JP5274939B2 - 洗浄システム - Google Patents
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Description
11 フィルタ(被洗浄物)
12 凝縮器
13 貯留タンク
14 ポンプ
15 加熱器
16 洗浄容器
17 冷却器
18 気液分離装置
19 濾過器
20 ガスクロマトグラフ(不純物検出装置)
21 コントローラ(制御装置)
22 管路
23 第1圧力制御弁
24 第2圧力制御弁
25 ヒータ(加熱器)
27 サンプリング管
Claims (8)
- 超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体が流入する気密構造洗浄室を備えた洗浄容器に該洗浄流体を流通させ、前記洗浄室に収容された被洗浄物を洗浄する洗浄システムにおいて、
前記洗浄システムが、超臨界、亜臨界、非超臨界、非亜臨界のいずれかの状態で該システムを流れる洗浄流体に含まれる不純物を検出する不純物検出装置と、前記洗浄流体に含まれる不純物を該洗浄流体から分離する気液分離装置と、制御装置とを含み、前記制御装置には、前記不純物の種類とその種類に対応した沸点および飽和蒸気圧との第1関係が格納されているとともに、前記不純物の種類とその種類に対応した設定圧力および設定温度との第2関係が格納され、
前記不純物検出装置が、前記気液分離装置から流出した後の洗浄流体に残存する不純物を検出しつつ、その不純物の成分を分析する不純物検出手段と、前記不純物検出手段によって検出した不純物の検出結果と分析した不純物の分析結果とを前記制御装置に出力する検出結果出力手段とを有し、
前記制御装置が、前記不純物検出装置から出力された不純物の分析結果と前記第1関係とに基づいて、前記気液分離装置から流出した後の洗浄流体に残存する不純物の種類を特定しつつ、前記不純物の種類から該不純物の沸点と飽和蒸気圧とのうちの少なくとも一方を特定する種類特定手段と、前記種類特定手段によって特定した沸点および飽和蒸気圧の少なくとも一方と前記第2関係とに基づいて、前記設定圧力のうちの前記洗浄流体に残存する不純物の種類に適した最適圧力を決定しつつ、前記洗浄流体に残存する不純物がその洗浄流体から消失し得るように、前記気液分離装置内の洗浄流体の圧力を前記最適圧力に調節する圧力調節手段と、前記種類特定手段によって特定した沸点および飽和蒸気圧の少なくとも一方と前記第2関係とに基づいて、前記設定温度のうちの前記洗浄流体に残存する不純物の種類に適した最適温度を決定しつつ、前記洗浄流体に残存する不純物がその洗浄流体から消失し得るように、前記気液分離装置内の洗浄流体の温度を前記最適温度に調節する温度調節手段とを有することを特徴とする洗浄システム。 - 前記制御装置が、前記気液分離装置内の洗浄流体の圧力をあらかじめ設定された初期圧力に調節しつつ、該気液分離装置内の洗浄流体の温度をあらかじめ設定された初期温度に調節して前記システムの初期運転を行う初期運転手段を含み、前記圧力調節手段では、前記気液分離装置内の洗浄流体の圧力を前記初期圧力から前記最適圧力に調節し、前記温度調節手段では、前記気液分離装置内の洗浄流体の温度を前記初期温度から前記最適温度に調節する請求項1記載の洗浄システム。
- 前記初期運転手段では、前記第2関係の設定圧力および設定温度の中から前記気液分離装置を最も緩い条件で運転し得る初期圧力および初期温度を採用し、採用した前記初期圧力および前記初期温度で前記システムの初期運転を行う請求項2記載の洗浄システム。
- 前記不純物の種類が、イソプロピルアルコール,メタン,ホルムアルデヒド,メチルメルカプタン,アセトアルデヒド,ジクロロメタンが属するVVOCと、トルエン,酢酸メチル,エタノール,ベンゼン,メチルエチルケトン,トリクロロエタン,キシレン,リモネン,Lニコチンが属するVOCと、フタル酸ジオクチル,クロロピリホス,フタル酸ジブチルが属するSVOCとであり、前記第1関係が、前記VVOC,VOC,SVOCとそれらに対応した沸点および飽和蒸気圧とを示し、前記第2関係が、前記VVOC,VOC,SVOCとそれらに対応した設定圧力および設定温度とを示す請求項1ないし請求項3いずれかに記載の洗浄システム。
- 前記VVOCが、高揮発性有機化合物であって沸点50(℃)未満、飽和蒸気圧15(kPa)以上であり、前記VOCが、揮発性有機化合物であって沸点50(℃)以上260(℃)未満、飽和蒸気圧10 −2 (kPa)以上であり、前記SVOCが、準揮発性有機化合物であって沸点260(℃)以上400(℃)未満、飽和蒸気圧10 −8 〜10 −2 (kPa)以上である請求項4記載の洗浄システム。
- 前記圧力調節手段では、前記洗浄流体の流路に設置された凝縮器の温度と該洗浄流体の流路に設置された圧力制御弁の弁開度とを変更することで前記気液分離装置内の洗浄流体の圧力を調節する請求項1ないし請求項5いずれかに記載の洗浄システム。
- 前記温度調節手段では、前記洗浄流体の流路に設置された凝縮器の温度と該洗浄流体の流路に設置された冷却器の出力とを変更することで前記気液分離装置内の洗浄流体の温度を調節する請求項1ないし請求項6いずれかに記載の洗浄システム。
- 前記気液分離装置の下流側には、該気液分離装置から流出した洗浄流体に含まれる不純物を該洗浄流体から除去する濾過装置が設置されている請求項1ないし請求項7いずれかに記載の洗浄システム。
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