JP5233804B2 - 積層セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、複数のセラミックグリーンシートを加圧し圧着して積層する積層セラミック電子部品の製造方法に関するものである。

積層セラミックコンデンサなどの積層セラミック電子部品は、内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートと内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートとを所定の順序で積み重ね被加圧体を形成した後、上下の加圧部で被加圧体を挟み込んで加圧し圧着するプレス工程を行って積層体を形成していた。

このセラミックグリーンシートの積層体の下層は加圧の圧力を繰り返し受けて変形が生じるため、例えば特許文献１には積層回数の増加に伴ってプレス工程での被加圧体の温度を段階的に下げることにより積層体の変形を防ぎ焼結時の密度差による構造欠陥を抑制し信頼性を向上する方法が開示されている。
特開２００５−３０２９７９号公報

しかしながら、このような従来の製造方法は被加圧体の温度が異なるプレス工程を行うときは加圧部の温度の異なるプレス装置を複数台用意しプレス装置を被加圧体の温度に応じて適宜変えていた。そのため１台当りのプレス装置の生産性が低く生産スペースも多く必要とする課題があった。

一方１台のプレス装置で行うとすると加圧部の温度を下げる必要があり、そのため加圧部の温度が切り替わるまでの待機時間が長くなり積層体の形成工程の作業効率が低下する課題があった。

本発明は、このような従来の課題を解決し、プレス工程において加圧時の被加圧体の温度を変更する際の時間的損失を抑え積層体の形成工程の作業効率を高めることができる積層セラミック電子部品の製造方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明は、セラミックグリーンシートを積層して被加圧体を形成する工程と、下加圧部に載置された前記被加圧体を上加圧部と前記下加圧部とで加圧しセラミックグリーンシートを圧着するプレス工程とを備える積層セラミック電子部品の製造方法であって、前記プレス工程は第１プレス工程と第２プレス工程を有し、第１プレス工程は前記下加圧部と前記上加圧部の少なくともいずれか一方の加圧部と前記被加圧体間に熱抵抗シートを配設して前記加圧を行い、第２プレス工程は前記加圧部と前記被加圧体間に前記熱抵抗シートを配設せずに前記加圧を行うものであり、第１プレス工程と第２プレス工程は前記上加圧部の温度を前記下加圧部より高温に設け、第１プレス工程と第２プレス工程の工程間で前記熱抵抗シートを着脱することにより第１プレス工程における前記加圧時の前記被加圧体の温度と第２プレス工程における前記温度とを異ならせる積層セラミック電子部品の製造方法である。

以上のように本発明によれば、１台のプレス装置を用いて加圧・圧着するプレス工程を行う際に下加圧部と上加圧部の温度を変えずに被加圧体の温度を短時間で変更することができるため積層体の形成工程の作業効率を高めることができる。

本発明の実施の形態の積層セラミック電子部品の製造方法について、積層セラミックコンデンサを用いて説明する。

図２は本発明の実施の形態における積層セラミックコンデンサの斜視図、図３は同内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートの断面図である。

積層セラミックコンデンサは、図２に示すように実効層５３を保護層５２間に挟んだセラミック焼結体５１の両端部に外部電極５６ａ、５６ｂを設けたものであり、実効層５３はセラミック層５４を介して内部電極層５５が交互に積層されたものであり、内部電極層５５はセラミック焼結体５１の両側の端面に交互に夫々露出し外部電極５６ａ、５６ｂと導通している。

積層セラミックコンデンサの形成は、まずＢａＴｉＯ₃等を主成分とするセラミック粉末とバインダとを溶剤で混合してセラミックスラリーを作成する。次にポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）のベースフィルム１２表面にセラミックスラリーを印刷し乾燥してセラミックグリーンシート１１を形成する。

さらに図３に示すようにベースフィルム１２に設けたセラミックグリーンシート１１の表面にニッケル等の金属粉末とバインダとを含有する内部電極パターン１３を転写又はスクリーン印刷やグラビア印刷等により形成する。

次にセラミックグリーンシート１１を積み重ねて圧着した積層体を形成する。

積層体の形成は、内部電極パターン１３を形成していないセラミックグリーンシート１１を複数枚積層して保護層５２となる保護層部を形成し、この保護層部の上に内部電極パターン１３を形成したセラミックグリーンシート１１を複数枚積層してセラミックグリーンシート１１と内部電極パターン１３とを交互に積層し実効層５３となる実効層部を形成し、さらに実効層部の上に内部電極パターン１３を形成していないセラミックグリーンシート１１を複数枚積層して保護層部を形成するものである。

このようにセラミックグリーンシート１１と内部電極パターン１３とを有する積層体を形成した後、積層体を切断して焼成することによりセラミック焼結体５１を得る。続いてセラミック焼結体５１の端面に導電ペーストを塗布し焼成することにより外部電極５６を形成し積層セラミックコンデンサを得る。

以下に実効層部の形成について説明する。

図１は本発明の実施の形態における積層セラミックコンデンサの積層体の形成工程の一部分を示すフローチャート、図４は同被加圧体の断面図、図７は同プレス部の動作を示す概略側面図、図８は同他のプレス部の動作を示す概略断面図である。

実効層部１８の形成は図１に示すように第１積層工程と第２積層工程を有している。第１積層工程及び第２積層工程は、まず図４に示すようにベースフィルム１２上に内部電極パターン１３が形成されたセラミックグリーンシート１１を設けた状態でセラミックグリーンシート１１を積層体の最上層に対向させて積層して被加圧体１６を形成する工程を行う（被加圧体形成工程）。

次に第１積層工程では第１プレス工程を行い、第２積層工程では第２プレス工程を行う。第１プレス工程及び第２プレス工程のプレス工程は図７、図８に示すようにセラミックグリーンシート１１を少なくとも１枚積層する毎に下加圧部２１に載置した被加圧体１６を下加圧部２１と上加圧部２３とで加圧・加熱しセラミックグリーンシート１１同士を圧着するものである。

さらに図７（ｄ）、図８（ｃ）に示すように第１プレス工程は加圧する際に下加圧部２１と上加圧部２３の少なくともいずれか一方の加圧部と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設して加圧するものであり、第２プレス工程は前記加圧部と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設せずに加圧するものである。

熱抵抗シート２５は、熱抵抗シート２５を挿入して配設した前記加圧部と被加圧体１６間の熱伝導を加圧時において低下させるものである。

続いて第１積層工程及び第２積層工程で被加圧体１６の最上層のセラミックグリーンシート１１からベースフィルム１２を剥離する工程を行って積層体１５を得る（剥離工程）。

そして被加圧体形成工程とプレス工程と剥離工程を順次行う積層工程を第１積層工程及び第２積層工程において夫々少なくとも１回以上行う。

さらに図１（ｂ）に示すように第２積層工程と第１積層工程を順次行う場合は、第１積層工程において下加圧部２１と上加圧部２３の少なくともいずれか一方の加圧部と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設するために、図７、図８に示すように第２積層工程と第１積層工程の工程間で熱抵抗シート２５を前記加圧部に取り付ける（熱抵抗シート取付け工程）。

図１（ａ）に示すように第１積層工程と第２積層工程を順次行う場合は第１積層工程と第２積層工程の工程間で下加圧部２１と上加圧部２３間から熱抵抗シート２５を取り外す（熱抵抗シート取外し工程）。

さらに第１プレス工程及び第２プレス工程において上加圧部２３の温度を下加圧部２１より高温に設けている。これによって上加圧部２３から下加圧部２１に向かう積層方向に被加圧体１６を通じて熱が伝導する。

そして第１プレス工程と第２プレス工程で下加圧部２１及び上加圧部２３の温度を一定に保持すると、熱抵抗シート２５を上加圧部２３と被加圧体１６間に配設して第１プレス工程を行う場合には熱抵抗シート２５の配設しない第２プレス工程に比較し加圧時の被加圧体１６の温度を下げることができる。一方、下加圧部２１と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設して第１プレス工程を行う場合には第２プレス工程に比較し加圧時の被加圧体１６の温度を上げることができる。

したがって積層工程の回数の増加に伴って被加圧体１６の温度を段階的に下げるためには、例えば第２積層工程を行った後、上加圧部２３と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設する第１プレス工程を有する第１積層工程を行う。または下加圧部２１と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を配設する第１プレス工程を有する第１積層工程を行った後、第２積層工程を行ってもよい。また第１積層工程と第２積層工程の順序を逆にすることにより被加圧体１６の温度を段階的に上げることができる。

下加圧部２１の温度は１０℃〜３０℃に保持され上加圧部２３の温度は７０℃〜１５０℃に保持されることが好ましく、繰り返し加圧・圧着される被加圧体１６の下層が低温側となるため積層体の下層のセラミックグリーンシートの変形が小さくなるので被加圧体１６の上層と下層の密度差を小さくでき構造欠陥を低減することができる。

また上加圧部２３の温度が７０℃未満ではセラミックグリーンシートの接着力が不足して積層体の密着力が不十分となりセラミック焼結体の構造欠陥が生じ、上加圧部２３の温度が１５０℃を超えるとセラミックグリーンシートの変形が大きくなりセラミックグリーンシートの厚みのバラツキが大きくなって特性不良を生じ易くなる。

熱抵抗シート２５の熱抵抗は３×１０^-4ｍ²Ｋ／Ｗ〜３×１０^-3ｍ²Ｋ／Ｗとすることが好ましく、熱抵抗シート２５の着脱前後の第１プレス工程と第２プレス工程における加圧時の被加圧体１６の最上層のセラミックグリーンシートの温度差を１５℃〜３０℃とすることができ、積層工程の回数の増加に応じて熱抵抗シート取付け工程又は熱抵抗シート取外し工程を行って被加圧体１６の温度を段階的に下げると積層体の変形を防止し構造欠陥を低減することができる。

ここで熱抵抗は熱抵抗シートのシート厚み（ｍ）／熱伝導率（Ｗ／ｍＫ）である。

熱抵抗シート２５の材料はポリエチレンテレフタレート、シリコーン、フッ素樹脂、ポリイミド等の樹脂を用いることが好ましく、熱伝導率が０．１５Ｗ／ｍＫ〜１．０Ｗ／ｍＫと小さく前記温度差を得るために軽量で取り扱いが容易であり繰り返して加圧できる耐久性を有するシート厚みとすることができる。

また熱抵抗シート２５はシリコーンゴム等の弾性体を用いることが好ましく下加圧部２１・上加圧部２３や被加圧体１６等の熱抵抗シート２５を挟み込む部材に密着し易くなるので熱伝導のばらつきを抑制でき加圧時の被加圧体１６の温度を安定にすることができる。

このようにプレス工程において上加圧部の温度を下加圧部より高温に設け、第１プレス工程と第２プレス工程の工程間で下加圧部と上加圧部の少なくともいずれか一方の加圧部に熱抵抗シートを着脱することにより、第１プレス工程における加圧時の被加圧体の温度と第２プレス工程における前記温度とを短時間で容易に異ならせることができる。

次に本発明の実施の形態の積層セラミック電子部品の実効層部の積層工程における製造装置について説明する。

図５は本発明の実施の形態における積層装置の模式平面図、図６は同プレス部の概略正面図である。

実効層部の積層工程に用いる積層装置は、図５に示すように被加圧体を形成する工程を行う積層部３１とプレス工程を行うプレス部３２とベースフィルムを剥離する工程を行う剥離部３３と積層体１５の供給・取出部３０とを備えている。さらにプレス部３２において熱抵抗シート取付け工程と熱抵抗シート取外し工程を行う。

積層装置は搬送パレット３４上に粘着シート（図示せず）を介して積層体１５を載置した後、積層部３１とプレス部３２と剥離部３３の順序で積層したセラミックグリーンシートを搬送経路３６上で移送し循環させることにより積層工程を所定回数繰り返して実効層部を有する積層体１５を形成するものである。

供給・取出部３０では前工程の保護層部形成工程から搬送された積層体１５を積層工程に投入するため積層装置への積層体１５の供給と、実効層部を形成した積層体１５を次工程に搬送するため積層装置から積層体１５の取り出しとを行う。

積層部３１では内部電極パターン１３を形成したセラミックグリーンシート１１を一定形状に切断した状態で積層体１５に積み重ね被加圧体１６を形成する。

プレス部３２では図６に示すように１対の剛体のプレス金型である下加圧部２１と上加圧部２３を１台のプレス装置に設け、下加圧部２１の上に搬送パレット３４と共に被加圧体１６を載置し、下加圧部２１と上加圧部２３によって被加圧体１６を積層方向に加圧し加熱しながら圧着する。

プレス部３２は下加圧部２１が上下に移動して下加圧部２１と上加圧部２３の開閉を行うものであるが上加圧部２３が上下に移動して開閉を行ってもよい。

下加圧部２１と上加圧部２３はプレス金型として鉄系合金の合金工具鋼材が好適に用いられる。

さらに下加圧部２１の温度は下加圧部２１の内部に埋め込んだパイプ３８に冷却水を循環されることによって制御され、上加圧部２３の温度は上加圧部２３の内部に埋め込んだヒータ３９をＯＮ・ＯＦＦすることによって制御されている。

プレス部３２は上加圧部２３の加圧面２４に熱抵抗シート２５を取り付けるものであり、図６、図７に示すように水平駆動部４１と垂直駆動部４５とを設けている。

水平駆動部４１は空気圧または油圧によって水平方向に伸縮するシリンダ４２又はボールねじ駆動等の電動アクチュエータと、ロッド４３の先端に連結されて熱抵抗シート２５の上面を真空吸着して保持する吸着ノズル４４と、を備えたもので、熱抵抗シート２５を加圧面２２、２４に沿う方向に直線状に往復動させて下加圧部２１と上加圧部２３間に出し入れする。

また水平駆動部４１の代わりに熱抵抗シート２５を手で保持して手作業で下加圧部２１と上加圧部２３間に熱抵抗シート２５を出し入れしてもよい。

垂直駆動部４５は熱抵抗シート２５の下面を支持する薄膜の樹脂又は金属で構成される可撓性部材４６と、この可撓性部材４６の少なくとも一端側を巻回する可逆ロール４７と、を備え、熱抵抗シート２５を上下動させて上加圧部２３の加圧面２４に熱抵抗シート２５の取り付けと取り外しをするものである。

可撓性部材４６の両端部は、熱抵抗シート２５を取り付ける方の上加圧部２３の加圧面２４に対し上下に相対的に移動しないように上加圧部２３の側方で可逆ロール４７に保持され、可撓性部材４６が下加圧部２１と上加圧部２３間を横切ってロッド４３が移動する方向と直交するように帯状に架設され、この架設された部分は可逆ロール４７の巻き取り・巻き出しにより上加圧部２３の加圧面２４に対し上下動可能に設けられている。

プレス部３２での熱抵抗シート取付け工程において熱抵抗シート２５を上加圧部２３に取り付ける動作は、図７（ａ）に示すように下加圧部２１に被加圧体１６が載置され下加圧部２１と上加圧部２３が開いた状態で行われる。この状態で可逆ロール４７によって可撓性部材４６を巻き出すことにより図６に示すように可撓性部材４６における下加圧部２１と上加圧部２３間に配置する部分を加圧方向に円弧状に垂れ下がった湾曲状態にたわませ上加圧部２３の加圧面２４と可撓性部材４６間に間隔を設ける。

さらに図７（ｂ）に示すようにロッド４３を可逆ロール４７間に伸ばして熱抵抗シート２５を上加圧部２３の加圧面２４と可撓性部材４６間の間隔に搬送して挿入し、熱抵抗シート２５を吸着ノズル４４から下方に離脱させて可撓性部材４６で下面を支持させる。

続いて図７（ｃ）に示すように可逆ロール４７によって可撓性部材４６を巻き取ることにより可撓性部材４６を上加圧部２３の加圧面２４に対し平行に平坦状態に張り渡して上加圧部２３の加圧面２４に熱抵抗シート２５を押し当てる。このように下加圧部２１と上加圧部２３間に上下動可能に設けた可撓性部材４６で熱抵抗シート２５を支持することによって加圧部の加圧面に短時間で取り付けができる。

可撓性部材４６は熱抵抗シート２５の下面全体を保持している。そのため可撓性部材４６が熱抵抗シート２５と被加圧体１６間に介在しているので、熱抵抗シート２５による被加圧体１６の温度変更の作用効果を阻害しないように可撓性部材４６の熱抵抗を熱抵抗シート２５より小さく設けることが望ましい。また可撓性部材４６が被加圧体１６に直接当接しないように可撓性部材４６が熱抵抗シート２５の外周縁部等の一部を保持してもよい。

そして図７（ｄ）に示すように熱抵抗シート２５を可撓性部材４６で支持しながら上加圧部２３の加圧面２４に取り付けた状態で下加圧部２１を上方に移動させ上加圧部２３と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５を設けて第１プレス工程を行う。

なお上加圧部２３と被加圧体１６間に熱抵抗シート２５に設けない第２プレス工程を行う際は可逆ロール４７によって可撓性部材４６を巻き取って上加圧部２３の加圧面２４に可撓性部材４６を押し当てた状態で行う。

また図８は他のプレス部３２ａを示し、プレス部３２ａは下加圧部２１の加圧面２２に熱抵抗シート２５を取り付けるものであり、プレス部３２ａは前述したプレス部３２における可撓性部材４６を用いずに垂直駆動部４５を下加圧部２１で代用して行うことと水平駆動部４１の高さを下方に変更したこと以外はプレス部３２と同じ構成とするものである。

プレス部３２ａでの熱抵抗シート取付け工程において熱抵抗シート２５を下加圧部２１に取り付ける動作は、図８（ａ）に示すように水平駆動部４１のロッド４３を伸ばして吸着ノズル４４から熱抵抗シート２５を離脱させて熱抵抗シート２５を下加圧部２１の加圧面２２に置く。次に図８（ｂ）に示すように被加圧体１６を載置した搬送パレット３４を搬送経路３６上で移送し搬送パレット３４を熱抵抗シート２５の上に置き、搬送パレット３４によって熱抵抗シート２５が上加圧部２３の加圧面２４に押し当てられるものである。そして図８（ｃ）に示すように下加圧部２１を上方に移動させて第１プレス工程を行う。

また熱抵抗シート取外し工程において熱抵抗シート２５を上加圧部２３又は下加圧部２１から取り出すときは、上加圧部２３又は下加圧部２１に取り付ける時と逆の動作を行って熱抵抗シート２５を取り出す。下加圧部２１から熱抵抗シート２５を取り出す場合は被加圧体１６を載置した搬送パレット３４をプレス部３２から移送させて取り除いた後、取り出す。

なお熱抵抗シート２５の取り付け・取り出しを行う際は熱抵抗シート２５の移動が容易になるように熱抵抗シート２５を支持する可撓性部材４６や下加圧部２１の上下位置の調整を行うことが好ましい。

以上のように下加圧部又は上加圧部への熱抵抗シートの取り付け・取り出しを短時間で行うことができ、第１プレス工程と第２プレス工程の工程間で加圧時の被加圧体の温度を変更する積層体の形成工程の作業効率を高めることができる。

また前述したように内部電極パターンが形成されたセラミックグリーンシートを積層するときに熱抵抗シートの着脱を行う以外に、内部電極パターンが形成されていないセラミックグリーンシートを積層するときに熱抵抗シートの着脱を行うことができる。

（実施例）
最初にＢａＴｉＯ₃の粉末とポリビニールブチラール樹脂とを含有する厚み１．６μｍのセラミックグリーンシートをＰＥＴベースフィルム上に形成しセラミックグリーンシートを用意した。

また前記ＰＥＴベースフィルムに設けたセラミックグリーンシート上にスクリーン印刷によりニッケル粉末を主成分とする厚み１．３μｍの内部電極パターンを印刷し内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを用意した。

次にセラミックグリーンシートを４０枚積層し保護層部の積層体を形成し、さらに内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを一枚積層する毎に被加圧体の加圧・圧着を１回行う積層工程を行って積層体の実効層部を形成した。

実効層部の形成は、まず熱抵抗シートを配設しない第２プレス工程を用いて積層工程を３５０回繰り返し行って第２積層工程により実効層部の下層を形成した。

次に上加圧部側に設けた厚み２０μｍのＰＥＴフィルムの可撓性部材に手作業で熱抵抗シートを載せ、可撓性部材で熱抵抗シートの下面全体を支持させて上加圧部の加圧面に熱抵抗シートを取り付けた。熱抵抗シートの取り付けに要した作業時間は１０秒であった。

また、この可撓性部材は実効層部の下層を形成する第２プレス工程においては上加圧部の加圧面に当接して用いた。

続いて上加圧部と被加圧体間に前記熱抵抗シートを配設した第１プレス工程を用いて積層工程を３５０回繰り返し行って第１積層工程により実効層部の上層を形成し、内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートを総計で７００層積層し実効層部を形成した。

実効層部の第１プレス工程と第２プレス工程では１台のプレス装置に取り付けた１対の下加圧部と上加圧部とを用いた。下加圧部と上加圧部の温度は夫々２０℃と１１０℃に保った。また加圧の圧力は２５ＭＰａの一定で行った。

熱抵抗シートは厚みが４００μｍ、熱抵抗が２．０×１０^-3ｍ²Ｋ／Ｗのシリコーンゴムを用い、被加圧部の被加圧面より大きい面形状とした。

ここで上加圧部が被加圧体を加圧しているとき被加圧体の最上層のセラミックグリーンシートの温度は、実効層部の下層を形成する第２プレス工程では７０℃であり上層を形成する第１プレス工程では５０℃であった。

次に実効層部を形成した積層体にさらにセラミックグリーンシートを４０枚積層して保護層部を形成し積層体を得た。この積層体を１．６ｍｍ×０．８ｍｍの大きさに切断して焼成を行った後、外部電極を形成して積層セラミックコンデンサを作製した。

（比較例）
比較例は、実施例の実効層部の上層を形成する際に第１プレス工程の代わりに熱抵抗シートを用いない第２プレス工程を行い上加圧部の温度を変更した以外は実施例と同様に作製した。

実効層部の下層を形成する第２プレス工程では下加圧部の温度を２０℃、上加圧部の温度を１１０℃に一定に保って積層工程を３５０回行った。

次に下加圧部の温度を２０℃に保持したまま、上加圧部のヒータをＯＦＦにして自然放熱によって上加圧部の温度を１１０℃から７０℃に降下させた。上加圧部の温度の切り替えに要した時間は５０分であった。

続いて下加圧部と上加圧部の温度を一定にして第２プレス工程を用いて実効層部の上層の積層工程を３５０回行い、積層セラミックコンデンサを作製した。

ここで上加圧部が被加圧体を加圧しているとき被加圧体の最上層のセラミックグリーンシートの温度は実効層部の下層を形成する第２プレス工程では７０℃であり上層を形成する第２プレス工程では５０℃であり実施例と同じ温度であった。

以上のように実施例は比較例に比べ積層セラミックコンデンサのプレス工程における加圧時の被加圧体の温度を変更する時間を著しく短縮することができ積層体の形成工程の作業効率を高めることができる。

次に作製した積層セラミックコンデンサについて初期電気特性、信頼性および構造欠陥を評価し、その評価結果を（表１）に示す。

ここで初期電気特性は実施例と比較例の各試料５０個についての静電容量とショート率であり、静電容量は周波数１ｋＨｚにおいて１Ｖｒｍｓで測定した静電容量の平均値を示し、ショート率は絶縁抵抗値が１０³Ω以下の試料をショート品として算出した。

信頼性は高温負荷試験後の絶縁抵抗劣化の有無を示し、高温負荷試験は実施例と比較例の各試料５０個について温度８５℃にて定格電圧の１倍の直流電圧を１０００時間連続印加するもので高温負荷試験後の絶縁抵抗値が１ＭΩ未満の試料を絶縁抵抗劣化品とし絶縁抵抗劣化品がない場合は○とし１個以上ある場合は×とした。

構造欠陥は外観および断面観察による焼結体のデラミネーションやクラック等の有無を示し、実施例と比較例の各試料１００個について構造欠陥を評価し構造欠陥品がない場合は○とし構造欠陥品が１個以上ある場合は×とした。

（表１）に示すように、実施例は積層回数の増加に従ってプレス工程において被加圧体の温度を段階的に下げることにより積層体の変形を防ぎ、比較例と同様に積層セラミックコンデンサの構造欠陥を発生することなく同等の初期電気特性、信頼性を得ることができている。

本発明の積層セラミック電子部品の製造方法はプレス工程において被加圧体の温度を短時間で変更することができ積層体の形成工程の作業効率を高める効果を有し、積層セラミックコンデンサ、積層インダクタ、積層バリスタ、積層サーミスタ、積層セラミック回路基板等の積層セラミック電子部品に有用である。

（ａ）本発明の実施の形態における積層セラミックコンデンサの積層体の形成工程の一部分を示すフローチャート、（ｂ）同他の積層体の形成工程の一部分を示すフローチャート 本発明の実施の形態における積層セラミックコンデンサの斜視図 本発明の実施の形態における内部電極パターンを形成したセラミックグリーンシートの断面図 本発明の実施の形態における被加圧体の断面図 本発明の実施の形態における積層装置の模式平面図 本発明の実施の形態におけるプレス部の概略正面図 本発明の実施の形態におけるプレス部の動作を示す概略側面図 本発明の実施の形態における他のプレス部の動作を示す概略側面図

１１ セラミックグリーンシート
１２ ベースフィルム
１３ 内部電極パターン
１５ 積層体
１６ 被加圧体
１８ 実効層部
２１ 下加圧部
２２ 加圧面
２３ 上加圧部
２４ 加圧面
２５ 熱抵抗シート
３１ 積層部
３２、３２ａ プレス部
３４ 搬送パレット
４１ 水平駆動部
４３ ロッド
４４ 吸着ノズル
４５ 垂直駆動部
４６ 可撓性部材
４７ 可逆ロール

Claims (3)

1. セラミックグリーンシートを積層して被加圧体を形成する工程と、下加圧部に載置された前記被加圧体を上加圧部と前記下加圧部とで加圧しセラミックグリーンシートを圧着するプレス工程とを備える積層セラミック電子部品の製造方法であって、
   前記プレス工程は第１プレス工程と第２プレス工程を有し、第１プレス工程は前記下加圧部と前記上加圧部の少なくともいずれか一方の加圧部と前記被加圧体間に熱抵抗シートを配設して前記加圧を行い、第２プレス工程は前記加圧部と前記被加圧体間に前記熱抵抗シートを配設せずに前記加圧を行うものであり、
   第１プレス工程と第２プレス工程は前記上加圧部の温度を前記下加圧部より高温に設け、第１プレス工程と第２プレス工程の工程間で前記熱抵抗シートを着脱することにより第１プレス工程における前記加圧時の前記被加圧体の温度と第２プレス工程における前記温度とを異ならせる積層セラミック電子部品の製造方法。
2. 前記熱抵抗シートは熱抵抗が３×１０^-4ｍ²Ｋ／Ｗ〜３×１０^-3ｍ²Ｋ／Ｗである請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。
3. 前記熱抵抗シートを着脱する際に、前記下加圧部と前記上加圧部間に上下動可能に設けた可撓性部材によって前記熱抵抗シートを支持する請求項１に記載の積層セラミック電子部品の製造方法。

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