JP5264858B2 - 熱アシスト磁気ヘッドおよびその製造方法並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 - Google Patents
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Description
そして、より多くの表面プラズモンを集中させるため、プラズモンアンテナを三角柱形状で形成する技術が知られていた。この場合、例えば図23〜図26に示すようにしてプラズモンアンテナが形成されている。
また、ベース溝部および内溝部がともに断面V字形状に形成されているようにすることができる。
(1) 積層体の表面にベース層を形成した後、そのベース層の深さ方向に沿って漸次幅が狭まり、かつ媒体対向面と交差する奥行き方向に延びるベース溝部をベース層に形成する溝部形成工程
(2) ベース溝部の内壁面に誘電体の成膜を行うことによってベース溝部に直に接する介在層を形成する介在層形成工程
(3) 介在層のベース溝部の内側に形成されている溝部内介在層に対する金属の成膜を行うことによって、金属の埋設されない非埋設領域としての内溝部がベース溝部の内側に残るようにして、近接場光発生層を形成する発生層形成工程
(4) 内溝部の内側全体に磁性材を埋設することによって、近接場光発生層におけるベース溝部の内側に形成されている溝部内発生層の内溝部に臨む溝部内表面に直に接する内溝部に応じた先細り形状の溝部内磁極層を形成し、その溝部内磁極層上に磁性材を堆積することによって、溝部内磁極層に重なり、かつ内溝部の外側に形成されている溝部外磁極層を形成する主磁極層形成工程
さらに、溝部形成工程において、ベース溝部を断面V字形状に形成するようにすることもできる。
(熱アシスト磁気ヘッドの構造)
まず、図1から図7を参照して、本発明の実施の形態に係る熱アシスト磁気ヘッドの構造について説明する。ここで、図1は本発明の実施の形態に係る熱アシスト磁気ヘッド100のエアベアリング面(以下「ABS」ともいう)と交差する方向に沿った図3の1−1線断面図、図2は熱アシスト磁気ヘッド100のABS101を示す正面図である。また、図3は熱アシスト磁気ヘッド100の要部を一部断面にして示した斜視図、図4は図3の要部を拡大して示した斜視図である。図5は近接場光発生層28を示す斜視図、図6は磁極端部層41の正面からみた一部省略した斜視図、図7は熱アシスト磁気ヘッド100をベース溝部に沿って切断したときの要部を示す断面図である。なお、図2において、左右の方向がトラック幅方向であり、上方向が磁気記録媒体の進行方向、紙面に垂直な方向が磁気記録媒体の表面に垂直な方向である。
続いて、以上の構成を有する熱アシスト磁気ヘッドの磁気記録動作について説明すると次のとおりである。
次に、前述の図1,図2とともに、図8(A),(B)〜図13(A),(B)と、図14〜図17を参照して、前述の構造を有する熱アシスト磁気ヘッド100の製造方法について説明する。
前述した熱アシスト磁気ヘッド100は近接場光発生層28の代わりに図18に示す近接場光発生層88を形成してもよい。近接場光発生層88は、近接場光発生層28と比較して、延設部28b、28bを有していない点で相違し、他は一致している。この近接場光発生層88も、近接場光発生層28と同様に溝部内発生層28aを有しているから、表面はすべて非研磨面である。したがって、近接場光発生層88でも、レーザ光やエバネッセント光が取り込まれるときに表面の腐食に伴う損失が発生するおそれはない。よって、近接場光発生層28と同様、近接場光発生層88でも、近接場光を極めて効率的に発生し得る。
次に、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置の実施の形態について、図19〜図22を参照して説明する。
Claims (19)
- 磁気記録媒体に対向する媒体対向面内に配置された磁極端面を備えた主磁極層と、前記磁気記録媒体を加熱するための近接場光を発生する発生端部が前記媒体対向面内に配置されている近接場光発生層と、該近接場光発生層に光を導く光導波路とを有する熱アシスト磁気ヘッドであって、
深さ方向に沿って漸次幅が狭まり、かつ前記媒体対向面と交差する奥行き方向に延びるベース溝部が形成されているベース層を有し、
前記近接場光発生層は前記ベース層における前記ベース溝部の内側に形成されている溝部内発生層を有し、
該溝部内発生層は、最も深い位置に配置されている最深部のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分が前記発生端部を構成し、
該溝部内発生層は、前記ベース溝部の内壁面に沿って形成され、かつ前記深さ方向に沿って漸次幅の狭まる前記ベース溝部よりも大きさの小さい内溝部を前記ベース溝部内に形成する薄膜状構造を有し、
前記主磁極層は、前記内溝部の内側に形成され、かつ前記溝部内発生層の前記内溝部に臨む溝部内表面に直に接する前記内溝部に応じた先細り形状の溝部内磁極層と、該溝部内磁極層に重なり、かつ前記内溝部の外側に形成されている溝部外磁極層とが一体となった構造を有し、前記溝部内磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分と、前記溝部外磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分とによって前記磁極端面が形成されている熱アシスト磁気ヘッド。 - 前記ベース層における前記ベース溝部の表面および前記ベース層における前記ベース溝部の外側の表面に直に接している介在層を更に有し、該介在層上に前記溝部内発生層が形成されている請求項1記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記近接場光発生層は、前記溝部内発生層の上端部につながり、かつ前記ベース層の表面に沿った短冊状の延設部を更に有し、前記溝部内表面が平坦面になっている請求項1または2記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記溝部内磁極層は、最も幅の狭まるエッジ部のうちの前記媒体対向面内に配置されている端面が前記発生端部に直に接する前端部となり、
前記溝部外磁極層は、前記延設部に表側から接する張出部が幅方向両側に形成され、かつ前記溝部内磁極層よりも広い横幅を有している請求項3記載の熱アシスト磁気ヘッド。 - 前記延設部と前記張出部の前記内溝部よりも外側に張り出す幅の大きさが等しく形成されている請求項4記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記光導波路は、前記ベース層における前記ベース溝部の形成されていない裏面に接触している請求項1〜5のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記ベース溝部は、最も深い位置に配置されている谷底部が前記光導波路の表面に達する深溝構造を有する請求項1〜6のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記ベース溝部および前記内溝部がともに断面V字形状に形成されている請求項1〜7のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記主磁極層の前記磁極端面は、前記前端部につながる2つの辺の長さが等しい2等辺三角形で形成された部分を有し、
前記熱アシスト磁気ヘッドは、前記主磁極層の周りに平面渦巻き状に巻き回された薄膜コイルを更に有し、
前記主磁極層は、前記溝部内磁極層と前記溝部外磁極層とを有する磁極端部層と、該磁極端部層に接続されたヨーク磁極層とを有し、該ヨーク磁極層は、前記薄膜コイルを跨ぐ湾曲構造を有している請求項1〜8のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッド。 - 磁気記録媒体に対向する媒体対向面内に配置された磁極端面を備えた主磁極層と、前記磁気記録媒体を加熱するための近接場光を発生する発生端部が前記媒体対向面内に配置されている近接場光発生層と、該近接場光発生層に光を導く光導波路とを有する熱アシスト磁気ヘッドの製造方法であって、
積層体の表面にベース層を形成した後、該ベース層の深さ方向に沿って漸次幅が狭まり、かつ前記媒体対向面と交差する奥行き方向に延びるベース溝部を前記ベース層に形成する溝部形成工程と、
前記ベース溝部の内壁面に誘電体の成膜を行うことによって前記ベース溝部に直に接する介在層を形成する介在層形成工程と、
前記介在層の前記ベース溝部の内側に形成されている溝部内介在層に対する金属の成膜を行うことによって、金属の埋設されない非埋設領域としての内溝部が前記ベース溝部の内側に残るようにして、前記近接場光発生層を形成する発生層形成工程と、
前記内溝部の内側全体に磁性材を埋設することによって、前記近接場光発生層における前記ベース溝部の内側に形成されている溝部内発生層の前記内溝部に臨む溝部内表面に直に接する前記内溝部に応じた先細り形状の溝部内磁極層を形成し、該溝部内磁極層上に磁性材を堆積することによって、前記溝部内磁極層に重なり、かつ前記内溝部の外側に形成されている溝部外磁極層を形成する主磁極層形成工程とを有する熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。 - 前記発生層形成工程は、前記溝部内介在層および前記介在層の前記ベース溝部に沿った短冊状領域に対して前記金属の成膜を行うことによって、前記近接場光発生層を、前記ベース層の表面に沿った短冊状の延設部を有するようにして形成する請求項10記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記主磁極層形成工程は、前記磁性材を前記近接場光発生層の前記延設部上にも堆積することによって、前記溝部外磁極層を形成する請求項11記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記主磁極層形成工程は、前記磁性材を前記近接場光発生層の前記延設部上にも堆積することによって、前記延設部に表側から接する張出部を有し、かつ前記溝部内磁極層よりも広い横幅を有するように、前記溝部外磁極層を形成する請求項11記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記ベース層を形成する前に前記光導波路を形成する光導波路形成工程を更に有し、
該光導波路形成工程を実行することによって前記光導波路を形成した後、その光導波路の上に前記ベース層を形成する請求項10〜13のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。 - 前記溝部形成工程において、最も深い位置に配置される谷底部が前記光導波路の表面に達する深さを有するように前記ベース溝部を形成する請求項14記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記溝部形成工程において、前記ベース溝部を断面V字形状に形成する請求項10〜15のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記発生層形成工程において、物理気相成長(Physical Vapor Deposition)によって、前記金属の成膜を行う請求項10〜16のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 熱アシスト磁気ヘッドが形成されているスライダを備えたヘッドジンバルアセンブリであって、
前記熱アシスト磁気ヘッドは、磁気記録媒体に対向する媒体対向面内に配置された磁極端面を備えた主磁極層と、前記磁気記録媒体を加熱するための近接場光を発生する発生端部が前記媒体対向面内に配置されている近接場光発生層と、該近接場光発生層に光を導く光導波路とを有し、
深さ方向に沿って漸次幅が狭まり、かつ前記媒体対向面と交差する奥行き方向に延びるベース溝部が形成されているベース層を有し、
前記近接場光発生層は前記ベース層における前記ベース溝部の内側に形成されている溝部内発生層を有し、
該溝部内発生層は、最も深い位置に配置されている最深部のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分が前記発生端部を構成し、
該溝部内発生層は、前記ベース溝部の内壁面に沿って形成され、かつ前記深さ方向に沿って漸次幅の狭まる前記ベース溝部よりも大きさの小さい内溝部を前記ベース溝部内に形成する薄膜状構造を有し、
前記主磁極層は、前記内溝部の内側に形成され、かつ前記溝部内発生層の前記内溝部に臨む溝部内表面に直に接する前記内溝部に応じた先細り形状の溝部内磁極層と、該溝部内磁極層に重なり、かつ前記内溝部の外側に形成されている溝部外磁極層とが一体となった構造を有し、前記溝部内磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分と、前記溝部外磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分とによって前記磁極端面が形成されているヘッドジンバルアセンブリ。 - 熱アシスト磁気ヘッドを有するヘッドジンバルアセンブリと、前記熱アシスト磁気ヘッドに対向する磁気記録媒体とを備え、
前記熱アシスト磁気ヘッドは、磁気記録媒体に対向する媒体対向面内に配置された磁極端面を備えた主磁極層と、前記磁気記録媒体を加熱するための近接場光を発生する発生端部が前記媒体対向面内に配置されている近接場光発生層と、該近接場光発生層に光を導く光導波路とを有し、
深さ方向に沿って漸次幅が狭まり、かつ前記媒体対向面と交差する奥行き方向に延びるベース溝部が形成されているベース層を有し、
前記近接場光発生層は前記ベース層における前記ベース溝部の内側に形成されている溝部内発生層を有し、
該溝部内発生層は、最も深い位置に配置されている最深部のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分が前記発生端部を構成し、
該溝部内発生層は、前記ベース溝部の内壁面に沿って形成され、かつ前記深さ方向に沿って漸次幅の狭まる前記ベース溝部よりも大きさの小さい内溝部を前記ベース溝部内に形成する薄膜状構造を有し、
前記主磁極層は、前記内溝部の内側に形成され、かつ前記溝部内発生層の前記内溝部に臨む溝部内表面に直に接する前記内溝部に応じた先細り形状の溝部内磁極層と、該溝部内磁極層に重なり、かつ前記内溝部の外側に形成されている溝部外磁極層とが一体となった構造を有し、前記溝部内磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分と、前記溝部外磁極層のうちの前記媒体対向面内に配置されている部分とによって前記磁極端面が形成されているハードディスク装置。
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