JP5234403B2 - 研磨方法および研磨装置 - Google Patents
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Description
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Removal−Min
Removal)/Average
Removal …(5)
1 研磨装置 10 保持機構
21 研磨ヘッド 23 研磨パッド
35 アーム揺動機構
50 制御装置(パラメータ算出部および補正部)
Claims (6)
- 基板を回転可能に保持する保持機構と、前記保持機構と対向するように設けられた研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに回転可能に保持された研磨パッドと、前記研磨ヘッドを前記保持機構に対して相対揺動させる揺動機構とを備えた研磨装置を用いて、前記研磨ヘッドに回転保持された前記研磨パッドの研磨面を前記保持機構に回転保持された前記基板の被研磨面に当接させながら前記揺動機構により相対揺動させて前記基板の研磨加工を行う研磨方法であって、
前記研磨加工における加工条件から、前記被研磨面における研磨量分布が前記被研磨面の回転中心に対し非対称性を有するか否かを判定するためのパラメータを算出するパラメータ算出工程と、
前記パラメータ算出工程で算出した前記パラメータに基づいて前記加工条件を補正する補正工程とを有し、
前記パラメータ算出工程において、前記パラメータとして非対称性係数κtが算出され、
前記非対称性係数κtは、前記揺動機構による前記研磨ヘッドの一方向への揺動時間をt1とし、前記保持機構による前記基板の1回転あたりの回転時間をt2としたとき、次式
κt=t1/t2
で定義され、
前記加工条件における前記揺動時間および前記回転時間から、前記式を用いて前記非対称性係数を算出することを特徴とする研磨方法。 - 前記補正工程において、前記パラメータ算出工程で算出された前記非対称性係数κtに基づいて、前記加工条件としての、前記揺動機構により前記研磨ヘッドを前記保持機構に対して相対揺動させるときの揺動ストロークおよび揺動速度並びに前記保持機構により前記基板を回転させるときの前記基板の回転速度のうちの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項1に記載の研磨方法。
- 前記補正工程において、Nを整数とし、Eを0以上0.1以下の小数としたとき、前記パラメータ算出工程で算出した前記非対称性係数が次式
κt=N×0.5±E
で表わされる条件を満足する場合に、前記条件から外れるように前記揺動時間および前記回転時間を補正することを特徴とする請求項1または2に記載の研磨方法。 - 基板を回転可能に保持する保持機構と、前記保持機構と対向するように設けられた研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドに回転可能に保持された研磨パッドと、前記研磨ヘッドを前記保持機構に対して相対揺動させる揺動機構とを備え、前記研磨ヘッドに回転保持された前記研磨パッドの研磨面を前記保持機構に回転保持された前記基板の被研磨面に当接させながら前記揺動機構により相対揺動させて前記基板の研磨加工を行うように構成された研磨装置において、
前記研磨加工における加工条件から、前記被研磨面における研磨量分布が前記被研磨面の回転中心に対し非対称性を有するか否かを判定するためのパラメータを算出するパラメータ算出部と、
前記パラメータ算出部で算出された前記パラメータに基づいて前記加工条件を補正する補正部とを有し、
前記パラメータ算出部は、前記パラメータとして非対称性係数κtを算出するように構成され、
前記非対称性係数κtは、前記揺動機構による前記研磨ヘッドの一方向への揺動時間をt1とし、前記保持機構による前記基板の1回転あたりの回転時間をt2としたとき、次式
κt=t1/t2
で定義され、
前記加工条件における前記揺動時間および前記回転時間から、前記式を用いて前記非対称性係数が算出されることを特徴とする研磨装置。 - 前記補正部において、前記パラメータ算出部で算出された前記非対称性係数κtに基づいて、前記加工条件としての、前記揺動機構により前記研磨ヘッドを前記保持機構に対して相対揺動させるときの揺動ストロークおよび揺動速度並びに前記保持機構により前記基板を回転させるときの前記基板の回転速度のうちの少なくともいずれかを補正することを特徴とする請求項4に記載の研磨装置。
- 前記補正部は、Nを整数とし、Eを0以上0.1以下の小数としたとき、前記パラメータ算出部に算出された前記非対称性係数が次式
κt=N×0.5±E
で表わされる条件を満足する場合に、前記条件から外れるように前記揺動時間および前記回転時間を補正することを特徴とする請求項4または5に記載の研磨装置。
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