JP4544447B2 - プラズマドーピング方法 - Google Patents
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Description
本発明はプラズマを用いて、シリコン基板の表面近傍に物質を導入する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
図5を参照しながら、従来の技術に関して説明する。これはSSDM87で発表された論文からの引用であるが(Extended Abstract of Conference on Solid State Device and Materials, p319 , Tokyo, 1987. Japan Society of Applied Physics)、プラズマソースに供給するガスとして、0.05 %までHeで希釈したB2H6を使用している。
【0003】
反応チェンバー10にシリコンウエーハ20を導入し、ベース真空度5×10-7 Torr(6.7×10-5 Pa)まで真空にした後、Heをベースとして、0.05 %に希釈したB2H6ガス30を導入、真空度5×10-4 Torr(0.067 Pa)の状態で、ECRプラズマソース40に電源を通じて高周波を導入し、プラズマ45を発生させ、次いでウエーハを載置しているウエーハサセプター50にRF電源60から高周波を供給して、前記発生したプラズマ45と、シリコンウエーハ20間に一定の電圧、引用例に拠れば700Vを発生させ、プラズマ中の正に帯電したイオン70と電子80の内、正イオン70を引き込み、ウエーハ表面近傍にドーピングを行う。この場合はB2H6中のB原子がシリコン中で正の電荷(正孔)を供給する源になり、これをドーパントと呼ぶ。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
引用例に於いて、B2H6をHeで希釈する目的は、人体に対して、極めて危険性の高い毒性をもつB2H6をできるだけ希釈して安全性を高め様とする試みであるが、B2H6の分圧が低下するに従って、プラズマ中に於けるBを含むイオンの密度が低下し、ドーピング効率を著しく低下させていた。
【0005】
又、希釈の目的で使用したHeは原子半径が小さく、シリコンに導入しても後の熱処理で容易に外部に拡散除去する事が可能な為採用されているが、電離エネルギーが高い為、プラズマの発生や維持を行う際に、プラズマの状態が不安定になる要因となる場合があった。
【0006】
さらにドーパントの注入量の制御性にも課題があった。
【0007】
そこで、人体に対して極めて危険性の高い毒性をもつB2H6をできるだけ希釈して安全性を高め、ドーピング効率を低下させることなく、安定してプラズマの発生や維持を行うことができ、さらにドーパント注入量の制御を容易に行えるプラズマドーピング方法の提供が求められていた。
【0008】
【課題を解決するための手段】
また本発明は、ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが高い物質の分量を大にし、シリコンウェーハ表面にドーピングを行うプラズマドーピング方法であって、ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6を、電離エネルギーが高い物質としてHeを用い、バイアス電圧を印加する時間を変化させることでドーズ量を制御し、前記B2H6の濃度が0.025%以下であることを特徴とするプラズマドーピング方法とする。
この構成により、イオン電流密度と電子温度が大きいプラズマを用いたプラズマドーピングが可能となり、バイアス電圧の絶対値が小さい場合にも工業的に要求されるようなスループットを確保しながら容易にドーズ量の制御を行うことが可能となる。具体的には、ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6ガスを、電離エネルギーが高い物質としてHeを用い、B2H6の濃度が0.025%以下であることを特徴とするプラズマドーピング方法とする。上記の配合により、ある一定の圧力においてB2H6を含むプラズマとしてより大きなイオン電流密度と電子温度のプラズマを得ることができる。つまり、B2H6の濃度が低くなるに従ってイオン電流密度と電子温度は大きくなるが、B2H6の濃度が0.05 %未満ではほぼ飽和に達するので望ましい。
【0009】
プラズマドーピング方法において、ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させ、しかる後にドーピングする不純物を含む物質を放電させる事を特徴とするプラズマドーピング方法とする。この理由は、電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させずにドーピングする不純物を含む物質を放電させた場合よりも、ドーピングする不純物を含むプラズマの発生時にプラズマの状態が安定するからである。さらに、電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させなかった場合よりも低い圧力でドーピングする不純物を含む物質を放電させてプラズマドーピングすることが可能となり、デポジションが起き難いプラズマドーピングが可能となるからである。具体的には、ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6とBF3、B10H14の少なくとも一つを、電離エネルギーが小さい物質としてAr, H, N, O, Kr, Xe, Cl, H2, NO, N2, O2, CO, CO2, H2O, SF6, Br2, Cl2の群から選ばれる少なくとも一つを用いる事を特徴とするプラズマドーピング方法とする。
【0010】
ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6ガスを、電離エネルギーが高い物質としてHeを用い、B2H6の濃度が0.05 %未満であることを特徴とするプラズマに対し、ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させ、しかる後にドーピングする不純物を含む物質を放電させる方法を用いて発生させると、0.9 Pa程度の圧力でイオン電流密度が1.1 mA/cm2以上で電子温度が6.0 eV以上のプラズマを安定して得ることができる。このようなプラズマを用いてバイアス電圧を印加する時間を変化させることでドーズ量を制御する事を特徴とするプラズマドーピング方法とするのが望ましい。この理由は、バイアス電圧の絶対値が小さい場合でも工業的に要求されるようなスループットを確保しながら容易にドーズ量の制御ができ、さらにデポジションが起き難くなるからである。
【0011】
また、プラズマ発生時の圧力を変えて行う場合に同様の効果を得るためには、プラズマドーピングを行う際に、ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6を用い、これを希釈するHeとの希釈度をn%とした際に、プラズマ発生時の圧力をP Pa として、B2H6の希釈度がn=0.04/P となる関係を中心として、その上下プラスマイナス25%の範囲でドーピングする事、即ちPに依存して、希釈度 1.25n%から0.75n%の範囲でドーピングする事を特徴とするプラズマドーピング方法とすることが望ましい。
【0012】
(作用)
人体に対して極めて危険性の高い毒性をもつB2H6をできるだけ希釈して安全性を高めることができる。また、ある一定の圧力においてドーピングする不純物を含むプラズマとしてより大きなイオン電流密度と電子温度のプラズマを得ることができる。さらに、プラズマの発生時にプラズマの状態を安定させることができる。又、電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させなかった場合よりも低い圧力で、ドーピングする不純物を含む物質を放電させてプラズマドーピングすることが可能となり、デポジションが起き難いプラズマドーピングが可能となる。バイアス電圧の絶対値が小さい場合でも工業的に要求されるようなスループットを確保しながら容易にドーズ量制御ができる不純物ドーピング方法を提供できる。
【0013】
【発明の実施の形態】
本発明の実施例を以下で説明する。
【0014】
先ず、図1により、本発明に用いた装置の説明をする。
【0015】
装置はプラズマを発生させるための高周波電源101と放電の調整を行うマッチングボックス102を介して、コイル及びアンテナ103から高周波が供給される。必要なガスはマスフローコントローラ104及び105を介して供給される。反応チェンバー115内の真空度は前記マスフローコントローラ104及び105、ターボ分子ポンプ106、コンダクタンスポンプ107、ドライポンプ108によって制御される。反応チェンバー115に対しては、RFもしくはDC電源110から、マッチングボックス111を介して電力が供給される。反応チェンバー115内に設置した、被処理体113はサセプタ114に載置され、前記電力が供給される。
【0016】
(圧力)
B2H6ガス濃度が0.625 %、Heガス濃度が99.375 %の混合ガスを用いてヘリコン波プラズマを発生させる実験を行った。ヘリコン波のソースパワーを1500 Wとし、圧力を変化させてB2H6とHeの混合プラズマが得られる圧力範囲を調べた。圧力が2.25 Pa以上のときに放電が可能であり、B2H6とHeの混合プラズマを得ることができた。一方、それ以下の圧力では放電を起こすことができなかった。
【0017】
次に、プロセスチャンバー内にArガスを導入してソースパワーを印加し、放電させてArプラズマを発生させた後、Heガスを導入すると同時にArガスの供給を止めてHeプラズマを発生させ、その後、B2H6ガスを導入してHeとB2H6の混合プラズマを発生させる実験を行った。実験は圧力を変化させて行い、HeとB2H6の混合プラズマが得られる圧力範囲を調べた。圧力が0.8 Pa以上のときに安定して放電が可能であった。
【0018】
同様に、B2H6ガス濃度が0.025 %、Heガス濃度が99.975 %の混合ガスを用いてヘリコン波のソースパワーを1500 Wとして実験を行った。装置の関係上2.6 Pa以上の圧力では実験していないが、圧力が2.6 Pa以下のときには放電を起こすことはできなかった。これに対してプロセスチャンバー内にArガスを導入してソースパワーを印加して放電させてArプラズマを発生させた後、Heガスを導入すると同時にArガスの供給を止めてHeプラズマを発生させ、その後、B2H6ガスを導入してHeとB2H6の混合プラズマを発生させる実験を行った。この場合には圧力が0.8 Pa以上のときに安定して放電が可能であった。
【0019】
上記のように、ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6ガスを用い、電離エネルギーが小さい物質としてArガスを用いて、ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させ、しかる後にドーピングする不純物を含む物質を放電させる事で、電離エネルギーが小さい物質を先行して放電させなかった場合よりも低い圧力でHeとB2H6の混合プラズマを発生させることができた。
【0020】
(イオン電流密度)
図2はB2H6ガスとHeガスの混合比を変えてヘリコン波プラズマを発生させたときのイオン電流密度の変化である。圧力は0.9 Paで行った。B2H6ガス濃度を低下させていくと、イオン電流密度はB2H6ガス濃度が1 %以下のときに階段状に大きくなった。B2H6ガス濃度が5 %と2.6 %のときのイオン電流密度は1.1 mA/cm2未満であるのに対して、0.29 %と0.025 %のときは1.1 mA/cm2以上であることが了解できる。
【0021】
(電子温度)
図3はB2H6ガスとHeガスの混合比を変えたときの電子温度の変化である。条件は前節と同じである。B2H6ガス濃度の低下に従って電子温度は上昇した。そしてB2H6ガス濃度が0.025 %でほぼ飽和した。電子温度は、B2H6ガス濃度が0.29 %以上では6.0 eV未満であるのに対して、0.025 %では6.0 eV以上であることが了解できる。
【0022】
(ドーズ量の制御性)
B2H6ガス濃度が0.025 %、0.29 %のB2H6とHeの混合プラズマを用いてn-Si(100)ウエーハにプラズマドーピングを行った。バイアス電圧は−60 V、圧力は0.8 Paとした。プラズマドーピング後、1100℃で3分間のアニール処理を行った。その後、四探針法でシート抵抗を測定した。またB2H6ガス濃度0.025 %で作成した試料は、プラズマドーピング後のボロンのドーズ量をSIMSで測定した。
【0023】
図4はバイアス電圧印加時間とシート抵抗の関係である。B2H6ガス濃度を0.29 %としたときは、バイアス電圧印加時間を3秒、7秒、30秒と変えてもシート抵抗は約400 Ohms/squ. でほとんど変化しなかった。一方、B2H6ガス濃度を0.025 %としたときは、バイアス電圧印加時間を1、3、7、30秒と変えることでシート抵抗を1020、460、350、290 Ohms/squ. と変えることができた。また、プラズマドーピング後のボロンドーズ量は2.2E14、6.0E14、6.5E14、8.0E14 atoms/cm2と可変であった。なお、ボロン濃度が1E18 atoms/cm3となる深さは4〜6 nm以下であった。このようにバイアス電圧印加時間を変化させることで30秒以下、または15秒以下程度の時間範囲内でドーズ量を制御できることが了解できる。これにより工業的に要求されるようなスループットを確保しながら容易にドーズ量の制御ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】プラズマドーピング装置を示す図
【図2】イオン電流密度のB2H6ガス濃度依存性を示す図
【図3】電子温度のB2H6ガス濃度依存性を示す図
【図4】バイアス電圧印加時間とシート抵抗の関係を示す図
【図5】従来例のプラズマドーピング装置を示す図
【符号の説明】
10 反応チェンバー
20 シリコウエーハ
30 B2H6ガス
40 ECRプラズマソース
45 プラズマ
50 ウエーハサセプター
60 RF電源
101 高周波電源
102 マッチングボックス
103 コイルおよびアンテナ
104 マスフローコントローラ
105 マスフローコントローラ
106 ターボ分子ポンプ
107 コンダクタンスバルブ
108 ドライポンプ
109 サークレータ
110 DC電源
111 マッチングボックス
112 高周波電源
113 被処理体
114 サセプタ
115 反応チャンバー
Claims (8)
- ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが高い物質の分量を大にし、シリコンウェーハ表面にドーピングを行うプラズマドーピング方法であって、
ドーピングする不純物を含む物質としてB2H6を、電離エネルギーが高い物質としてHeを用い、
バイアス電圧を印加する時間を変化させることでドーズ量を制御し、
前記B2H6の濃度が0.025%以下であることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - B2H6とHeの混合ガスを用いて、シリコンウェーハ表面にドーピングを行うプラズマドーピング方法であって、
バイアス電圧を印加する時間を変化させることでドーズ量を制御し、
前記混合ガスにおける前記B2H6の濃度が0.025%以下であることを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1あるいは2に記載のプラズマドーピング方法であって、
ヘリコン波プラズマ源を用いて前記シリコンウェーハ表面にドーピングを行うプラズマドーピング方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のプラズマドーピング方法であって、
イオン電流密度が 1.1mA/cm2以上のプラズマを使用する事を特徴とするプラズマドーピング方法。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のプラズマドーピング方法であって、
電子温度が6.0 eV以上のプラズマを使用するプラズマドーピング方法。 - 請求項5に記載のプラズマドーピング方法であって、
バイアス電圧が−60V以下であるプラズマドーピング方法。 - 請求項1に記載のプラズマドーピング方法であって、
前記ドーピングする不純物を含む物質よりも電離エネルギーが小さい物質のプラズマを先行して発生させ、しかる後に前記ドーピングする不純物を含む物質を放電させるプラズマドーピング方法。 - 請求項7に記載のプラズマドーピング方法であって、
前記電離エネルギーが小さい物質のプラズマはArプラズマであるプラズマドーピング方法。
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US20060040499A1 (en) * | 2004-08-20 | 2006-02-23 | Steve Walther | In situ surface contaminant removal for ion implanting |
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KR20080005190A (ko) * | 2005-03-30 | 2008-01-10 | 마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤 | 애싱 장치, 애싱 방법 및 불순물 도핑 장치 |
US20090140174A1 (en) | 2005-03-30 | 2009-06-04 | Panasonic Corporation | Impurity Introducing Apparatus and Impurity Introducing Method |
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KR100631400B1 (ko) * | 2006-06-29 | 2006-10-04 | 주식회사 아이피에스 | 상변화 메모리용 칼코제나이드막 증착 방법 |
CN101356625B (zh) * | 2006-10-03 | 2012-05-23 | 松下电器产业株式会社 | 等离子体掺杂方法以及装置 |
US7790586B2 (en) | 2006-11-15 | 2010-09-07 | Panasonic Corporation | Plasma doping method |
US7732309B2 (en) * | 2006-12-08 | 2010-06-08 | Applied Materials, Inc. | Plasma immersed ion implantation process |
JP2008300687A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Tokyo Electron Ltd | プラズマドーピング方法及びその装置 |
WO2009066409A1 (ja) * | 2007-11-22 | 2009-05-28 | Panasonic Corporation | 半導体装置の製造方法 |
US8030187B2 (en) * | 2007-12-28 | 2011-10-04 | Panasonic Corporation | Method for manufacturing semiconductor device |
US7586100B2 (en) * | 2008-02-12 | 2009-09-08 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Closed loop control and process optimization in plasma doping processes using a time of flight ion detector |
KR100985880B1 (ko) | 2008-05-21 | 2010-10-08 | 주식회사 하이닉스반도체 | 플라즈마 도핑 장비의 모니터링 방법 |
WO2010051283A1 (en) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | Applied Materials, Inc. | Doping profile modification in p3i process |
JP5097233B2 (ja) | 2010-03-19 | 2012-12-12 | パナソニック株式会社 | プラズマドーピング方法 |
JP2019046976A (ja) * | 2017-09-01 | 2019-03-22 | Tdk株式会社 | スピン流磁化反転素子、磁気メモリ |
JP7117354B2 (ja) * | 2020-09-14 | 2022-08-12 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1012890A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-16 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JP2000114198A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面処理方法および装置 |
JP2000323422A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Canon Sales Co Inc | プラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法 |
JP2002170782A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマドーピング方法およびプラズマドーピング装置 |
JP2002299241A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-11 | Tadahiro Omi | マイクロ波プラズマプロセス装置、プラズマ着火方法、プラズマ形成方法及びプラズマプロセス方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6784080B2 (en) * | 1995-10-23 | 2004-08-31 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method of manufacturing semiconductor device by sputter doping |
US7064491B2 (en) * | 2000-11-30 | 2006-06-20 | Semequip, Inc. | Ion implantation system and control method |
-
2002
- 2002-11-29 JP JP2002347177A patent/JP4544447B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-11-18 US US10/532,768 patent/US7192854B2/en not_active Expired - Fee Related
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1012890A (ja) * | 1996-06-20 | 1998-01-16 | Sony Corp | 薄膜半導体装置の製造方法 |
JP2000114198A (ja) * | 1998-10-05 | 2000-04-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 表面処理方法および装置 |
JP2000323422A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-24 | Canon Sales Co Inc | プラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法 |
JP2002170782A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマドーピング方法およびプラズマドーピング装置 |
JP2002299241A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-11 | Tadahiro Omi | マイクロ波プラズマプロセス装置、プラズマ着火方法、プラズマ形成方法及びプラズマプロセス方法 |
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