JP5238143B2 - Cr−Mo−Cuを含むターゲット材およびその製造方法 - Google Patents
Cr−Mo−Cuを含むターゲット材およびその製造方法 Download PDFInfo
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Description
(1)原子量%で、Cr:≧60%、Mo:≧5%、Cu:≦10%を含むターゲット材において、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上であることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材。
(2)前記(1)に記載のターゲット材が、原子量%で、Cr:60〜90%、Mo:5〜35%、Cu:1〜10%からなる成分組成であることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材。
(3)原子量%で、Cr:≧60%、Mo:≧5%、Cu:≦10%を含む成分組成の粉末を900〜1050℃で固化成形することで、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上の成形体を得ることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材の製造方法。
(4)原子量%で、Cr:60〜90%、Mo:5〜35%、Cu:1〜10%を含む成分組成の粉末を900〜1050℃で固化成形することで、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上の成形体を得ることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材の製造方法にある。
本発明の特徴は、高融点金属であるCr,Moをそれぞれ60%以上、5%以上含み、かつCuを10%以下含むターゲット材を900〜1050℃の低温で、相対密度97%以上に高密度固化成形することにあり、重要なポイントは、900〜1050℃という低い温度はCr原子にとっては拡散可能な温度であるが、Mo原子が拡散するには不十分な温度である。そのため、Cr原子のみが拡散することにより、Mo原料粉末を幅5μm以下のCrが結合した成形体となり、低温であるにもかかわらず高密度となるものと考えられる。さらに、900〜1050℃という低温は、Cuを溶融させることもないため、凝固巣も制御できる。
Crは、薄膜記録媒体において記録密度の向上に効果的な元素であり、本発明におけるターゲットにおいては、Mo原料粉末の表面に拡散し焼結性を改善する。しかし、60%未満では、Mo原料粉末の周りへの拡散が十分でないため、60%以上を本発明の請求範囲とする。より好ましくは、70%以上、90%以下とする。
Moは、薄膜記録媒体において記録密度の向上に効果的であるが、本発明におけるターゲットにおいては、焼結性が悪く、高密度化が困難とする元素である。しかし、5%未満では本発明の特徴である、Cr原子の表面拡散の効果を利用するまでもなく高密度化が可能であるため、5%以上を本発明の請求範囲とする。より好ましくは、10%以上、35%以下とする。
Cuは、薄膜記録媒体において記録密度の向上に効果的であるが、本発明におけるターゲットにおいては、焼結性は良好であるものの、高温成形で溶融するため成形温度の上限を限定してしまう元素である。ただし、10%を超えると、本発明の特徴である、Cr原子の表面拡散の効果を利用するまでもなく高密度化が可能であるため、10%以下を本発明の請求範囲とする。より好ましくは、1%以上、10%以下とする。
以上のような、Cr、Mo、Cuの組成範囲において、900〜1050℃で成形すると、Cr原子がMo粉末表面に拡散することにより、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織となる。また、相対密度97%以上としたのは、通常の成膜時に良好にスパッタが行な得る密度である。
原料粉末として純Cr粉末(市販品、粒径250μm以下)、純Mo粉末(市販品、平均粒径7μm)、純Cu粉末(市販品、平均粒径9μm)を使用した。これらの粉末を表1に示す割合で秤量し、V型混合機にて混合し、径215mm、長さ100mmのステンレス缶に充填し、脱気封入後、900〜1050℃の範囲において、2000tプレス機にて加圧成形した。これらビレットより採取した。Cr結合相の幅は光学顕微鏡観察により測定した。密度の測定方法はアルキメデス法で測定し、原料配合比から計算した真密度との相対密度(%)で評価した。
Claims (4)
- 原子量%で、Cr:≧60%、Mo:≧5%、Cu:≦10%を含むターゲット材において、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上であることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材。
- 請求項1に記載のターゲット材が、原子量%で、Cr:60〜90%、Mo:5〜35%、Cu:1〜10%からなる成分組成であることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材。
- 原子量%で、Cr:≧60%、Mo:≧5%、Cu:≦10%を含む成分組成の粉末を900〜1050℃で固化成形することで、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上の成形体を得ることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材の製造方法。
- 原子量%で、Cr:60〜90%、Mo:5〜35%、Cu:1〜10%を含む成分組成の粉末を900〜1050℃で固化成形することで、Mo粒子が幅5μm以下のCr結合相で結合されたマトリックス組織を有する相対密度97%以上の成形体を得ることを特徴とするCr−Mo−Cuを含むターゲット材の製造方法。
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JP2006132420A JP5238143B2 (ja) | 2006-05-11 | 2006-05-11 | Cr−Mo−Cuを含むターゲット材およびその製造方法 |
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JP4391010B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2009-12-24 | 高橋 研 | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録装置 |
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