JPS61205949A - 電子写真用感光体製造装置 - Google Patents
電子写真用感光体製造装置Info
- Publication number
- JPS61205949A JPS61205949A JP4588285A JP4588285A JPS61205949A JP S61205949 A JPS61205949 A JP S61205949A JP 4588285 A JP4588285 A JP 4588285A JP 4588285 A JP4588285 A JP 4588285A JP S61205949 A JPS61205949 A JP S61205949A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discs
- substrate
- axis
- vacuum
- cylindrical
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は、真空蒸着槽内において円筒状電子写真用感光
体基体が嵌着される複数の支持体が、それ自体の軸の周
りにそれぞれ自転運動すると共に、共通の円筒軌道上を
公転運動もする電子写真用感光体製造装置に関する。
体基体が嵌着される複数の支持体が、それ自体の軸の周
りにそれぞれ自転運動すると共に、共通の円筒軌道上を
公転運動もする電子写真用感光体製造装置に関する。
同時に多数の基体上に同一感光層を真空蒸着するための
電子写真用感光体製造装置は、真空槽内に複数の軸を平
行にして配置され支持体を有し、その支持体に基体を嵌
着して蒸着時に自公転運動させることが行われる。第２
図（ａｌ、（ｂｌはその一例を示し、真空槽１の底部２
の上の基盤３に垂直に複数本（図では６本）の支持体４
が回動自在に取り付けられ、図示しない円筒状の基体、
通常はアルミニウム管の複数本がこの支持体上にそれぞ
れ嵌着される。下部にある蒸発源５を加熱して蒸着する
際に１本の支持体に一つの蒸発源を配する場合のように
支持体４を自転させるだけでは、支持体４の上下の位置
によって生ずる蒸着膜の厚さ。 品質にばらつきが大きいので、基盤３をその中心軸の周
りに回転させることにより支持体は軌道面６の上を公転
運動をさせて、生産効率の向上と各支持体上でつくられ
る感光体の品質のばらつきの低減が図られる。 ところが、このような自公転方式は生産効率の向上には
寄与したが、支持体の公転運動のために、支持体の蒸発
源に対する位置が刻々と変化し、蒸発源からの原料の蒸
気が基体に効率よく付着しない、すなわち、支持体の公
転により原料の蒸気が支持体と支持体との間を通り抜け
て炉壁等、基体以外の場所にかなりの量が付着してしま
う、そのため自転のみする支持体の下にそれぞれ蒸発源
を配置する少数生産の場合に比して原料が基体に付着す
る割合、すなわち付着率が小さくなってしまう、支持体
間の間隔を狭くして支持体数を増加させれば付着率は向
上させることができるが、このような電子写真用感光体
基体の支持体の場合、かなり重量がある上、支持体内を
基体加熱用の熱媒体を循環させているため、第２図に示
した軸受部７が支持体４の径に比してかなり大きくなり
、支持体間の間隔を小さくすることがむずかしい、従っ
て通常支持体間の距離は支持体の直径の２倍以上になっ
ている。
電子写真用感光体製造装置は、真空槽内に複数の軸を平
行にして配置され支持体を有し、その支持体に基体を嵌
着して蒸着時に自公転運動させることが行われる。第２
図（ａｌ、（ｂｌはその一例を示し、真空槽１の底部２
の上の基盤３に垂直に複数本（図では６本）の支持体４
が回動自在に取り付けられ、図示しない円筒状の基体、
通常はアルミニウム管の複数本がこの支持体上にそれぞ
れ嵌着される。下部にある蒸発源５を加熱して蒸着する
際に１本の支持体に一つの蒸発源を配する場合のように
支持体４を自転させるだけでは、支持体４の上下の位置
によって生ずる蒸着膜の厚さ。 品質にばらつきが大きいので、基盤３をその中心軸の周
りに回転させることにより支持体は軌道面６の上を公転
運動をさせて、生産効率の向上と各支持体上でつくられ
る感光体の品質のばらつきの低減が図られる。 ところが、このような自公転方式は生産効率の向上には
寄与したが、支持体の公転運動のために、支持体の蒸発
源に対する位置が刻々と変化し、蒸発源からの原料の蒸
気が基体に効率よく付着しない、すなわち、支持体の公
転により原料の蒸気が支持体と支持体との間を通り抜け
て炉壁等、基体以外の場所にかなりの量が付着してしま
う、そのため自転のみする支持体の下にそれぞれ蒸発源
を配置する少数生産の場合に比して原料が基体に付着す
る割合、すなわち付着率が小さくなってしまう、支持体
間の間隔を狭くして支持体数を増加させれば付着率は向
上させることができるが、このような電子写真用感光体
基体の支持体の場合、かなり重量がある上、支持体内を
基体加熱用の熱媒体を循環させているため、第２図に示
した軸受部７が支持体４の径に比してかなり大きくなり
、支持体間の間隔を小さくすることがむずかしい、従っ
て通常支持体間の距離は支持体の直径の２倍以上になっ
ている。
本発明は、上述の欠点を除去して支持体間の品質のばら
つきの小さい従来の自公転方式よりさらに生産性が高く
、しかも原料の付着率の大きい電子写真用感光体製造装
置を提供することを目的とする。
つきの小さい従来の自公転方式よりさらに生産性が高く
、しかも原料の付着率の大きい電子写真用感光体製造装
置を提供することを目的とする。
本発明による電子写真用感光体製造装置は、側壁の両側
の底部とからなる真空蒸着槽を有し、両底部上には両底
部を通る同一軸を中心として同一速度で回転可能な基盤
を備え、側基盤からは前記軸を中心とする円筒面上に交
互に回転基体支持体が延びていることにより上記の目的
を達成する。
の底部とからなる真空蒸着槽を有し、両底部上には両底
部を通る同一軸を中心として同一速度で回転可能な基盤
を備え、側基盤からは前記軸を中心とする円筒面上に交
互に回転基体支持体が延びていることにより上記の目的
を達成する。
第１図（ａｌ、（ｂｌは本発明の実施例を示し、真空槽
は円筒側壁１１と両側の底板１２とからなり、真空気密
に結合できる。各底板１２には中心軸の周りに回転でき
る基盤３が取り付けられ、側基盤３から基体支持体４が
各６本が垂直に延びている。支持体４は、第１図（ａｌ
のＡ−Ａ＆Ｉ断面図である第１図山）に示すように基盤
３の回転軸を中心軸とする円筒面６上に交互に等間隔で
位置し、他方の基盤３からの支持体間の間隔を補ってい
る。各支持体４を回転させながら側基盤３を同一速度で
回転させることにより、側基盤３に取り付けられた支持
体４が同一軌道面６の上で自公転運動をするものの、衝
突することがない、このような構成によって、従来の装
置では加熱された蒸発源５から出て支持体間を通過して
いた原料の蒸発気体は他方の基盤３から延びる支持体４
上に基体に付着するため、付着率を大幅に向上させるこ
とができ、第１表に示すような効果が得られた。 第１表 第３図は真空蒸着槽を開いた状態を示す、真空槽の開放
のために底板１２の一方（この場合は図の右側）が矢印
２１のように軸方向に移動できるようになっており、さ
らに感光体基体を支持体４に装着あるいは取りはずしす
るときの作業性の点から円筒状側壁１１も矢印２２のよ
うに移動可能となっている。
は円筒側壁１１と両側の底板１２とからなり、真空気密
に結合できる。各底板１２には中心軸の周りに回転でき
る基盤３が取り付けられ、側基盤３から基体支持体４が
各６本が垂直に延びている。支持体４は、第１図（ａｌ
のＡ−Ａ＆Ｉ断面図である第１図山）に示すように基盤
３の回転軸を中心軸とする円筒面６上に交互に等間隔で
位置し、他方の基盤３からの支持体間の間隔を補ってい
る。各支持体４を回転させながら側基盤３を同一速度で
回転させることにより、側基盤３に取り付けられた支持
体４が同一軌道面６の上で自公転運動をするものの、衝
突することがない、このような構成によって、従来の装
置では加熱された蒸発源５から出て支持体間を通過して
いた原料の蒸発気体は他方の基盤３から延びる支持体４
上に基体に付着するため、付着率を大幅に向上させるこ
とができ、第１表に示すような効果が得られた。 第１表 第３図は真空蒸着槽を開いた状態を示す、真空槽の開放
のために底板１２の一方（この場合は図の右側）が矢印
２１のように軸方向に移動できるようになっており、さ
らに感光体基体を支持体４に装着あるいは取りはずしす
るときの作業性の点から円筒状側壁１１も矢印２２のよ
うに移動可能となっている。
本発明は、電子写真用感光体の基体にセレン系。
セレン・テルル系、セレン・砒素系などの材料を蒸着す
る真空槽に、自公転運動する支持体ユニットを対向して
配置し、両ユニットの支持体が同一公転軌道面上に延び
、一方のユニットの支持体間の間隔に他方のユニットの
支持体が来るようにし、自公転運動時には両ユニットの
公転が同期して同一速度で公転するようにしたもので、
自公転方式における同一公転軌道面上の支持体の数を最
大で２倍まで増加することができ、多数の基体に同一条
件で感光層を形成できるため、品質のばらつきが低減し
、生産効率を大幅に向上させることができる。また基体
に付着しないで支持体間を通過してしまう原料の蒸気も
大幅に減り、原料の付着率も著しく高めることができる
。
る真空槽に、自公転運動する支持体ユニットを対向して
配置し、両ユニットの支持体が同一公転軌道面上に延び
、一方のユニットの支持体間の間隔に他方のユニットの
支持体が来るようにし、自公転運動時には両ユニットの
公転が同期して同一速度で公転するようにしたもので、
自公転方式における同一公転軌道面上の支持体の数を最
大で２倍まで増加することができ、多数の基体に同一条
件で感光層を形成できるため、品質のばらつきが低減し
、生産効率を大幅に向上させることができる。また基体
に付着しないで支持体間を通過してしまう原料の蒸気も
大幅に減り、原料の付着率も著しく高めることができる
。
第１図は本発明の一実施例を示し、（ａｌは側断面図、
（ｂｌはｆａｔのＡ−Ａ線種断面図、第２図は従来の装
置を示し、（ａｌは横断面図、（ｂｌは縦断面図、第３
図は第１図に示した装置の真空槽開放時の断面図である
。 １１：真空槽側壁、１２：真空槽底板、３：回転基盤、
４：基体支持体、５：蒸発源、６：公転軌道（ｂ） 第１図 （Ｑ） （ｂ） 第２図 第３１￥１
（ｂｌはｆａｔのＡ−Ａ線種断面図、第２図は従来の装
置を示し、（ａｌは横断面図、（ｂｌは縦断面図、第３
図は第１図に示した装置の真空槽開放時の断面図である
。 １１：真空槽側壁、１２：真空槽底板、３：回転基盤、
４：基体支持体、５：蒸発源、６：公転軌道（ｂ） 第１図 （Ｑ） （ｂ） 第２図 第３１￥１
Claims (1)
- １）側壁と両側の底部とからなる真空蒸着槽を有し、両
底部上には両底部を通る同一軸を中心として同一速度で
回転可能な基盤を備え、両基盤からは前記軸を中心とす
る円筒面上に交互に回転基体支持体が延びていることを
特徴とする電子写真用感光体製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4588285A JPS61205949A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 電子写真用感光体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4588285A JPS61205949A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 電子写真用感光体製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61205949A true JPS61205949A (ja) | 1986-09-12 |
Family
ID=12731601
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4588285A Pending JPS61205949A (ja) | 1985-03-08 | 1985-03-08 | 電子写真用感光体製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61205949A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015063723A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | テルモ株式会社 | コーティング装置およびステント製造方法 |
-
1985
- 1985-03-08 JP JP4588285A patent/JPS61205949A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015063723A (ja) * | 2013-09-24 | 2015-04-09 | テルモ株式会社 | コーティング装置およびステント製造方法 |
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