JP5265314B2 - プリント配線基板へのレジスト塗布方法 - Google Patents

プリント配線基板へのレジスト塗布方法 Download PDF

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本願発明はスルーホールや有底ホール(以下、「ホール」という。)を備えた、リジッドな基板やフレキシブルな基板、積層基板、回路パターンが形成されたプリント配線基板(以下これらを纏めて「基板」という。)といった各種基板へのレジスト塗布方法に関するものである。
従来から、基板に絶縁塗料や感光塗料(以下、これらを纏めて「レジスト」という。)を塗布することが広く行われている。レジスト塗布方法としてスプレーコーターやロールコーターを用いた方法がある。スプレーコーターを使用する方法として特許文献1に示すような方法が、ロールコーターを使用する方法として特許文献2及び3に示す方法がある。これら塗布方法はいずれも単独で使用されていた。
特開2007−148000号公報 特開2004−344768号公報 特開2001−144419号公報
特許文献1〜3のレジスト塗布方法には次のような課題があった。
(1)スプレーコーターによるレジスト塗布方法では、レジストがホール、特に、小径ホールの入口付近には付着するがホール内までは十分に充填(塗布)されにくかった。
(2)ロールコーターを用いるレジスト塗布方法では、レジストが表面張力でホール表面に塗布されてしまい、ホール内まで塗布しにくかった。
本願発明の解決課題は、基板のホール内まで十分にレジストを塗布でき、レジストを平滑且つ均一厚に塗布することのできるレジスト塗布方法を提供することにある。
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法は、請求項1記載のように、ホールを備えるプリント配線板及当該基板のホール内へのレジスト塗布方法において、前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内は前記プリント配線基板の片面基板ホール内にスプレーコーターによりレジストを噴霧し、レジスト塗布のプリント配線基板を移動させながら、当該プリント配線基板のレジスト塗布面に塗布ローラーを回転接触させて、当該塗布ローラーに供給された新たなレジストを前記レジスト塗布面上に塗布すると共に、前記レジスト塗布により前記ホールの周囲に付着しているレジストを当該基板ホール内に押し込んで、前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にレジストを塗布する方法である。この場合、請求項2記載のように、スプレーコーターをインクジェット式又は静電スプレー式とすることができる。請求項3記載のように、スプレーコーターによるレジストの噴霧・塗布、塗布ローラーによるレジスト塗布をプリント配線基板の横向き横移動中、縦向き横移動中、上昇中又は降下中に行なうことができる。請求項4記載のように、プリント配線基板の上端部をクランプし、前記クランプ状態のプリント配線基板を降下させ、その降下中に、スプレーコーターから前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にスプレーコーターによりレジストを噴霧し、レジストを塗布後のプリント配線基板を、対向配置されている二本の塗布ローラー間を通過させ、その通過中に、当該塗布ローラーを回転させて、この塗布ローラーに供給される新たなレジストを前記レジスト塗布面に塗布すると共に前記レジスト塗布により前記ホールの周囲に付着しているレジストを当該基板ホール内に押し込んで、前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にレジストを塗布することもできる。請求項記載のように、前記プリント配線基板への塗布ロールによるレジスト塗布後に、プリント配線基板に塗布されたレジストスキージーを接触させて、当該レジストを均すか又は/及びホールへ押し込むこともできる。請求項記載のように、プリント配線基板への塗布ローラーによるレジスト塗布後に、塗布後のレジストを半乾燥させ、そのレジストにフィルムを真空ラミネート方式で貼り合わせて、プリント配線基板表面のレジスト面の厚さを均一化、平滑化すると共にレジストを保護することもできる。
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法は次のような効果がある。
(1)請求項1記載のように、スプレーコーターによりレジストを噴霧して塗布するので、レジストが基板のホール内に塗布される。この場合、スプレーコーターをインクジェット式又は静電スプレー式で行なうことにより、基板ホール内へのレジスト塗布が容易且つ確実になる。
(2)請求項2記載のように、スプレーコーターで塗布した後に、ロールコーターで塗布するので、ホール内まで浸入せずにホール表面に表面張力で張り付いているレジストがホール内に押し込まれ、ホール内まで確実に塗布される。また、基板表面のレジストを平滑に均すことができる。
(3)請求項3記載のように、基板へのレジスト塗布を、基板の横向き横移動中、縦向き横移動中、上昇中又は降下中(移動中)に行なうので作業性が向上する。
(4)請求項記載のように、基板に塗布されたレジストをスキージーで均すか又は/及びホールへ押し込めば、基板表面のレジスト厚が均一になり、ホールへの塗布が確実になる。また、レジストの無駄がなくなり経済的でもある。
(5)請求項記載のように、基板へ塗布したレジストを半乾燥させ、そのレジストにフィルムを貼り合わせれば、基板表面のレジスト面が均一化、平滑化され、レジストの保護にもなる。
本願発明でレジスト塗布する基板は、ホールが開口されている基板、リジッド又はフレキシブルな基板、多数枚のフィルムが積層された積層基板でも一枚で肉の厚い単層の基板であってもよい。回路パターン(配線)のある基板でも回路パターンの無い基板であってもよい。大きさ・幅・厚さなども任意のものであってもよい。一枚ずつ分離されている単葉のものでも連続しているものであってもよい。
(実施形態1)
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の実施形態の一例を図面に基づいて説明する。図示した基板はホールがあり、回路パターンを備えたリジッドな基板の場合である。この実施形態では基板1を横向きに(表裏面を上下)にして搬送し、その搬送中にレジスト2を噴霧式塗布器(スプレーコーター)3により基板1に噴霧(スプレー)して基板1の表面に塗布すると共に基板1のホール4内まで浸入させてホール4内にも塗布する。その後に、前記基板1のレジスト2の塗布面に塗布ローラー5を回転接触させ、塗布ローラー5に供給される新たなレジスト2を基板1の表面に塗布し、又は塗布と共にホール内に押し込むかする。或いはスプレーコーター3で先に塗布されて基板1に付着しているレジスト2を均一に均すなり、ホール内に押し込むなりする。
前記処理により均一厚に且つ平滑に塗布されたレジスト2を乾燥装置で半乾燥させてから、そのレジスト2の表面に保護フィルム7を貼り付けて、レジスト2をより一層平滑にしたり、レジスト2が欠落したり傷付いたりしないようにすることができる。前記レジスト2の塗布に使用するスプレーコーター3は既存の又は新規のものを使用することができる。保護フィルム7は、後述する装置、方法により貼り付けることができる。
塗布ローラー5はゴム製、シリコン製など任意のものを選択することができ、外径は任意のものとすることができ、外周面が平滑なもの、外周面に螺旋溝やリング状の溝が形成されているもの等を使用することができる。溝が形成されているとその中にレジスト2が溜まるため基板1にレジスト2を十分に塗布することができ、レジスト2が基板1の全般に均一に広がり易くなる。
基板1に噴霧するレジスト2はエポキシ樹脂やウレタン樹脂といった絶縁性のあるものやの感光剤等を使用することができる。
(実施形態2)
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の実施形態2は、実施形態1の方法で基板1の表面に塗布されたレジスト2にスキージー6を接触させて、そのレジスト2を均一厚に均しながら基板1のホール4内へ押し込み、更に、余分なレジスト2を掻き落とすようにした方法である。この場合も、前記のようにスキージー6で処理したレジスト2を乾燥装置で半乾燥させてから、レジスト2の表面に保護フィルム7を貼り付けることもできる。前記レジスト塗布は既存の又は新規のスプレーコーター3を用いて行うこともできる。
(実施形態3)
本願発明におけるプリント配線基板へのレジスト塗布は図2のように基板1を縦向きにして横移動(横に搬送)させながら行なうこともできる。塗布ローラー5、スキージー6によるレジスト2の押込みや掻取りもこの縦向き状態の横移動時に行なうことができる。この場合は、基板1の表裏両面側にスプレーコーター3を配置して、両者から基板の表裏両面にレジスト2を噴霧して塗布することができる。この場合は、塗布ローラー5、スキージー6も基板1の表裏両面側に配置して、それらで基板1を挟んでレジスト2を表裏両面からホール4に押し込んだり、基板1の表裏両面のレジスト2を平滑に均したり均一にしたりすることができる。
(実施形態4)
本願発明におけるプリント配線基板へのレジスト塗布は、図3に示すように、基板1を縦向きにして図中矢印a方向に上昇させながら、又は矢印b方向に降下させながら、或いは縦向きにして矢印X方向(左方向)又は矢印Y方向(右方向)に横移動させながら行なうこともできる。図示されていないが、本願発明では基板1を前後方向や斜め方向に移動させながらレジスト2を塗布することもできる。この場合も、レジスト2を基板1の表裏両面に塗布する場合はスプレーコーター3を基板1の表裏両面側に配置し、それらからレジスト2を表裏両面に噴霧して塗布する。塗布ローラー5、スキージー6も基板1の両面に配置して、それらで基板1を挟んで行なうこともできる。この場合、スプレーコーター3、スキージー6は基板1の移動方向と同じ方向又はそれらと反対方向に移動させることも出来、塗布ローラー5の回転方向も基板1の移動方向と同じ方向又はそれと反対方向にすることができる。
図3では基板1を昇降或いは左右に横移動させる場合であるが、可能であれば、基板1を固定し、スプレーコーター3、塗布ローラー5、スキージー6を昇降或いは左右に移動させながら前記塗布作業や、均し作業等を行なうこともできる。図1ではスプレーコーター3、塗布ローラー5、スキージー6を基板1の表裏両面の基板1を挟んだ対向位置に配置してあるが、これらは基板1の表裏両面の搬送方向に位置をずらして配置することも出来る。
図1ではスキージー6を基板1の搬送方向であって塗布ローラー5の先方に配置して、基板1を表裏両面から挟着できるように互いに接近又は離間可能にしてある。図4(a)、(b)は基板1を上昇させる場合であるため、スキージー6を塗布ローラー5の上方(基板1の搬送方向先方)に基板1を挟んで対向配置してある。塗布ローラー5もスキージー6も基板1を表裏両面から挟着できるように互いに接近又は離間可能な構造にしてあり、レジスト塗布時には基板1に接触し、非塗布時には基板1から離れるようにしてある。塗布ローラー5は基板1の搬送方向に二以上設けることもできる。この場合、一つの場合よりもホール4へのレジスト2の押込みが確実になり、レジスト2の厚さ、基板表面の平滑度をより一層高めることができる。
スキージー6の基板1の接触部はゴム製、シリコン製など基板1を傷付けにくい材質製にしてある。その先端面形状(接触面形状)は、図4(a)、(b)に示すものは幅の広い平面状であるが、基板1の表面にあるレジスト2をホール4内に押込み可能であり、掻き落とすことができ、基板1の全面に均一に均すという目的を果たすことができるものであれば、これ以外の形状をしたものであってもよく、例えば鋭角であってもよい。ちなみに、幅の広い平面状の方が鋭角の場合よりもレジストが均一に均され易い。スキージー6も基板1の搬送方向に二以上設けることができる。この場合、一つの場合よりもホール4へのレジスト2の押込みが確実になり、レジスト2の厚さ、基板表面の平滑度をより一層高めることができる。スキージー6の大きさや形状等は基板1の大きさや材質などに応じて任意のものとすることができる。
(実施形態5)
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法は図5に示すレジスト塗布装置を使用して自動的に塗布作業することができる。この装置を使用してレジストを塗布するには次のようにする。
(1)図5のロールコンベア式の搬送体Fの上に基板1を横向きに寝かせて(図5に仮想線で示す状態)で搬送して起立装置Gの上に送り込む。
(2)起立装置Gを垂直(縦向き:図5に実線で示す状態)に起立させて基板1を起立させ、その基板1の上端部1aを吊り具Hでクランプする。
(3)前記クランプ後に回転体Iを90度横向きに回転させて基板1を90度回転させる。
(4)前記回転後に伸縮式のアームJを先方に伸ばして基板1を二本の塗布ローラー5の上方にセットし、その位置で基板1を昇降装置(図示していない)の把持部Lで把持し、吊り具Hでのクランプを開放して、把持部Lでの把持に持ち替え、アームJを回転体I側に後退させて、スプレーコーター3の後方まで退避させる。
(5)その後に、把持部Lを降下させ、その間に、スプレーコーター3から基板1にレジスト2を噴霧する。
(6)前記把持部Lの降下を継続させて、基板1を、図5に仮想線で示すように離れている二本の塗布ローラー5の間を通過させて、上向き樋状の支持体Mの上に置き、前記把持部Lを基板1から離す。
(7)その後に、前記二本の塗布ローラー5を接近させて基板1の上端部1aを挟み、塗布ローラー5を回転させて基板1にレジスト2を塗布しながら基板1を上昇させ、基板1が上昇させて塗布ローラー5より上方に送り出す。このとき、塗布ローラー5にレジスト2を供給して塗布ローラー5により基板1にレジスト2を補充塗布することもでき、補充せずに、基板1に付着しているレジスト2を均して均一厚にしながら均して平滑にすると共に基板1のホール4内に押し込むこともできる。
(8)基板1への塗布ローラー5の接触回転により基板1の上端部1aが塗布ローラー5より上方まで突出したら、その上端部1aを前記把持部Lで把持して引き上げる。この間に塗布ローラー5が基板1に回転接触して基板1の下端部1bまでレジスト2を塗布する。
(9)基板1が塗布ローラー5によりその上方まで送り出され、把持部Lにより引き上げられると、基板1の上端部1aが吊り具Hでクランプされ、把持部Lでの把持が開放されて、吊り具Hに持ち替えられる。
(10)その後、前記回転体Iが右に90度回転して基板1の向きを変え、アームJを先方に伸ばして基板1を次の作業箇所の上方にセットする。
図5ではスキージー6は表示されていないが、必要であれば基板1の表裏両面側であって塗布ローラー5の上方に配置し、基板1に接触したり基板1から離れるように左右に移動可能としておき、両スキージー6により基板1を挟んだ状態で塗布済みレジスト2を均一厚に均したり、余分なレジスト2を掻き落としたりすることができる。図5はレジスト2を基板1の両面に塗布する場合の例であるが、基板1の片面にのみ塗布することもできる。
(実施形態6)
発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法では、図6に示すように、レジスト2を塗布した基板1の表面に保護フィルム7を貼り付けることもできる。保護フィルム7は、レジスト2が塗布された基板1の表面を平滑にし、基板1のレジスト2に傷が付いたりレジスト2が脱落したりするのを防止するためのものである。保護フィルム7は基板1に塗布したレジスト2を半乾燥させた状態で貼付するのが望ましい。
保護フィルム7を貼付する貼付装置Aの一例として図6に示すものは、保護フィルム7を基板1の両面に貼付するための二つの貼付ローラーBが対向配置されており、その二つの貼付ローラーBの間にレジスト2が塗布された基板1を送り込み、基板1が貼付ローラーBの間を通過する際に二つの貼付ローラーBを矢印方向に回転させることによって基板1の両面のレジスト2の上に保護フィルム7を重ねて貼付できるようにしてある。保護フィルム7はロールCに巻かれており、そのロールCを回転させることによって引き出し可能としてある。引き出された保護フィルム7はガイドローラーDにガイドされて前記二つの貼付ローラーBの間に導入され、両貼付ローラーBにより基板1のレジスト2の表面に貼付される。この貼付は真空ラミネート方式で行なわれる。
本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の一例であり、基板を横向きにして横移動させながら塗布する場合の説明図。 本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の他例であり、基板を縦向きにして横移動させながら塗布する場合の説明図。 本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の他例であり、基板を昇降させながらレジストを塗布する場合の説明図。 本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法で使用される塗布ローラー及びスキージーの一例であり、(a)は接触面が矩形のスキージーを基板に水平に接触させて使用する場合の説明図、(b)は他のスキージーを基板に斜めにしてスキージーの角部を基板に接触させる場合の説明図。 本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法の他例であり、横向きに送られてくる基板を縦向きにし、基板を吊るして移動させ、基板を降下或いは引き上げながらレジストを塗布する場合の一例を示す説明図。 本願発明のプリント配線基板へのレジスト塗布方法によりレジストを塗布した基板のレジスト塗布面に保護フィルムを貼付する方法の一例を示す説明図。
1 基板
1a 上端部
1b 下端部
2 レジスト
3 スプレーコーター(噴霧式塗布器)
4 ホール
5 塗布ローラー
6 スキージー
7 保護フィルム
A 貼付装置
B 貼付ローラー
C ロール
D ガイドローラー
F 搬送体
G 起立装置
H 吊り具
I 回転体
J アーム
L 把持部
M 支持体

Claims (6)

  1. ホールを備えるプリント配線板及当該基板のホール内へのレジスト塗布方法において、
    前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内は前記プリント配線基板の片面基板ホール内にスプレーコーターによりレジストを噴霧し、
    レジスト塗布のプリント配線基板を移動させながら、当該プリント配線基板のレジスト塗布面に塗布ローラーを回転接触させて、当該塗布ローラーに供給された新たなレジストを前記レジスト塗布面上に塗布すると共に、前記レジスト塗布により前記ホールの周囲に付着しているレジストを当該基板ホール内に押し込んで、前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にレジストを塗布する、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
  2. 請求項1記載のプリント配線基板へのレジスト塗布方法において、
    スプレーコーターがインクジェット式又は静電スプレー式である、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
  3. 請求項1又は請求項2記載のプリント配線基板へのレジスト塗布方法において、
    スプレーコーターによるレジストの噴霧・塗布、塗布ローラーによるレジスト塗布をプリント配線基板の横向き横移動中、縦向き横移動中、上昇中又は降下中に行なう、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
  4. 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のプリント配線基板へのレジスト塗布方法において、
    プリント配線基板の上端部をクランプし、
    前記クランプ状態のプリント配線基板を降下させ、その降下中に、スプレーコーターから前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にスプレーコーターによりレジストを噴霧し、
    レジストを塗布後のプリント配線基板を、対向配置されている二本の塗布ローラー間を通過させ、その通過中に、当該塗布ローラーを回転させて、この塗布ローラーに供給される新たなレジストを前記レジスト塗布面に塗布すると共に前記レジスト塗布により前記ホールの周囲に付着しているレジストを当該基板ホール内に押し込んで、前記プリント配線基板の表裏両面と基板ホール内又は前記プリント配線基板の片面と基板ホール内にレジストを塗布する、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
  5. 請求項1から請求項のいずれか1項に記載のプリント配線基板へのレジスト塗布方法において、
    前記プリント配線基板への塗布ロールによるレジスト塗布後に、プリント配線基板に塗布されたレジストスキージーを接触させて、当該レジストを均すか又は/及びホールへ押し込む、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
  6. 請求項1から請求項のいずれかに記載のプリント配線基板へのレジスト塗布方法において、
    プリント配線基板への塗布ローラーによるレジスト塗布後に、塗布後のレジストを半乾燥させ、そのレジストにフィルムを真空ラミネート方式で貼り合わせて、プリント配線基板表面のレジスト面の厚さを均一化、平滑化すると共にレジストを保護する、
    ことを特徴とするプリント配線基板へのレジスト塗布方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02251964A (ja) * 1989-03-27 1990-10-09 Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd ホトレジスト被膜の形成方法
JPH0643657A (ja) * 1992-02-13 1994-02-18 Tama Electric Co Ltd 変形基板に対する感光性レジスト塗布方法
JP3652155B2 (ja) * 1999-02-01 2005-05-25 京セラ株式会社 セラミックス基板の探傷液塗布装置
JP2000271537A (ja) * 1999-03-24 2000-10-03 Matsushita Electric Works Ltd 建材の塗装方法
JP2003164799A (ja) * 2001-11-30 2003-06-10 Toppan Printing Co Ltd 化粧材の製造方法
JP4624387B2 (ja) * 2005-06-24 2011-02-02 株式会社都ローラー工業 レジスト塗布基板製造方法と、その製造方法で製造されたレジスト塗布基板
JP4895866B2 (ja) * 2007-03-05 2012-03-14 富士フイルム株式会社 レジスト膜形成装置及びレジスト膜形成方法

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