JP5264549B2 - インライン式成膜装置及び磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Description
(1) 成膜処理を行う複数の成膜室と、
前記複数の成膜室内で成膜対象となる基板を縦置きで保持するキャリアと、
前記キャリアを前記複数の成膜室の間で順次搬送させる搬送機構とを備え、
前記搬送機構は、前記キャリアを非接触状態で駆動するリニアモータと、前記キャリアに接触可能に設けられて、前記リニアモータにより駆動されるキャリアを水平方向にガイドする水平ガイド機構と、前記キャリアに接触可能に設けられて、前記リニアモータにより駆動されるキャリアを鉛直方向にガイドする鉛直ガイド機構とを有し、
前記リニアモータは、前記キャリアの側面部に設けられた磁性体と、前記磁性体と対向する位置において前記キャリアの搬送方向に並ぶ複数の電磁石とを有して構成され、
前記水平ガイド機構又は前記鉛直ガイド機構は、前記キャリアの搬送方向に並ぶ複数の支軸に回転自在に取り付けられた複数のベアリングを有し、且つ、これら複数のベアリングの外周部には、前記キャリアと接触可能な当接部材が制振部材を介して取り付けられており、前記鉛直ガイド機構を構成する複数のベアリングの1個当たりに加わる荷重が0N、又は前記キャリアが接触したベアリングの1個当たりに加わる荷重が9.8N以下であることを特徴とするインライン式成膜装置。
(2) 前記制振部材がOリングであることを特徴とする前項(1)に記載のインライン式成膜装置。
(3) 前記磁性体が永久磁石であることを特徴とする前項(1)又は(2)に記載のインライン式成膜装置。
(4) 前記電磁石が前記成膜室の大気側に臨んで設けられていることを特徴とする前項(1)〜(3)の何れか一項に記載のインライン式成膜装置。
(5) 前記水平ガイド機構を構成する複数のベアリングのうち、前記キャリアが接触したベアリングの1個当たりに加わる荷重が98N以下であることを特徴とする前項(1)〜(4)の何れか一項に記載のインライン式成膜装置。
(6) 前項(1)〜(5)の何れか一項に記載のインライン式成膜装置を用いて、前記基板の表面に少なくとも磁性層を形成する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
本実施形態では、複数の成膜室の間で成膜対象となる基板を順次搬送させながら成膜処理を行うインライン式成膜装置を用いて、ハードディスク装置に搭載される磁気記録媒体を製造する場合を例に挙げて説明する。
2…基板取付けロボット室
3…基板カセット移載ロボット
3A…基板取付け取外し室
4、7、14、17…コーナー室
5、6、8〜13、15、16、18〜20…処理チャンバ
22…基板取外しロボット室
23…第1成膜用基板
24…第2成膜用基板
25…キャリア
26…支持台
27…基板装着部
28…板体
29…円形状の貫通穴
30…支持部材
34…基板供給ロボット
49…基板取り外しロボット
80…非磁性基板
81…軟磁性層
82…中間層
83…記録磁性層
84…保護層
85…潤滑膜
810…磁性層
200…搬送機構
201…リニアモータ駆動機構
202…磁性体
203…電磁石
204…フレーム
205…電磁石カバー
206…水平ガイド機構
207…鉛直ガイド機構
208a,208b…サブフレーム
209…支軸
210…ベアリング
211…支軸
212…ベアリング
213…当接部材
214…制振部材
Claims (6)
- 成膜処理を行う複数の成膜室と、
前記複数の成膜室内で成膜対象となる基板を縦置きで保持するキャリアと、
前記キャリアを前記複数の成膜室の間で順次搬送させる搬送機構とを備え、
前記搬送機構は、前記キャリアを非接触状態で駆動するリニアモータと、前記キャリアに接触可能に設けられて、前記リニアモータにより駆動されるキャリアを水平方向にガイドする水平ガイド機構と、前記キャリアに接触可能に設けられて、前記リニアモータにより駆動されるキャリアを鉛直方向にガイドする鉛直ガイド機構とを有し、
前記リニアモータは、前記キャリアの側面部に設けられた磁性体と、前記磁性体と対向する位置において前記キャリアの搬送方向に並ぶ複数の電磁石とを有して構成され、
前記水平ガイド機構又は前記鉛直ガイド機構は、前記キャリアの搬送方向に並ぶ複数の支軸に回転自在に取り付けられた複数のベアリングを有し、且つ、これら複数のベアリングの外周部には、前記キャリアと接触可能な当接部材が制振部材を介して取り付けられており、前記鉛直ガイド機構を構成する複数のベアリングの1個当たりに加わる荷重が0N、又は前記キャリアが接触したベアリングの1個当たりに加わる荷重が9.8N以下であることを特徴とするインライン式成膜装置。 - 前記制振部材がOリングであることを特徴とする請求項1に記載のインライン式成膜装置。
- 前記磁性体が永久磁石であることを特徴とする請求項1又は2に記載のインライン式成膜装置。
- 前記電磁石が前記成膜室の大気側に臨んで設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載のインライン式成膜装置。
- 前記水平ガイド機構を構成する複数のベアリングのうち、前記キャリアが接触したベアリングの1個当たりに加わる荷重が98N以下であることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載のインライン式成膜装置。
- 請求項1〜5の何れか一項に記載のインライン式成膜装置を用いて、前記基板の表面に少なくとも磁性層を形成する工程を含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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