JP5248141B2 - 磁気記録媒体の製造装置および製造方法 - Google Patents
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Description
板24と称する。
(1)接続された複数の成膜室と、基板を保持するキャリアと、キャリアに成膜前の基板を載置する機構と、キャリアを接続された複数の成膜室内に順次搬送する機構と、キャリアの側部に磁性材料を設け、その磁性材料に対向して成膜室の壁部に設けたリニアモータによりキャリアを搬送するものであり、キャリアの下部に接触してキャリアの自重による落下を保持するガイドを設けず、キャリアの落下をリニアモータによる吸引力で保持するから成膜後の基板を取り外す機構を有する磁気記録媒体の製造装置であって、前記キャリアを搬送する機構がリニアモータであることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
(2)キャリアの側部に設けた磁性材料が永久磁石であることを特徴とする(1)に記載の磁気記録媒体の製造装置。
(3)リニアモータの電磁石を、成膜室の大気側に設けることを特徴とする(1)または(2)に記載の磁気記録媒体の製造装置。
(4)(1)〜(3)の何れか1項の記載の磁気記録媒体の製造装置を用いて基板の表面に少なくとも磁性膜を成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(スパッタ成膜製造装置)
磁気記録媒体の製造装置として、図2に示した成膜室等の構造で、キャリアおよびキャリアの搬送機構として図6〜図9に示した構造を用いた。キャリアはA5052アルミニウム合金製とし、キャリアの側面にはNdFeB系の焼結永久磁石を埋め込み、その表面を厚さ0.5mmのSUS304の板で覆った。その表面から0.5mmの距離の成膜室側壁に、厚さ1mmのSUS304のカバーで覆ったリニアモータ電磁石を設けた。なお、リニアモータ電磁石は反応室の外部(大気側)に設けられている。リニアモータ電磁石には、安川電機製SGLシリーズで、磁気吸引力2000Nのものを用いた。
NiPメッキアルミニウム基板からなる非磁性基板を、スパッタ成膜装置の成膜室内に、基板搬送機を用いて基板を供給後、成膜室内の排気を行った。成膜室内のベースプレッシャーは短時間で1×10-8Paが達成された。排気完了後、成膜室の真空環境内で基板搬送機を用いて基板をキャリアへ装着した。基板上に成膜する膜構成は、密着層として、Cr膜を10nm、裏打ち層として、70Co−20Fe−5Ta−5Zrを30nm、Ru膜を0.8nm、70Co−20Fe−5Ta−5Zrを30nm成膜した。次いで、配向制御膜として90Ni−10Wを5nm、下地膜としてRuを15nm成膜した。スパッタの際には、Arガスを用い、裏打ち層およびNi−10Wはガス圧0.8Pa、Ru下地層は8Paとした。
2 基板供給ロボット室
3 基板カセット移載ロボット
3A キャリアのアッシング室
4、7、14、17 キャリアを回転させるコーナー室
5、6、8〜13、15、16 スパッタ成膜室および基板加熱成膜室
18〜20 保護膜形成室
22 基板取り外しロボット室
23、24 成膜用基板(非磁性基板)
25 キャリア
26 支持台
27 基板装着部
28 板体
29 円形状の貫通穴
30 支持部材
34 基板供給ロボット
49 基板取り外しロボット
52 基板取り付け室
54 基板取り外し室
80 非磁性基板
81 シード層
82 下地膜
83 磁気記録膜
84 保護膜
85 潤滑剤層
601 キャリア
602 リニアモータ駆動系
603 成膜室の側壁部
604 リニアモータ駆動用磁性材料
605 搬送用のベアリング
606 ベアリング
701 電磁石カバー
801 リニアモータ駆動用電磁石
901 キャリア下部
902 リニアモータ駆動用磁性材料
903 キャリアと搬送用のベアリングの接する箇所
Claims (4)
- 接続された複数の成膜室と、基板を保持するキャリアと、キャリアに成膜前の基板を載置する機構と、キャリアを接続された複数の成膜室内に順次搬送する機構と、キャリアから成膜後の基板を取り外す機構を有する磁気記録媒体の製造装置であって、前記キャリアの側部に磁性材料を設け、その磁性材料に対向して成膜室の壁部に設けたリニアモータによりキャリアを搬送するものであり、キャリアの下部に接触してキャリアの自重による落下を保持するガイドを設けず、キャリアの落下をリニアモータによる吸引力で保持することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。
- キャリアの側部に設けた磁性材料が永久磁石であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体の製造装置。
- リニアモータの電磁石を、成膜室の大気側に設けることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体の製造装置。
- 請求項1〜3の何れか1項の記載の磁気記録媒体の製造装置を用いて基板の表面に少なくとも磁性膜を成膜することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
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