JP5264857B2 - 熱アシスト磁気ヘッドの製造方法および熱アシスト磁気ヘッド並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載されている従来技術のように、レーザダイオードを熱アシスト磁気ヘッドから遠く離れた位置に配置すると、レーザ光が光ファイバを伝搬していく過程での損失などが発生する。すると、レーザダイオードから近接場光発生部までの距離が長くなるのに伴い、導かれるレーザ光の出力が低下するし、光ファイバ等を備える関係で装置の構造が複雑化したり、大型化したりといった点が未解決の課題となってしまう。
(1)スライダを構成するスライダ基板の媒体対向面と交差する光源載置面にレーザダイオードの光源載置面上に載置される載置部の寸法に応じた形状の、レーザダイオードが後に装着される予定領域を確保しておき、その上で、磁気記録媒体に対するデータの記録に用いられる記録ヘッドおよびレーザダイオードから出射されるレーザ光を媒体対向面側に導く光導波路を含む磁気ヘッド部を光源載置面の予定領域以外のヘッド領域に形成し、かつレーザダイオードの装着スペースを確保するためのスペーサを予定領域に形成または配置するヘッド形成工程
(2)スペーサを除去することによって、載置部の寸法に応じた形状の底部と、その底部の縁部に沿って形成され、かつレーザダイオードのレーザ光を出射する出射部に対応する対応位置に光導波路のレーザ光が入射する入射部が形成されている壁部とを有する光源装着部を予定領域に形成する装着部形成工程
(3)壁部に案内させながら載置部を嵌め込むことによって、装着部形成工程によって形成された光源装着部にレーザダイオードを装着する光源装着工程
(熱アシスト磁気ヘッドの構造)
まず、図1から図5を参照して、本発明の実施の形態に係る熱アシスト磁気ヘッドの構造について説明する。ここで、図1は本発明の実施の形態に係る熱アシスト磁気ヘッド100を光源載置面側からみた平面図、図2は熱アシスト磁気ヘッド100をエアベアリング面(以下「ABS」ともいう)と対向している側からみた斜視図である。また、図3は図1の3−3線断面図、図4は熱アシスト磁気ヘッド100における磁気ヘッド部をABS111からみた正面図である。図5は、磁気ヘッド部260に含まれている光導波路28と、レーザダイオード102とを模式的に示した斜視図である。
次に、レーザダイオード102について説明する。レーザダイオード102は、図1、図2に示すように、光源載置面115上に載置される載置部102aと、載置部102aと対向している天端部102bと、載置部102aの外周に沿った周端部102cとを有している。
続いて、図1から図5とともに図6から図11を参照して、磁気ヘッド部260の構造について説明する。ここで、図6の(A)は図5の6−6線断面図、図6の(B)は光導波路28に形成されているミラー部63の平面図である。図7は光導波路28を示す平面図である。図8から図11は別の光導波路の要部を示す平面図である。なお、以下では、磁気ヘッド部260の主要部の構造について説明し、主要部以外の部分の構造は後述する製造工程の中で説明する。
続いて、以上の構成を有する熱アシスト磁気ヘッドの磁気記録動作について説明すると次のとおりである。
次に、前述の図1〜図3とともに、図12〜図23を参照して、前述の構造を有する熱アシスト磁気ヘッド100の製造方法について説明する。
ヘッド形成工程では、前述したヘッド領域101Aにおける磁気ヘッド部260の形成と、予定領域101Bにおける後述するスペーサ磁性層340の形成とが行われる。
ヘッド形成工程の後、装着部形成工程を実行する。装着部形成工程では、まず、図22に示すように、予定領域101Bを除いた領域にフォトレジスト層80を形成する。フォトレジスト層80はヘッド領域101Aにも形成される。
装着部形成工程の後、光源装着工程を実行する。光源装着工程では、図3に示したように、光源装着部120にレーザダイオード102を装着する。この場合、レーザダイオード102の載置部102a(p電極142)を底部121に接合することによって、レーザダイオード102を光源装着部120に装着する。この光源装着工程を実行することによって、熱アシスト磁気ヘッド100を製造することができる。
図24は、変形例に係る熱アシスト磁気ヘッド400の図1と同様の平面図である。熱アシスト磁気ヘッド400は熱アシスト磁気ヘッド100と比べてスライダ401を有する点で相違している。スライダ401は、スライダ101と比べて、レーザダイオード102Aが対向配置で装着されている点、光導波路172が形成されている点で相違している。レーザダイオード102AはABS111に対向する側面からレーザ光を出射する。光導波路172はABS111と交差する方向に沿って直線上に形成させている。レーザダイオード102AからABS111と交差する方向にレーザ光が出射するため、光導波路172は光導波路28のようなミラー部を有しない構造になっている。熱アシスト磁気ヘッド400は熱アシスト磁気ヘッド100と同様の光源装着部120を有しているので、出射部と入射部との正確な位置合わせが行え、かつその位置合わせが行いやすくなっている。
前述した実施の形態では、対応磁性層303,307,321,322を予定領域101Bに積層することによってスペーサ磁性層340が形成されている。図25に示すように、対応磁性層303,307,321,322に加えて対応磁性層323,324を予定領域101Bに積層してもよい。対応磁性層323,324はそれぞれ磁極端部層41、ヨーク磁極層42のヘッド用磁性材を用い、表面が揃うように形成されている。対応磁性層323,324が積層されていても、ウェットエッチングを行うことによって、予定領域101Bに光源装着部120を形成することができる。
その他、前述した実施の形態では、スペーサとして、スペーサ磁性層340を形成していた。スペーサ磁性層340を形成する代わりに、既製のスペーサ(図示せず)を予定領域101Bに配置してもよい。このスペーサは、装着しようとするレーザダイオード102と外形の寸法や出射高等が同じであり、いわばダミーレーザダイオードというべきものである。ヘッド形成工程が完了するまでスペーサを予定領域101Bに配置しておき、ヘッド形成工程が完了した後、スペーサを除去することによって、予定領域101Bに光源装着部を形成することができる。このようなスペーサを配置しておいても、レーザダイオード102をスライダ101に装着でき、出射部と入射部との精度の高い位置合わせも行える。
次に、ヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置の実施の形態について、図27、図28を参照して説明する。
Claims (15)
- 磁気記録媒体に対向する媒体対向面を備えたスライダと、レーザ光を出射するレーザダイオードとを有する熱アシスト磁気ヘッドの製造方法であって、
前記スライダを構成するスライダ基板の前記媒体対向面と交差する光源載置面に前記レーザダイオードの前記光源載置面上に載置される載置部の寸法に応じた形状の、前記レーザダイオードが後に装着される予定領域を確保しておき、その上で、前記磁気記録媒体に対するデータの記録に用いられる記録ヘッドおよび前記レーザダイオードから出射される前記レーザ光を前記媒体対向面側に導く光導波路を含む磁気ヘッド部を前記光源載置面の前記予定領域以外のヘッド領域に形成し、かつ前記レーザダイオードの装着スペースを確保するためのスペーサを前記予定領域に形成または配置するヘッド形成工程と、
前記スペーサを除去することによって、前記載置部の寸法に応じた形状の底部と、該底部の縁部に沿って形成され、かつ前記レーザダイオードの前記レーザ光を出射する出射部に対応する対応位置に前記光導波路の前記レーザ光が入射する入射部が形成されている壁部とを有する光源装着部を前記予定領域に形成する装着部形成工程と、
前記壁部に案内させながら前記載置部を嵌め込むことによって、前記装着部形成工程によって形成された前記光源装着部に前記レーザダイオードを装着する光源装着工程とを有する熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。 - 前記ヘッド形成工程において、前記スペーサとして、前記磁気ヘッド部を形成するときに用いるヘッド用磁性材を用いたスペーサ磁性層を形成し、
前記装着部形成工程において、前記底部を四方から取り囲むように前記壁部を形成する請求項1記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。 - 前記ヘッド形成工程において、前記スペーサとして、前記磁気ヘッド部を構成する複数のヘッド磁性層をそれぞれ形成するときに用いるヘッド用磁性材を用い、かつそれぞれの前記ヘッド磁性層と表面を揃えた対応磁性層を複数積層したスペーサ磁性層を形成する請求項1記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記ヘッド形成工程は、前記レーザダイオードの前記載置部から前記レーザ光を出射する出射部までの間隔を出射高とし、前記スペーサ磁性層の厚さが前記出射高の範囲を示す出射高範囲に入っていることを確認する厚さ確認工程と、
前記スペーサ磁性層と表面を揃えた等面部を前記ヘッド領域にすでに積層されている積層体の最上面に形成する等面部形成工程と、
前記光導波路を前記等面部上に形成する光導波路形成工程とを有する請求項2または3記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。 - 前記スペーサ磁性層の厚さが前記出射高範囲の中間値よりも低い範囲に入っていることを前記厚さ確認工程で確認したときに、前記等面部形成工程を実行する請求項4記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記光導波路形成工程において、前記壁部に接続されるように前記光導波路を形成する請求項4または5記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記ヘッド形成工程は、前記磁気記録媒体を加熱するための近接場光を前記レーザ光を用いて発生する近接場光発生層を形成する近接場光発生層形成工程と、前記記録ヘッドを構成する薄膜コイルを螺旋状に巻回して形成するコイル形成工程と、前記記録ヘッドを構成する主磁極層を形成する主磁極層形成工程とを有する請求項1〜6のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記光源装着工程において前記レーザダイオードが前記光源装着部に装着された際、前記レーザ光を出射する出射部が前記媒体対向面と交差するときは、前記光導波路形成工程において、前記媒体対向面に沿った方向から前記媒体対向面と交差する方向に前記レーザ光の向きを変更するミラー部を形成する請求項4〜7のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 前記光導波路形成工程において、前記光導波路の前記媒体対向面に近い対向面側部分よりも前記予定領域に近い光源側部分の厚さを厚くして前記光導波路を形成する請求項4〜8のいずれか一項記載の熱アシスト磁気ヘッドの製造方法。
- 磁気記録媒体に対向する媒体対向面を備えたスライダと、レーザ光を出射するレーザダイオードとを有する熱アシスト磁気ヘッドであって、
前記スライダは、スライダ基板と、前記磁気記録媒体に対するデータの記録に用いられる記録ヘッドおよび前記レーザダイオードから出射される前記レーザ光を前記媒体対向面側に導く光導波路を含む磁気ヘッド部と、前記スライダ基板の前記媒体対向面と交差する光源載置面に形成された光源装着部とを有し、
前記光源装着部は、前記レーザダイオードの前記光源載置面上に載置される載置部の寸法に応じた形状の底部と、該底部の縁部に沿って該底部を四方から取り囲むように形成された壁部とを有し、
該壁部は、前記レーザダイオードの前記レーザ光を出射する出射部に対応する対応位置に前記光導波路の前記レーザ光が入射する入射部が形成され、
前記出射部と前記入射部とが対峙するようにして、前記レーザダイオードが前記光源装着部に装着されている熱アシスト磁気ヘッド。 - 前記光導波路を含む前記磁気ヘッド部を構成する複数のヘッド構成層の端面が積層されることによって、前記壁部が形成され、
前記壁部によって囲まれた部分に前記載置部が嵌め込まれることによって、前記レーザダイオードが前記光源装着部に装着されている請求項10記載の熱アシスト磁気ヘッド。 - 前記光導波路は、前記入射部を有し、かつ前記壁部から前記媒体対向面に沿った方向に延びている第1の光導波路と、該第1の光導波路に接続され、かつ前記媒体対向面と交差する方向に延びている第2の光導波路と、前記レーザ光の進行方向を前記媒体対向面に沿った方向から前記媒体対向面と交差する方向に変更するミラー部とを有し、前記第2の光導波路の厚さよりも前記第1の光導波路の厚さが大きく形成されている請求項10または11記載の熱アシスト磁気ヘッド。
- 前記ミラー部の、前記入射部からみた設置角が45度に設定され、
前記ミラー部の、前記入射部から見た投影幅が前記入射部の前記媒体対向面と交差する方向の横幅と等しいかそれよりも大きい大きさに設定され、
前記第1の光導波路の前記媒体対向面から離れた側の外側長が前記媒体対向面側の内側長と等しいかそれよりも大きい大きさに設定され、
前記ミラー部は、前記第1の光導波路の厚さに応じた高さを有する請求項12記載の熱アシスト磁気ヘッド。 - スライダと、レーザ光を出射するレーザダイオードとを有する熱アシスト磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリであって、
前記スライダは、スライダ基板と、前記磁気記録媒体に対するデータの記録に用いられる記録ヘッドおよび前記レーザダイオードから出射される前記レーザ光を前記媒体対向面側に導く光導波路を含む磁気ヘッド部と、前記スライダ基板の前記媒体対向面と交差する光源載置面に形成された光源装着部とを有し、
前記光源装着部は、前記レーザダイオードの前記光源載置面上に載置される載置部の寸法に応じた形状の底部と、該底部の縁部に沿って該底部を四方から取り囲むように形成された壁部とを有し、
該壁部は、前記レーザダイオードの前記レーザ光を出射する出射部に対応する対応位置に前記光導波路の前記レーザ光が入射する入射部が形成され、
前記出射部と前記入射部とが対峙するようにして、前記レーザダイオードが前記光源装着部に装着されているヘッドジンバルアセンブリ。 - スライダと、レーザ光を出射するレーザダイオードとを有する熱アシスト磁気ヘッドを備えたヘッドジンバルアセンブリと、前記熱アシスト磁気ヘッドに対向する磁気記録媒体とを備え、
前記スライダは、スライダ基板と、前記磁気記録媒体に対するデータの記録に用いられる記録ヘッドおよび前記レーザダイオードから出射される前記レーザ光を前記媒体対向面側に導く光導波路を含む磁気ヘッド部と、前記スライダ基板の前記媒体対向面と交差する光源載置面に形成された光源装着部とを有し、
前記光源装着部は、前記レーザダイオードの前記光源載置面上に載置される載置部の寸法に応じた形状の底部と、該底部の縁部に沿って該底部を四方から取り囲むように形成された壁部とを有し、
該壁部は、前記レーザダイオードの前記レーザ光を出射する出射部に対応する対応位置に前記光導波路の前記レーザ光が入射する入射部が形成され、
前記出射部と前記入射部とが対峙するようにして、前記レーザダイオードが前記光源装着部に装着されているハードディスク装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/659,691 US8065787B2 (en) | 2010-03-17 | 2010-03-17 | Method of manufacturing a thermally assisted magnetic head |
US12/659,691 | 2010-03-17 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011198451A JP2011198451A (ja) | 2011-10-06 |
JP5264857B2 true JP5264857B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=44647065
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010236180A Expired - Fee Related JP5264857B2 (ja) | 2010-03-17 | 2010-10-21 | 熱アシスト磁気ヘッドの製造方法および熱アシスト磁気ヘッド並びにヘッドジンバルアセンブリおよびハードディスク装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8065787B2 (ja) |
JP (1) | JP5264857B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8289650B2 (en) * | 2007-09-19 | 2012-10-16 | Seagate Technology Llc | HAMR recording head having a sloped wall pole |
US8243560B2 (en) | 2009-12-23 | 2012-08-14 | Headway Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording head including internal mirrors of first and second inclined surfaces |
US8065787B2 (en) * | 2010-03-17 | 2011-11-29 | Headway Technologies | Method of manufacturing a thermally assisted magnetic head |
US9053731B2 (en) * | 2010-07-09 | 2015-06-09 | HGST Netherlands B.V. | Extended cavity VCSEL mounted to substrate with electrical and thermal contact to substrate and optical power directed toward substrate |
US8456776B1 (en) * | 2010-09-22 | 2013-06-04 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive head gimbal assembly having a flexure bond pad shelf offset from a tongue |
US8518279B1 (en) * | 2010-11-15 | 2013-08-27 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for providing a laser cavity for an energy assisted magnetic recording head |
WO2012153421A1 (ja) * | 2011-05-12 | 2012-11-15 | 株式会社日立製作所 | 磁気ヘッドスライダ装置、及び、磁気ディスク装置及びその支持体 |
US8310903B1 (en) * | 2011-08-31 | 2012-11-13 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording head, head gimbals assembly, head arm assembly, and magnetic disk device, and method of manufacturing thermally-assisted magnetic recording head |
US8897103B2 (en) | 2011-09-27 | 2014-11-25 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk drive calibrating a laser write power for heat assisted magnetic recording |
US8451563B1 (en) * | 2011-12-20 | 2013-05-28 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a side shield for a magnetic recording transducer using an air bridge |
US8980109B1 (en) | 2012-12-11 | 2015-03-17 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a magnetic recording transducer using a combined main pole and side shield CMP for a wraparound shield scheme |
US8914969B1 (en) | 2012-12-17 | 2014-12-23 | Western Digital (Fremont), Llc | Method for providing a monolithic shield for a magnetic recording transducer |
US8861124B1 (en) | 2013-03-14 | 2014-10-14 | Western Digital (Fremont), Llc | Integrated sensor for monitoring laser power in a heat assisted magnetic recording disk drive |
US8953420B1 (en) | 2013-09-11 | 2015-02-10 | Seagate Technology Llc | Method and system for aligning light source with waveguide coupler |
US9013967B1 (en) * | 2014-07-02 | 2015-04-21 | HGST Netherlands B.V. | Heat-dissipating stepped slider for a heat-assisted magnetic recording head |
US9153275B1 (en) | 2014-10-15 | 2015-10-06 | HGST Netherlands B.V. | Laser-integrated head gimbal assembly having laser contact protection |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3426962B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2003-07-14 | 株式会社日立製作所 | 光ヘッドおよびそれを用いた光学的情報記録再生装置 |
JP2001319365A (ja) * | 2000-05-10 | 2001-11-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 浮上記録ヘッド、ディスク装置、および浮上記録ヘッドの製造方法 |
JP4635607B2 (ja) * | 2004-12-28 | 2011-02-23 | Tdk株式会社 | 熱アシスト磁気記録ヘッド及び熱アシスト磁気記録装置 |
JP4254780B2 (ja) | 2005-12-16 | 2009-04-15 | Tdk株式会社 | 近接場光発生層を備えた薄膜磁気ヘッド及びこれを備えたヘッドジンバルアセンブリ、磁気ディスク装置 |
JP4148258B2 (ja) * | 2005-12-16 | 2008-09-10 | Tdk株式会社 | 近接場光発生層を備えた薄膜磁気ヘッド |
JP2007207349A (ja) | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Tdk Corp | 近接場光発生部を備えた薄膜磁気ヘッド |
JP2008047268A (ja) | 2006-08-21 | 2008-02-28 | Tdk Corp | 熱アシスト磁気ヘッド |
JP4049196B2 (ja) * | 2006-10-02 | 2008-02-20 | 富士ゼロックス株式会社 | 光アシスト磁気ヘッド及び光アシスト磁気ディスク装置 |
JP2009087499A (ja) * | 2007-10-02 | 2009-04-23 | Sony Corp | 熱アシスト磁気記録用素子とこれを用いた磁気ヘッド及び磁気記録装置 |
US8065786B2 (en) | 2008-04-23 | 2011-11-29 | Tdk Corporation | Manufacturing method of heat-assisted magnetic head constituted of slider and light source unit |
US7855937B2 (en) * | 2008-09-05 | 2010-12-21 | Tdk Corporation | Near-field light generating element and heat-assisted magnetic recording head utilizing surface plasmon mode |
US8089830B2 (en) * | 2009-05-13 | 2012-01-03 | Tdk Corporation | Near-field light generating device including near-field light generating element with edge part opposed to waveguide |
US8107192B2 (en) * | 2009-10-23 | 2012-01-31 | Headway Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording head with laser diode fixed to slider |
US8441895B2 (en) * | 2009-11-20 | 2013-05-14 | Tdk Corporation | Thermally-assisted magnetic recording head with light detector in element-integration surface |
US8243560B2 (en) * | 2009-12-23 | 2012-08-14 | Headway Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording head including internal mirrors of first and second inclined surfaces |
US8355299B2 (en) * | 2010-01-29 | 2013-01-15 | Headway Technologies, Inc. | Heat-assisted magnetic recording head with convergent lens |
US8116175B2 (en) * | 2010-03-08 | 2012-02-14 | Tdk Corporation | Heat-assisted magnetic recording head including plasmon generator |
US8098547B2 (en) * | 2010-03-09 | 2012-01-17 | Tdk Corporation | Optical waveguide and thermal assist magnetic recording head therewith |
US8065787B2 (en) * | 2010-03-17 | 2011-11-29 | Headway Technologies | Method of manufacturing a thermally assisted magnetic head |
-
2010
- 2010-03-17 US US12/659,691 patent/US8065787B2/en active Active
- 2010-10-21 JP JP2010236180A patent/JP5264857B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-10-24 US US13/279,935 patent/US8395972B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20110228416A1 (en) | 2011-09-22 |
US8395972B2 (en) | 2013-03-12 |
US8065787B2 (en) | 2011-11-29 |
JP2011198451A (ja) | 2011-10-06 |
US20120087217A1 (en) | 2012-04-12 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120327 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120403 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130404 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130430 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |