JP6152026B2 - コーティング装置およびステント製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、コーティングを施そうとする金属製のワークに、蒸着することでポリマーをコーティングするためのコーティング装置およびワークであるステントを製造するステント製造方法に関する。

蒸着プロセスによってコーティングしようとするワイヤ物品をコーティングする装置が、特許文献１に提案されている。特許文献１の図２、図３に示すように、このコーティング装置は、円筒のコーティングチャンバ（１４）を有しており、このコーティングチャンバの中には、回転駆動される円筒の可動セルタンブルコータ（１１）が配置されている。
この可動セルタンブルコータとコーティングチャンバの間には、複数の円筒でなり、内部にワークであるワイヤ部品を多数一緒に充填収容するための可動部分セル（１２）が配置されており、この可動部分セル（１２）は多数の穴を有している。この可動セルタンブルコータ（１１）と共に複数の可動部分セル（１２）が、コーティングチャンバ（１４）内で回転するようになっている。

コーティングチャンバ（１４）内で気化したパリレン（パリレン：日本パリレン合同会社の登録商標）は、昇温によりパリレンモノマー蒸気となり、このパリレンモノマー蒸気は、コーティングチャンバ（１４）内の真空条件下で導入され、可動部分セル（１２）の穴を通過して可動部分セル内のワイヤ部品に触れる。これにより、ワイヤ部品には、蒸着プロセスによってポリマーをコーティングできるようになっている。

特許第４９８７２０４号公報

ところが、上述した特許文献１に記載の装置では、各可動部分セル内には多数のワイヤ部品が密着状態で充填されているので、ワークである多数のワイヤ部品は、互いに位置を変えながら、常にワークどうしで接触していて、個々のワイヤ部品の外面が、パリレンモノマー蒸気に確実に暴露されない。このため、各ワイヤ部品に対するパリレンのポリマーのコーティングが確実に行えないことがある。
しかも、各可動部分セルをコーティングチャンバの内部で回転移動させるので、可動部分セル内に充填されている各ワイヤ部品が相互に衝突する。このため、各ワイヤ部品からポリマー被膜が剥がれてしまうおそれがある。このため、ワイヤ部品に対するポリマーのコーティング処理の効率を上げることができない。

そこで、本発明は、個々のワークの外面が確実に蒸着気体に露出されるようにして、しかもワークからパリレンのようなポリマー被膜の剥がれを無くして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができるコーティング装置と、ワークであるステントにパリレンのようなポリマー被膜を形成してポリマー被膜の剥がれを無くして、ステントのコーティング処理の効率を上げることができるステント製造方法を提供することを目的とする。

本発明のコーティング装置は、ワークをチャンバ内に収容して前記チャンバ内にモノマーガスを通すことで、モノマーの重合によりできるポリマーを前記ワークに蒸着してコーティングするコーティング装置であって、前記チャンバ内には、複数個の前記ワークを保持するワーク保持装置が配置されており、前記ワーク保持装置は、前記チャンバ内で回転可能に配置されている回転部と、前記回転部の回転中心よりも離れた箇所に、相互に間隔をおいて設けられている複数のワーク支持体とを備えており、前記回転部は、第１回転体と、該第１回転体と対向して配置された第２回転体とを有しており、前記第１回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第２回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第１回転体の前記平面と前記第２回転体の前記平面は、互いに反対方向に向いている面であり、前記各ワーク支持体が前記ワークを保持した状態において、前記ワーク同士の間には隙間を形成する構成としたことを特徴とする。
上記構成によれば、回転部の回転中心よりも離れた箇所に、相互に間隔をおいて設けられている複数のワーク支持体を有している。そして、前記各ワーク支持体が前記ワークを保持した状態において、前記ワーク同士の間には隙間を形成する構成とされている。
このため、チャンバ内にモノマーガスを通し、回転部をチャンバ内で回転させることにより、モノマーが重合してできるポリマーを個々のワークの外面に均一かつ確実にモノマーガスが触れることが可能とされる。特に、ワーク同士が重なりあったり、互いに衝突したりすることが無いので、ワークからポリマー被膜の剥がれを無くして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

上記構成によれば、回転部の第１回転体と第２回転体とは、対向して配置されているので、前記回転部が１つの回転体を有する場合に比べて、該回転部が回転する際には、バランス良く回転させることができる。しかも、前記回転部に設けることができる前記ワーク支持体の数を増やすことができるので、保持できる前記ワークの数を増やして、これらワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

上記構成によれば、第１回転体においてワーク支持体が取り付けられている面と、第２回転体においてワーク支持体が取り付けられている面が、反対方向の面である。このため、駆動機構部は第１回転体と第２回転体の間に容易に設けることができる。

また、本発明のステント製造方法は、複数のワークであるステントをチャンバ内に収容して前記チャンバ内にモノマーガスを通すことで、前記ステントにポリマーをコーティングするステント製造方法であって、前記チャンバ内に配置されているワーク保持装置の回転部には複数のワーク支持体が設けられており、前記複数のワークをそれぞれ前記チャンバ内に入れて前記ステントを前記ワーク支持体に、前記複数のワークどうしの間に隙間をつくるように保持し、前記回転部は、第１回転体と、該第１回転体と対向して配置された第２回転体とを有しており、前記第１回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第２回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第１回転体の前記平面と前記第２回転体の前記平面は、互いに反対方向に向いている面であり、前記回転部を前記チャンバ内で回転しながら、前記チャンバ内に前記モノマーガスを通すことで、モノマーの重合によりできるポリマーを前記ステントに蒸着してコーティングすることを特徴とする。
上記構成によれば、回転部に固定されているワーク支持体を各ステント内に通すことで各ステントはワーク支持体に保持し、そしてチャンバ内にモノマーガスを通し、回転部をチャンバ内で回転させることにより、モノマーの重合によりできるポリマーがステントに均一に被膜を形成することができる。ワーク支持体は、相互に間隔をおいて回転部に固定されており、ワーク支持体を各ステント内に通すことで各ステントはワーク支持体に保持しているので、各ステントにはモノマーガスが行き渡り、回転部が回転してもステント同士は衝突することが無い。これにより、ステントからポリマー被膜の剥がれを無くして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

本発明は、個々のワークの外面が確実に蒸着気体に露出されるようにして、しかもワークからパリレンのようなポリマー被膜の剥がれを無くして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

本発明のコーティング装置の好ましい実施形態を示す図。 図１に示すコーティング装置のチャンバの好ましい構造例を示す平面図。 図２に示すチャンバの容器内に配置されているワーク保持装置を示す図。 ワークであるステントの形状例等を示す図。

以下に、本発明の好ましい実施形態を、図面を参照して詳しく説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
図１は、本発明のコーティング装置の好ましい実施形態を示す図である。
図１に示すコーティング装置１は、コーティング処理の対象物（以下では、ワークという）である金属製のステントの面に対して、蒸着プロセスによりパリレンのモノマーガスを供給することにより、モノマーが重合したパリレンを蒸着させる装置である。

このパリレンは、日本パリレン合同会社の登録商標であり、パラキシリレン系ポリマーを意味し、ベンゼン環がＣＨ_２を介してつながった構造をもっている。重合したパラキシリレンは分子量が５０万にもおよぶ非常に安定した結晶性ポリマーである。パリレンには幾つかの種類があるが、本発明の実施形態では、パリレンとしては、特に好ましくはパリレンＣが用いられる。このパリレンＣを用いる理由は、パリレンＣはポリマーとして、より安定している物質であるためである。パリレンＮはパリレンの基本となり、パリレンＣは、パリレンＮのベンゼン環の水素１つを塩素（Ｃｌ）で置き換えた構造を持っており、電気特性と物理特性のバランスが良く、かつ高いバリア性を持っている。
本発明の実施形態においては、以下の説明では、パリレンＣを単にパリレンという。

図１に示すコーティング装置１は、処理炉２と、チャンバ３と、チラートラップ４と、真空ポンプ５と、制御部１００を有している。処理炉２とチャンバ３は、配管７により接続され、チャンバ３とチラートラップ４は、配管８により接続されている。チャンバ３の内部は、配管８とチラートラップ４を介して、真空引きされるようになっている。制御部１００は、バルブ８ａにより配管８を開閉制御できるようになっている。
図１に示す処理炉２は、気化炉と熱分解室を有している。処理炉２の気化炉は、パリレンの原料ポリマーを、好ましくは５０℃から１２５℃の温度で加熱して気化させる。処理炉２の熱分解室は、気化させたパリレンの原料ポリマーを、例えば６８０℃に加熱させて分解させることで、反応性に富んだパリレンのモノマーガスを生成させることができるようになっている。

図１に示す処理炉２とこれに続くチャンバ３等の図示の系全体は真空であり、チャンバ３には真空計６が設けられている。この真空のチャンバ３内には、処理炉２から配管７を介して上述したパリレンのモノマーガスが導入される。このパリレンのモノマーガスは、チャンバ３内において、ワークであるステントの表面で重合させることで、分子量が５０万にも及ぶ高分子のポリパラキシリレンの被膜、すなわちパリレンのポリマー被膜を、ステントの表面に形成させることができるようになっている。

図１に示す処理炉２は、制御部１００の制御により、昇温される。パリレン（パリレンＣ）は原料ポリマーパウダーとして、より安定している。好ましくは５０℃から１２５℃の温度に保持されたパリレンの原料ポリマーパウダーを、処理炉３の投入口から投入すると、原料ポリマーパウダーは、処理炉２の熱分解室で昇温することにより、少しずつ気化されて、好ましくは６８０℃で反応性に富んだパリレンのモノマーガスに分解される。

このモノマーガスに分解されたパリレンは、配管７を介して真空のチャンバ３内に送られるようになっている。チャンバ３内の雰囲気の真空度は、真空計６によりモニタしており、その真空度の情報は制御部１００に送られる。
後で詳しく説明するが、このチャンバ３内には、複数個のステントが収容されている。チャンバ３内では、パリレンのモノマーガスが通過することで、パリレンのモノマーガスを、常温でポリマーに変えて、各ステントには、パリレンのポリマー被膜を堆積させることができるようになっている。

図１に示すチラートラップ４は、チャンバ３と真空ポンプ５の間に配置されている。このチラートラップ４は、チャンバ３内で、ステントにポリマー被膜として堆積せずに通過したパリレンのモノマーガスを堆積させることで捕獲する。これにより、チラートラップ４は、ポリマー被膜として堆積しなかったパリレンのモノマーガスが、真空ポンプ５側に行かないように捕獲することで、真空ポンプ５を保護する。

次に、図１に示すチャンバ３の好ましい構造例を、図２と図３を参照して、説明する。
図２は、図１に示すチャンバ３の構造例を示している。図３は、図２に示すチャンバ３の容器１１内に配置されているワーク保持装置２０の構造例を示す図である。
図２に示すように、チャンバ３は、容器１１と、整流板１２，１３と、蓋部材１４と、ワーク保持装置２０を有している。

図１と図２に示すように、容器１１は、底部１５を有する円筒型の部材であり、容器１１は、上端部の円形の開口部１６を有している。この開口部１６は、蓋部材１４により着脱可能に気密に閉じることで、容器１１内は真空状態に保持できる。
図１に示すように、この容器１１は、上流側の開口部１１Ａと下流側の開口部１１Ｂを有している。上流側の開口部１１Ａには配管７が接続され、下流側の開口部１１Ｂには配管８が接続されている。

図３に示すワーク保持装置２０は、図２に示す矢印Ｇ方向から見た様子を示している。図２と図３に示すワーク保持装置２０は、回転部６０を有している。この回転部６０は、容器１１内に収容されている。この回転部６０は、複数の回転体を有していて、本実施形態では、例えば、第１回転体２１と、第２回転体２２を有している。
さらに、図３に示すように、ワーク保持装置２０は、カバー部材２３と、カバー部材２４と、駆動モータ２５と、駆動機構部２６と、減速機２７を有している。図３に示すように、カバー部材２３とカバー部材２４と駆動機構部２６は、チャンバ３内に配置されているが、駆動モータ２５と減速機２７は、チャンバ３の外側に配置されている。カバー部材２４は、回転部６０とカバー部材２３と駆動機構部２６をチャンバ３の底部１５に対して支える支柱でもある。

図２と図３に示すように、カバー部材２３は、例えば断面円形の筒部材であり、第１回転体２１は、カバー部材２３の一端部側に位置され、第２回転体２２は、カバー部材２３の他端部側に位置されている。
第１回転体２１と第２回転体２２は、共に同じ大きさを有する、例えばＳＵＳ製の円盤である。第１回転体２１の外面２１Ａには、第１回転体２１外面に複数本のワーク支持体３０が外面２１Ａに対して垂直に、かつ、相互に間隔をおいて突出するように固定されている。同様にして、第２回転体２２の外面２２Ａには、第２回転体２２の外面２２Ａに対して垂直に多数のワーク支持体３０が相互に間隔をおいて突出するように固定されている。
第１回転体２１の外面２１Ａと第２回転体２２の外面２２Ａは、反対側に向いている面であり、それぞれの複数本のワーク支持体３０は、互いに反対方向に向けて水平に突出している。このワーク支持体３０は、好ましくは断面円形のピンあるいは芯金である。

このように、回転部６０の第１回転体２１と第２回転体２２は、対向して配置されているので、回転部が１つの回転体を有する場合に比べて、回転部６０が回転する際には、バランス良く回転させることができる。第１回転体２１と第２回転体２２を備えることで、回転部６０に設けることができるワーク支持体３０の数を増やすことができることから、保持できるワークの数を増やして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

また、第１回転体２１においてワーク支持体３０が取り付けられている面２１Ａと、第２回転体２２においてワーク支持体３０が取り付けられている面２２Ａが、反対方向の面であるので、複数のワーク支持体３０の存在に影響を受けずに、駆動機構部２６は第１回転体２１と第２回転体２２の間に容易に設けることができる。

図２と図３に示すように、複数本のワーク支持体３０には、それぞれワークとしてのステントＷを着脱可能に取り付けることができる。各ワーク支持体３０は、各回転体の外面にどのように立設されてもよいが、生産効率を考慮すると、好ましくは、第１回転体２１と第２回転体２２の各外面において、当該外面の面積を埋め尽くすように多数設けられている。
例えば、ワーク支持体３０が棒体である場合（その断面形状は円形に限らない。）、ワーク支持体３０の直径は、挿通されるステントＷの内径に比べてかなり小さくされており、挿通時の作業に支障が出るほど互いの直径の値が近くなく、かつ挿通後（装着後）は各回転体の動きにより容易に脱落しない程度にステントＷが緩く拘束されるようにされている。
また、各回転体の外面において、ワーク支持体３０はできるだけ多く立設されているが、互いの間隔はワークであるステントＷの直径を超える寸法とされることで、回転体が動きながら後述する蒸着工程を実行する際に、隣り合うステントＷが触れあわないようにされている。

図３には、駆動機構部２６を示している。この駆動機構部２６は、回転軸３３，３４と、歯車３５，３６を有している。回転軸３３は、第１回転体２１と第２回転体２２の回転中心ＣＬに沿って水平方向に配置されており、回転軸３３はカバー部材２３により覆われている。回転軸３３の一端部は、第１回転体２１の中心位置に固定され、回転軸３３の他端部は、第２回転体２２の中心位置に固定されている。これにより、回転軸３３と第１回転体２１と第２回転体２２は、カバー部材２３に支えられて、回転中心ＣＬを中心にして回転可能になっている。

図３に示す回転軸３４は、垂直方向に配置されており、回転軸３４はカバー部材２４により覆われている。歯車３５は回転軸３３の中間位置に固定され、歯車３６は回転軸３４の上端部に固定されている。歯車３５と歯車３６が噛み合っており、回転軸３４の回転は、歯車３５，３６により、回転軸３３の回転に変換できる。
このように、チャンバ３内では、駆動機構部２６の回転軸３３，３４と歯車３５，３６は、カバー部材２３，２４により覆われているので、回転軸３３，３４と歯車３５，３６にはパリレンのポリマー被膜が形成されてしまうことが無いので、駆動機構部２６の動作に影響がでない。

回転軸３４の下端部は、減速機２７の出力軸３７に連結されている。駆動モータ２５の出力軸は減速機２７に連結されている。制御部１００が駆動モータ２５に指令を与えることにより、駆動モータ２５の出力軸の回転は、減速機２７により減速されたのちに、減速機２７の出力軸３７を介して回転軸３４の回転になる。回転軸３４の回転は、歯車３５，３６を介して回転軸３３の回転に変えることができる。これにより、回転部６０の第１回転体２１と第２回転体２２は、回転中心ＣＬを中心にして、所定の回転数で矢印Ｒ方向に連続回転させることができる。

図２に示すように、整流板１２は、容器１１の上流側の開口部１１Ａの付近において、上流側の開口部１１Ａと、ワーク保持装置２０との間に配置されている。もう１つの整流板１３は、容器１１の下流側の開口部１１Ｂの付近において、下流側の開口部１１Ｂと、ワーク保持装置２０との間に配置されている。すなわち、整流板１２は、パリレンのモノマーガスの流れの上流側に配置され、整流板１３は、パリレンのモノマーガスの流れの下流側に配置されている。
図２に示すように、これらの整流板１２，１３は、それぞれ例えばパンチングメタル板であり、複数個の貫通穴Ｈを有している。整流板１２，１３の複数の貫通穴Ｈの形成領域は、好ましくは、第１回転体２１と第２回転体２２に装着されている複数個のステントＷに対してパリレンのモノマーガスを集中的に案内しながら効率良く流すことができるように設定されている。

これにより、図２に例示するように、整流板１２，１３の複数の貫通穴Ｈは、パリレンのモノマーガスの流れを矢印Ｆで示すように作り出して、第１回転体２１と第２回転体２２に装着されている複数個のステントＷに対してパリレンのモノマーガスを集中的に誘導することができる。
そして、このモノマーガスは、複数本のワーク支持体３０が回転体の外面２１Ａに対して垂直に、かつ、相互に間隔をおいて突出するように固定されている支持体に保持されたワークとしてのステントＷの露出された表面に行きわたる。つまり、ワークは互いに重なり合い、密着して、一部の表面を覆うことがないので、パリレンのモノマーガスに対して完全に暴露される。これにより均一なコーティングがむらなく形成される。
図４（Ａ）は、ワークであるステントＷの形状例を示している。このステントＷは、金属パイプを所定のデザイン（例えば図３のデザイン）に沿ってレーザーカットし、研磨・焼鈍することで形成されている。ワイヤＤのＣ−Ｃ線における断面形状は、例えば矩形形状に形成されている。図４（Ｂ）に例示するのは、図４（Ａ）においてワイヤＤの面にパリレンのポリマー５０がコーティングされている例を示している。図４（Ｃ）は、パリレンのポリマー５０の上にさらに薬剤８０が形成されている例を示している。

次に、上述したコーティング装置１により、ワークであるステントＷに対して、蒸着プロセスにより、モノマーの重合によりできるパリレンのポリマー５０をコーティングするステント製造方法について説明する。
図１に示すように、コーティング装置１の処理炉２は、配管７を用いてチャンバ３の容器１１の上流側の開口部１１Ａを介して容器１１内に接続されている。容器１１は蓋部材１４により閉じている。チャンバ３の容器１１内は、容器１１の下流側の開口部１１Ｂと配管８を介して、チラートラップ４に接続されている。

容器１１の蓋部材１４を開けて、ワーク保持装置２０の第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０と、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０に、それぞれ図２と図３に示すように、ワークであるステントＷを複数個装着する。すなわち、図３に拡大して示すように、円筒状のステントＷの内部の穴部分にワーク支持体３０自体を通すことにより、各ワーク支持体３０には１つのステントＷを着脱可能に簡単に保持させることができる。

例えば、第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０と、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０には、それぞれ１６８個のステントＷを装着することができる。このように各ワーク支持体３０にステントＷを保持させると、図３に示すように、ワーク支持体３０は、ステントＷの内面に対してわずかに接触しているだけである。すなわち、ワーク支持体３０の直径は、ステントＷの内径に比べてかなり小さいので、ワーク支持体３０がステントＷの内面に接触する面積は非常に小さい。

これにより、多数本のステントＷは、第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０と第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０を用いて、チャンバ３内に容易にしかも確実に保持させることができ、複数個（多数個）のステントＷの取付け保持作業が容易にできる。しかも、各ワーク支持体３０は、相互に間隔を離して第１回転体２１と第２回転体２２に対して固定されているので、各ステントＷをワーク支持体３０に保持した状態では、複数個のステントＷ同士が衝突することが無く、各ステントＷは相互に独立して互いに間隔を有するように保持することができる。
その後、図１に示すように、蓋部材１４を用いて容器１１の上端部の円形の開口部１６を確実に密閉して閉じることで、チャンバ３内が気密に保たれる。

次に、図１の制御部１００が、真空ポンプ５を作動させることで、チャンバ３内の雰囲気を、チラートラップ４を介して真空引きする。この真空引きをすることにより、チャンバ３内は真空状態に保持する。なお、本実施形態では、制御部１００は真空度をフィードバック制御することまではしていないが、制御部１００によって真空度をフィードバック制御してもよい。このような制御を行うと、圧力を調整して、常に一定量のパリレンモノマーが流れるようにすることができる。
ここで、チャンバ３の真空度は、真空計６により検出しており、真空度の検出値は、真空計６から制御部１００に送られることで、制御部１００は真空度を監視している。
図３に示すように、制御部１００が駆動モータ２５に指令を与えることにより、駆動モータ２５の出力軸の回転は、減速機２７により減速されたのちに、回転軸３４を回転させて、歯車３５，３６を介して回転軸３３の回転に変える。これにより、チャンバ３内では、第１回転体２１と第２回転体２２と回転軸３３は、回転中心ＣＬを中心にして、所定の回転数で矢印Ｒ方向に連続回転される。

図１に示す処理炉２は、制御部１００の制御により、昇温される。好ましくは５０℃から１２５℃の温度に保持されたパリレンのポリマーパウダーが、処理炉３の投入口から投入されると、処理炉２の熱分解室に導かれ、熱分解室で例えば６８０℃に加熱されて分解されることで、反応性に富んだパリレンのモノマーガスを生成させる。

上述したように、チャンバ３内を、チラートラップ４を介して真空引きすることにより、チャンバ３内を真空状態に保持しているので、図２に示すように、パリレンのモノマーガスは、配管７と容器１１の上流側の開口部１１Ａを介してチャンバ３内に供給される。

図２と図３に示す第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷと、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷは、回転中心ＣＬを中心にして、所定の回転数で矢印Ｒ方向に連続回転される。チャンバ３内に送られたパリレンのモノマーガスは、上流側の整流板１２の複数個の貫通穴Ｈを通過して、矢印Ｆで示すように第１回転体２１の複数個のステントＷと第２回転体２２の複数個のステントＷを通過する。そして、パリレンのモノマーガスは、矢印Ｆで示すように、下流側の整流板１３の複数個の貫通穴Ｈを通過して、容器１１の下流側の開口部１１Ｂを経て配管８側に引かれる。

これにより、チャンバ３内にはパリレンのモノマーガスが、第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷと、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷに対して集中的に案内される。このパリレンのモノマーガスは重合して、チャンバ３内において、常温で、パリレンのポリマー５０に変えることができ、複数個のステントＷの全面には、パリレンのポリマー５０が、蒸着されて均一に堆積される。すなわち、図４（Ａ）から図４（Ｂ）に示すように、ステントＷのワイヤＤの表面Ｋ１、裏面Ｋ２、側面Ｋ３、Ｋ４には、それぞれパリレンのポリマー５０をコーティングすることができる。しかも、第１回転体２１と第２回転体２２は回転中心ＣＬを中心にして連続回転していることから、複数個のステントＷには、均一なコーティング膜を同時に形成できる。このことから、大量のステントＷの同時製造が可能である。

上述したように、パリレンのモノマーガスは、矢印Ｆで示すようにチャンバ３内を通過するが、上流側の整流板１２と下流側の整流板１３によりパリレンのモノマーガスが、第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷと、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷに対して集中的に案内できるように、パリレンのモノマーガスの流れる方向を規制している。
従って、パリレンのモノマーガスが、図２と図３に示すカバー部材２３，２４側に流れるのを防ぐことができる。このため、カバー部材２３，２４にパリレンのモノマーガスが通ってコーティング膜が形成されてしまうことを、できる限り防いでいる。しかも、駆動機構部２６の回転軸３３，３４と、歯車３５，３６は、カバー部材２３，２４により覆われているので、コーティング膜が形成されてしまうことを防いでいる。

その後の処理としては、別の処理装置を用いて、図４（Ｂ）に示すように、ワイヤＤの表面Ｋ１にコーティングされたパリレンのポリマー５０の上には、図４（Ｃ）に示すように、所定の薬剤（ポリマーを含む）８０を塗布させる。
この場合、例えば、該薬剤に徐放性を加えるために、ＰＬＡ（Ｐｏｌｙ ｌａｃｔｉｃ ａｃｉｄ）と免疫抑制剤（バイオリズムＡ９）を調整した薬剤等を塗布することができる。

この薬剤８０は、このステントＷを生体内に配置させた場合に、ステントＷと生体の部位との密着性、例えば血管の内壁との密着性を高めるために、ステントＷに対した予め塗布させる。図４（Ｂ）に示すように、ワイヤＤの表面Ｋ１（ステントＷの表面側）にコーティングされたパリレンのポリマー５０は、この所定の薬剤８０を塗布した際に、この薬剤８０を保持させるために形成されている。ステントＷに薬剤８０を直接保持させるのに比べて、ポリマー５０と薬剤８０は樹脂同士であるので親和性を上げることができる。

ところで、図３に拡大して示すように、ワーク支持体３０の直径は、ステントＷの内径に比べてかなり小さいので、ワーク支持体３０がステントＷの内面に接触する面積は非常に小さい。このため、各ワーク支持体３０にステントＷを装着すると、ワーク支持体３０は、ステントＷの内面に対してわずかに接触するだけである。しかも、各ワーク支持体３０は相互に間隔をおいて平行に設けられているので、各ワーク支持体３０に保持された各ステントＷ同士が当たることは無い。従って、第１回転体２１と第２回転体２２が回転中心ＣＬに沿って回転しても、ステントＷにコーティングされたパリレンのポリマー５０が、ステントＷから剥がれることが無い。

図２と図３に示すように、駆動モータ２５と減速機２７は、チャンバ３の外側に配置されていることにより、パリレンのポリマー５０が駆動モータ２５と減速機２７に付着するのを防ぐことができる。また、駆動機構部２６の回転軸３３，３４と歯車３５，３６は、カバー部材２３，２４により覆われており、チャンバ３内においてパリレンのポリマーが付着することが無いので、駆動機構部２６の動作に影響がでない。

図２と図３に示すように、回転部６０は、第１回転体２１と第２回転体２２を有しており、第１回転体２１と第２回転体２２は回転軸３３の一端部と他端部に固定されている。このため、回転部６０の第１回転体２１と第２回転体２２が回転軸３３の一端部と他端部に固定されている構造は、回転軸の片側に１つの回転体を固定する構造に比べて、回転部６０が回転中心ＣＬに関して矢印Ｒ方向に回転する際に、左右の回転バランスを取りながら、ぶれることなく安定して回転することができる。

このため、回転部６０の第１回転体２１と第２回転体２２が回転軸３３の一端部と他端部に固定されている構造であるので、第１回転体２１の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷと、第２回転体２２の複数本のワーク支持体３０に保持された複数個のステントＷには、回転部６０の回転に伴う振動が伝わらない。従って、各ステントＷがワーク支持体３０に対して位置ずれを起こしたり、ワーク支持体３０から外れてしまうことが無い。このため、複数個のステントＷを安定して回転させながら、コーティング作業を行うことができる。
反応性の高いパリレンのモノマーガスは、被コーティング材料（対象物、ワーク）であるステントＷを収容した真空のチャンバ３内に導入して、このパリレンのモノマーガスがステントＷの表面に接したところで重合するので、図４（Ｂ）に例示するように、パリレンのポリマー５０をステントＷの表面に安定してコーティングできる。

これにより、パリレンのポリマー５０は、ステントＷの隅々まで入り込むことから、ピンホールの無いパリレンのポリマー５０をステントＷの表面に確実にコーティングすることができる。パリレンのポリマー５０は、薄い膜ながら微細な隙間に入り込むことから、ステントＷのワイヤＤの表面Ｋ１にコーティングされたパリレンのポリマー５０は、この所定の薬剤８０を塗布した際の密着力をより確実に上げることができる。

本発明の実施形態のコーティング装置１は、ワーク（例えばステントＷ）をチャンバ３内に収容してチャンバ３内にモノマーガスを通すことで、モノマーが重合してできるポリマーを蒸着によりワークにコーティングするコーティング装置である。チャンバ３内には、複数個のワークを保持するワーク保持装置２０が配置されており、ワーク保持装置２０は、チャンバ３内で回転可能に配置されている回転部６０と、回転部６０に相互に間隔をおいて設けられ、各ワーク内に通すことで各ワークを保持する複数のワーク支持体３０と、を備える。
これにより、回転部に固定されているワーク支持体３０を各ワーク内に通すことで各ワークはワーク支持体３０に保持し、そしてチャンバ３内にモノマーガスを通し、回転部をチャンバ３内で回転させることにより、ポリマー被膜がワークに均一に形成することができる。ワーク支持体３０は、相互に間隔をおいて回転部６０に固定されており、ワーク支持体３０を各ワーク内に通すことで各ワークはワーク支持体３０に保持しているので、各ワークにはモノマーガスが行き渡り、回転部６０が回転してもワーク同士は衝突することが無い。これにより、ワークからポリマー被膜の剥がれを無くして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

回転部６０は、第１回転体２１と第１回転体２１と対向して配置された第２回転体２２を有しており、第１回転体２１と第２回転体２２のそれぞれには、複数のワーク支持体３０が固定されている。これにより、回転部６０の第１回転体２１と第２回転体２２は、対向して配置されているので、回転部が１つの回転体を有する場合に比べて、回転部６０が回転する際には、バランス良く回転させることができる。回転部６０に設けることができるワーク支持体３０の数を増やすことができることから、保持できるワークの数を増やして、ワークのコーティング処理の効率を上げることができる。

第１回転体２１の面２１Ａには、複数のワーク支持体３０が相互に間隔をおいて固定され、第２回転体２２の面２２Ａには、複数のワーク支持体３０が相互に間隔をおいて固定され、第１回転体２１の面２１Ａと第２回転体２２の面２２Ａは、互いに反対方向に向いている面であり、第１回転体２１と第２回転体２２の間には、第１回転体２１と第２回転体２２を回転させるための駆動機構部２６が設けられている。これにより、第１回転体２１においてワーク支持体３０が取り付けられている面２１Ａと、第２回転体２２においてワーク支持体３０が取り付けられている面２２Ａが、反対方向の面であるので、駆動機構部２６は第１回転体２１と第２回転体２２の間に容易に設けることができる。

チャンバ３内には、モノマーガスを整流して回転部６０に保持された複数のワークに案内するための整流板１２，１３が配置されている。これにより、整流板がチャンバ内に配置されているので、モノマーガスは回転部に保持されている複数のワークに確実に案内することができる。

整流板１２，１３は、チャンバ３内において、モノマーガスが流れる上流側と下流側にそれぞれ配置されている。これにより、整流板は、チャンバ内でモノマーガスの上流側と下流側に配置されているので、モノマーガスは回転部に保持されている複数のワークに確実に案内した後に下流側において排出することができる。

回転部６０を回転駆動させる駆動モータ２５を有しており、駆動モータ２５はチャンバの外側に配置されている。これにより、駆動モータがチャンバ内に配置されていないので、チャンバ内においてワークに送られるモノマーガスの流れを阻害せず、駆動モータにモノマーガスが触れるのを防ぐことができる。

ワークは、医療用のステントＷである。これにより、医療用のステントＷからのポリマー５０の剥がれを無くすことができるので、ステントの製造効率を上げることができる。

また、本発明の実施形態のステント製造方法は、ワークであるステントをチャンバ内に収容してチャンバ内にモノマーガスを通すことで、ステントにポリマーをコーティングするステント製造方法であって、チャンバ内に配置されているワーク保持装置の回転部には複数のワーク支持体が設けられており、複数のワーク支持体をそれぞれステント内に入れてステントをワーク支持体に保持し、回転部をチャンバ内で回転しながら、チャンバ内にモノマーガスを通すことで、ステントに、モノマーが重合してできるポリマー被膜を蒸着によりコーティングする。
これにより、回転部に固定されているワーク支持体を各ステント内に通すことで各ステントはワーク支持体に保持し、そしてチャンバ内にモノマーガスを通し、回転部をチャンバ内で回転させることにより、ポリマー被膜がステントに均一に形成することができる。ワーク支持体３０は、相互に間隔をおいて回転部６０に固定されており、ワーク支持体３０を各ステントＷ内に通すことで各ステントＷはワーク支持体３０に保持しているので、各ステントＷにはモノマーガスが行き渡り、回転部６０が回転してもステントＷ同士は衝突することが無い。これにより、ステントＷからポリマーの剥がれを無くして、ワークＷのコーティング処理の効率を上げることができる。

本発明は、上記実施形態に限定されず、特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更を行うことができる。上記実施形態の各構成は、その一部を省略したり、上記とは異なるように任意に組みあわせることができる。
例えば、ワークとしては、医療用のステントＷを例に挙げているが、これに限らず、ポリマーのコーティングを施す必要のあるワークであれば、ワークの種類は特に限定されない。

１・・・コーティング装置、２・・・加熱炉、３・・・チャンバ、４・・・チラートラップ、５・・・真空ポンプ、２０・・・ワーク保持装置、２１・・・回転部の第１回転体、２２・・・回転部の第２回転体、２５・・・駆動モータ、２６・・・駆動機構部、３０・・ワーク支持体、３３・・・回転軸、３４・・・回転軸、５０・・・ポリマー、６０・・・回転部、１００・・・制御部、Ｗ・・・ステント（ワーク）

Claims (2)

1. ワークをチャンバ内に収容して前記チャンバ内にモノマーガスを通すことで、モノマーの重合によりできるポリマーを前記ワークに蒸着してコーティングするコーティング装置であって、
   前記チャンバ内には、複数個の前記ワークを保持するワーク保持装置が配置されており、
   前記ワーク保持装置は、
   前記チャンバ内で回転可能に配置されている回転部と、
   前記回転部の回転中心よりも離れた箇所に、相互に間隔をおいて設けられている複数のワーク支持体とを備えており、
   前記回転部は、第１回転体と、該第１回転体と対向して配置された第２回転体とを有しており、
   前記第１回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第２回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、
   前記第１回転体の前記平面と前記第２回転体の前記平面は、互いに反対方向に向いている面であり、
   前記各ワーク支持体が前記ワークを保持した状態において、前記ワーク同士の間には隙間を形成する構成とした
   ことを特徴とするコーティング装置。
2. 複数のワークであるステントをチャンバ内に収容して前記チャンバ内にモノマーガスを通すことで、前記ステントにポリマーをコーティングするステント製造方法であって、
   前記チャンバ内に配置されているワーク保持装置の回転部には複数のワーク支持体が設けられており、前記複数のワークをそれぞれ前記チャンバ内に入れて前記ステントを前記ワーク支持体に、前記複数のワークどうしの間に隙間をつくるように保持し、
   前記回転部は、第１回転体と、該第１回転体と対向して配置された第２回転体とを有しており、
   前記第１回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、前記第２回転体の一つの平面には、該平面に対して垂直に起立するように前記複数のワーク支持体が相互に間隔をおいて固定され、
   前記第１回転体の前記平面と前記第２回転体の前記平面は、互いに反対方向に向いている面であり、
   前記回転部を前記チャンバ内で回転しながら、前記チャンバ内に前記モノマーガスを通すことで、モノマーの重合によりできるポリマーを前記ステントに蒸着してコーティングすることを特徴とするステント製造方法。

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