JP5260026B2 - 管状石英ガラス治具の製造方法 - Google Patents
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Description
このため、石英ガラス治具に付着する膜の付着強度を上げ、膜の剥がれを防止してパーティクル発生を抑制するために石英ガラス表面に微細な凹凸を形成することがおこなわれている。具体的には、サンドブラスト処理等の物理的表面処理、または、フッ化水素などの薬液で表面をエッチング処理して凹凸を形成する化学的表面処理が提案されている。
また、半導体製造工程中においても、マイクロクラック内部に反応ガスが入り込むと、マイクロクラック内部で副生成物が生成され、パーティクル汚染を引き起こす原因ともなり、好ましくない
また、エッチングによる石英ガラス表面の凹凸の形状はディンプル状であり、ディンプルの外周部の山の部分は鋭利な形状となっている。この鋭利な山の部分はウエハーの接触などで簡単に欠け、欠けた石英粉がパーティクルとなる危険性がある。また、表面に凹凸を形成するために長時間フッ化水素水溶液に浸しておくことは、水溶液内に発生する水和物が石英ガラス表面に沈着・付着し、新たなパーティクル要因となる恐れがある。
このように、従来の石英ガラス表面の粗面化方法は、新たなパーティル発生要因を副次的に生む可能性があった。また、半導体の高集積化によって、石英ガラス治具自体にも高精度が要求されており、表面凹凸面も再現性よく均一な凹凸面とすることが要求されているが、前述の従来の粗面化方法ではいずれも均一で再現性のある高精度凹凸面を得ることができなかった。更に、形成された凹凸面はいずれもディンプル状の形状であり、不連続なものであった。
表面処理の対象物が管状である場合、レーザーを管体の内表面に均一に照射する装置が存在しなかった。
本発明は、管状の石英ガラス治具の内表面処理において、処理過程でパーティクル発生原因を生成することを抑止し、かつ、均一で高精度で再現性のある微細凹凸面を形成できるようにすることを目的とするものである。
レーザー照射により管状の石英ガラス治具の内表面に粗さRa0.5〜50μmの微細な凹凸層を形成するものであり、凹凸の断面形状は、V状、四角溝状、半円状のいずれか、もしくはそれらを組み合わせた形状である。
凹凸の間隔は、0.1〜1mmの範囲であり、かつ、この範囲内での任意の値で、精度が±10%以内とすることが可能である。また、凹凸の深さは、1〜100μmの範囲で、精度が±10%以内の均一な凹凸面とすることが可能である。
レーザー出力は、10W超〜2KW未満とするのが好ましく、レーザーの種類は、XeF(351nm),XeCl(308nm),KrF(248nm),ArF(193nm)等のエキシマレーザーやYAGレーザーなどの高エネルギーレーザーを利用して石英ガラス治具内部に焦点を結ばせて加工することも可能であるが、石英ガラス治具表面層を加工するには、汎用性、操作性の良い炭酸ガスレーザーが好ましい。炭酸ガスレーザーの波長は、石英ガラスを透過しないため、石英ガラス治具の表面に集光して表面から改質加工していくことになる。
レーザーによる溶接、切断等では2KW以上の高出力が望ましく、また、マーキングにおいては10Wで十分とされているが、レーザーによる表面改質では、レーザー出力がその中間である10W超〜2KW未満が好ましく、30W超〜1KW未満がより好ましく、ガラス管の表面改質においては50W〜400Wがより望ましい。
レーザー出力が低いと、レーザーによる石英ガラス管の表面改質においては加工速度が遅く、実用的ではなく、高すぎると石英ガラス管の表面に形成する凹凸の形状の制御が難しくなる。
所望の表面粗さからレーザーの走行速度を求めることができるので、目標の表面粗さに確実に加工することができる。表面粗さRa0.5〜50μmの微細な凹凸層を形成する際には、横軸に表面粗さを0.5〜50μm、特には1〜30μm、縦軸にレーザーの走行速度(ライン速度)を取ったグラフを作成し、所望の表面粗さに対応するレーザー走行速度を決定して石英ガラス治具の表面を加工する。
(1)は表面にV字の溝を形成したものであり、(2)は台形状の溝を間隔を空けずに形成して三角形の突起を形成したものであり、(3)は台形の溝を間隔を空けて形成したもの、(4)は、半円形の溝を間隔を空けて形成したものである。
図1は、本発明のガラス管表面改質装置の模式図である。
レーザー発振装置2は、出力100Wの炭酸ガスレーザーを発振するための装置であり、耐震テーブル1上の一端側に固定してある。レーザー発振装置2に近接して耐震テーブル1の他端側に延びる一方向に移動可能な送り手段4が設置されている。本実施例では、送り用の単軸ロボットであるリニアアクチュエータを使用したが、これに限定されるものではない。
レーザー発振手段2から放射されたレーザーは、ガラス管からなるレーザー導光手段3に導かれ、レーザー導光手段3の先端に設けられた照射手段5から照射される。
レーザー導光手段3は、耐震テーブル1上に、レーザー発振手段2の側に設けたアーム保持台30、このアーム保持台30から水平に延びる中空アーム31が設けてある。中空アーム31内には、レーザー発振手段2のレーザー放射口に一端が回転可能に接続されたレーザーを導くレーザー導光管32がアーム保持台30を貫通して設けてあり、レーザー導光管32の他端にはレーザー照射手段5が設けてある。レーザー導光管は、レーザー光と反応せず遮光性のあるものであれば何でも構わないが、本実施例では炭酸ガスレーザーと反応することがなく、レーザー光を逸散させることのないアルミニウム製の導光管を使用した。
レーザー照射手段5は、公知の光学伝送パーツを使用してレーザー導光管であるアルミニウム管32に直角に取り付けてある。光学伝送パーツのヘッド上部に取り付けられたミラーによって、実用新案登録第2117356号(実公平7−43848)の如く、アルミニウム管32を通ってきたレーザー光を90°折曲する。こうしてアルミニウム管32に導かれたレーザーは、アルミニウム管32の先端部で直角に方向を変換されてレーザー照射手段5の先端から放射される。
この表面改質装置に内径198mm、厚さ6mm、長さ600mmの石英ガラス管6を保持手段41にセットして固定した。レーザー導光手段のアルミニウム管32がガラス管6の中心に位置するように調整し、照射手段5の先端部が回転したときに、処理するガラス管6の内表面から常に一定な距離となるようにセットする。また、石英ガラス管6先端部がガラス管6の底または開口部のどちらかに位置するように送り手段4を微速で移動させて位置を調節する。
照射手段5がレーザーを先端から照射しながら回転駆動手段33によって石英ガラス管内を回転すると、照射手段5がガラス管内を周回しながらレーザーが被処理物のガラス管6の内表面に照射される。
図3に石英ガラス管内面に微細凹凸面を形成した写真を示す。図3(A)は透明石英ガラス管のレーザー表面改質後の写真であり、比較のために中央部分はレーザー未照射で未改質のままの状態である。石英ガラス管の上方及び下方が管内面にレーザー改質により微細凹凸面を形成したものである。図3(B)は内面を表面改質した石英ガラス管の外面を撮影したものであり、図3(C)は石英ガラス管の内面を撮影したものである。管外面は平滑面で透明状態、管内面は微細凹凸が形成されて粗面となっていることがわかる。
なお、石英ガラス管6自体を回転させる場合は、送り手段4となるガイドレール上を移動可能として設置された1台もしくは2台のチャックとなる回転ヘッドを用いて石英ガラス管6の一端もしくは両端面部位を保持固定するものを使用したりと、処理対象の管状石英ガラス治具の形状に応じて保持手段を選択することができる。
試験例1
出力100Wの炭酸ガスレーザーを用いた。被処理物として光学研磨したエッチャー用の石英ガラスプレート(処理面:70mm角×2mm)を用いた。
レーザーの移動速度を100mm/secで照射し、石英ガラスプレートの表面に0.1mmピッチで格子状に直線溝を形成して微細凹凸面を形成した。石英ガラスプレート表面に格子状に形成した状態の写真を図4に示す。
格子状の凹凸面のピッチの間隔は0.1mmであり、精度は±10%以内の均一な面であり、凹部の深さは50μmであり、精度は±10%以内の均一な凹凸面が得られた。
出力100Wの炭酸ガスレーザーを用いて、石英ガラスプレートを静置した状態でレーザーの走行速度を変化させ、微細凹凸面を形成した。走行速度の違いにより加工時間が異なり、このときの表面状態を観察した。加工時間と、Ra(μm)、Rt(μm)について表面粗さを指針式粗さ計と3次元表面粗さ計で測定した結果を表1に示す。加工時間と表面粗さは比例することがわかる。
レーザー出力を30Wに変えた以外は試験例2に準じ、石英ガラスプレートの表面に微細凹凸面を形成した。このときの加工時間と、Ra(μm)、Rt(μm)について、試験を実施し、表面粗さを指針式粗さ計で測定した結果を表2に示す。試験例2の100Wのレーザーを照射したものと比較すると、同じ表面粗さの面に加工するのに約15倍の加工時間がかかることがわかる。
2 レーザー発振装置
3 レーザー導光手段
32 レーザー導光管
33 回転駆動手段
4 送り手段
41 保持手段
5 レーザー照射手段
Claims (1)
- レーザー発振手段、レーザー導光手段、レーザー照射手段、管状ガラス体の保持手段、及び管状ガラス体の送り手段を備えた管状ガラス体内表面改質装置であって、レーザー照射手段は、管状ガラス体保持手段に管状ガラス体をセットした際に管状ガラス体の内部中心に位置するものであって、レーザー導光手段の先端に照射方向を変更するように取り付けられており、レーザー照射手段を回転させる回転駆動手段が設けてある管状ガラス体の内表面改質装置を使用する管状石英ガラス治具の製造方法であって、管状ガラス体保持手段で管状石英ガラス治具を保持し、レーザー照射手段を管状石英ガラス治具の内部に挿入して回転と送りを同期させて管状石英ガラス治具内表面に微細凹凸面を形成する管状石英ガラス治具の製造方法。
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