JP5237820B2 - プラズマドーピング方法 - Google Patents
プラズマドーピング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5237820B2 JP5237820B2 JP2008544145A JP2008544145A JP5237820B2 JP 5237820 B2 JP5237820 B2 JP 5237820B2 JP 2008544145 A JP2008544145 A JP 2008544145A JP 2008544145 A JP2008544145 A JP 2008544145A JP 5237820 B2 JP5237820 B2 JP 5237820B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- plasma doping
- plasma
- dose amount
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 161
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 410
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 185
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 114
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 109
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 89
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical group [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 79
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 19
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 19
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 81
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 50
- 239000010408 film Substances 0.000 description 47
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 38
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 19
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 17
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 15
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 9
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 2
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000005090 crystal field Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 231100000086 high toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 1
- 238000011065 in-situ storage Methods 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
- H01L21/223—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a gaseous phase
- H01L21/2236—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a gaseous phase from or into a plasma phase
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
Description
以下、本発明の第1の実施形態に係るプラズマドーピング方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第2の実施形態に係るプラズマドーピング方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第3の実施形態に係るプラズマドーピング方法について、図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第4の実施形態に係るプラズマドーピング方法について、図面を参照しながら説明する。
2 第1のガス供給装置
3 ターボ分子ポンプ
4 調圧弁
5 高周波電源
6 試料台
7 誘電体窓
8 コイル
9 被処理基板
10 高周波電源
11 排気口
12 配管
13 第1の溝
14 第1のガス吹き出し口
15 第2のガス供給装置
16 配管
17 第2の溝
18 第2のガス吹き出し口
19 貫通穴
20 貫通穴
21 筒状ライナー
22 取り出し口
23 ガス供給口
24 筒状ライナー
25 ライナー排気口
26 軸上噴射供給口
27 軸外噴射供給口
30 流量コントローラ
31 流量コントローラ
32 第1のガス供給ライン
33 第2のガス供給ライン
Claims (17)
- 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行っている間に、前記プラズマドーピング条件の変更を行うことを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法において、
前記変更された前記プラズマドーピング条件は、前記基板の前記中央部及び前記周縁部のそれぞれにおけるドーズ量の単位時間当たりの変化量が異なるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ドーピング初期における前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの流量分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で大きくなるように設定され、
前記変更された前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの流量分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で小さくなるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ドーピング初期における前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの濃度分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で大きくなるように設定され、
前記変更された前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの濃度分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で小さくなるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ドーピング初期における前記プラズマドーピング条件は、前記プラズマを発生させるためのソースパワーの分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で小さくなるように設定され、
前記変更された前記プラズマドーピング条件は、前記ソースパワーの分布について、前記基板の前記周縁部と比べて前記基板の前記中央部で大きくなるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ドーピング初期における前記プラズマドーピング条件は、前記基板の温度分布について、前記基板の前記周縁部では低く且つ前記基板の前記中央部では高くなるように設定され、
前記変更された前記プラズマドーピング条件は、前記基板の温度分布について、前記基板の前記周縁部では高く且つ前記基板の前記中央部では低くなるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行う前に、前記真空容器の内壁には前記不純物を含む膜が既に形成されており、
前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの流量分布について、前記基板の前記周縁部と前記基板の前記中央部とで同じになるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行う前に、前記真空容器の内壁には前記不純物を含む膜が既に形成されており、
前記プラズマドーピング条件は、前記ガスの濃度分布について、前記基板の前記周縁部と前記基板の前記中央部とで同じになるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行う前に、前記真空容器の内壁には前記不純物を含む膜が既に形成されており、
前記プラズマドーピング条件は、前記プラズマを発生させるためのソースパワーの分布について、前記基板の前記周縁部と前記基板の前記中央部とで同じになるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行う前に、前記真空容器の内壁には前記不純物を含む膜が既に形成されており、
前記プラズマドーピング条件は、前記基板の温度分布について、前記基板の前記周縁部と前記基板の前記中央部とで同じになるように設定されることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記設定された前記プラズマドーピング条件において、前記基板の前記中央部及び前記周縁部のうちの前記他方のドーズ量が前記一方のドーズ量よりも大きくなった後に、前記プラズマドーピング条件の変更を行うことを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 真空容器内において不純物を含むガスからなるプラズマに基板を曝すことによって、前記基板の表面に不純物領域を形成するプラズマドーピング方法であって、
前記基板に導入される前記不純物のドーズ量について、ドーピング初期においては前記基板の中央部及び周縁部のうちの一方のドーズ量が他方のドーズ量よりも大きくなり、その後、当該他方のドーズ量が当該一方のドーズ量よりも大きくなるように、プラズマドーピング条件を設定して、前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行い、
前記基板に対して前記不純物のプラズマドーピングを行っている間に、前記プラズマドーピング条件の変更を複数回行うことを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ガスは、ボロン原子と水素原子とからなる分子Bm Hn (但しm、nは自然数)を含むことを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ガスは、B2 H6 とHeとの混合ガスからなることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項14に記載のプラズマドーピング方法において、
前記混合ガス中におけるB2 H6 の濃度は0.01質量%以上で且つ1質量%以下であることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1〜12のいずれか1項に記載のプラズマドーピング方法において、
前記ガスは、BF3 、AsH4 又はPH3 のいずれかを含むことを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1〜16のいずれか1項に記載のプラズマドーピング方法において、
前記基板はシリコン基板であることを特徴とするプラズマドーピング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008544145A JP5237820B2 (ja) | 2006-11-15 | 2007-11-13 | プラズマドーピング方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006309427 | 2006-11-15 | ||
JP2006309427 | 2006-11-15 | ||
JP2008544145A JP5237820B2 (ja) | 2006-11-15 | 2007-11-13 | プラズマドーピング方法 |
PCT/JP2007/071996 WO2008059827A1 (fr) | 2006-11-15 | 2007-11-13 | Procédé de dopage de plasma |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008059827A1 JPWO2008059827A1 (ja) | 2010-03-04 |
JP5237820B2 true JP5237820B2 (ja) | 2013-07-17 |
Family
ID=39401634
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008544145A Active JP5237820B2 (ja) | 2006-11-15 | 2007-11-13 | プラズマドーピング方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7790586B2 (ja) |
JP (1) | JP5237820B2 (ja) |
WO (1) | WO2008059827A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101668620B (zh) * | 2008-01-11 | 2013-11-06 | 株式会社村田制作所 | 多层陶瓷基板、其制造方法及其翘曲抑制方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1865544A4 (en) * | 2005-03-31 | 2010-12-22 | Panasonic Corp | PLASMA DOPING METHOD AND APPARATUS |
CN101356625B (zh) * | 2006-10-03 | 2012-05-23 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体掺杂方法以及装置 |
US7820533B2 (en) * | 2007-02-16 | 2010-10-26 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Multi-step plasma doping with improved dose control |
JP2011142238A (ja) * | 2010-01-08 | 2011-07-21 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
US20120302049A1 (en) * | 2011-05-24 | 2012-11-29 | Nanya Technology Corporation | Method for implanting wafer |
TWI541868B (zh) * | 2013-04-04 | 2016-07-11 | 東京威力科創股份有限公司 | 脈衝氣體電漿摻雜方法及設備 |
US9336990B2 (en) * | 2013-08-29 | 2016-05-10 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Semiconductor process pumping arrangements |
JP6756853B2 (ja) * | 2016-06-03 | 2020-09-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | チャンバ内部の流れを拡散させることによる低い粒子数及びより良好なウエハ品質のための効果的で新しい設計 |
US10468148B2 (en) | 2017-04-24 | 2019-11-05 | Infineon Technologies Ag | Apparatus and method for neutron transmutation doping of semiconductor wafers |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04264346A (ja) * | 1990-10-10 | 1992-09-21 | Hughes Aircraft Co | イオン注入用のプラズマソース装置 |
JP2001156013A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 表面改質方法及び表面改質装置 |
JP2005109453A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法及び装置 |
WO2006064772A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法 |
WO2006106872A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法及び装置 |
WO2006114976A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法及びプラズマ処理装置 |
WO2006121131A1 (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法およびプラズマドーピング装置 |
WO2007026889A1 (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、これに用いられる誘電体窓及びその製造方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4912065A (en) * | 1987-05-28 | 1990-03-27 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma doping method |
US5296272A (en) | 1990-10-10 | 1994-03-22 | Hughes Aircraft Company | Method of implanting ions from a plasma into an object |
US5218179A (en) | 1990-10-10 | 1993-06-08 | Hughes Aircraft Company | Plasma source arrangement for ion implantation |
FR2826765A1 (fr) | 2001-06-29 | 2003-01-03 | Thomson Plasma | Mode de connexion d'un panneau a plasma a son alimentation electrique dans un dispositif de visualisation d'images |
JP4544447B2 (ja) | 2002-11-29 | 2010-09-15 | パナソニック株式会社 | プラズマドーピング方法 |
US7199064B2 (en) | 2003-09-08 | 2007-04-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma processing method and apparatus |
WO2005112088A1 (ja) * | 2004-05-14 | 2005-11-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 半導体装置の製造方法および製造装置 |
US7820533B2 (en) * | 2007-02-16 | 2010-10-26 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Multi-step plasma doping with improved dose control |
US20090004836A1 (en) * | 2007-06-29 | 2009-01-01 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Plasma doping with enhanced charge neutralization |
-
2007
- 2007-11-13 US US12/158,852 patent/US7790586B2/en active Active
- 2007-11-13 JP JP2008544145A patent/JP5237820B2/ja active Active
- 2007-11-13 WO PCT/JP2007/071996 patent/WO2008059827A1/ja active Application Filing
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04264346A (ja) * | 1990-10-10 | 1992-09-21 | Hughes Aircraft Co | イオン注入用のプラズマソース装置 |
JP2001156013A (ja) * | 1999-11-26 | 2001-06-08 | Natl Inst Of Advanced Industrial Science & Technology Meti | 表面改質方法及び表面改質装置 |
JP2005109453A (ja) * | 2003-09-08 | 2005-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理方法及び装置 |
WO2006064772A1 (ja) * | 2004-12-13 | 2006-06-22 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法 |
WO2006106872A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法及び装置 |
WO2006114976A1 (ja) * | 2005-03-30 | 2006-11-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法及びプラズマ処理装置 |
WO2006121131A1 (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマドーピング方法およびプラズマドーピング装置 |
WO2007026889A1 (ja) * | 2005-09-01 | 2007-03-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマ処理装置、プラズマ処理方法、これに用いられる誘電体窓及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101668620B (zh) * | 2008-01-11 | 2013-11-06 | 株式会社村田制作所 | 多层陶瓷基板、其制造方法及其翘曲抑制方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2008059827A1 (ja) | 2010-03-04 |
US7790586B2 (en) | 2010-09-07 |
US20090233427A1 (en) | 2009-09-17 |
WO2008059827A1 (fr) | 2008-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5237820B2 (ja) | プラズマドーピング方法 | |
JP5102495B2 (ja) | プラズマドーピング方法 | |
JP4979580B2 (ja) | プラズマドーピング方法 | |
US7682954B2 (en) | Method of impurity introduction, impurity introduction apparatus and semiconductor device produced with use of the method | |
US20100323113A1 (en) | Method to Synthesize Graphene | |
JP4544447B2 (ja) | プラズマドーピング方法 | |
KR19990082593A (ko) | 이온주입시스템에서 선량측정 제어를 위한 제어매카니즘 | |
US20030116090A1 (en) | Apparatus and method for direct current plasma immersion ion implantation | |
JP2008300687A (ja) | プラズマドーピング方法及びその装置 | |
US8372735B2 (en) | USJ techniques with helium-treated substrates | |
TW201535454A (zh) | 使用具有磁性約束的電漿源的基於電漿的材料改質 | |
JP2005005328A (ja) | 不純物導入方法、不純物導入装置およびこれを用いて形成された半導体装置 | |
JP5097538B2 (ja) | プラズマドーピング方法およびこれに用いられる装置 | |
JP2010232026A (ja) | イオン注入装置及びイオンビームの調整方法 | |
JP2013258319A (ja) | 極浅接合の形成方法 | |
JP2007189137A (ja) | イオンドーピング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100824 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121211 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130329 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5237820 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160405 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |