JP5249594B2 - 床構造 - Google Patents
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要求性能1:個々の架台ごとに高さ、位置、傾きが調整でき、架台全体としての平面度を精度よく確保できること。
要求性能2:架台全体の水平方向や鉛直方向の剛性、及びアクセレランス(単位加振力当りの加速度応答)が精密機器の稼動に必要な基準値を満足すること。
即ち、図11、12に示すように、強度の小さいメッシュの床パネル70を取り外し、その位置にコンクリートが充填され強度を高めた大きい高剛性架台6が取付けられている。高剛性架台6と高剛性架台6を受ける根太34との間には、高剛性架台6の荷重を根太34に直接伝達する荷重伝達部7が設けられ、この荷重伝達部7で高剛性架台6と根太34を接合している。
即ち、レベルが調整された架台と支持部材との間に差し込まれたクサビにより、架台調整台で調整された架台の位置が維持される。また、クサビの上下両面には接着剤が塗布されている。
これにより、接着剤で固着されたクサビで架台を支持することとなり、架台の水平方向や鉛直方向の剛性が高くなり、アクセレランスを小さくすることができる。
これにより、架台を広い面積で支持できる。また、下クサビ部材の差し込み量で架台と支持部材の隙間を埋めることができる。
これにより、架台と架台を載置する支持部材の間の隙間が傾斜していても、短クサビの差し込み量を異ならせるだけで架台を適正な位置に接合できる。
請求項4に記載の発明によれば、クサビは、架台の向かい合う2辺にそれぞれ差し込まれている。
これにより、架台と架台を載置する支持部材の接合場所が2辺に特定され、施工が容易となる。
これにより、根太で架台を受ける構成の床に広く活用できる。また、根太方向では、常に下からの施工空間が確保されるため、連続する架台の接合施工が容易となる。
これにより、クリーンルームを汚染しないで、精密機器を載せる架台の剛性を高くし、アクセレランスを小さくできる。
架台10の固定にはグラウト材を使用しないため、グラウト材を充填するための貫通孔はなく、架台10の側面32の4つの角部は架台調整台26との干渉を避けるため切り欠かれ、切欠面12が形成されている。
これにより、架台10を短クサビ部材20の複数の傾斜面20Aの広い面積で支持できる。
このとき、接着剤66には、可塑剤やシロキ酸などのクリーンルームを汚染する物質を含まない接着剤が用いられる。
図3に示すように、架台10は、所定の間隔(例えば600mm)で掛け渡された根太34の間に載置される。このとき、上クサビ部材18の傾斜面18Bが矢印Pの方向に向く方向に上クサビ部材18は固定されている。
なお、短クサビ部材20を差し込む作業は人力で行うため、差し込む力は架台10の重量に比べてはるかに小さい。従って、短クサビ部材20を差し込む作業によって架台10の位置や高さは変化せず、微調整された状態が維持される。
これにより、架台10の要求性能1が満足される。
図7に、従来の無収縮モルタルMを充填した試験装置を示す。
図8に、本実施例のクサビ22で固定した試験装置を示す。
次に、求めたアクセレランスを2回積分し、加えた力に対する変位量を算出した。その変位量の逆数を求め剛性とした。
図9にアクセレランスの測定結果を示す。
アクセレランスは、インパルスハンマーで受けた衝撃により第1架台52に発生する振動数(Hz)毎に異なる値となる。代表値として振動数が100Hzにおけるアクセレランスの測定値を図9に示す。
図10は、図9と同じく、特性Aは従来の無収縮モルタルを充填した場合、特性Bは本発明のクサビを使用した場合、特性Cは比較例であり無収縮モルタルの替わりにエポキシ樹脂を充填した場合の特性を示している。
図10に示す剛性の算出結果から、特性AはY方向に比べX方向の剛性は小さく、Z方向の剛性は大きい傾向を示した。特性BはY方向に比べX方向の剛性はやや大きく、Z方向の剛性はやや小さい傾向を示した。この傾向は、特性Cでも同じである。
特性A、B、C間の傾向を比較すると、X向では、特性Bの剛性が1番高く、特性Bは特性Aより大幅に増大している。特性Cは特性Bの近くまで増大している。
18 長クサビ(上クサビ部材)
20 短クサビ部材(下クサビ部材)
22 クサビ
34 根太(支持部材)
66 接着剤
68 精密機器
Claims (6)
- 精密機器を設置する架台と、
前記架台が載置される支持部材と、
前記架台のレベルを調整する架台調整台と、
前記架台と前記支持部材との間に差し込まれ前記架台調整台で調整された前記架台の位置を維持するクサビと、
前記クサビの上面及び下面に塗布され前記クサビを固着する接着剤と、
を有する床構造。 - 前記クサビは、前記架台の裏面に設けられ、傾斜面を備えた上クサビ部材と、
前記傾斜面と面で接触するクサビ面と、前記支持部材と面で接触する載置面とを備えた下クサビ部材と、
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の床構造。 - 前記上クサビ部材は、前記架台の辺に沿って連続して形成された長クサビとされ、
前記下クサビ部材は、所定の間隔で、前記上クサビ部材が設けられた位置に、複数個が差し込まれている短クサビであることを特徴とする請求項2に記載の床構造。 - 前記クサビは、前記架台の向かい合う2辺に差し込まれたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の床構造。
- 前記架台の向かい合う2辺の方向は、前記架台が載置される、支持部材としての根太の方向であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の床構造。
- 前記接着剤は、クリーンルームを汚染する物質を含まない接着剤とされ、
前記架台は、クリーンルームで使用する精密機器を載せる架台であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の床構造。
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JP2008016818A JP5249594B2 (ja) | 2008-01-28 | 2008-01-28 | 床構造 |
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