JP5241595B2 - 太陽電池の電極形成方法および太陽電池の製造方法 - Google Patents
太陽電池の電極形成方法および太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
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Description
図1−1〜図1−3は、本実施の形態にかかる太陽電池の製造方法により作製した太陽電池セル1の概略構成を示す図であり、図1−1は、太陽電池セル1の断面図、図1−2は、受光面側からみた太陽電池セル1の上面図、図1−3は、受光面と反対側からみた太陽電池セル1の下面図である。図1−1は、図1−2のA−A方向における断面図である。
実施の形態2では、実施の形態1において説明した太陽電池セルの製造方法の変形例について説明する。なお、実施の形態2にかかる太陽電池セルの製造方法の基本的プロセスは実施の形態1の場合と同様なので、図2−1〜図2−4を参照して説明する。
11 半導体基板
11a p型多結晶シリコン基板
13 p型多結晶シリコン層
15 n型不純物拡散層
17 反射防止膜
19 受光面側電極
19a 受光面側電極材料ペースト
21 裏面側電極
21a 裏面側電極材料ペースト
23 表銀グリッド電極
25 表銀バス電極
31 ベースフィルム
32 送り出しロール
33 サブロール
34 巻き取りロール
35 ステージ
36 スタンパー
41 ベースフィルム
41a 第1ベースフィルム
41b 第2ベースフィルム
Claims (3)
- 半導体基板において凹凸からなるテクスチャー構造を有する電極形成面に電極を形成する太陽電池の電極形成方法であって、
電極材料により前記電極のパターンが前記電極形成面よりも平滑な表面とされた一面側に形成されたシート状基材における前記電極のパターンを前記半導体基板における電極形成面に対向させるとともに前記電極形成面における前記電極の形成位置に位置合わせする第1工程と、
前記シート状基材における前記電極のパターンを包含する全領域を均一に押圧することにより前記シート状基材の一面側を前記半導体基板の電極形成面に圧接して、前記電極のパターンを前記半導体基板の電極形成面に転写する第2工程と、
前記シート状基材を前記半導体基板の電極形成面から離間させる第3工程と、
前記半導体基板に転写された前記電極のパターンを焼成して半導体基板の電極形成面に前記電極を形成する第4工程と、
を含み、
前記シート状基材は、第1シート状基材と、前記電極のパターンが一面側に形成されるとともに前記電極のパターンを外側にして前記第1シート状基材に貼付されて前記第4工程の焼成において焼失する材料からなる第2シート状基材と、が積層された積層構造を有し、
前記第2工程では、前記第2シート状基材ごと前記電極のパターンを前記半導体基板の電極形成面に転写すること、
を特徴とする太陽電池の電極形成方法。 - 前記第2工程では、前記半導体基板を加熱しながら前記シート状基材の一面側を前記半導体基板の電極形成面に圧接すること、
を特徴とする請求項1に記載の太陽電池の電極形成方法。 - 第1導電型の半導体基板の一面側に、凹凸からなるテクスチャー構造を形成する第1工程と、
前記テクスチャー構造が形成された前記半導体基板の一面側に、第2導電型の不純物元素が拡散された不純物拡散層を形成する第2工程と、
前記不純物拡散層上に反射防止膜を形成する第3工程と、
電極材料により受光面側電極のパターンが前記電極形成面よりも平滑な表面とされた一面側に形成されたシート状基材における前記受光面側電極のパターンを前記反射防止膜に対向させるとともに前記反射防止膜上における前記受光面側電極の形成位置に位置合わせする第4工程と、
前記シート状基材における前記受光面側電極のパターンを包含する全領域を均一に押圧することにより前記シート状基材の一面側を前記反射防止膜に圧接して、前記受光面側電極のパターンを前記反射防止膜上に転写する第5工程と、
前記シート状基材を前記反射防止膜から離間させる第6工程と、
前記半導体基板の他面側に電極材料により裏面側電極のパターンを配置する第7工程と、
前記受光面側電極のパターンおよび裏面側電極のパターンを焼成して前記反射防止膜を貫通して前記不純物拡散層に電気的に接続する前記受光面電極と、前記裏面側電極と、を形成する第8工程と、
を含み、
前記シート状基材は、第1シート状基材と、前記電極のパターンが一面側に形成されるとともに前記電極のパターンを外側にして前記第1シート状基材に貼付されて前記第4工程の焼成において焼失する材料からなる第2シート状基材と、が積層された積層構造を有し、
前記第5工程では、前記第2シート状基材ごと前記電極のパターンを前記半導体基板の電極形成面に転写すること、
を特徴とする太陽電池の製造方法。
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