JP5246936B2 - 成膜装置 - Google Patents
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- 230000008021 deposition Effects 0.000 title description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 36
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 34
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 31
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 31
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 28
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 24
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 21
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 19
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 claims description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 description 129
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 20
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 13
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 1
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 1
- QFTYSVGGYOXFRQ-UHFFFAOYSA-N dodecane-1,12-diamine Chemical compound NCCCCCCCCCCCCN QFTYSVGGYOXFRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 isocyanatomethyl Chemical group 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920006264 polyurethane film Polymers 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(比較例1)
実施例1とは、ゲートバルブ33が設けられていない成膜装置を用いた点以外は全て同一の装置を用いて同一の手順で下地層及び金属装飾膜をこの順で形成し、金属装飾膜の抵抗値を調べた。
11 真空排気手段
12 混合室
13 シャワープレート
20a、20b 蒸発重合手段
21a、21b 蒸発源容器
22a、22b 加熱手段
24a、24b 供給量制御手段
30 スパッタリング手段
40 保持手段
Claims (3)
- 成膜対象を設置する真空成膜室と、前記真空成膜室中の前記成膜対象にスパッタリング法により膜を形成するスパッタリング手段と、前記真空成膜室中の前記成膜対象に蒸着重合法により膜を形成する蒸着重合手段とを備え、
前記スパッタリング手段は、スパッタリングターゲットが設けられたターゲット室からなり、当該ターゲット室は、前記真空成膜室に可動遮蔽手段を介して接続され、
前記蒸着重合手段は、原料モノマーが封入されている蒸発源容器と、この蒸発源容器に設けられた加熱手段とからなり、当該加熱手段により前記原料モノマーを加熱し蒸発させて得られた蒸発ガスを前記真空成膜室内へ導入して前記成膜対象の表面で蒸着させ重合させて膜を形成するように構成され、
前記真空成膜室と前記蒸発源容器とを接続する原料管にコンダクタンス可変バルブ及び圧力計を設けると共に、当該コンダクタンス可変バルブ及び圧力計には、前記圧力計で測定された成膜中の圧力値が前記コンダクタンス可変バルブの設定された圧力値と等しくなるように前記コンダクタンス可変バルブの開度を制御する制御部を設け、
前記制御部は前記加熱手段にも接続されており、この制御部が、前記コンダクタンス可変バルブの開度が所定値となった場合には、前記加熱手段により原料モノマーの加熱温度を所定値上昇させるように構成されていることを特徴とする成膜装置。 - 前記可動遮蔽手段が、ゲートバルブであることを特徴とする請求項1記載の成膜装置。
- 前記真空成膜室は、複数の成膜対象をそれぞれ保持する保持手段を備え、
前記保持手段は、モーターに接続された第1の回転軸と、前記第1の回転軸が中央部に固定された固定部と、前記固定部に回転自在に取り付けられ、各成膜対象を保持する第2の回転軸と、前記第1の回転軸に固定された第1のギアと、前記第1のギアに嵌合するように前記第2の回転軸に固定され、前記第1のギアとはギア比の異なる第2のギアとを備え、
前記第1の回転軸の回転に伴って第1のギアが回転すると共に、この第1のギアの回転に伴って第2のギアが回転して第2の回転軸が回転して、各成膜対象が、第2の回転軸を軸中心として自転すると共に、第1の回転軸を軸中心として公転するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008267228A JP5246936B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | 成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008267228A JP5246936B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | 成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010095756A JP2010095756A (ja) | 2010-04-30 |
JP5246936B2 true JP5246936B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=42257641
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008267228A Expired - Fee Related JP5246936B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | 成膜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5246936B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6152026B2 (ja) * | 2013-09-24 | 2017-06-21 | テルモ株式会社 | コーティング装置およびステント製造方法 |
CN109825799A (zh) * | 2018-08-23 | 2019-05-31 | 深圳市昊翀珠宝科技有限公司 | 一种首饰真空贵金属溅射设备及工艺 |
CN112981356A (zh) * | 2021-03-16 | 2021-06-18 | 光驰科技(上海)有限公司 | 一种镀膜设备 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6487768A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-31 | Hitachi Ltd | Multifunction vacuum plating device |
JPH01270595A (ja) * | 1988-04-19 | 1989-10-27 | Hikari Gijutsu Kenkyu Kaihatsu Kk | 気体原料供給装置 |
JPH03219075A (ja) * | 1990-01-23 | 1991-09-26 | Shin Meiwa Ind Co Ltd | スパッタリング装置のターゲット出入装置 |
JPH06122962A (ja) * | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Shincron:Kk | 物体の表面処理方法 |
JP3458450B2 (ja) * | 1994-04-26 | 2003-10-20 | 三菱化学株式会社 | スパッタリング方法 |
JP4283910B2 (ja) * | 1998-07-07 | 2009-06-24 | 株式会社アルバック | 半導体製造装置およびポリイミド膜の形成方法 |
JP4365702B2 (ja) * | 2004-03-15 | 2009-11-18 | 新明和工業株式会社 | 真空成膜装置 |
-
2008
- 2008-10-16 JP JP2008267228A patent/JP5246936B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010095756A (ja) | 2010-04-30 |
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