JP5001414B2 - 近接場光発生素子を備えた熱アシスト磁気記録ヘッド - Google Patents
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Description
後にエッチングされることによって近接場光発生素子となる金属層を形成する工程と、
金属層に第1の斜面が形成されるように、金属層をエッチングする第1のエッチング工程と、
金属層に第2の斜面とエッジ部が形成されて、金属層が近接場光発生素子になるように、金属層をエッチングする第2のエッチング工程とを備えている。
後にエッチングされることによって近接場光発生素子となる金属層を形成する工程と、
金属層の上に、後に行われる研磨工程において用いられる研磨停止層を形成する工程と、
金属層に第1の斜面が形成されるように、研磨停止層および金属層をエッチングする第1のエッチング工程と、
第1の斜面が形成された後の金属層と研磨停止層とを覆うように、後に行われる第2のエッチング工程におけるエッチング速度が金属層よりも小さい、金属以外の無機材料よりなる被覆層を形成する工程と、
研磨停止層が露出するまで被覆層を研磨する研磨工程と、
金属層に第2の斜面とエッジ部が形成されて、金属層が近接場光発生素子になるように、研磨工程で研磨された後の被覆層をエッチングマスクとして用いて、研磨停止層および金属層をエッチングする第2のエッチング工程とを備えている。
第1のエッチング工程は、金属層に、後に第1の斜面となる第1の初期斜面を形成する工程と、第1の初期斜面に第1の斜面の下部と上部が形成されて、第1の初期斜面が第1の斜面となるように、第1の初期斜面をエッチングする工程とを含み、
第2のエッチング工程は、金属層に、後に第2の斜面となる第2の初期斜面を形成する工程と、第2の初期斜面に第2の斜面の下部と上部が形成されて、第2の初期斜面が第2の斜面となるように、第2の初期斜面をエッチングする工程とを含んでいる。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。始めに、図1ないし図7を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る熱アシスト磁気記録ヘッドの構成について説明する。図1は、本実施の形態に係る近接場光発生素子を示す斜視図である。図2は、図1に示した近接場光発生素子の前端面を示す正面図である。図3は、熱アシスト磁気記録ヘッドの要部を示す斜視図である。図4は、熱アシスト磁気記録ヘッドの構成を示す断面図である。図5は、熱アシスト磁気記録ヘッドの媒体対向面を示す正面図である。図6は、熱アシスト磁気記録ヘッドにおけるコイルの第1層を示す平面図である。図7は、熱アシスト磁気記録ヘッドにおけるコイルの第2層を示す平面図である。
次に、図22ないし図35を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る近接場光発生素子およびその製造方法ならびに熱アシスト磁気記録ヘッドについて説明する。図22ないし図35は、本実施の形態における近接場光発生素子16および周囲層18を形成する工程を示している。近接場光発生素子16および周囲層18を形成する工程は、近接場光発生素子16を形成する工程を含んでいる。以下の説明は、本実施の形態に係る近接場光発生素子16の製造方法の説明を含んでいる。図22ないし図35は、近接場光発生素子16および周囲層18を形成する過程における積層体の、媒体対向面40が形成される予定の位置における断面を示している。
Claims (3)
- 熱アシスト磁気記録ヘッドに用いられる近接場光発生素子の製造方法であって、
前記熱アシスト磁気記録ヘッドは、
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極と、
光を伝播させる導波路と、
前記媒体対向面に配置された近接場光発生部を有し、前記導波路を伝播する光に基づいて表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンが前記近接場光発生部に伝播され、この表面プラズモンに基づいて前記近接場光発生部より近接場光を発生する近接場光発生素子と、
上面を有する基板とを備え、
前記基板の上面の上方に、前記近接場光発生素子、磁極および導波路が配置されたものであり、
前記近接場光発生素子は、外面を有し、
前記外面は、前記基板の上面により近い端に位置する下面と、それぞれ前記下面に連結され前記下面から離れるに従って互いの距離が小さくなる第1および第2の斜面と、前記第1および第2の斜面を接続するエッジ部と、前記媒体対向面に配置されて前記下面、第1の斜面および第2の斜面を接続する前端面とを含み、
前記前端面は、前記第1の斜面の端に位置する第1の辺と、前記第2の斜面の端に位置する第2の辺と、前記下面の端に位置する第3の辺と、前記第1および第2の辺が接して形成され、前記近接場光発生部を形成する尖端とを含み、
前記第1の辺と第2の辺は、それぞれ、連続する下部と上部とを含み、
前記第1の辺の上部と前記第2の辺の上部とがなす角度は、前記第1の辺の下部と前記第2の辺の下部とがなす角度よりも小さく、
前記第1の斜面と第2の斜面は、それぞれ、連続する下部と上部とを含み、
前記第1の斜面の上部と前記第2の斜面の上部とがなす角度は、前記第1の斜面の下部と前記第2の斜面の下部とがなす角度よりも小さく、
前記第1の辺の下部は、前記第1の斜面の下部の端に位置し、
前記第1の辺の上部は、前記第1の斜面の上部の端に位置し、
前記第2の辺の下部は、前記第2の斜面の下部の端に位置し、
前記第2の辺の上部は、前記第2の斜面の上部の端に位置し、
前記近接場光発生素子の製造方法は、
後にエッチングされることによって前記近接場光発生素子となる金属層を形成する工程と、
前記金属層に前記第1の斜面が形成されるように、前記金属層をエッチングする第1のエッチング工程と、
前記金属層に前記第2の斜面とエッジ部が形成されて、前記金属層が前記近接場光発生素子になるように、前記金属層をエッチングする第2のエッチング工程とを備え、
前記第1のエッチング工程は、前記金属層に、後に前記第1の斜面となる第1の初期斜面を形成する工程と、前記第1の初期斜面に前記第1の斜面の下部と上部が形成されて、前記第1の初期斜面が前記第1の斜面となるように、前記第1の初期斜面をエッチングする工程とを含み、
前記第2のエッチング工程は、前記金属層に、後に前記第2の斜面となる第2の初期斜面を形成する工程と、前記第2の初期斜面に前記第2の斜面の下部と上部が形成されて、前記第2の初期斜面が前記第2の斜面となるように、前記第2の初期斜面をエッチングする工程とを含むことを特徴とする近接場光発生素子の製造方法。 - 熱アシスト磁気記録ヘッドに用いられる近接場光発生素子の製造方法であって、
前記熱アシスト磁気記録ヘッドは、
記録媒体に対向する媒体対向面と、
前記媒体対向面に配置された端面を有し、情報を前記記録媒体に記録するための記録磁界を発生する磁極と、
光を伝播させる導波路と、
前記媒体対向面に配置された近接場光発生部を有し、前記導波路を伝播する光に基づいて表面プラズモンが励起され、この表面プラズモンが前記近接場光発生部に伝播され、この表面プラズモンに基づいて前記近接場光発生部より近接場光を発生する近接場光発生素子と、
上面を有する基板とを備え、
前記基板の上面の上方に、前記近接場光発生素子、磁極および導波路が配置されたものであり、
前記近接場光発生素子は、外面を有し、
前記外面は、前記基板の上面により近い端に位置する下面と、それぞれ前記下面に連結され前記下面から離れるに従って互いの距離が小さくなる第1および第2の斜面と、前記第1および第2の斜面を接続するエッジ部と、前記媒体対向面に配置されて前記下面、第1の斜面および第2の斜面を接続する前端面とを含み、
前記前端面は、前記第1の斜面の端に位置する第1の辺と、前記第2の斜面の端に位置する第2の辺と、前記下面の端に位置する第3の辺と、前記第1および第2の辺が接して形成され、前記近接場光発生部を形成する尖端とを含み、
前記第1の辺と第2の辺は、それぞれ、連続する下部と上部とを含み、
前記第1の辺の上部と前記第2の辺の上部とがなす角度は、前記第1の辺の下部と前記第2の辺の下部とがなす角度よりも小さく、
前記第1の斜面と第2の斜面は、それぞれ、連続する下部と上部とを含み、
前記第1の斜面の上部と前記第2の斜面の上部とがなす角度は、前記第1の斜面の下部と前記第2の斜面の下部とがなす角度よりも小さく、
前記第1の辺の下部は、前記第1の斜面の下部の端に位置し、
前記第1の辺の上部は、前記第1の斜面の上部の端に位置し、
前記第2の辺の下部は、前記第2の斜面の下部の端に位置し、
前記第2の辺の上部は、前記第2の斜面の上部の端に位置し、
前記近接場光発生素子の製造方法は、
後にエッチングされることによって前記近接場光発生素子となる金属層を形成する工程と、
前記金属層の上に、後に行われる研磨工程において用いられる研磨停止層を形成する工程と、
前記金属層に前記第1の斜面が形成されるように、前記研磨停止層および前記金属層をエッチングする第1のエッチング工程と、
前記第1の斜面が形成された後の前記金属層と前記研磨停止層とを覆うように、後に行われる第2のエッチング工程におけるエッチング速度が前記金属層よりも小さい、金属以外の無機材料よりなる被覆層を形成する工程と、
前記研磨停止層が露出するまで前記被覆層を研磨する研磨工程と、
前記金属層に前記第2の斜面とエッジ部が形成されて、前記金属層が前記近接場光発生素子になるように、前記研磨工程で研磨された後の前記被覆層をエッチングマスクとして用いて、前記研磨停止層および前記金属層をエッチングする第2のエッチング工程とを備え、
前記第1のエッチング工程は、前記金属層に、後に前記第1の斜面となる第1の初期斜面を形成する工程と、前記第1の初期斜面に前記第1の斜面の下部と上部が形成されて、前記第1の初期斜面が前記第1の斜面となるように、前記第1の初期斜面をエッチングする工程とを含み、
前記第2のエッチング工程は、前記金属層に、後に前記第2の斜面となる第2の初期斜面を形成する工程と、前記第2の初期斜面に前記第2の斜面の下部と上部が形成されて、前記第2の初期斜面が前記第2の斜面となるように、前記第2の初期斜面をエッチングする工程とを含むことを特徴とする近接場光発生素子の製造方法。 - 前記被覆層は、Al2O3、SiO2、Ta2O5、SiCおよびTiNからなるグループから選択された1つよりなることを特徴とする請求項2記載の近接場光発生素子の製造方法。
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