JP2004066734A - ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 - Google Patents
ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004066734A JP2004066734A JP2002231670A JP2002231670A JP2004066734A JP 2004066734 A JP2004066734 A JP 2004066734A JP 2002231670 A JP2002231670 A JP 2002231670A JP 2002231670 A JP2002231670 A JP 2002231670A JP 2004066734 A JP2004066734 A JP 2004066734A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ingot
- wire
- groove
- cutting
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Welding Or Cutting Using Electron Beams (AREA)
Abstract
【課題】インゴットをワイヤで切断時に溝加工時にワークに与えるダメージを小さく抑えたり、切断加工面を結晶面に正確に一致させる、切断装置を提供する。
【解決手段】溝加工装置にセットプレート3が装着され、レーザビーム9によってセットプレート3上のインゴット1の外周が局所的に加熱され、ワイヤ6の線径dwに応じた幅Gの溝1bが形成される。つぎにワイヤソー装置にセットプレート3が装着され、セットプレート3上のインゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断される。セットプレート3には、結晶面1fが溝1bの深さ方向に平行となるようにインゴット1の姿勢が調整された上で、インゴット1が装着されている。
【選択図】 図1
【解決手段】溝加工装置にセットプレート3が装着され、レーザビーム9によってセットプレート3上のインゴット1の外周が局所的に加熱され、ワイヤ6の線径dwに応じた幅Gの溝1bが形成される。つぎにワイヤソー装置にセットプレート3が装着され、セットプレート3上のインゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断される。セットプレート3には、結晶面1fが溝1bの深さ方向に平行となるようにインゴット1の姿勢が調整された上で、インゴット1が装着されている。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は単結晶シリコンインゴット、磁性材料、セラミック等のワークをピアノ線、鋼線等のワイヤによって薄板状に切断する装置または方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図12はワイヤソー装置の構成を示している。図12は切断すべきワークである単結晶シリコンインゴット(以下インゴットという)1を切断面方向からみた図である。
【0003】
同図12に示すように、各ローラ15、16、17、18の長手軸方向がインゴット1の長手軸方向に一致するように4つのローラ15、16、17、18が所定距離離間されて配置されている。各ローラ15、16、17、18にはワイヤ6が巻着されている。なおワイヤ6は送り側ボビンによってローラ15、16、17、18に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各ローラ15、16、17、18にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ6が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ6に付与されている。
【0004】
本明細書では、インゴット1が押し当てられるワイヤ6が架け渡された一対のローラ15、16のことを「加工用ローラ」と称するものとする。一対の加工用ローラ15、16間に架け渡されたワイヤ6によってインゴット1が切断される。
【0005】
各ローラ15、16、17、18のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ15が回転駆動しこれに伴い他のローラ16、17、18が従動回転しワイヤ6が走行する。図中でローラ15、16、17、18が左方向に回転することによってワイヤ6は図中で左回りに走行する。ワイヤ6が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ6が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ6が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ6は逆方向に走行する。
【0006】
インゴット1は黒鉛からなるワークプレート2に接着されている。ワークプレート2はセットプレート3に接着されている。インゴット1をワークプレート2に接着し、ワークプレート2をセットプレート3に接着するに際して、インゴット1の切断方向が結晶面に一致するようにインゴット1の姿勢が調整される。すなわちインゴット1の結晶方位がワイヤ6による切断方向と垂直になるようにインゴット1の中心軸の方向が調整される。セットプレート3は昇降ベース4に取り付けられている。昇降ベース4は図示しない昇降用モータによって図中の上下方向に昇降する。
【0007】
加工用ローラ15、16の上方にはパイプ状のスラリノズル5が加工用ローラ15、16の長手軸方向に沿って配置されている。スラリノズル5には供給口5aが開口しており供給口5aからは砥粒を含むスラリが吐出される。スラリノズル5は移動機構によりインゴット1の切断部位近傍に接近自在になっている。
【0008】
したがってワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ6が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハが生成される。
【0009】
図11(a)はワイヤ6によってインゴット1がウェーハ1aに切断される様子を概念的に示している。ワイヤ6と切断面との間にスラリ中の砥粒30が介在されることにより切断されるため、切断代(カーフロス)は、ワイヤ6の線径に砥粒30の径の2倍を足し合わせた長さとなる。
【0010】
切断して生成されるウェーハ1aは切断面が完全に平坦であることが理想的である。しかしながらウェーハ1aの切断面には図11(b)に示すように「うねり;waviness」と呼ばれる周期状の凹凸が発生することがある。「うねり」が発生すると後工程のラップ、エッチング、研磨を経由してもその影響が完全には除去できない。このためウェーハ1aによって製造される半導体デバイスの歩留まりが悪化するおそれがある。したがって「うねり」の発生はこれを抑制する必要がある。
【0011】
またワイヤソー装置のワイヤのピッチに誤差があるため生成されるウェーハの厚さがばらつくという問題がある。
【0012】
そこで従来より「うねり」の発生を抑制するとともにウェーハの厚さのばらつきを小さくすることを目的とする発明が特許出願され公知になっている。以下に従来技術を説明する。
【0013】
従来技術1)
下記に別掲する特許文献1には、インゴットをチャック部でチャックして支持するとともに、インゴットの外周に、一定のピッチで円盤状の溝加工用ブレードを設け、支持されたインゴットをインゴット中心軸を回転中心にして回転しつつ溝加工用ブレード面がインゴット中心軸に対して垂直な方向になるよう押し当ててインゴットの外周に溝を予め形成し、しかる後ワイヤソー装置のワイヤをインゴットの外周の溝に沿って移動させてインゴットの切断加工を行うという発明が記載されている。溝加工用ブレードによる溝加工の際にインゴットの溝には、極めて細かいクラックが無数が形成されたダメージ層が形成される。このためダメージ層を除去しないままワイヤソー装置で切断加工を行うと、割れや欠けが生じやすくウェーハの品質が低下するおそれがある。そこでこの特許文献1記載の発明では、ワイヤソー装置で切断加工を行う前に溝加工面にエッチング処理を施し、ダメージ層を除去するようにしている。
【0014】
上記従来技術1)によれば、インゴットの外周に溝が正確なピッチで形成され、この溝に沿ってワイヤが案内移動されるため、インゴットの切断が正確なピッチで行われウェーハの厚さのばらつきを小さくすることができる。
【0015】
またインゴットの切断加工の初期の段階でワイヤが溝に沿って移動するためワイヤが安定して走行しうねりを抑制することができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記従来技術1)によれば、つぎのような問題が発生する。
【0017】
a)インゴットの溝は、インゴット中心軸に対して垂直な方向に形成されるが、実際にはインゴット中心軸と結晶方位とは方向がずれているため、溝は結晶面に対してずれた方向に形成される。したがって溝に沿ってワイヤを移動させて切断加工を行うと、切断加工面が結晶面からずれるおそれがある。
【0018】
b)単結晶シリコンインゴットからシリコンウェーハを生成するためには、100〜140μm程度のワイヤ径に対応した溝幅でかつ1.0mm以下のピッチで複数の溝を加工しなければならない。しかしこのような溝加工を機械加工で行おうとするとシリコンインゴットは脆弱な材料であるため実際には溝加工時に加工部位以外にダメージが及び割れや欠けが発生するおそれがある。このため機械加工で溝加工を実現することは実際には困難である。
【0019】
c)溝加工に伴い形成されるダメージ層を除去するにはエッチング処理のプロセスを追加しなければならず、作業の工数が増加する。
【0020】
本発明はこうした実状に鑑みてなされたものであり、溝加工時にワークに与えるダメージを小さく抑えることを解決課題とするものである。更に本発明は切断加工面を結晶面に正確に一致させることを解決課題とするものである。
【0021】
【課題を解決するための手段および作用効果】
そこで本発明の第1発明は、
ワークをワイヤにより切断するワークの切断装置において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とする。
【0022】
第1発明によれば、図1に示すように、レーザビーム9によってインゴット1の外周が局所的に加熱され、図5に示すようにワイヤ6の線径dwに応じた幅Gの溝1bが形成される。
【0023】
つぎに図4に示すようにワイヤソー装置にインゴット1が装着され、インゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断される。
【0024】
第1発明によれば、インゴット1の外周を局所加熱してシリコン材を蒸発させることで溝1bを形成するようにしたので、加工部位以外にダメージが及ぶことがない。このため溝加工時にインゴット1に与えるダメージを小さく抑えることができる。この結果ダメージ層を除去するためのプロセス(エッチング処理)が不要となり作業の工数を減らすことができる。
【0025】
第2発明は、
インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断装置において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢が調整されてインゴットが装着されたセットプレートと、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
前記セットプレートが装着され、インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とする。
【0026】
第2発明によれば、図3に示すように結晶方位1dがセットプレート3の機械中心軸3aと平行になるように、つまりインゴット1の結晶面1fが溝1bの深さ方向に平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。この状態でインゴット1の溝加工を行うと、溝1bを結晶面1fに平行に形成することができる。この状態で溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断されると、生成されるウェーハ1aの表面を結晶面1fに正確に一致させることができる。この結果ウェーハ1aの品質が向上し半導体デバイスの歩留まりが向上する。
【0027】
第3発明は、第1発明または第2発明において、
前記溝加工装置は、CO2レーザ装置、YAGレーザ装置、ワイヤ放電加工装置、電子ビーム出射装置のいずれかであることを特徴とする。
【0028】
第3発明によれば、CO2レーザ装置、YAGレーザ装置、ワイヤ放電加工装置、電子ビーム出射装置のいずれにより溝加工が行われる。
【0029】
第4発明は、
ワークをワイヤにより切断するワークの切断方法において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断する切断工程と
を含むことを特徴とする。
【0030】
第4発明は、第1発明の装置の発明を、方法の発明に置換したものである。
【0031】
第5発明は、
インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断方法において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢を調整するインゴット姿勢調整工程と、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断する切断工程と
を含むことを特徴とする。
【0032】
第5発明は、第2発明の装置の発明を、方法の発明に置換したものである。
【0033】
第6発明は、第1発明〜第5発明において、
ワイヤの線径をdwとし、ワークまたはインゴットの径をDとしたとき、ワークまたはインゴットの外周の円周方向に、2√(3/2dw(D−6dw))以上でπD/2以下の円周方向長さを有する溝を形成することを特徴とする。
【0034】
第6発明によれば、図10に示すように、インゴット1の外周の円周方向に、2x=2√(3/2dw(D−6dw))以上の円周方向長さの溝1bを形成したので、切断加工時の初期の段階で、溝1bの深さ方向にワイヤ6が相対移動したときワイヤ6が安定して走行する。すなわち、溝長さ2√(3/2dw(D−6dw))はワイヤ6がワイヤ線径分切り進むまでワイヤ6を案内するのに必要な長さである。ワイヤ線径分、高精度に案内されると、それ以後のワイヤ6の振れを小さくすることができる。
【0035】
また図4に示すように、インゴット1の外周の円周方向に、πD/2以下の円周方向長さの溝1bを形成して、溝加工時に不要な溝を形成しないようにしたので、作業時間を短くすることができ溝加工装置を簡易化することができる。すなわち溝長さがπD/2より大きい場合には切断の進行に伴ってワイヤ6が溝1bの拘束から外れる方向に移動するためワイヤ6を案内する効果はなくなる。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明に係るワークまたはインゴットの切断装置および切断方法の実施の形態について説明する。
【0037】
(第1実施例)
図1は第1実施例の溝加工装置の構成を示している。図1(a)は溝加工すべきワークである単結晶シリコンインゴット1を断面方向からみた図である。図1(b)は図1(a)を図中右側方から矢視Aにてみた図である。
【0038】
同図1に示すように、インゴット1は黒鉛からなるワークプレート2に接着されている。ワークプレート2はセットプレート3に接着されている。インゴット1をワークプレート2に接着し、ワークプレート2をセットプレート3に接着するに際して、インゴット1の結晶方位1dがセットプレート3の中心軸たる機械中心軸3aに平行になるように、つまりインゴット1の溝1bの深さ方向が結晶面1fに平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。この調整については後述する。
【0039】
セットプレート3は移動テーブル14に取り付けられている。移動テーブル14はモータ26によって図1(b)で図中の左右方向に移動する。
【0040】
移動テーブル14は図1(b)で図中左右方向Cに移動可能に、ボールネジ25に螺合している。ボールネジ25はモータ26の回転軸に連結している。このためモータ26が駆動されると移動テーブル14は図1(b)で図中左右方向Cに移動し、移動テーブル14上にセットプレート3、ワークプレート2を介して載置されているインゴット1は、その長手方向たる図1(b)図中左右方向Cに移動する。
【0041】
レーザ光源7はたとえばCO2(炭酸ガス)レーザを発振出力するレーザ光源であり光ファイバ8の一端に接続している。光ファイバ8の他端はレンズヘッド10に接続している。レンズヘッド10内にはレンズ11が設けられている。レーザ光源7で発振出力されたレーザ光は光ファイバ8に導入される。光ファイバ8内を通過したレーザ光はレンズヘッド10に導かれレンズヘッド10内のレンズ11に入射される。レンズ11に入射されたレーザ光はレンズ11を透過して、所定の焦点距離だけ離間したインゴット1上の焦点に所定のビーム径をもったレーザビーム9として照射される。
【0042】
レンズヘッド10は、インゴット1の長手方向Cに対して垂直な断面方向Bに揺動自在に設けられている。このためレーザビーム9はインゴット1の外周面をインゴット長手方向に垂直な方向に走査する。レンズヘッド10が矢印B方向に所定の揺動量だけ揺動することによってレーザビーム9はインゴット1の外周面に沿って所定の長さFだけ照射され、インゴット1の外周面に溝長さFの溝1bが形成される。
【0043】
インゴット1に溝1bが形成される毎にモータ26が駆動制御されインゴット1が長手方向Cに沿って所定ピッチpだけ移動される。以下同様に溝1bを順次形成する毎にモータ26によりインゴット1が所定ピッチpずつ移動される。この結果インゴット1の長手方向に沿ってピッチpの多数の溝1bが形成される。
【0044】
図12は実施例のワイヤソー装置を示している。図12は切断すべきワークであるインゴット1を切断面方向からみた図である。
【0045】
同図12に示すように、各ローラ15、16、17、18の長手軸方向がインゴット1の長手軸方向に一致するように4つのローラ15、16、17、18が所定距離離間されて配置されている。各ローラ15、16、17、18にはワイヤ6が巻着されている。なおワイヤ6は送り側ボビンによってローラ15、16、17、18に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各ローラ15、16、17、18にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ6が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ6に付与されている。
【0046】
各ローラ15、16、17、18のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ15が回転駆動しこれに伴い他のローラ16,17、18が従動回転しワイヤ6が走行する。図中でローラ15、16、17、18が左方向に回転することによってワイヤ6は図中で左回りに走行する。ワイヤ6が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ6が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ6が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ6は逆方向に走行する。
【0047】
インゴット1には、溝加工の際と同じワークプレート2、セットプレート3が装着されている。セットプレート3は昇降ベース4に取り付けられる。昇降ベース4は図示しない昇降用モータによって図中の上下方向に昇降する。
【0048】
加工用ローラ15、16の上方にはパイプ状のスラリノズル5が加工用ローラ15、16の長手軸方向に沿って配置されている。スラリノズル5には供給口5aが開口しており供給口5aからは砥粒を含むスラリが吐出される。スラリノズル5は移動機構によりインゴット1の切断部位近傍に接近自在になっている。
【0049】
したがってワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ6が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハが生成される。
【0050】
図6は切断作業の処理手順を示している。
【0051】
図6のステップ101〜104では、インゴット1の結晶方位1dがセットプレート3の中心軸たる機械中心軸3aに平行になるように、つまりインゴット1の溝1bの深さ方向が結晶面1fに平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。なお以下の説明では、表面が{100}結晶面となっているウェーハ1aを生成する場合を前提として説明する。
【0052】
図7はステップ101〜104の処理手順を説明する図である。
【0053】
図7(a)はインゴット1の姿勢調整前の状態を示している。図7(a)においてインゴット1の中心軸1cはセットプレート3の平面3bつまり機械基準面3bに平行であるものとする。インゴット中心軸1cに対して<100>結晶方位1dは角度ψ(これを軸方位ずれψという)だけずれているものとする。また結晶方位1dは機械基準面3bに対して角度θ(これを面内ずれθという)だけずれているものとする。インゴット1の外周にはノッチ1nが形成されている。
【0054】
まずインゴット1の円周方向の方位が調整され、上記面内ずれθが零にされる。図7(b)に示すように、ノッチ1nとインゴット中心軸1cを含む平面が機械基準面3bに対して平行になるように、インゴット1の端面1eを円周方向に回転させることで、面内ずれθを零にすることができる。この結果図7(c)に示すようにインゴット中心軸1c、結晶方位1dを含む平面が機械基準面3aに対して平行になる(ステップ101)。
【0055】
このようにインゴット1の円周方向方位を調整した後にインゴット1をワークプレート2に接着する。図8(a)はインゴット1の円周方向方位が調整されて、ノッチ1nとインゴット中心軸1cを含む平面が機械基準面3bに対して平行になった状態でインゴット1がワークプレート2に接着されている様子を、斜視図にて示している(ステップ102)。
【0056】
つぎに図7(d)、(e)に示すように、セットプレート3に対するワークプレート2の取付角度をセットプレート平面3b内で調整することにより、結晶方位1dがセットプレート3の中心軸3aつまり機械中心軸3aに対して平行にされる。
【0057】
図9は具体的な調整装置を示している。
【0058】
セットプレート3にはワークプレート2の取付角度を調整する調整用ネジ23A、23B、23C、23Dが設けられている。調整用ネジ23A〜23Dの押し量を調整することでネジ先端がワークプレート2を押している位置が変更され、セットプレート3に対するワークプレート2の取付角度が変更される。X線方位測定器20により結晶方位1dが測定され、この測定結果に応じて調整用ネジ23A〜23Dの調整が行われ、結晶方位1dがセットプレート3の中心軸3aつまり機械中心軸3aに対して平行にされる。なおX線方位測定器20はX線出射器21とセンサ22とからなりX線出射器21から出射されたX線をインゴット1の端面1eに入射して反射したX線をセンサ22で検出することにより結晶方位1dを測定するものである(ステップ103)。
【0059】
このように結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行になるようにセットプレート3に対するワークプレート2の取付角度を調整した後に、セットプレート3にワークプレート2に接着する。
【0060】
図8(a)は調整前の状態を示しており、結晶方位1dは機械中心軸3aに対して軸方位ずれψ分だけずれている。このため結晶面1fは機械中心軸3aに対して垂直な方向から軸方位ずれψだけずれている。図8(c)は調整後の状態を示しており、結晶方位1dは機械中心軸3aに対して平行になる。このため結晶面1fは機械中心軸3aに対して垂直になる(ステップ104)。
【0061】
つぎに、インゴット1が装着されたワークプレート2とセットプレート3からなるセットプレートアッシイ13が、図1に示すように、移動テーブル14に取り付けられる(ステップ105)。
【0062】
図1の溝加工装置の図示しないコントローラには溝加工条件つまり溝1bの幅G、溝1bの深さH、溝1bの長さF、溝1bのピッチpが入力されるとともに、レーザ出力W、加工速度Vが設定される。
【0063】
図5はインゴット1の外周に形成される溝1bの形状を示している。ワイヤ6の線径(直径)をdwとすると溝幅Gはワイヤ6の線径dw以下に設定される。また溝深さHはワイヤ6の線径dwの1/2以上に設定される。図4(b)はワイヤ6のピッチと溝1bのピッチpとの関係を示している。溝ピッチpはワイヤピッチと同じ大きさに設定される。溝1bの長さFは、インゴット1の直径をDとするとπD/2以下に設定される。溝長さFがπD/2より大きい場合には切断の進行に伴ってワイヤ6が溝1bの拘束から外れる方向に移動するためワイヤ6を案内する効果はない。
【0064】
図10はワイヤ線径dw、インゴット径Dが与えられ、溝深さHをdw/2に設定したときにこれらdw、Dから溝長さFを求める演算例を示している。
【0065】
同図10においてxは下記(1)式から求められる。
【0066】
(D/2)2=x2+{1/2(D−3dw)}2 …(1)
上記(1)式から、
x=√(3/2dw(D−6dw))
となり、溝長さFは、
F=2x=2√(3/2dw(D−6dw))
と求めることができる。この溝長さFはワイヤ6がワイヤ線径分切り進むまでワイヤ6を案内するのに必要な長さである。ワイヤ線径分、高精度に案内されると、それ以後のワイヤ6の振れを小さくすることができる(ステップ106)。
【0067】
ステップ106で入力、設定された条件にしたがい溝加工が開始される。すなわち図1に示すレーザ光源7でレーザ光が発振出力されるとともにレンズヘッド10が揺動される。これにより図3に示すように、レーザビーム9はインゴット1の外周面をインゴット長手方向に垂直な方向に走査する。レンズヘッド10が溝長さFに応じた揺動量だけ揺動することによってレーザビーム9はインゴット1の外周面に沿って溝長さFだけ照射され、インゴット1の外周面に溝長さFの溝1bが形成される。またレーザビーム9の焦点距離、レーザ出力W、加工速度Vが調整されることによって、溝幅G、溝深さHの溝1bが形成される。
【0068】
ここで上記ステップ104で既に、結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行に調整され、結晶面1fが機械中心軸3aに対して垂直に調整されている。このため図3で溝加工装置のレーザビーム9が機械中心軸3aに対して垂直な方向に走査されると、レーザビーム9により形成される溝1bの深さ方向を結晶面1fに対して平行にすることができる。インゴット1に溝1bが形成される毎にモータ26が駆動制御されインゴット1が長手方向Cに沿って溝ピッチpだけ移動される。以下同様に溝1bを順次形成する毎にモータ26によりインゴット1が溝ピッチpずつ移動される。この結果インゴット1の長手方向に沿ってピッチpの多数の溝1b(溝深さ方向)が結晶面1fに対して平行に形成される。
【0069】
本実施例によれば、インゴット1の外周をレーザビーム9により局所加熱してシリコン材を蒸発させることで溝1bを形成している。このため加工部位以外にダメージが及ぶことがない。このため溝加工時にインゴット1に与えるダメージを小さく抑えることができる。この結果ダメージ層を除去するためのプロセス(エッチング処理)が不要となり作業の工数を減らすことができる。また溝切りバイト等の専用工具が不要で任意形状に対応することができる。特にレーザビームはシリコン材への光吸収特性が優れているので、加工速度が速いという利点がある(ステップ107)。
【0070】
溝加工が完了すると、図4に示すようにセットプレートアッシイ13がワイヤソー装置の昇降ベース4に装着される。セットプレートアッシイ13は溝加工に際して既に結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行になるように調整されており(ステップ104)、ワイヤソー装置で切断加工を行うに際して新たに調整する作業は不要となる。
【0071】
図4(a)は切断加工すべきインゴット1を断面方向からみた図である。図4(b)は図4(a)を図中右側方から矢視Eにてみた図である。
【0072】
ワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている(図12参照)。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向にはワイヤピッチpでワイヤ6が巻回されているためワイヤピッチpでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハ1aが生成される。
【0073】
昇降ベース4が下降すると、ワイヤ6はインゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿って相対移動する。ここで溝1bは、その深さ方向が結晶面1fに対して平行に形成されているため、ワイヤソー装置で機械中心軸3aに対して垂直な方向に切断が行われワイヤ6が溝1bの深さ方向に沿って相対移動すると、切断面は結晶面1fに対して平行となり、生成されるウェーハ1aの表面は結晶面1fに完全に一致する。この結果ウェーハ1aの品質が向上し半導体デバイスの歩留まりが向上する。
【0074】
またインゴット1の外周にはレーザビーム9によって溝1bがワイヤピッチpと同じ溝ピッチpで高精度に正確に形成されている。このように高精度に形成された溝1bに沿ってワイヤ6が案内移動されるため、インゴット1の切断が正確なピッチで行われウェーハの厚さのばらつきを小さくすることができる。
【0075】
またインゴット1の切断加工の初期の段階でワイヤ6が溝に沿って移動するためワイヤ6が安定して走行しうねりを抑制することができる。
【0076】
特にレーザ光源7としてCO2レーザを使用しているので波長10.6μmの10倍までビーム径を絞ることが光学的に可能であり、溝幅Gを0.1mmという精度で溝1bを加工できるとともに溝深さHも高精度に制御することができる。 なおレーザ光源7としてYAGレーザを使用してもよい。この場合波長1.06μmの10倍までビーム径を絞ることが光学的に可能であり、溝幅Gを0.01mmという精度で溝1bを加工できるとともに溝深さHも高精度に制御することができる。
【0077】
このように溝1bを高精度に加工することができたので切断加工をうねり等の不具合を招くことなく高精度に行うことができる(ステップ108)。
【0078】
(第2実施例)
上述した第1実施例ではインゴット1をその長手方向に沿って溝ピッチpずつ多数回ずらすことで多数の溝1bを形成しているが、図2に示すようにレンズヘッド10を間欠的に複数設け、インゴット長手方向にずらす回数を減らすようにしてもよい。
【0079】
図2は図1に示す溝加工装置を変形した構成例を示しており、光ファイバ8として多点分岐型の光ファイバ光学系が使用される。光ファイバ8はインゴット1の長手方向に沿った各点で分岐されており、各分岐箇所にはレンズヘッド10が接続されている。各レンズヘッド10は、インゴット1の長手方向に沿って、溝ピッチpの2倍の間隔で離間配置されている。このためインゴット1を長手方向に溝ピッチpだけ1回だけずらすことにより多数の溝1bを形成することができる。図2では各レンズヘッド10を、溝ピッチpの2倍の間隔で離間配置しているが、配置間隔は任意であり、溝ピッチp×n(n=1、2、3…)の間隔であればよい。
【0080】
上述した実施例では、レーザビーム9をインゴット1に照射することで溝加工を行うようにしているが、局所加熱で溝1bを形成できる加工装置であればよく、ワイヤ放電加工装置を用いて溝加工を行うようにしてもよく、電子ビーム出射装置を用いて溝加工を行うようにしてもよい。
【0081】
また上述した実施例では、ワイヤソー装置を、インゴット1側を移動させることによりインゴット1をワイヤ6に押し当てる構成としているが、ワイヤ6側を移動させることによりインゴット1をワイヤ6に押し当てる構成としてもよい。
【0082】
また以上の説明では単結晶シリコンインゴット1に溝加工、切断加工を施す場合を想定しているが、本発明としては磁性材料、セラミック等などの任意のワークに溝加工を施した上でスライス状に切断加工する場合に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)、(b)は第1実施例の構成を示す図である。
【図2】図2は第2実施例の構成を示す図である。
【図3】図3は溝加工が行われる様子を示す図である。
【図4】図4(a)、(b)はワイヤソー装置にインゴットが装着された状態を示す図である。
【図5】図5は溝の形状、寸法を説明する図である。
【図6】図6は実施例の処理手順を示すフローチャートである。
【図7】図7(a)、(b)、(c)、(d)、(e)はインゴットの姿勢を調整する手順を説明する図である。
【図8】図8(a)、(b)、(c)はインゴットの姿勢が調整されたときのワークプレート、セットプレートに対する位置関係を説明する図である。
【図9】図9は調整装置の構成を示す図である。
【図10】図10は溝長さを説明する図である。
【図11】図11(a)、(b)は従来技術を説明する図であり、切断中あるいは切断されたウェーハをそれぞれ示す図である。
【図12】図12はワイヤソー装置の一般的な構成例を示す図である。
【符号の説明】
1 インゴット(ワーク)
2 ワークプレート
3 セットプレート
6 ワイヤ
7 レーザ光源
9 レーザビーム
10 レーザヘッド
13 セットプレートアッシイ
14 移動テーブル
20 X線方位測定器
23A〜23D 調整用ネジ
25 ボールネジ
26 モータ
【発明の属する技術分野】
本発明は単結晶シリコンインゴット、磁性材料、セラミック等のワークをピアノ線、鋼線等のワイヤによって薄板状に切断する装置または方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図12はワイヤソー装置の構成を示している。図12は切断すべきワークである単結晶シリコンインゴット(以下インゴットという)1を切断面方向からみた図である。
【0003】
同図12に示すように、各ローラ15、16、17、18の長手軸方向がインゴット1の長手軸方向に一致するように4つのローラ15、16、17、18が所定距離離間されて配置されている。各ローラ15、16、17、18にはワイヤ6が巻着されている。なおワイヤ6は送り側ボビンによってローラ15、16、17、18に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各ローラ15、16、17、18にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ6が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ6に付与されている。
【0004】
本明細書では、インゴット1が押し当てられるワイヤ6が架け渡された一対のローラ15、16のことを「加工用ローラ」と称するものとする。一対の加工用ローラ15、16間に架け渡されたワイヤ6によってインゴット1が切断される。
【0005】
各ローラ15、16、17、18のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ15が回転駆動しこれに伴い他のローラ16、17、18が従動回転しワイヤ6が走行する。図中でローラ15、16、17、18が左方向に回転することによってワイヤ6は図中で左回りに走行する。ワイヤ6が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ6が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ6が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ6は逆方向に走行する。
【0006】
インゴット1は黒鉛からなるワークプレート2に接着されている。ワークプレート2はセットプレート3に接着されている。インゴット1をワークプレート2に接着し、ワークプレート2をセットプレート3に接着するに際して、インゴット1の切断方向が結晶面に一致するようにインゴット1の姿勢が調整される。すなわちインゴット1の結晶方位がワイヤ6による切断方向と垂直になるようにインゴット1の中心軸の方向が調整される。セットプレート3は昇降ベース4に取り付けられている。昇降ベース4は図示しない昇降用モータによって図中の上下方向に昇降する。
【0007】
加工用ローラ15、16の上方にはパイプ状のスラリノズル5が加工用ローラ15、16の長手軸方向に沿って配置されている。スラリノズル5には供給口5aが開口しており供給口5aからは砥粒を含むスラリが吐出される。スラリノズル5は移動機構によりインゴット1の切断部位近傍に接近自在になっている。
【0008】
したがってワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ6が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハが生成される。
【0009】
図11(a)はワイヤ6によってインゴット1がウェーハ1aに切断される様子を概念的に示している。ワイヤ6と切断面との間にスラリ中の砥粒30が介在されることにより切断されるため、切断代(カーフロス)は、ワイヤ6の線径に砥粒30の径の2倍を足し合わせた長さとなる。
【0010】
切断して生成されるウェーハ1aは切断面が完全に平坦であることが理想的である。しかしながらウェーハ1aの切断面には図11(b)に示すように「うねり;waviness」と呼ばれる周期状の凹凸が発生することがある。「うねり」が発生すると後工程のラップ、エッチング、研磨を経由してもその影響が完全には除去できない。このためウェーハ1aによって製造される半導体デバイスの歩留まりが悪化するおそれがある。したがって「うねり」の発生はこれを抑制する必要がある。
【0011】
またワイヤソー装置のワイヤのピッチに誤差があるため生成されるウェーハの厚さがばらつくという問題がある。
【0012】
そこで従来より「うねり」の発生を抑制するとともにウェーハの厚さのばらつきを小さくすることを目的とする発明が特許出願され公知になっている。以下に従来技術を説明する。
【0013】
従来技術1)
下記に別掲する特許文献1には、インゴットをチャック部でチャックして支持するとともに、インゴットの外周に、一定のピッチで円盤状の溝加工用ブレードを設け、支持されたインゴットをインゴット中心軸を回転中心にして回転しつつ溝加工用ブレード面がインゴット中心軸に対して垂直な方向になるよう押し当ててインゴットの外周に溝を予め形成し、しかる後ワイヤソー装置のワイヤをインゴットの外周の溝に沿って移動させてインゴットの切断加工を行うという発明が記載されている。溝加工用ブレードによる溝加工の際にインゴットの溝には、極めて細かいクラックが無数が形成されたダメージ層が形成される。このためダメージ層を除去しないままワイヤソー装置で切断加工を行うと、割れや欠けが生じやすくウェーハの品質が低下するおそれがある。そこでこの特許文献1記載の発明では、ワイヤソー装置で切断加工を行う前に溝加工面にエッチング処理を施し、ダメージ層を除去するようにしている。
【0014】
上記従来技術1)によれば、インゴットの外周に溝が正確なピッチで形成され、この溝に沿ってワイヤが案内移動されるため、インゴットの切断が正確なピッチで行われウェーハの厚さのばらつきを小さくすることができる。
【0015】
またインゴットの切断加工の初期の段階でワイヤが溝に沿って移動するためワイヤが安定して走行しうねりを抑制することができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上記従来技術1)によれば、つぎのような問題が発生する。
【0017】
a)インゴットの溝は、インゴット中心軸に対して垂直な方向に形成されるが、実際にはインゴット中心軸と結晶方位とは方向がずれているため、溝は結晶面に対してずれた方向に形成される。したがって溝に沿ってワイヤを移動させて切断加工を行うと、切断加工面が結晶面からずれるおそれがある。
【0018】
b)単結晶シリコンインゴットからシリコンウェーハを生成するためには、100〜140μm程度のワイヤ径に対応した溝幅でかつ1.0mm以下のピッチで複数の溝を加工しなければならない。しかしこのような溝加工を機械加工で行おうとするとシリコンインゴットは脆弱な材料であるため実際には溝加工時に加工部位以外にダメージが及び割れや欠けが発生するおそれがある。このため機械加工で溝加工を実現することは実際には困難である。
【0019】
c)溝加工に伴い形成されるダメージ層を除去するにはエッチング処理のプロセスを追加しなければならず、作業の工数が増加する。
【0020】
本発明はこうした実状に鑑みてなされたものであり、溝加工時にワークに与えるダメージを小さく抑えることを解決課題とするものである。更に本発明は切断加工面を結晶面に正確に一致させることを解決課題とするものである。
【0021】
【課題を解決するための手段および作用効果】
そこで本発明の第1発明は、
ワークをワイヤにより切断するワークの切断装置において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とする。
【0022】
第1発明によれば、図1に示すように、レーザビーム9によってインゴット1の外周が局所的に加熱され、図5に示すようにワイヤ6の線径dwに応じた幅Gの溝1bが形成される。
【0023】
つぎに図4に示すようにワイヤソー装置にインゴット1が装着され、インゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断される。
【0024】
第1発明によれば、インゴット1の外周を局所加熱してシリコン材を蒸発させることで溝1bを形成するようにしたので、加工部位以外にダメージが及ぶことがない。このため溝加工時にインゴット1に与えるダメージを小さく抑えることができる。この結果ダメージ層を除去するためのプロセス(エッチング処理)が不要となり作業の工数を減らすことができる。
【0025】
第2発明は、
インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断装置において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢が調整されてインゴットが装着されたセットプレートと、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
前記セットプレートが装着され、インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とする。
【0026】
第2発明によれば、図3に示すように結晶方位1dがセットプレート3の機械中心軸3aと平行になるように、つまりインゴット1の結晶面1fが溝1bの深さ方向に平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。この状態でインゴット1の溝加工を行うと、溝1bを結晶面1fに平行に形成することができる。この状態で溝1bの深さ方向に沿ってワイヤ6が相対移動してインゴット1が切断されると、生成されるウェーハ1aの表面を結晶面1fに正確に一致させることができる。この結果ウェーハ1aの品質が向上し半導体デバイスの歩留まりが向上する。
【0027】
第3発明は、第1発明または第2発明において、
前記溝加工装置は、CO2レーザ装置、YAGレーザ装置、ワイヤ放電加工装置、電子ビーム出射装置のいずれかであることを特徴とする。
【0028】
第3発明によれば、CO2レーザ装置、YAGレーザ装置、ワイヤ放電加工装置、電子ビーム出射装置のいずれにより溝加工が行われる。
【0029】
第4発明は、
ワークをワイヤにより切断するワークの切断方法において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断する切断工程と
を含むことを特徴とする。
【0030】
第4発明は、第1発明の装置の発明を、方法の発明に置換したものである。
【0031】
第5発明は、
インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断方法において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢を調整するインゴット姿勢調整工程と、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断する切断工程と
を含むことを特徴とする。
【0032】
第5発明は、第2発明の装置の発明を、方法の発明に置換したものである。
【0033】
第6発明は、第1発明〜第5発明において、
ワイヤの線径をdwとし、ワークまたはインゴットの径をDとしたとき、ワークまたはインゴットの外周の円周方向に、2√(3/2dw(D−6dw))以上でπD/2以下の円周方向長さを有する溝を形成することを特徴とする。
【0034】
第6発明によれば、図10に示すように、インゴット1の外周の円周方向に、2x=2√(3/2dw(D−6dw))以上の円周方向長さの溝1bを形成したので、切断加工時の初期の段階で、溝1bの深さ方向にワイヤ6が相対移動したときワイヤ6が安定して走行する。すなわち、溝長さ2√(3/2dw(D−6dw))はワイヤ6がワイヤ線径分切り進むまでワイヤ6を案内するのに必要な長さである。ワイヤ線径分、高精度に案内されると、それ以後のワイヤ6の振れを小さくすることができる。
【0035】
また図4に示すように、インゴット1の外周の円周方向に、πD/2以下の円周方向長さの溝1bを形成して、溝加工時に不要な溝を形成しないようにしたので、作業時間を短くすることができ溝加工装置を簡易化することができる。すなわち溝長さがπD/2より大きい場合には切断の進行に伴ってワイヤ6が溝1bの拘束から外れる方向に移動するためワイヤ6を案内する効果はなくなる。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明に係るワークまたはインゴットの切断装置および切断方法の実施の形態について説明する。
【0037】
(第1実施例)
図1は第1実施例の溝加工装置の構成を示している。図1(a)は溝加工すべきワークである単結晶シリコンインゴット1を断面方向からみた図である。図1(b)は図1(a)を図中右側方から矢視Aにてみた図である。
【0038】
同図1に示すように、インゴット1は黒鉛からなるワークプレート2に接着されている。ワークプレート2はセットプレート3に接着されている。インゴット1をワークプレート2に接着し、ワークプレート2をセットプレート3に接着するに際して、インゴット1の結晶方位1dがセットプレート3の中心軸たる機械中心軸3aに平行になるように、つまりインゴット1の溝1bの深さ方向が結晶面1fに平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。この調整については後述する。
【0039】
セットプレート3は移動テーブル14に取り付けられている。移動テーブル14はモータ26によって図1(b)で図中の左右方向に移動する。
【0040】
移動テーブル14は図1(b)で図中左右方向Cに移動可能に、ボールネジ25に螺合している。ボールネジ25はモータ26の回転軸に連結している。このためモータ26が駆動されると移動テーブル14は図1(b)で図中左右方向Cに移動し、移動テーブル14上にセットプレート3、ワークプレート2を介して載置されているインゴット1は、その長手方向たる図1(b)図中左右方向Cに移動する。
【0041】
レーザ光源7はたとえばCO2(炭酸ガス)レーザを発振出力するレーザ光源であり光ファイバ8の一端に接続している。光ファイバ8の他端はレンズヘッド10に接続している。レンズヘッド10内にはレンズ11が設けられている。レーザ光源7で発振出力されたレーザ光は光ファイバ8に導入される。光ファイバ8内を通過したレーザ光はレンズヘッド10に導かれレンズヘッド10内のレンズ11に入射される。レンズ11に入射されたレーザ光はレンズ11を透過して、所定の焦点距離だけ離間したインゴット1上の焦点に所定のビーム径をもったレーザビーム9として照射される。
【0042】
レンズヘッド10は、インゴット1の長手方向Cに対して垂直な断面方向Bに揺動自在に設けられている。このためレーザビーム9はインゴット1の外周面をインゴット長手方向に垂直な方向に走査する。レンズヘッド10が矢印B方向に所定の揺動量だけ揺動することによってレーザビーム9はインゴット1の外周面に沿って所定の長さFだけ照射され、インゴット1の外周面に溝長さFの溝1bが形成される。
【0043】
インゴット1に溝1bが形成される毎にモータ26が駆動制御されインゴット1が長手方向Cに沿って所定ピッチpだけ移動される。以下同様に溝1bを順次形成する毎にモータ26によりインゴット1が所定ピッチpずつ移動される。この結果インゴット1の長手方向に沿ってピッチpの多数の溝1bが形成される。
【0044】
図12は実施例のワイヤソー装置を示している。図12は切断すべきワークであるインゴット1を切断面方向からみた図である。
【0045】
同図12に示すように、各ローラ15、16、17、18の長手軸方向がインゴット1の長手軸方向に一致するように4つのローラ15、16、17、18が所定距離離間されて配置されている。各ローラ15、16、17、18にはワイヤ6が巻着されている。なおワイヤ6は送り側ボビンによってローラ15、16、17、18に送られ、巻き取り側ボビンによって巻き取られる。各ローラ15、16、17、18にはローラ長手方向に沿って一定のピッチでワイヤ6が巻かれており、図示しない張力調整機構により一定の張力がワイヤ6に付与されている。
【0046】
各ローラ15、16、17、18のいずれかのローラには図示しないワイヤ駆動用モータの回転軸が連結されている。ワイヤ駆動用モータが回転駆動することによりたとえば加工用ローラ15が回転駆動しこれに伴い他のローラ16,17、18が従動回転しワイヤ6が走行する。図中でローラ15、16、17、18が左方向に回転することによってワイヤ6は図中で左回りに走行する。ワイヤ6が一方向に走行するに応じて巻き取り側ボビンでワイヤ6が巻き取られていく。巻き取り側ボビンに巻かれているワイヤ6が所定量送られると、ワイヤ駆動用モータは逆方向に回転駆動し、巻き取り側ボビンが送り側ボビンとして機能してワイヤ6は逆方向に走行する。
【0047】
インゴット1には、溝加工の際と同じワークプレート2、セットプレート3が装着されている。セットプレート3は昇降ベース4に取り付けられる。昇降ベース4は図示しない昇降用モータによって図中の上下方向に昇降する。
【0048】
加工用ローラ15、16の上方にはパイプ状のスラリノズル5が加工用ローラ15、16の長手軸方向に沿って配置されている。スラリノズル5には供給口5aが開口しており供給口5aからは砥粒を含むスラリが吐出される。スラリノズル5は移動機構によりインゴット1の切断部位近傍に接近自在になっている。
【0049】
したがってワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向には所定ピッチでワイヤ6が巻回されているため所定ピッチでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハが生成される。
【0050】
図6は切断作業の処理手順を示している。
【0051】
図6のステップ101〜104では、インゴット1の結晶方位1dがセットプレート3の中心軸たる機械中心軸3aに平行になるように、つまりインゴット1の溝1bの深さ方向が結晶面1fに平行となるように、インゴット1の姿勢が調整される。なお以下の説明では、表面が{100}結晶面となっているウェーハ1aを生成する場合を前提として説明する。
【0052】
図7はステップ101〜104の処理手順を説明する図である。
【0053】
図7(a)はインゴット1の姿勢調整前の状態を示している。図7(a)においてインゴット1の中心軸1cはセットプレート3の平面3bつまり機械基準面3bに平行であるものとする。インゴット中心軸1cに対して<100>結晶方位1dは角度ψ(これを軸方位ずれψという)だけずれているものとする。また結晶方位1dは機械基準面3bに対して角度θ(これを面内ずれθという)だけずれているものとする。インゴット1の外周にはノッチ1nが形成されている。
【0054】
まずインゴット1の円周方向の方位が調整され、上記面内ずれθが零にされる。図7(b)に示すように、ノッチ1nとインゴット中心軸1cを含む平面が機械基準面3bに対して平行になるように、インゴット1の端面1eを円周方向に回転させることで、面内ずれθを零にすることができる。この結果図7(c)に示すようにインゴット中心軸1c、結晶方位1dを含む平面が機械基準面3aに対して平行になる(ステップ101)。
【0055】
このようにインゴット1の円周方向方位を調整した後にインゴット1をワークプレート2に接着する。図8(a)はインゴット1の円周方向方位が調整されて、ノッチ1nとインゴット中心軸1cを含む平面が機械基準面3bに対して平行になった状態でインゴット1がワークプレート2に接着されている様子を、斜視図にて示している(ステップ102)。
【0056】
つぎに図7(d)、(e)に示すように、セットプレート3に対するワークプレート2の取付角度をセットプレート平面3b内で調整することにより、結晶方位1dがセットプレート3の中心軸3aつまり機械中心軸3aに対して平行にされる。
【0057】
図9は具体的な調整装置を示している。
【0058】
セットプレート3にはワークプレート2の取付角度を調整する調整用ネジ23A、23B、23C、23Dが設けられている。調整用ネジ23A〜23Dの押し量を調整することでネジ先端がワークプレート2を押している位置が変更され、セットプレート3に対するワークプレート2の取付角度が変更される。X線方位測定器20により結晶方位1dが測定され、この測定結果に応じて調整用ネジ23A〜23Dの調整が行われ、結晶方位1dがセットプレート3の中心軸3aつまり機械中心軸3aに対して平行にされる。なおX線方位測定器20はX線出射器21とセンサ22とからなりX線出射器21から出射されたX線をインゴット1の端面1eに入射して反射したX線をセンサ22で検出することにより結晶方位1dを測定するものである(ステップ103)。
【0059】
このように結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行になるようにセットプレート3に対するワークプレート2の取付角度を調整した後に、セットプレート3にワークプレート2に接着する。
【0060】
図8(a)は調整前の状態を示しており、結晶方位1dは機械中心軸3aに対して軸方位ずれψ分だけずれている。このため結晶面1fは機械中心軸3aに対して垂直な方向から軸方位ずれψだけずれている。図8(c)は調整後の状態を示しており、結晶方位1dは機械中心軸3aに対して平行になる。このため結晶面1fは機械中心軸3aに対して垂直になる(ステップ104)。
【0061】
つぎに、インゴット1が装着されたワークプレート2とセットプレート3からなるセットプレートアッシイ13が、図1に示すように、移動テーブル14に取り付けられる(ステップ105)。
【0062】
図1の溝加工装置の図示しないコントローラには溝加工条件つまり溝1bの幅G、溝1bの深さH、溝1bの長さF、溝1bのピッチpが入力されるとともに、レーザ出力W、加工速度Vが設定される。
【0063】
図5はインゴット1の外周に形成される溝1bの形状を示している。ワイヤ6の線径(直径)をdwとすると溝幅Gはワイヤ6の線径dw以下に設定される。また溝深さHはワイヤ6の線径dwの1/2以上に設定される。図4(b)はワイヤ6のピッチと溝1bのピッチpとの関係を示している。溝ピッチpはワイヤピッチと同じ大きさに設定される。溝1bの長さFは、インゴット1の直径をDとするとπD/2以下に設定される。溝長さFがπD/2より大きい場合には切断の進行に伴ってワイヤ6が溝1bの拘束から外れる方向に移動するためワイヤ6を案内する効果はない。
【0064】
図10はワイヤ線径dw、インゴット径Dが与えられ、溝深さHをdw/2に設定したときにこれらdw、Dから溝長さFを求める演算例を示している。
【0065】
同図10においてxは下記(1)式から求められる。
【0066】
(D/2)2=x2+{1/2(D−3dw)}2 …(1)
上記(1)式から、
x=√(3/2dw(D−6dw))
となり、溝長さFは、
F=2x=2√(3/2dw(D−6dw))
と求めることができる。この溝長さFはワイヤ6がワイヤ線径分切り進むまでワイヤ6を案内するのに必要な長さである。ワイヤ線径分、高精度に案内されると、それ以後のワイヤ6の振れを小さくすることができる(ステップ106)。
【0067】
ステップ106で入力、設定された条件にしたがい溝加工が開始される。すなわち図1に示すレーザ光源7でレーザ光が発振出力されるとともにレンズヘッド10が揺動される。これにより図3に示すように、レーザビーム9はインゴット1の外周面をインゴット長手方向に垂直な方向に走査する。レンズヘッド10が溝長さFに応じた揺動量だけ揺動することによってレーザビーム9はインゴット1の外周面に沿って溝長さFだけ照射され、インゴット1の外周面に溝長さFの溝1bが形成される。またレーザビーム9の焦点距離、レーザ出力W、加工速度Vが調整されることによって、溝幅G、溝深さHの溝1bが形成される。
【0068】
ここで上記ステップ104で既に、結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行に調整され、結晶面1fが機械中心軸3aに対して垂直に調整されている。このため図3で溝加工装置のレーザビーム9が機械中心軸3aに対して垂直な方向に走査されると、レーザビーム9により形成される溝1bの深さ方向を結晶面1fに対して平行にすることができる。インゴット1に溝1bが形成される毎にモータ26が駆動制御されインゴット1が長手方向Cに沿って溝ピッチpだけ移動される。以下同様に溝1bを順次形成する毎にモータ26によりインゴット1が溝ピッチpずつ移動される。この結果インゴット1の長手方向に沿ってピッチpの多数の溝1b(溝深さ方向)が結晶面1fに対して平行に形成される。
【0069】
本実施例によれば、インゴット1の外周をレーザビーム9により局所加熱してシリコン材を蒸発させることで溝1bを形成している。このため加工部位以外にダメージが及ぶことがない。このため溝加工時にインゴット1に与えるダメージを小さく抑えることができる。この結果ダメージ層を除去するためのプロセス(エッチング処理)が不要となり作業の工数を減らすことができる。また溝切りバイト等の専用工具が不要で任意形状に対応することができる。特にレーザビームはシリコン材への光吸収特性が優れているので、加工速度が速いという利点がある(ステップ107)。
【0070】
溝加工が完了すると、図4に示すようにセットプレートアッシイ13がワイヤソー装置の昇降ベース4に装着される。セットプレートアッシイ13は溝加工に際して既に結晶方位1dが機械中心軸3aに対して平行になるように調整されており(ステップ104)、ワイヤソー装置で切断加工を行うに際して新たに調整する作業は不要となる。
【0071】
図4(a)は切断加工すべきインゴット1を断面方向からみた図である。図4(b)は図4(a)を図中右側方から矢視Eにてみた図である。
【0072】
ワイヤ6を走行させるとともに昇降ベース4を図中下方に下降させるとインゴット1が、走行するワイヤ6に押し当てられる。このときスラリノズル5はインゴット1の切断部位近傍に接近されている(図12参照)。ワイヤ6が押し当てられているインゴット1の切断部位には供給口5aからスラリが供給される。このためラッピング作用によりインゴット1が徐々に切断される。加工用ローラ15、16の長手軸方向にはワイヤピッチpでワイヤ6が巻回されているためワイヤピッチpでの切断が同時に行われる。こうしてインゴット1から複数のウェーハ1aが生成される。
【0073】
昇降ベース4が下降すると、ワイヤ6はインゴット1の外周に形成された溝1bの深さ方向に沿って相対移動する。ここで溝1bは、その深さ方向が結晶面1fに対して平行に形成されているため、ワイヤソー装置で機械中心軸3aに対して垂直な方向に切断が行われワイヤ6が溝1bの深さ方向に沿って相対移動すると、切断面は結晶面1fに対して平行となり、生成されるウェーハ1aの表面は結晶面1fに完全に一致する。この結果ウェーハ1aの品質が向上し半導体デバイスの歩留まりが向上する。
【0074】
またインゴット1の外周にはレーザビーム9によって溝1bがワイヤピッチpと同じ溝ピッチpで高精度に正確に形成されている。このように高精度に形成された溝1bに沿ってワイヤ6が案内移動されるため、インゴット1の切断が正確なピッチで行われウェーハの厚さのばらつきを小さくすることができる。
【0075】
またインゴット1の切断加工の初期の段階でワイヤ6が溝に沿って移動するためワイヤ6が安定して走行しうねりを抑制することができる。
【0076】
特にレーザ光源7としてCO2レーザを使用しているので波長10.6μmの10倍までビーム径を絞ることが光学的に可能であり、溝幅Gを0.1mmという精度で溝1bを加工できるとともに溝深さHも高精度に制御することができる。 なおレーザ光源7としてYAGレーザを使用してもよい。この場合波長1.06μmの10倍までビーム径を絞ることが光学的に可能であり、溝幅Gを0.01mmという精度で溝1bを加工できるとともに溝深さHも高精度に制御することができる。
【0077】
このように溝1bを高精度に加工することができたので切断加工をうねり等の不具合を招くことなく高精度に行うことができる(ステップ108)。
【0078】
(第2実施例)
上述した第1実施例ではインゴット1をその長手方向に沿って溝ピッチpずつ多数回ずらすことで多数の溝1bを形成しているが、図2に示すようにレンズヘッド10を間欠的に複数設け、インゴット長手方向にずらす回数を減らすようにしてもよい。
【0079】
図2は図1に示す溝加工装置を変形した構成例を示しており、光ファイバ8として多点分岐型の光ファイバ光学系が使用される。光ファイバ8はインゴット1の長手方向に沿った各点で分岐されており、各分岐箇所にはレンズヘッド10が接続されている。各レンズヘッド10は、インゴット1の長手方向に沿って、溝ピッチpの2倍の間隔で離間配置されている。このためインゴット1を長手方向に溝ピッチpだけ1回だけずらすことにより多数の溝1bを形成することができる。図2では各レンズヘッド10を、溝ピッチpの2倍の間隔で離間配置しているが、配置間隔は任意であり、溝ピッチp×n(n=1、2、3…)の間隔であればよい。
【0080】
上述した実施例では、レーザビーム9をインゴット1に照射することで溝加工を行うようにしているが、局所加熱で溝1bを形成できる加工装置であればよく、ワイヤ放電加工装置を用いて溝加工を行うようにしてもよく、電子ビーム出射装置を用いて溝加工を行うようにしてもよい。
【0081】
また上述した実施例では、ワイヤソー装置を、インゴット1側を移動させることによりインゴット1をワイヤ6に押し当てる構成としているが、ワイヤ6側を移動させることによりインゴット1をワイヤ6に押し当てる構成としてもよい。
【0082】
また以上の説明では単結晶シリコンインゴット1に溝加工、切断加工を施す場合を想定しているが、本発明としては磁性材料、セラミック等などの任意のワークに溝加工を施した上でスライス状に切断加工する場合に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1(a)、(b)は第1実施例の構成を示す図である。
【図2】図2は第2実施例の構成を示す図である。
【図3】図3は溝加工が行われる様子を示す図である。
【図4】図4(a)、(b)はワイヤソー装置にインゴットが装着された状態を示す図である。
【図5】図5は溝の形状、寸法を説明する図である。
【図6】図6は実施例の処理手順を示すフローチャートである。
【図7】図7(a)、(b)、(c)、(d)、(e)はインゴットの姿勢を調整する手順を説明する図である。
【図8】図8(a)、(b)、(c)はインゴットの姿勢が調整されたときのワークプレート、セットプレートに対する位置関係を説明する図である。
【図9】図9は調整装置の構成を示す図である。
【図10】図10は溝長さを説明する図である。
【図11】図11(a)、(b)は従来技術を説明する図であり、切断中あるいは切断されたウェーハをそれぞれ示す図である。
【図12】図12はワイヤソー装置の一般的な構成例を示す図である。
【符号の説明】
1 インゴット(ワーク)
2 ワークプレート
3 セットプレート
6 ワイヤ
7 レーザ光源
9 レーザビーム
10 レーザヘッド
13 セットプレートアッシイ
14 移動テーブル
20 X線方位測定器
23A〜23D 調整用ネジ
25 ボールネジ
26 モータ
Claims (6)
- ワークをワイヤにより切断するワークの切断装置において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とするワークの切断装置。 - インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断装置において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢が調整されてインゴットが装着されたセットプレートと、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工装置と、
前記セットプレートが装着され、インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断するワイヤソー装置と
を備えたことを特徴とするインゴットの切断装置。 - 前記溝加工装置は、CO2レーザ装置、YAGレーザ装置、ワイヤ放電加工装置、電子ビーム出射装置のいずれかであることを特徴とする請求項1または2記載のワークまたはインゴットの切断装置。
- ワークをワイヤにより切断するワークの切断方法において、
ワークの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
ワークの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてワークを切断する切断工程と
を含むことを特徴とするワークの切断方法。 - インゴットをワイヤにより切断してウェーハを生成するインゴットの切断方法において、
結晶面が溝の深さ方向に平行となるようにインゴットの姿勢を調整するインゴット姿勢調整工程と、
インゴットの外周を局所的に加熱することにより、前記ワイヤの線径に応じた幅の溝を形成する溝加工工程と、
インゴットの外周に形成された溝の深さ方向に沿ってワイヤを相対移動させてインゴットを切断する切断工程と
を含むことを特徴とするインゴットの切断方法。 - ワイヤの線径をdwとし、ワークまたはインゴットの径をDとしたとき、ワークまたはインゴットの外周の円周方向に、2√(3/2dw(D−6dw))以上でπD/2以下の円周方向長さを有する溝を形成すること
を特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のワークまたはインゴットの切断装置あるいはワークまたはインゴットの切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002231670A JP2004066734A (ja) | 2002-08-08 | 2002-08-08 | ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002231670A JP2004066734A (ja) | 2002-08-08 | 2002-08-08 | ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004066734A true JP2004066734A (ja) | 2004-03-04 |
Family
ID=32017370
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002231670A Withdrawn JP2004066734A (ja) | 2002-08-08 | 2002-08-08 | ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004066734A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011233885A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Siltronic Ag | 単結晶を加工することによって多数の半導体ウェハを製造する方法 |
JP2011249449A (ja) * | 2010-05-25 | 2011-12-08 | Denso Corp | ウェハの加工方法およびそれに用いられる研磨装置、切断装置 |
KR101155784B1 (ko) | 2011-06-28 | 2012-06-12 | (주)새한나노텍 | 틸팅 기능이 구비된 잉곳 고정장치 |
CN105269694A (zh) * | 2014-07-03 | 2016-01-27 | 松下知识产权经营株式会社 | 晶片制造方法以及晶片制造装置 |
KR20180076161A (ko) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치 |
CN113787636A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-12-14 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于12寸半导体晶圆的手动粘棒方法 |
CN116872365A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-10-13 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 高效截断碳板的截断方法 |
JP7398852B1 (ja) * | 2023-06-23 | 2023-12-15 | 有限会社ドライケミカルズ | 半導体結晶ウェハの製造装置および製造方法 |
-
2002
- 2002-08-08 JP JP2002231670A patent/JP2004066734A/ja not_active Withdrawn
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011233885A (ja) * | 2010-04-28 | 2011-11-17 | Siltronic Ag | 単結晶を加工することによって多数の半導体ウェハを製造する方法 |
US8758537B2 (en) | 2010-04-28 | 2014-06-24 | Siltronic Ag | Method for producing a multiplicity of semiconductor wafers by processing a single crystal |
JP2011249449A (ja) * | 2010-05-25 | 2011-12-08 | Denso Corp | ウェハの加工方法およびそれに用いられる研磨装置、切断装置 |
US8758087B2 (en) | 2010-05-25 | 2014-06-24 | Denso Corporation | Wafer processing method, wafer polishing apparatus, and ingot slicing apparatus |
KR101155784B1 (ko) | 2011-06-28 | 2012-06-12 | (주)새한나노텍 | 틸팅 기능이 구비된 잉곳 고정장치 |
JP2016015447A (ja) * | 2014-07-03 | 2016-01-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ウエハの製造方法および装置 |
CN105269694A (zh) * | 2014-07-03 | 2016-01-27 | 松下知识产权经营株式会社 | 晶片制造方法以及晶片制造装置 |
KR20180076161A (ko) * | 2016-12-27 | 2018-07-05 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치 |
KR101967192B1 (ko) | 2016-12-27 | 2019-05-07 | 웅진에너지 주식회사 | 와이어 쏘 장치 |
CN113787636A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-12-14 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于12寸半导体晶圆的手动粘棒方法 |
CN113787636B (zh) * | 2021-07-09 | 2022-05-27 | 麦斯克电子材料股份有限公司 | 一种用于12寸半导体晶圆的手动粘棒方法 |
JP7398852B1 (ja) * | 2023-06-23 | 2023-12-15 | 有限会社ドライケミカルズ | 半導体結晶ウェハの製造装置および製造方法 |
CN116872365A (zh) * | 2023-08-25 | 2023-10-13 | 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 | 高效截断碳板的截断方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6604891B2 (ja) | ウエーハの生成方法 | |
JP6482425B2 (ja) | ウエーハの薄化方法 | |
JP6486239B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6486240B2 (ja) | ウエーハの加工方法 | |
JP6494382B2 (ja) | ウエーハの生成方法 | |
JP5473414B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
US7459655B2 (en) | Laser beam processing machine | |
US9649775B2 (en) | Workpiece dividing method | |
JP4110219B2 (ja) | レーザーダイシング装置 | |
US20050224475A1 (en) | Laser beam processing machine | |
JP6532273B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JP5459484B2 (ja) | ダイシング装置及びダイシング方法 | |
KR20170055909A (ko) | SiC 기판의 분리 방법 | |
KR20170012026A (ko) | 웨이퍼의 박화 방법 | |
US8536486B2 (en) | Method of dividing workpiece using laser beam | |
JP5528015B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
JP2006187782A (ja) | レーザー加工装置 | |
JPH09129578A (ja) | 半導体基板の製造装置及び製造方法 | |
JP2004066734A (ja) | ワークまたはインゴットの切断装置および切断方法 | |
JP2009123875A (ja) | レーザーダイシング方法 | |
JP5276851B2 (ja) | 結晶方位測定装置、結晶加工装置及び結晶加工方法 | |
US20230364716A1 (en) | Manufacturing method of substrate | |
JP7330624B2 (ja) | レーザー加工装置及び被加工物の加工方法 | |
JP7216607B2 (ja) | レーザー加工装置 | |
KR20230026949A (ko) | 단결정 실리콘 기판의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051101 |