JP5257397B2 - 光走査装置の製造方法 - Google Patents
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Description
2 筐体
3 構造体固定治具
4 開口部
5 ミラー
6 梁結合部
10 金線
11 捩り梁
20 金属構造体
23 導電性接着剤
30 圧電素子
40 ウエイト
50 ウエイト量決定装置
51 CPU
53 RAM
54 HDD
59 カメラ
62 ウエイト量テーブル記憶エリア
70 ウエイト量テーブル
80 ウエイト量テーブル
Claims (4)
- 板材から形成された構造体に捻れ梁部を形成し、当該捻れ梁部により支持されたミラー部を前記構造体に接着された圧電素子により揺動させて光走査を行う光走査装置の製造方法であって、
前記構造体上で前記圧電素子の板材が接着される箇所に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記ミラー部の振動周波数の調整用のウエイトの塗布を行うウエイト塗布工程と、
前記接着剤塗布工程で接着剤が塗布された構造体上の所定位置に、前記圧電素子の板材をマウントするマウント工程と、
当該マウント工程で圧電素子の板材がマウントされた構造体と当該圧電素子の板材とを圧着する圧着工程と
を行い、
前記構造体は、前記ミラー部を支持する同一直線上に設けられた一対の捻れ梁部と、
当該各捻れ梁部を各々支持する一対の支持部と、
当該各支持部が延設され、且つ、圧電素子が接着される本体部とを備え、
前記ウエイト塗布工程において、前記ウエイトは、前記支持部に塗布されることを特徴とする光走査装置の製造方法。 - 前記接着剤及び前記ウエイトは、前記構造体において、前記ミラー部の鏡面と反対側の面に塗布されることを特徴とする請求項1に記載の光走査装置の製造方法。
- 前記捻れ梁部を撮影して画像処理により前記捻れ梁部の幅を測定する幅測定工程と、
当該幅測定工程で測定された捻れ梁部の幅に基づいて、予め前記捻れ梁部の幅と前記ウエイトの量とを定めているデータを参照して前記ウエイトの塗布量を決定して前記ウエイトを塗布することを特徴とする請求項1又は2に記載の光走査装置の製造方法。 - 前記接着剤と前記ウエイトとを同一材料を用いることで、接着剤塗布工程と、ウエイト塗布工程と、同一の工程で行うことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の光走査装置の製造方法。
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