JP4487223B2 - Cr−W合金系スパッタリングタ−ゲット材およびその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は薄膜電子部品、例えば磁気ディスクなどの磁気記録媒体の下地膜の製造に用いられるCr−W合金系スパッタリングターゲット材及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、磁気ディスク装置等の高密度記録化に伴い、磁気ディスク媒体には高い磁気特性が要求され、磁性膜は従来のCo−Ni−Cr、Co−Cr−Ta等からPtを含有したCo−Cr−Pt系へと移行している。このためCoCr系磁性膜の下地膜であるCr系の下地膜にも、CoCrPt系磁性膜の特性を改善するために種々添加元素を加えたCr合金が用いられ、IEEE. Trans. Magn. Vol.35 p2646〜2648では、Cr−V、Mo合金で膜特性が改善できることが報告されている。また、これらの膜を形成するためのスパッタリング装置も従来のインライン式から枚葉式へと移行し、タ−ゲット材の取り付け方法も従来の熱伝導の良い銅製等のバッキングプレ−トと呼ばれる裏板に貼り付けた後にスパッタリング装置に取り付ける方法から、タ−ゲット材自体をクランプしてスパッタ装置に取り付ける方式に変わっている。
【0003】
また、液晶ディスプレイの分野では、ディスプレイの大型化により基板サイズも大きくなる。その大きさは従来の0.37×0.47(m)から0.72×0.83(m)以上へ大きくなっている。この大きな基板内でも均一に膜形成を行うために、従来のインライン式から枚葉式スパッタ装置が一般的となり、それに取り付けるタ−ゲット材も一体で基板以上に大きなサイズが要求されている。また、ディスプレイの大型化に伴い、日経マイクロデバイス 1994年12月号によれば、Ta、Cr等の電極、配線膜等には膜特性改善のために、低抵抗、低応力な材料が要求されている。このため、第123回日本金属学会秋期大会講演概要集(1998)に提案されるようにCrに添加元素を加えたCr合金での膜特性の改善が試みられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
以上のように薄膜電子部品の高性能化において、Cr合金膜の適用は重要である。上記のように磁気ディスク媒体の下地膜、液晶ディスプレイの配線膜の形成に用いられるタ−ゲットはCrからCr合金への移行と、それを取り付けるスパッタ装置は枚葉式への移行が進んでいる。このため、Cr合金タ−ゲット材にはスパッタした膜の均一性の向上と大型一体のサイズを安定に製造するためと、さらにはクランプ方式の固定等に耐えられる高い強度が要求されている。しかし、Cr合金、特にCr−W合金は融点が高いため、溶解が難しく、また非常に脆いためクランプ方式の固定等に耐えられるような特定の抗折力を有する高強度のタ−ゲット材を安定して製造することが困難であった。本発明の目的は高強度で均一な膜特性が得られるCr−W合金系スパッタリングタ−ゲット材およびその製造方法を提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明のCr−W合金系スパッタリングターゲット材は、密度が95%以上、抗折力が450N/mm2以上であり、Wを5〜40at%含有し、残部がCrおよび不可避的不純物からなるものである。
【0006】
本発明のCr−W合金系スパッタリングターゲット材は、その組織をCr相とW相とCr−W合金相とを有する組織であることが好ましい。
【0007】
また、Cr−W合金系スパッタリングターゲット材の製造方法は、CrとWの粉末を主原料とし、粉末を混合し、カプセルに充填した後、温度を1000℃以上、圧力を100MPa以上で熱間静水圧プレスにより圧密化することで、密度が95%以上、抗折力が450N/mm 2 以上であり、Wを5〜40at%含有し、残部がCrおよび不可避的不純物からなるターゲット素材を得る方法である。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明のターゲット材において、抗折力が450N/mm2以上であることが重要である。抗折力を450N/mm2以上のCr−W系ターゲットは従来に無く、このような高い抗折力のターゲット材を実現できたことにより、例えば、比較的大きなサイズのターゲット材として、クランプ方式の固定に供したときに割れが発生せず、安定してスパッタリングを行うことができる。
さらに、密度を95%以上とすることで、より割れの発生しないターゲット材となる。
【0009】
また、Wの濃度を5〜40at%としたのは、磁気ディスクの下地膜にCr合金膜を用いる場合、その上に形成される磁性膜磁気特性の向上のために結晶配向性を高める必要がある。Wの濃度が5at%未満では磁気ディスク下地膜に要求される結晶配向性向上効果が不十分であり、磁性膜の磁気特性が改善できない。さらに望ましくは10at%以上が良い。また、電極配線材の場合は膜応力を低減することで、基板の反りを抑制し歩留まり向上が可能となるが、W濃度が5at%以下では膜応力低減効果がない。また、40at%以上では密度と抗折力を得ることが難しくなるためである。
【0010】
また、本発明において、具体的な高強度が得られる組織としては、Cr相とW相とCr−W合金相とを有する組織を適用することが出来る。Cr相とW相のみが存在する組織では十分な密度と抗折力の確保が難しく、一方、CrとWが全て合金化し、Cr−W合金相のみが存在する組織では脆くなるため、十分な強度を得ることができなくなり、タ−ゲット材の安定な製造が難しくなるためである。
【0011】
本発明においては、上記の密度と抗折力を確保できる範囲で、添加元素としては膜特性の改善のためにWの他にさらにTi等の遷移元素、B等の半金属元素を10at%以下含有させることも可能である。
【0012】
Cr−W合金系スパッタリングターゲット材の製造方法としては、Crの粉末とWの粉末を主原料とし、粉末を混合し、カプセルに充填した後、温度を1000℃以上、圧力を100MPa以上で熱間静水圧プレスにより圧密化したことである。
また、熱間静水圧プレスではなく、粉末焼結法、ホットプレスでも製造することが可能である。しかし、粉末焼結法、ホットプレスでは焼結圧力が低く十分な密度とすることが難しいため、熱間静水圧プレスを用いることが望ましい。
これにより、枚葉式のスパッタ装置に取り付ける場合に必要な、割れの発生しないタ−ゲットの製造が可能となる。
【0013】
焼結温度を1000℃以上、焼結圧力を100MPa以上としたのは、温度が1000℃未満、圧力が100MPa未満では、原料粉末同士の拡散が十分に進行せず、高い密度で高強度の素材を得ることができなくなり、タ−ゲットの安定製造が難しくなるためである。
【0014】
粉末の混合には乾式で簡易的なV型ブレンダ−、ロッキングミキサ−、ボ−ルミル、振動プレス等や有機溶剤を用いる湿式混合等を用いることが可能であり、均一に混合できるものであれば特に限定するものではない。
また、原料粉末については特に限定しない。ただし、原料粉末は細かい方が焼結後の密度、組織の均一化のためには望ましいが、細かくなると粉末表面への吸着酸素が増大し、焼結後のタ−ゲット中の酸素濃度が増加し、膜特性が劣化するために、高い焼結密度と抗折力が得られる範囲であれば良い。望ましくは平均粒径として10〜100μm程度が好ましい。
【0015】
【実施例】
以下に実施例、比較例を挙げて本発明を詳細に説明する。本発明はその範囲を超えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。
【0016】
本発明のCr−W合金系スパッタリングタ−ゲット材の製造方法としては、CrとWの粉末を主原料とし、その粉末をV型ブレンダ−で混合し、金属製のカプセルに充填し、真空封入した後、熱間静水圧プレスを用いて焼結させCr−W系ターゲット材を得た。その後機械加工にて0.85×1.20(m)のタ−ゲット材を作成した。
上記方法で作製したCr−Wターゲットについて、W濃度と、焼結時の温度と圧力を変化させた場合について密度、組織、スパッタ時の割れの発生について表1に示す。また、比較例としてCrとWをプラズマア−ク溶解して作製したタ−ゲットについても同時に示す。
【0017】
【表1】
【0018】
表1からも分かる通り、W濃度が40at%を越えると焼結温度を高くしても割れの発生しないタ−ゲットの製造が困難である。以上から、W濃度が40at%以下の範囲で高い強度を有するCr−Wタ−ゲットを製造することが可能となることがわかる。
【0019】
また、焼結温度が1000℃未満では密度が低くスパッタ時に割れが発生してしまうことがわかる。その際はCr−W合金相は観察されずCrとWのみの組織であった。1000℃以上では密度が95%以上でスパッタ時に割れも発生せず使用することが可能であった。さらに、焼結圧力が100MPa以下では、温度を1000℃以上としても密度が低く、スパッタ時に割れが発生してしまう。この理由は素材の降伏応力以上としないと塑性変形による圧密化が十分に行えないためと考えられる。
【0020】
割れの発生しないタ−ゲット材と発生したタ−ゲット材の組織をX線分析装置で確認したところ、割れの発生しないタ−ゲット材はCr相とW相とCr−W合金相を有する組織となっており、この組織とすることで割れ難いターゲットを安定に製造することが可能となっていると考えられる。
【0021】
一方、比較例のプラズマア−ク溶解して作製したタ−ゲット材は、密度は高いが抗折力低く割れが発生していることがわかる。さらに、割れの発生しないタ−ゲット材を製造するには450N/mm2以上の抗折力が必要であることがわかる。
【0022】
以上のようにW濃度を40at%以下とし、焼結温度を1000℃以上、焼結圧力を100MPa以上とすることで、密度が95%以上で、Cr相、W相、Cr−W合金相の3相からなる組織を有した、割れの発生しないCr−Wターゲットの製造が可能となり、安定にCr−W膜を形成することにより磁気記録媒体、液晶ディスプレイの配線膜の形成を製造することが可能となる。
【0023】
【発明の効果】
以上に説明した如く、本発明によれば、高い強度のCr−W合金系スパッタリングタ−ゲット材を製造することが可能となり、これにより、優れた特性の薄膜電子部品、例えば磁気記録媒体、液晶ディスプレイを製造することが可能となり、産業上有用な効果がもたらされる。
Claims (3)
- 密度が95%以上、抗折力が450N/mm2以上であり、Wを5〜40at%含有し、残部がCrおよび不可避的不純物からなることを特徴とするCr−W合金系スパッタリングターゲット材。
- 組織がCr相とW相とCr−W相とを有することを特徴とする請求項1に記載のCr−W合金系スパッタリングターゲット材。
- Crの粉末とWの粉末を主原料とし、粉末を混合し、カプセルに充填した後、温度を1000℃以上、圧力を100MPa以上で熱間静水圧プレスすることで、密度が95%以上、抗折力が450N/mm 2 以上であり、Wを5〜40at%含有し、残部がCrおよび不可避的不純物からなるターゲット素材を得ることを特徴とするCr−W合金系スパッタリングターゲット材の製造方法。
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