JP5279627B2 - 基板処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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また、本発明によれば、オフセット値は、各チャンバの過去所定期間内において実行された複数の処理後測定ステップで測定されたウエハのCD値及び目標値とのずれ量を重み付け係数を用いて移動平均した値であるので、複数の処理後測定ステップで測定されたCD値におけるばらつきを吸収してオフセット値を最適化することができる。さらに、重み付け係数をRF印加累積時間に従って変化させるので、チャンバ内の雰囲気変化に追従したオフセット値に基づいて処理条件を変更して適正なシュリンク処理を実施することができる。
11プロセスチップ
14 フープ
17 測定器(IMM)
25 プロセスモジュール(PM)
27 ロード・ロックモジュール(LLM)
52 チャンバ
100 システムコントローラ
115 プロセス調整コントローラ
Claims (3)
- ウエハに所定の処理を施す複数のチャンバと、前記ウエハのCD値を測定する測定器とを備えた基板処理装置を用いて前記チャンバを事前に指定することなく複数のウエハに対して前記所定の処理を連続して施す基板処理方法において、
前記ウエハを前記測定器に搬入して前記ウエハの処理前のCD値を測定する処理前測定ステップと、
前記処理前測定ステップで得られたCD値に基づいて前記ウエハに対して施されるシュリンク処理の処理条件をフィードフォワード制御によって作成する際に用いられるオフセット値を作成するオフセット値作成ステップと、
前記CD値の測定後のウエハを前記チャンバに搬入し、前記ウエハに対して前記シュリンク処理を前記作成された処理条件に従って施す処理ステップと、
前記処理ステップ終了後のウエハを前記測定器に搬入して前記ウエハの処理後のCD値を測定する処理後測定ステップと、
前記処理後測定ステップで測定された前記ウエハのCD値及び目標値の差に基づいて、前記オフセット値を更新するオフセット値更新ステップと、を有し、
前記処理後測定ステップ及び前記オフセット値更新ステップを、各前記チャンバにおけるRF印加累積時間が予め決められた所定値に到達するまで省略し、
前記オフセット値は、各前記チャンバの過去所定期間内において実行された複数の前記処理後測定ステップで測定された前記ウエハのCD値及び目標値のずれ量を、RF印加累積時間に従って変化させた重み付け係数を用いて移動平均した値であることを特徴とする基板処理方法。 - 前記処理後測定ステップを実行するか否かを判定する判定ステップをさらに有し、
前記判定ステップでは、現在のRF印加累積時間から前回オフセット値を更新した時のRF印加累積時間を差し引いた差が所定のRF印加積算時間を超えている場合、現在の実時間から前回オフセット値を更新した時の実時間を差し引いた差が所定の時間を超えている場合、及び処理対象の前記ウエハの容器におけるスロット番号が、前記処理後測定ステップを実行する旨の設定がなされている前記ウエハの容器におけるスロット番号と一致する場合のうちいずれかの条件を満たすときに、前記処理後測定ステップを実行すると判定することを特徴とする請求項1記載の基板処理方法。 - ウエハに所定の処理を施す複数のチャンバと、前記ウエハのCD値を測定する測定器とを備えた基板処理装置を用いて前記チャンバを事前に指定することなく複数のウエハに対して前記所定の処理を連続して施す基板処理方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記基板処理方法は、
前記ウエハを前記測定器に搬入して前記ウエハの処理前のCD値を測定する処理前測定ステップと、
前記処理前測定ステップで得られたCD値に基づいて前記ウエハに対して施されるシュリンク処理の処理条件をフィードフォワード制御によって作成する際に用いられるオフセット値を作成するオフセット値作成ステップと、
前記CD値の測定後のウエハを前記チャンバに搬入し、前記ウエハに対して前記シュリンク処理を前記作成された処理条件に従って施す処理ステップと、
前記処理ステップ終了後のウエハを前記測定器に搬入して前記ウエハの処理後のCD値を測定する処理後測定ステップと、
前記処理後測定ステップで測定された前記ウエハのCD値及び目標値の差に基づいて、前記オフセット値を更新するオフセット値更新ステップと、を有し、
前記処理後測定ステップ及び前記オフセット値更新ステップを、各前記チャンバにおけるRF印加累積時間が予め決められた所定値に到達するまで省略し、
前記オフセット値は、各前記チャンバの過去所定期間内において実行された複数の前記処理後測定ステップで測定された前記ウエハのCD値及び目標値のずれ量を、RF印加累積時間に従って変化させた重み付け係数を用いて移動平均した値であることを特徴とする記憶媒体。
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