JP2009095208A - 揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】、振動の非対称性や振動の不要な方向への発生による画像の劣化を低減することができ、耐久性を向上させることが可能となる揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも1つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された段差構造を有し、
前記段差構造は、前記ねじり軸を含む前記可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝の対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体は、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されている構成とする。
【選択図】 図1
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも1つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された段差構造を有し、
前記段差構造は、前記ねじり軸を含む前記可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝の対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体は、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されている構成とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置に関する。
例えば、光の偏向走査によって画像を投影するプロジェクションディスプレイ、電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に好適に利用可能な揺動体装置を用いた光偏向器が実現できる技術に関するものである。
例えば、光の偏向走査によって画像を投影するプロジェクションディスプレイ、電子写真プロセスを有するレーザービームプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に好適に利用可能な揺動体装置を用いた光偏向器が実現できる技術に関するものである。
近年において、微小電気機械システム(MEMS)技術で作製される、可動板とねじりバネとで構成される振動系(揺動体)について、数多くの文献で報告されている。
このような揺動体の中でも、反射面を有し、走査型ディスプレイや電子写真用光スキャナに応用するようにした揺動体について、多くの特許文献が知られている。
それらの駆動方法は、静電、圧電なども考えられるが大きな走査角を得るために電磁駆動を用いるものが殆どであり、揺動体を構成する可動板の1面または両面に磁石を貼り付けて構成した電磁コイルによる電磁駆動型のものが一般的に用いられている。
このような揺動体の中でも、反射面を有し、走査型ディスプレイや電子写真用光スキャナに応用するようにした揺動体について、多くの特許文献が知られている。
それらの駆動方法は、静電、圧電なども考えられるが大きな走査角を得るために電磁駆動を用いるものが殆どであり、揺動体を構成する可動板の1面または両面に磁石を貼り付けて構成した電磁コイルによる電磁駆動型のものが一般的に用いられている。
従来においては、このような電磁駆動型のものとして、例えば特許文献1では、振動子(揺動体)の片側の面に円柱形状の磁石を貼り付けるに際して、円柱形状にあわせた凹部を施すようにしたディバイスが提案されている。
また、特許文献2では、可動子の両端に永久磁石を設置するジンバル型の振動子(揺動体)や、ねじり軸上に磁石を設置する振動子(揺動体)が提案されている。
米国特許出願公開第2005/0225821号明細書
米国特許第7034415号明細書
また、特許文献2では、可動子の両端に永久磁石を設置するジンバル型の振動子(揺動体)や、ねじり軸上に磁石を設置する振動子(揺動体)が提案されている。
上記したように、可動板とねじりバネとで構成される揺動体によって振動ミラーを構成し、走査型ディスプレイや電子写真等の画像形成装置における振動走査型光偏向器を構成する場合、揺動体の可動板に磁石を貼り付けて電磁駆動する方法が一般的である。
しかし、このような構造の振動走査型光偏向器では、揺動体の慣性モーメントの多くの部分を磁石が占めており、磁石の設置精度によって振動の非対称性や不要な方向への振動が発生し、形成画像の劣化が生じる。
また、揺動軸に対して質量が非対称であるとき、自重で撓むなどの影響から振動子の材料耐久性などに好ましくない影響を及ぼす。
これらの課題を解決する上で、上記した従来のものにおいては、更なる改善の余地がある。
しかし、このような構造の振動走査型光偏向器では、揺動体の慣性モーメントの多くの部分を磁石が占めており、磁石の設置精度によって振動の非対称性や不要な方向への振動が発生し、形成画像の劣化が生じる。
また、揺動軸に対して質量が非対称であるとき、自重で撓むなどの影響から振動子の材料耐久性などに好ましくない影響を及ぼす。
これらの課題を解決する上で、上記した従来のものにおいては、更なる改善の余地がある。
本発明は、上記課題に鑑み、振動の非対称性や振動の不要な方向への発生による画像の劣化を低減することができ、耐久性を向上させることが可能となる揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置を提供することを目的とするものである。
本発明は、つぎのように構成した揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置を提供するものである。
本発明の揺動体装置は、支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも1つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された段差構造を有し、
前記段差構造は、前記ねじり軸を含む前記可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体は、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも2つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された少なくとも2つの段差構造を有し、
前記段差構造のそれぞれは、前記ねじり軸と平行でかつ前記円柱体の中心を含む可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体のそれぞれは、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記それぞれの段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記円柱体が磁性体で構成され、磁場を発する駆動手段によって駆動可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記凹溝は、前記非平行の対向する側壁の延長線上に形成された交点でのなす角の二等分線が、前記ねじり軸と平行となる等脚台形状の平面形状を有し、
前記円柱体が、前記交点において形成される角の内側に配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造の凹溝は、前記可動板に垂直な方向からみた形状が円でない二次曲線の一部を含有する平面形状を有し、
前記二次曲線の一部は曲率半径が前記円柱体の半径よりも小さくなる箇所を備えると共に、
前記二次曲線上の最小の曲率半径となる点と該二次曲線の焦点とを含む直線が前記揺動軸と平行となるように構成され、
前記円柱体が、前記二次曲線の焦点のある側に配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造が配設された可動板と該段差構造が配設されていない可動板とによる複数の可動板を備え、該複数の可動板が複数の支持部によって連結され、支持基板に支持されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造が配設されていない可動板が、前記段差構造が配設された可動板によって囲まれていることを特徴とする。
また、本発明の光偏向器は、上記したいずれかに記載の揺動体装置と、該揺動体装置における前記可動部に設けられた光偏向素子と、を有することを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、上記光偏向器と、を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射することを特徴とする。
本発明の揺動体装置は、支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも1つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された段差構造を有し、
前記段差構造は、前記ねじり軸を含む前記可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体は、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも2つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された少なくとも2つの段差構造を有し、
前記段差構造のそれぞれは、前記ねじり軸と平行でかつ前記円柱体の中心を含む可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体のそれぞれは、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記それぞれの段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記円柱体が磁性体で構成され、磁場を発する駆動手段によって駆動可能に構成されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記凹溝は、前記非平行の対向する側壁の延長線上に形成された交点でのなす角の二等分線が、前記ねじり軸と平行となる等脚台形状の平面形状を有し、
前記円柱体が、前記交点において形成される角の内側に配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造の凹溝は、前記可動板に垂直な方向からみた形状が円でない二次曲線の一部を含有する平面形状を有し、
前記二次曲線の一部は曲率半径が前記円柱体の半径よりも小さくなる箇所を備えると共に、
前記二次曲線上の最小の曲率半径となる点と該二次曲線の焦点とを含む直線が前記揺動軸と平行となるように構成され、
前記円柱体が、前記二次曲線の焦点のある側に配設されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造が配設された可動板と該段差構造が配設されていない可動板とによる複数の可動板を備え、該複数の可動板が複数の支持部によって連結され、支持基板に支持されていることを特徴とする。
また、本発明の揺動体装置は、前記段差構造が配設されていない可動板が、前記段差構造が配設された可動板によって囲まれていることを特徴とする。
また、本発明の光偏向器は、上記したいずれかに記載の揺動体装置と、該揺動体装置における前記可動部に設けられた光偏向素子と、を有することを特徴とする。
また、本発明の画像形成装置は、光源と、感光体と、上記光偏向器と、を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射することを特徴とする。
本発明によれば、振動の非対称性や振動の不要な方向への発生による画像の劣化を低減することができ、耐久性を向上させることが可能となる揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置を実現することができる。
本発明の実施形態における支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置について説明する。
図1に、本実施形態における揺動体装置を説明する図を示す。
図1において、101は可動板、102は支持部を構成するねじりバネ、103は支持基板、104は円柱体、106は揺動軸、108は揺動軸を通り可動板に垂直な平面、109は段差構造、110は平面108と平行で円柱体の中心をとおる断面である。
図1に、本実施形態における揺動体装置を説明する図を示す。
図1において、101は可動板、102は支持部を構成するねじりバネ、103は支持基板、104は円柱体、106は揺動軸、108は揺動軸を通り可動板に垂直な平面、109は段差構造、110は平面108と平行で円柱体の中心をとおる断面である。
本実施形態の揺動体装置において、揺動体は可動板101とねじりバネ102と支持基板103および可動板101に配置された少なくとも1つの円柱体104を備えている。
また、可動板101には、上記円柱体104を位置決め配設するため、凹溝によって構成された段差構造109が形成されている。
また、前記段差構造109は、前記ねじり軸である揺動軸106を含む前記可動板101に垂直な平面108に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備えている。
そして、前記円柱体104は、該円柱体の側面が前記平面108に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板101の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されている。
すなわち、段差構造109と円柱体104は2点で接しており、この2点を含む直線は平面108に垂直に交差する。
また、可動板101には、上記円柱体104を位置決め配設するため、凹溝によって構成された段差構造109が形成されている。
また、前記段差構造109は、前記ねじり軸である揺動軸106を含む前記可動板101に垂直な平面108に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造を備えている。
そして、前記円柱体104は、該円柱体の側面が前記平面108に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板101の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されている。
すなわち、段差構造109と円柱体104は2点で接しており、この2点を含む直線は平面108に垂直に交差する。
以上は、図1(b)に示されるように、円柱体104が1個の場合の構成例である。この場合には、平面108と断面110は同一であるが、本発明はこのような構成に限られず、例えば、図1(a)に示されるように、少なくとも2つの円柱体を備えるように構成してもよい。
その場合には、前記可動板に、少なくとも2つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された少なくとも2つの段差構造を形成する。
そして、段差構造のそれぞれを、前記ねじり軸と平行でかつ前記円柱体の中心を含む可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造とする。
以上の段差構造を用い、円柱体のそれぞれを、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記それぞれの段差構造における凹溝に位置決め配設する。
上記構成において、可動板101に複数の円柱体104を配設するに際し、円柱体104が偶数個ある場合は図1(a)に順じ、奇数個の場合は1つは平面108上に配置され、その他は図1(a)に順じる。
これにより円柱体104は平面108に垂直な方向の位置精度が保証される。
その場合には、前記可動板に、少なくとも2つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された少なくとも2つの段差構造を形成する。
そして、段差構造のそれぞれを、前記ねじり軸と平行でかつ前記円柱体の中心を含む可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝における対向する側壁が非平行に形成された構造とする。
以上の段差構造を用い、円柱体のそれぞれを、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記それぞれの段差構造における凹溝に位置決め配設する。
上記構成において、可動板101に複数の円柱体104を配設するに際し、円柱体104が偶数個ある場合は図1(a)に順じ、奇数個の場合は1つは平面108上に配置され、その他は図1(a)に順じる。
これにより円柱体104は平面108に垂直な方向の位置精度が保証される。
以上の段差構造109により、例えば、段差構造の凹溝を、等脚台形状または楕円形状を含む前記可動板に垂直な方向からみた形状が円でない二次曲線の一部を含有する平面形状とし、これらにより一種の位置決め溝を構成することができる。
そして、二次曲線の一部を含有する形状とする場合には、前記二次曲線の一部は曲率半径が前記円柱体の半径よりも小さくなる箇所を備えると共に、
前記二次曲線上の最小の曲率半径となる点と該二次曲線の焦点とを含む直線が前記揺動軸と平行となるように構成し、前記円柱体が、前記二次曲線の焦点のある側に配設するように構成することができる。
そして、二次曲線の一部を含有する形状とする場合には、前記二次曲線の一部は曲率半径が前記円柱体の半径よりも小さくなる箇所を備えると共に、
前記二次曲線上の最小の曲率半径となる点と該二次曲線の焦点とを含む直線が前記揺動軸と平行となるように構成し、前記円柱体が、前記二次曲線の焦点のある側に配設するように構成することができる。
これらにより、例えば、揺動体装置を電磁駆動型とする場合には、上記円柱体104を磁性体で構成し、それを可動板上に形成された段差構造による位置決め溝に突き当てて位置決めすることで、磁性体を可動板に容易に精度良く配置することができる。
ただし、本発明は、上記のように円柱体104を磁性体で構成し電磁駆動型とするものに限定されるものではない。
例えば、揺動体を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置において、揺動体の共振周波数を制御するため、上記円柱体104を揺動体の質量を調整する質量調整体として用いるようにしてもよい。
以上の本実施形態の構成によれば、振動の非対称性や振動の不要な方向への発生による画像の劣化を低減することができ、耐久性を向上させることが可能となる揺動体装置を実現することができる。
ただし、本発明は、上記のように円柱体104を磁性体で構成し電磁駆動型とするものに限定されるものではない。
例えば、揺動体を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置において、揺動体の共振周波数を制御するため、上記円柱体104を揺動体の質量を調整する質量調整体として用いるようにしてもよい。
以上の本実施形態の構成によれば、振動の非対称性や振動の不要な方向への発生による画像の劣化を低減することができ、耐久性を向上させることが可能となる揺動体装置を実現することができる。
以下に、本発明の実施例について説明する。
[実施例1]
実施例1においては、本発明を適用して円柱体を磁性体で構成して電磁駆動型の揺動体装置とした構成例について説明する。
図2に、本実施形態における揺動体装置を説明する図を示す。
図2(a)、図2(b)において、201は可動板、202は支持部を構成するねじりバネ、203は支持基板、204は円柱体、206は揺動軸、209は段差構造である。
[実施例1]
実施例1においては、本発明を適用して円柱体を磁性体で構成して電磁駆動型の揺動体装置とした構成例について説明する。
図2に、本実施形態における揺動体装置を説明する図を示す。
図2(a)、図2(b)において、201は可動板、202は支持部を構成するねじりバネ、203は支持基板、204は円柱体、206は揺動軸、209は段差構造である。
本実施例の揺動体装置において、揺動体は可動板201とねじりバネ202、支持基板203は1枚の板から一体に作製される。
材質としてはシリコンが主に用いられ、フォトリソグラフィーとエッチングで作製される。
シリコンは、良質な弾性体であり破壊しないかぎり弾性変形する為、広角に揺動させても形状が変化しない。
可動板201には円柱体204が配置される。
この円柱体204は磁性体で構成され、主に永久磁石を用いて構成されている。このように、円柱体を磁性体で構成することにより、磁場を発する駆動手段によって駆動可能に構成することができる。
例えば、電磁誘導型のアクチュエータを用いて磁性体による円柱体204近傍で交流磁場を発生させ、可動板201を揺動運動させるように構成することができる。
材質としてはシリコンが主に用いられ、フォトリソグラフィーとエッチングで作製される。
シリコンは、良質な弾性体であり破壊しないかぎり弾性変形する為、広角に揺動させても形状が変化しない。
可動板201には円柱体204が配置される。
この円柱体204は磁性体で構成され、主に永久磁石を用いて構成されている。このように、円柱体を磁性体で構成することにより、磁場を発する駆動手段によって駆動可能に構成することができる。
例えば、電磁誘導型のアクチュエータを用いて磁性体による円柱体204近傍で交流磁場を発生させ、可動板201を揺動運動させるように構成することができる。
円柱体204は可動板201上に作製された段差構造209に2点で接して配置されている。
段差構造209はねじり軸により構成された揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面と平行な円柱体204の軸を通る平面についても非平行かつ対称な構造となっている。
ただし、円柱体204が接する、限られた領域が対称であればよい。
ただし、揺動体全体として揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面について対称になっていることが望ましく、その意味では段差構造209も含めて対称になっているのが望ましい。
段差構造209はねじり軸により構成された揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面と平行な円柱体204の軸を通る平面についても非平行かつ対称な構造となっている。
ただし、円柱体204が接する、限られた領域が対称であればよい。
ただし、揺動体全体として揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面について対称になっていることが望ましく、その意味では段差構造209も含めて対称になっているのが望ましい。
また、この段差構造209は、ICP(Inductively Coupled Plasma)などの深堀りエッチングで作製される。
段差構造209における凹溝の断面が逆テーパ構造になっていてもよい。
本実施例の段差構造209は、図2に示されるように、段差構造における凹溝の対向する側面がハの字型とされた等脚台形状に形成されている。
具体的には、この凹溝は、前記非平行の対向する側壁の延長線上に形成された交点でのなす角の二等分線が、前記ねじり軸と平行となる等脚台形状の平面形状を有している。つまり、前記非平行の対向する側壁が、この等脚台形の上底と下底とを結ぶ非平行の線分に相当する部位を構成している。
そして、前記円柱体が、前記交点において形成される角の内側に配設される。
このように、円柱体204を配置することで、円柱の中心軸をハの字のつくる角の2等分線上に配置することができる。
これにより、円柱体の直径が多少変化しても、揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面と円柱体の中心との距離が一致する。
円柱体204が可動板上で一つの場合、もしくは両面で各1個の場合は揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面について、段差構造209が対称となる(図2(b))。
この場合は、円柱体204の中心は上記平面に含まれる。
これにより円柱体204の上記平面に垂直な方向の位置精度は高精度に保たれる。
段差構造209における凹溝の断面が逆テーパ構造になっていてもよい。
本実施例の段差構造209は、図2に示されるように、段差構造における凹溝の対向する側面がハの字型とされた等脚台形状に形成されている。
具体的には、この凹溝は、前記非平行の対向する側壁の延長線上に形成された交点でのなす角の二等分線が、前記ねじり軸と平行となる等脚台形状の平面形状を有している。つまり、前記非平行の対向する側壁が、この等脚台形の上底と下底とを結ぶ非平行の線分に相当する部位を構成している。
そして、前記円柱体が、前記交点において形成される角の内側に配設される。
このように、円柱体204を配置することで、円柱の中心軸をハの字のつくる角の2等分線上に配置することができる。
これにより、円柱体の直径が多少変化しても、揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面と円柱体の中心との距離が一致する。
円柱体204が可動板上で一つの場合、もしくは両面で各1個の場合は揺動軸206を含む可動板201に垂直な平面について、段差構造209が対称となる(図2(b))。
この場合は、円柱体204の中心は上記平面に含まれる。
これにより円柱体204の上記平面に垂直な方向の位置精度は高精度に保たれる。
本実施例において、揺動体は複数の可動板およびねじりバネで連結して構成することができる。
したがって、図3に示されるように、前記段差構造が配設された可動板と該段差構造が配設されていない可動板とによる複数の可動板を備え、該複数の可動板が複数の支持部によって連結され、支持基板に支持されるようにした形態でもよい。
その際、前記段差構造が配設されていない可動板を、前記段差構造が配設された可動板によって囲まれるようにしてもよい。
図3(a)は、段差構造の609のある可動板601と段差構造のない可動板621が、複数の支持部を構成するねじりバネ602で直列に連結されており、その一端が支持基板603で支持されている。
円柱体604は段差構造609に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
図3(b)は、段差構造709のある可動板701が段差構造のない可動板721を囲んである形態であり、可動板701と可動板721がねじりバネ702で直列に連結されている。
円柱体704は段差構造709に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
図3(c)は、段差構造809のある可動板801が段差構造のない可動板821を囲んである形態である。
可動板801はねじりバネ802で支持基板803と連結され、ねじりバネ802と直交する方向のねじりバネ822で可動板821と連結されている。
円柱体804は段差構造809に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
したがって、図3に示されるように、前記段差構造が配設された可動板と該段差構造が配設されていない可動板とによる複数の可動板を備え、該複数の可動板が複数の支持部によって連結され、支持基板に支持されるようにした形態でもよい。
その際、前記段差構造が配設されていない可動板を、前記段差構造が配設された可動板によって囲まれるようにしてもよい。
図3(a)は、段差構造の609のある可動板601と段差構造のない可動板621が、複数の支持部を構成するねじりバネ602で直列に連結されており、その一端が支持基板603で支持されている。
円柱体604は段差構造609に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
図3(b)は、段差構造709のある可動板701が段差構造のない可動板721を囲んである形態であり、可動板701と可動板721がねじりバネ702で直列に連結されている。
円柱体704は段差構造709に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
図3(c)は、段差構造809のある可動板801が段差構造のない可動板821を囲んである形態である。
可動板801はねじりバネ802で支持基板803と連結され、ねじりバネ802と直交する方向のねじりバネ822で可動板821と連結されている。
円柱体804は段差構造809に接して配置されているのは、図2の形態と同様である。
[実施例2]
実施例2においては、磁性体で構成した円柱体を楕円形状の段差構造に配置して構成した電磁駆動型の揺動体装置の構成例について説明する。
図4に、本実施例における揺動体装置を説明する図を示す。
図4において、301は可動板、302はねじりバネ、303は支持基板、304は円柱体、306は揺動軸、309は段差構造である。
実施例2においては、磁性体で構成した円柱体を楕円形状の段差構造に配置して構成した電磁駆動型の揺動体装置の構成例について説明する。
図4に、本実施例における揺動体装置を説明する図を示す。
図4において、301は可動板、302はねじりバネ、303は支持基板、304は円柱体、306は揺動軸、309は段差構造である。
本実施例は、段差構造を等脚台形状とした実施例1に対して、段差構造309を楕円形状とした点が異なるだけで、他は実施例1と基本的に同様の構成を備えている。
楕円の長軸方向が揺動軸306と平行になっていて 楕円の最小曲率半径が円柱体の半径よりも小さくなっている。
ただし、楕円の場合は円柱体304の直径よりも、段差構造309の短軸の長さが大きくなっている。
図4(a)及び図4(b)の各図右側に示したハッチング付きの図は、可動板301上の一点鎖線の断面図である。
また、この形状は楕円以外に放物線や双曲線でも、最小曲率半径が円柱体の半径よりも小さくなっていて、焦点を含む各曲線の対称線と揺動軸が平行ならばなりたつ。
可動板301には円柱体304を配置する。この円柱体304は磁性体であり主に永久磁石が用いられ、電磁誘導型のアクチュエータをもちいて円柱体304近傍で交流磁場を発生させることにより可動板301を揺動軸306中心に揺動運動させる。
揺動体は実施例1同様、複数の可動板およびねじりバネで連結して構成することができる。
その具体的形態は、実施例1に順ずるものであるから、再度の説明を省略する。
楕円の長軸方向が揺動軸306と平行になっていて 楕円の最小曲率半径が円柱体の半径よりも小さくなっている。
ただし、楕円の場合は円柱体304の直径よりも、段差構造309の短軸の長さが大きくなっている。
図4(a)及び図4(b)の各図右側に示したハッチング付きの図は、可動板301上の一点鎖線の断面図である。
また、この形状は楕円以外に放物線や双曲線でも、最小曲率半径が円柱体の半径よりも小さくなっていて、焦点を含む各曲線の対称線と揺動軸が平行ならばなりたつ。
可動板301には円柱体304を配置する。この円柱体304は磁性体であり主に永久磁石が用いられ、電磁誘導型のアクチュエータをもちいて円柱体304近傍で交流磁場を発生させることにより可動板301を揺動軸306中心に揺動運動させる。
揺動体は実施例1同様、複数の可動板およびねじりバネで連結して構成することができる。
その具体的形態は、実施例1に順ずるものであるから、再度の説明を省略する。
[実施例3]
実施例3では、本発明の揺動体装置を適用して構成した光偏向器を用いた画像形成装置の構成例について説明する。
図5に、本実施例における画像形成装置の構成例を説明する概略斜視図を示す。
図5に示す本実施例の画像形成装置において、530は本発明の揺動体装置を適用し、上記可動板に設けられた光偏向素子を備えた光偏向器であり、本実施例では入射光を1次元に走査する。
510はレーザ光源、520はコリメータレンズ、540は結合レンズ、550はドラム状の感光体である。
実施例3では、本発明の揺動体装置を適用して構成した光偏向器を用いた画像形成装置の構成例について説明する。
図5に、本実施例における画像形成装置の構成例を説明する概略斜視図を示す。
図5に示す本実施例の画像形成装置において、530は本発明の揺動体装置を適用し、上記可動板に設けられた光偏向素子を備えた光偏向器であり、本実施例では入射光を1次元に走査する。
510はレーザ光源、520はコリメータレンズ、540は結合レンズ、550はドラム状の感光体である。
本実施例の画像形成装置は、光源と、感光体と、上記の光偏向器と、を有し、前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射するように構成されている。
さらに具体的に説明すると、光偏向器530における揺動体の可動板(図示しない)の一部は、光反射部を備えている。
光源510から出射した光は、コリメータレンズ520で整形される。
光偏向器530によって走査された光はレンズ540によりドラム状の感光体550上にて結像され、ドラム状の感光体550を露光する。
光源510から出射した光を変調させることによりドラム状の感光体550上に画像が形成される。
さらに具体的に説明すると、光偏向器530における揺動体の可動板(図示しない)の一部は、光反射部を備えている。
光源510から出射した光は、コリメータレンズ520で整形される。
光偏向器530によって走査された光はレンズ540によりドラム状の感光体550上にて結像され、ドラム状の感光体550を露光する。
光源510から出射した光を変調させることによりドラム状の感光体550上に画像が形成される。
101:可動板
102:ねじりバネ
103:支持基板
104:円柱体
106:揺動軸
108:揺動軸を通り可動板に垂直な平面
109:段差構造
110:平面108と平行で円柱体の中心をとおる断面
201:可動板
202:ねじりバネ
203:支持基板
204:円柱体
206:揺動軸
209:段差構造
301:可動板
302:ねじりバネ
303:支持基板
304:円柱体
306:揺動軸
309:段差構造
510:光源
520:コリメータレンズ
530:光偏向器
540:結合レンズ
550:ドラム状の感光体
601:可動板
602:ねじりバネ
603:支持基板
604:円柱体
609:段差構造
621:段差構造のない可動板
701:可動板
702:ねじりバネ
703:支持基板
704:円柱体
709:段差構造
721:段差構造のない可動板
801:可動板
802:ねじりバネ
803:支持基板
804:円柱体
809:段差構造
821:段差構造のない可動板
822:ねじりバネ
102:ねじりバネ
103:支持基板
104:円柱体
106:揺動軸
108:揺動軸を通り可動板に垂直な平面
109:段差構造
110:平面108と平行で円柱体の中心をとおる断面
201:可動板
202:ねじりバネ
203:支持基板
204:円柱体
206:揺動軸
209:段差構造
301:可動板
302:ねじりバネ
303:支持基板
304:円柱体
306:揺動軸
309:段差構造
510:光源
520:コリメータレンズ
530:光偏向器
540:結合レンズ
550:ドラム状の感光体
601:可動板
602:ねじりバネ
603:支持基板
604:円柱体
609:段差構造
621:段差構造のない可動板
701:可動板
702:ねじりバネ
703:支持基板
704:円柱体
709:段差構造
721:段差構造のない可動板
801:可動板
802:ねじりバネ
803:支持基板
804:円柱体
809:段差構造
821:段差構造のない可動板
822:ねじりバネ
Claims (9)
- 支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも1つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された段差構造を有し、
前記段差構造は、前記ねじり軸を含む前記可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝の対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体は、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする揺動体装置。 - 支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を有し、該揺動体を駆動可能に構成した揺動体装置であって、
前記可動板は、少なくとも2つの円柱体を位置決め配設するための凹溝によって構成された少なくとも2つの段差構造を有し、
前記段差構造のそれぞれは、前記ねじり軸と平行でかつ前記円柱体の中心を含む可動板に垂直な平面に対し、前記凹溝の形状が面対称で且つその凹溝の対向する側壁が非平行に形成された構造を備え、
前記円柱体のそれぞれは、該円柱体の側面が前記平面に対称な前記凹溝の対向する側壁の一方と他方の2箇所で接するようにして、前記可動板の前記それぞれの段差構造における凹溝に位置決め配設されていることを特徴とする揺動体装置。 - 前記円柱体が磁性体で構成され、磁場を発する駆動手段によって駆動可能に構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の揺動体装置。
- 前記凹溝は、前記非平行の対向する側壁の延長線上に形成された交点でのなす角の二等分線が、前記ねじり軸と平行となる等脚台形状の平面形状を有し、
前記円柱体が、前記交点において形成される角の内側に配設されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の揺動体装置。 - 前記段差構造の凹溝は、前記可動板に垂直な方向からみた形状が円でない二次曲線の一部を含有する平面形状を有し、
前記二次曲線の一部は曲率半径が前記円柱体の半径よりも小さくなる箇所を備えると共に、
前記二次曲線上の最小の曲率半径となる点と該二次曲線の焦点とを含む直線が前記揺動軸と平行となるように構成され、
前記円柱体が、前記二次曲線の焦点のある側に配設されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の揺動体装置。 - 前記段差構造が配設された可動板と該段差構造が配設されていない可動板とによる複数の可動板を備え、該複数の可動板が複数の支持部によって連結され、支持基板に支持されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の揺動体装置。
- 前記段差構造が配設されていない可動板が、前記段差構造が配設された可動板によって囲まれていることを特徴とする請求項6に記載の揺動体装置。
- 請求項1から7のいずれか1項に記載の揺動体装置と、
該揺動体装置における前記可動板に設けられた光偏向素子と、
を有することを特徴とする光偏向器。 - 光源と、感光体と、請求項8に記載の光偏向器と、を有し、
前記光源からの光を前記光偏向器により偏向し、前記光の少なくとも一部を、前記感光体上に入射することを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007266277A JP2009095208A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007266277A JP2009095208A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2009095208A true JP2009095208A (ja) | 2009-04-30 |
Family
ID=40666614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007266277A Pending JP2009095208A (ja) | 2007-10-12 | 2007-10-12 | 揺動体装置、揺動体装置を用いた光偏向器及び画像形成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009095208A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011215354A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Brother Industries Ltd | 光走査装置の製造方法 |
US10114212B2 (en) | 2012-05-29 | 2018-10-30 | Kabushiki Kaisha Toyota Chuo Kenkyusho | Deflector |
-
2007
- 2007-10-12 JP JP2007266277A patent/JP2009095208A/ja active Pending
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