JP6999410B2 - 基板処理方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明の一実施形態に係る基板処理装置300について、図1を参照しながら説明する。図1は、基板処理装置300の一例を示す水平断面図である。基板処理装置300は、4つの処理ユニットCA、CB、CC、CDを有するマルチチャンバータイプの真空処理システムである。これらは、平面形状が七角形をなす真空搬送室301の4つの壁部にそれぞれゲートバルブGを介して接続されている。真空搬送室301内は、真空ポンプにより排気されて所定の真空度に保持される。
次に処理ユニットCA~CDの構成について、図2を参照しながら説明する。図2は、一実施形態に係る処理ユニットの一例を示す図である。本実施形態では、処理ユニットCA~CD及び制御部1~4の構成は同一であるため、処理ユニットCA及び制御部1の構成及び動作を説明し、他の処理ユニットCB~CD及び制御部2~4の構成及び動作についての説明を省略する。また処理ユニットの一例として容量結合型のプラズマエッチング装置を挙げて説明する。
次に一実施形態に係る装置パラメータ調整処理の一例について、装置パラメータ調整処理の一例を示す図3のフローチャートを参照しながら説明する。本処理は、所定の間隔で繰り返し行われる。所定の間隔としては、例えば1週間に1回等、定期的に行うことが好ましいが、これに限らず、不定期に複数回行われてもよい。本処理は制御部1~4又は全体制御部5により実行される。本実施形態では、全体制御部5により実行される例を挙げて説明する。
次に、本実施形態の変形例に係る装置パラメータ調整処理の一例について、装置パラメータ調整処理の変形例の一例を示す図8のフローチャートを参照しながら説明する。本処理は、いずれのタイミングに行ってもよい。本処理は制御部1~4又は全体制御部5により実行される。本実施形態では、全体制御部5により実行される例を挙げて説明する。
5 全体制御部
10 処理容器
11 整合器
12 高周波電源
13 昇降機構
14 直流電源
15 ガス供給源
16 MFC
20 載置台
21 静電チャック
22 吸着電極
23 フォーカスリング
24 冷媒流路
25 ガスシャワーヘッド
61 排気装置
64 石英窓
72 発光センサ
300 基板処理装置
CA、CB、CC、CD 処理ユニット
Claims (6)
- 基板を処理する複数の処理容器を有する基板処理装置を用いた基板処理方法において、
前記複数の処理容器にて同一の処理条件で第1のテスト用基板を処理したときに、各処理容器に配置された各センサの特性の経時的変化を示すモデルである、各処理容器において入力又は出力したセンサデータから生成したセンサデータの推定モデルを記憶した記憶部を参照して、前記推定モデルから求めたセンサデータ値とセンサ理想値からの差分を求め、前記差分に基づき各処理容器の装置パラメータを調整する調整ステップと、
搬送先の処理容器を事前に指定せずに製品基板を複数の処理容器に連続して搬送する搬送ステップと、
前記搬送ステップにて前記製品基板がいずれかの処理容器に搬送されると、前記調整ステップにて調整された、該いずれかの処理容器の装置パラメータに基づき、前記製品基板が搬送された処理容器において入力又は出力するセンサデータを調整し、前記製品基板を処理する処理ステップとを有する、基板処理方法。 - 前記調整ステップは、
前記複数の処理容器にて同一の処理条件で第2のテスト用基板を処理したときに各処理容器において入力又は出力したセンサデータと、前記各処理容器のセンサデータの推定モデルと、から各処理容器の装置パラメータを調整する、
請求項1に記載の基板処理方法。 - 前記センサデータは、各処理容器において入力又は出力した光学的データ、電気的データ、物理的データの少なくともいずれかである、
請求項1又は2に記載の基板処理方法。 - 前記装置パラメータは、高周波電力の制御機器、圧力制御機器、ガス制御機器、温度制御機器、直流電圧制御機器、位置制御機器の少なくとも一つの制御機器のパラメータである、
請求項1~3のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記調整ステップは、
前記基板処理装置の立ち上げ後の製品基板の処理開始時、各処理容器のメンテナンス後の製品基板の処理開始時、各処理容器において所定枚数の製品基板を処理した後又は各処理容器において所定時間製品基板を処理した後の少なくともいずれかのタイミングに実行される、
請求項1~4のいずれか一項に記載の基板処理方法。 - 前記調整ステップは、
前記製品基板がいずれかの処理容器に搬送される直前に、前記複数の処理容器にて同一の処理条件で第2のテスト用基板を処理し、各処理容器の装置パラメータを調整する、
請求項2に記載の基板処理方法。
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