っ張ることによって前記第二基材と前記第一基材との間の分離プロセスを行い、前記第二基材の周辺空気に対して同時に放電する請求項12〜15のいずれかに記載の分離方法。
JP2010119565A 2009-10-02 2010-05-25 分離装置及びその分離方法 Expired - Fee Related JP5281611B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW98133574A TWI383716B (zh) 2009-10-02 2009-10-02 分離裝置
TW098133574 2009-10-02

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011082490A JP2011082490A (ja) 2011-04-21
JP5281611B2 true JP5281611B2 (ja) 2013-09-04

Family

ID=44076197

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010119565A Expired - Fee Related JP5281611B2 (ja) 2009-10-02 2010-05-25 分離装置及びその分離方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5281611B2 (ja)
TW (1) TWI383716B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101287754B1 (ko) * 2011-10-05 2013-07-18 삼성전기주식회사 기판의 필름 박리 장치 및 기판의 필름 박리 방법
CN108639751A (zh) * 2018-07-10 2018-10-12 深圳福美信自动化工程有限公司 一种吸附装置及多余吸附产品的分离方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0373283U (ja) * 1989-11-22 1991-07-24
JP3006575B2 (ja) * 1998-03-27 2000-02-07 セイコーエプソン株式会社 回路基板の再生装置および液晶パネルの再生装置
JP2000106479A (ja) * 1999-09-27 2000-04-11 Seiko Epson Corp 回路基板の再生装置
JP4002444B2 (ja) * 2002-02-01 2007-10-31 Nec液晶テクノロジー株式会社 偏光板供給装置
JP4561207B2 (ja) * 2004-07-12 2010-10-13 東レ株式会社 回路基板の製造方法および製造装置
JP4291758B2 (ja) * 2004-08-25 2009-07-08 株式会社日立プラントテクノロジー フィルム剥離方法およびその装置
TWM298575U (en) * 2006-05-05 2006-10-01 Gallant Prec Machining Co Ltd Film peeling apparatus
TWI324032B (en) * 2007-01-08 2010-04-21 Unimicron Technology Corp Peeling fixture and peeling method for substrate of the same

Also Published As

Publication number Publication date
TWI383716B (zh) 2013-01-21
TW201114339A (en) 2011-04-16
JP2011082490A (ja) 2011-04-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI410329B (zh) 可撓式裝置的取下設備及其取下方法
JP4524241B2 (ja) 薄板状フィルムの貼付装置および貼付方法
CN107464768B (zh) 膜剥离装置及剥离膜的方法
WO2005098522A1 (ja) 粘着チャック装置
JP3199964B2 (ja) 基板剥離装置
JP6580408B2 (ja) 剥離方法および剥離装置
JP4500173B2 (ja) 静電気除去方法および基板処理装置
JP2015199218A (ja) ワーク貼り合わせ装置
JP5281611B2 (ja) 分離装置及びその分離方法
JP2019109292A (ja) 端材除去装置、及び、端材除去方法
JP2000195828A (ja) ウエハの切断分離方法およびウエハの切断分離装置
KR101827869B1 (ko) 박리 접합 동시 수행 장치 및 방법
JP2006289650A (ja) グリーンシート移送方法及び移送装置
JP2014121751A (ja) 切断装置、切断方法、および貼付装置
CN102059842B (zh) 分离装置及其分离方法
KR20120070387A (ko) 기판 박리 장치
KR101504147B1 (ko) 디스플레이용 유리 제거장치
KR20160087056A (ko) 디스플레이 장치 제조장치
JP3565336B2 (ja) 基板剥離装置
CN112744418A (zh) 一种玻璃表面保护膜的分离装置
CN109791319B (zh) 柔性基板的剥离方法和剥离设备
JP4002444B2 (ja) 偏光板供給装置
JP3951969B2 (ja) シート材保持具
JP2006013073A (ja) ボンディング装置、ボンディング方法及び半導体装置の製造方法
JP2019177615A (ja) 積層装置

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120404

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120704

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121106

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130206

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20130206

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130521

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130524

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5281611

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees