以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
図1は、本発明の一実施の形態に係るインクジェットヘッド(液体吐出ヘッド;以下、ヘッド1)を含むインクジェットプリンタ(以下、プリンタ101)の内部構成を示す模式図である。プリンタ101は、ライン式のカラーインクジェットプリンタである。
プリンタ101は、ほぼ直方体形状の筐体101aを有している。筐体101aの天板上部には、排紙部15が設けられている。筐体101aの内部空間は、上から順に3つの空間に区分できる。上空間および中空間では、排紙部15に連なる用紙の搬送経路が構成されている。上空間では、用紙の搬送と用紙への画像形成が行われる。中空間では、用紙の収納とその搬出が行われる。下空間は、インク供給源が収納されており、対応するヘッド1へインクの供給が行われる。
上空間には、4つのヘッド1、用紙を搬送する搬送機構16、用紙をガイドするガイド部、インクを流通するインク流通機構50等が配置されている。上空間の上部には、これらの機構を含め、プリンタ全体の動作を司る制御部100が配置されている。
4つのヘッド1は、主走査方向(図1の紙面に直交する方向)に長尺なラインヘッドであって、略直方体の外形形状を有する。各ヘッド1は、副走査方向に所定ピッチで並び、ヘッドフレーム(図示せず)によって筐体101aに支持されている。ヘッド1は、リザーバユニット3、流路ユニット4および8つのアクチュエータユニット17を含む。画像形成に際して、4つのヘッド1の下面(吐出面2a)からは、マゼンタ、シアン、イエロー、ブラックのインクが吐出される。ヘッド1について、より具体的な構成は後述する。
搬送機構16は、図1に示すように、ベルトローラ6、7および両ローラ6、7間に巻回されたエンドレスの搬送ベルト8に加え、搬送ベルト8の外側に配置されたニップローラ4および剥離プレート5、搬送ベルト8の内側に配置されたテンションローラ10、直方体形状のプラテン18等を有している。
ベルトローラ7は、駆動ローラであって、搬送モータ19によって、図1中時計回りに回転する。このとき、搬送ベルト8は、太矢印に沿って走行する。ベルトローラ6は、従動ローラであって、搬送ベルト8の走行に伴い、図1中時計回りに回転する。ニップローラ4は、ベルトローラ6に対向配置され、前段のガイド部から供給された用紙Pを搬送ベルト8の外周面8aに押さえつける。剥離プレート5は、ベルトローラ7に対向配置され、用紙Pを外周面8aから剥離して後段のガイド部に導く。テンションローラ10は、搬送ベルト8の下側ループを外側に向けて付勢し、搬送ベルト8の弛みを取る。プラテン18は、4つのヘッド10に対向配置され、搬送ベルト8の上側ループを内側から支える。これにより、外周面8aとヘッド1の吐出面2aとの間には、画像形成に適した所定の間隙が形成される。
ガイド部は、搬送機構16を挟んで両側に配置されている。上流側ガイド部(前段のガイド部)は、2つのガイド13a、13bおよび一対の送りローラ14を有する。このガイド部は、給紙ユニット101b(後述)と搬送機構16とを繋ぐ。下流側ガイド部(後段のガイド部)は、2つのガイド29a、29bおよび二対の送りローラ28を有する。このガイド部は、搬送機構16と排紙部15とを繋ぐ。
インク流通機構50は、後述のように、インクを循環するポンプ51、インクを一時的に貯留するサブタンク57、インク流路を開閉する開閉弁55、56、58、59および各部材同士を繋ぐ流路部材(例えば、インクチューブ)を有している。ポンプ51は、開閉弁55、56、58、59の開閉状態に合わせて、ヘッド1へのインクの供給や循環を行う。
中空間には、給紙ユニット101bが配置されている。給紙ユニット101bは、給紙トレイ11および給紙ローラ12を有し、給紙トレイ11が筐体101aに着脱可能に装着されている。給紙トレイ11は、上方に開口した箱体であって、複数の用紙Pを収納する。給紙ローラ12は、給紙トレイ11内で最も上方にある用紙Pを送り出し、上流側ガイド部に供給する。
上述したように、上空間および中空間によって、給紙ユニット101bから搬送機構16を介して排紙部15に至る用紙搬送経路が形成されている。印字指令に基づいて、給紙トレイ12から繰り出された用紙Pは、上流側ガイド部を介して搬送機構16に供給される。用紙Pが各ヘッド1の真下を副走査方向に通過する際、順に吐出面2aからインクが吐出されて、用紙P上にカラー画像が形成される。用紙Pは、さらに下流側ガイド部を介して搬送され、上方の開口22から排紙部15に排紙される。
ここで、副走査方向とは、搬送ユニット21において用紙Pが搬送されるときの搬送方向に平行な方向であって、主走査方向とは、水平面に平行且つ副走査方向に直交する方向である。
下空間には、インクタンクユニット101cが筐体1aに対して着脱可能に配置されている。インクタンクユニット101cには、4つのインクタンク17が並んで収納されている。各インクタンク17は、インクチューブ(図示せず)を介して対応するヘッド1にインク供給可能である。
以下、ヘッド1についてより詳細に説明する。ヘッド1は、インクを吐出するヘッド本体2とヘッド本体2にインクを供給するリザーバユニット3とを有している。ヘッド本体2の下面は、複数の吐出口が開口した吐出面2aである。リザーバユニット3は、吐出面2aと反対側でヘッド本体2に積層されている。
リザーバユニット3は、プレート部材31〜33とプレート部材34x及び34yとが積層された積層体である(図5参照)。プレート部材31〜33は、図2に示すように、それぞれ平面視において主走査方向に長尺な金属製又は樹脂製の矩形状平板部材である。プレート部材34x及び34yは、プレート部材31〜33と部分的に重なる金属製又は樹脂製の小さな平板部材である。プレート部材31〜33並びにプレート部材34x及び34yは、互いに積層された状態で接合されている。接合時、各部材は積層方向の両側から圧力が加えられる。例えば、接着剤で接合する場合、各部材が接着剤を介して積層され、積層方向に両側から押圧される。接着剤が熱硬化性であれば、押圧時に加熱もされる。金属接合の場合でも、金属部材同士の積層後、加熱・加圧される。
これらの部材のうち、最も上方に配置されたプレート部材31には、供給流路31aと2つの排出流路31bとが形成されている。各流路31a、31bは、主走査方向に沿って配置され、プレート部材31を厚み方向に貫通している。供給流路31aは、主走査方向及び副走査方向に関してプレート部材31の中央付近に配置されている。2つの排出流路31bは、プレート部材31の主走査方向端部において、副走査方向に関して中央付近に配置されている。供給流路31aは外部からインクが供給される流路であり、排出流路31bは外部へとインクが排出される流路である。
プレート部材31の下面には、プレート部材32(平板部材)が接合されている。プレート部材32には、プレート部材32を厚み方向に貫通する貫通流路が形成されている。貫通流路は、図2に示すように、2つの排出流路32bと、この2つの排出流路32b同士を結ぶ1本の主流路32aと、主流路32aから分岐した8つの分岐流路32cとを含む。平面視で、主流路32aの中央部が供給流路31aと対向し、排出流路32bが排出流路31bと対向している。
8つの分岐流路32cのうち、4つは副走査方向に関してプレート部材32の一端付近に配置され、主走査方向に沿ってほぼ等間隔に配置されている。残りの4つは他端付近に配置され、主走査方向に沿ってほぼ等間隔に配置されている。これにより、8つの分岐流路32cが、全体として2列の千鳥状に配列されていると共に、供給流路31aと対向する位置C1(主流路32aの中央部)を中心にして互いに対称に配置されている。分岐流路32cは、後述のプレート部材33側の流路である供給流路対33aと積層方向に対向しており、本発明における対向部に対応する。一方、主流路32aは、プレート部材33側の流路と対向しておらず、不対向部に対応する。
主流路32aは、2つの排出流路32bのうち、一方の排出流路32bから始まっており、そこから各分岐流路32cに向かってジグザグに折れ曲がりつつ、他方の排出流路32bへと延びている。隣り合う2つの分岐流路32c同士を結ぶ部分32dは、一方の分岐流路32cから他方の分岐流路32cに向かって、ほぼ直線状に延びている。主流路32aは、位置C1(第1の接続位置)において供給流路31aと接続されていると共に、位置C2(第2の接続位置)において排出流路32bを介して排出流路31bと連通している。
分岐流路32c周辺の構成について、図2及び図3を参照しつつ説明する。分岐流路32cは、主走査方向に沿って延びていると共に、連通流路32f及び32hを介して主流路32aと連通している。連通流路32fは分岐流路32cの主走査方向に関する一端に接続されており、連通流路32hは他端に接続されている。各分岐流路32cにおいて、連通流路32fは位置C1に近い方の端部(上流側の端部)に配置されており、連通流路32hは位置C1から遠い方の端部(下流側の端部)に配置されている。
連通流路32fは方向Xに沿って延びており、この方向Xは、図2に示すように、主流路32aにおける、隣り合う2つの分岐流路32cを結ぶ部分32dが延びる方向にほぼ沿っている。これにより、主流路32aに沿って流れたインクが、連通流路32fに滑らかに流入する。
連通流路32fは、図3に示すように、2本の部分流路32x及び32yによって構成されている。部分流路32x及び32yは、プレート部材32にハーフエッチングを施すことにより、プレート部材33側の表面に開口した凹部として形成されている。プレート部材32において、部分流路32x及び32yが形成された部分は、流路が形成されていない領域より厚みが小さい薄肉部32tである。また、部分流路32xと部分流路32yの間には、流路が形成されていない部分と等しい厚みの厚肉部32gが残されている。
連通流路32fは、2本以上の部分流路から構成されてもよい。各部分流路の深さと幅は、気泡や異物がより上流側から流れてきたとき、分岐流路32c側に移動しにくいサイズとされ、例えば、幅はそれぞれ1.25mm、深さは共に0.5mmである。
連通流路32hは、プレート部材32を厚み方向に貫通している。連通流路32hは方向Yに沿って延びており、この方向Yは、図2に示すように、主流路32aにおける、隣り合う2つの分岐流路32cを結ぶ部分32dが延びる方向にほぼ沿っている。これにより、連通流路32hに沿う流れが滑らかになる。連通流路32hの幅は、気泡や異物が主流路32a側に移動しやすいサイズとされ、例えば、2.5mmである。
主流路32aと分岐流路32cの間には、主走査方向に沿って延びる厚肉部32eが形成されている。厚肉部32eは、プレート部材32においてインク流路が形成されていないその他の部分と同じ厚みを有している。厚肉部32eは、薄肉部32tと厚肉部32gとによって、プレート部材32のその他の部分と連結されている。以上のように、分岐流路32cは、プレート部材32のその他の部分、及び2つの厚肉部32e、32gによって包囲された流路である。
図2に戻り、その他のプレート部材について説明する。プレート部材32の下面には、プレート部材33(第2の部材)が接合されている。プレート部材33には、8つの供給流路対33aと2つの供給流路33bとが形成されている。供給流路対33a及び供給流路33bは、いずれもプレート部材33を厚み方向に貫通している。供給流路対33aは分岐流路32cと積層方向に対向して配置され、供給流路33bは排出流路32bと積層方向に対向して配置されている。つまり、供給流路対33aは分岐流路32cと同様に、全体として2列の千鳥状に配列されている。また、供給流路対33aは、供給流路33bも含めて、供給流路31aと対向する位置(位置C1)を中心にして対称に配置されている。そして、供給流路対33a及び供給流路33bは、プレート部材32側の表面に形成された開口を介して、分岐流路32c及び排出流路32bと連通している。各供給流路対33aは、主走査方向に配列された2つの流路から構成されている。
プレート部材33の下面には、プレート部材34x(第1の部材)及び34yが接合されている。プレート部材34xには供給流路対34aが形成され、プレート部材34yには供給流路34bが形成されている。供給流路対34a及び供給流路34bは、それぞれプレート部材34x及び34yを厚み方向に貫通している。供給流路対34aは、主走査方向に配列された2つの流路から構成されている。プレート部材34xは、供給流路対33aの2つの流路と供給流路対34aの2つの流路とがそれぞれ積層方向に対向するように配置されている。プレート部材34yは、供給流路33bと供給流路34bとが積層方向に対向する位置に配置されている。
以上のように、リザーバユニット3内のインク流路において、主流路32aは、位置C1の供給流路31aから供給されたインクを分岐流路32cおよび排出流路32bに分配する。分岐流路32cは、下方の2つの供給流路対33a、34aと連通する。排出流路32bは、流路の分岐部でもあり、上方の排出流路31bおよび下方の2つの供給流路33b、34bに接続している。リザーバユニット3は、供給流路34a、34bを介して流路ユニット4と連通している。
次に、ヘッド本体2について図4を参照しつつ説明する。ヘッド本体2は内部にインク流路が形成された流路ユニット4(第3の部材)と台形形状のアクチュエータユニット41との積層体である。流路ユニット4の下面は、インクの吐出口が開口した吐出面2a(図1、図5参照)である。流路ユニット4の上面には、図4に示すように、8つのアクチュエータユニット41が2列の千鳥状に配置されており、且つ、これらアクチュエータユニット41を避けるように開口42x及び42yが形成されている。流路ユニット4の内部には、マニホールド流路42及び副マニホールド流路42aと、副マニホールド流路42aの出口から各吐出口に至る個別インク流路とが形成されている。マニホールド流路42は、図4に示すように、開口42x及び42yをその一端とする。
流路ユニット4は、2つの開口42x、42yを介してリザーバユニット3と連通している。積層方向に関して、開口42xが供給流路対34aに対向すると共に、開口42yが供給流路34bに対向する。アクチュエータユニット41は、プレート部材33と流路ユニット4との間の空間において、プレート部材34x及び34yが配置されていない領域に配置されている。この場合、プレート部材34x及び34yは、流路形成部材でもあるが、この空間を作るスペーサ部材でもある。アクチュエータユニット41の上面には、FPC(フレキシブルプリント基板)が接続されており、FPCを介して制御部100からの駆動信号が送信される。アクチュエータユニット41は、かかる駆動信号に基づいて個別インク流路内のインクに圧力を付与することにより、吐出口から選択的にインクを吐出させる。
次に、ヘッド1へとインクを供給するインク流通機構50について、図5を参照しつつ説明する。インク流通機構50は、ポンプ51を中心にして、インクタンク17、サブタンク57およびヘッド1の間で、インクを流通させる。各部材間の接続は、内部に流路が形成された配管部材(例えば、インクチューブ)を介して行われる。ポンプ51は、インクタンク17と開閉弁55を介して接続され、サブタンク57と開閉弁56を介して接続され、ヘッド1とはインク流路52を介して接続されている。インク流路52の途中部には、開閉弁59が介挿されている。サブタンク57は、ヘッド1と2本のインク流路53、54を介して接続されている。インク流路52の一端は、リザーバユニット3の供給流路31aと接続され、2本のインク流路53、54の一端は、それぞれリザーバユニット3の排出流路31bと接続されている。このように、インク流通機構50は、ポンプ51を挟んでヘッド1とサブタンク57との間の循環流路を構成している。なお、サブタンク57は、開閉弁58を介して大気と連通している。
制御部100の制御の下、ポンプ51は、インクタンク17からサブタンク57へのインクの供給を行い、ヘッド1とサブタンク57との間でインクの循環を行う。インクの供給は、サブタンク57内のインク量不足を補うもので、その残量が所定量以下となったときに行われる。インクの循環は、ヘッド1内へのインクの充填や経時的に蓄積する気泡の排出をするもので、インクの初期導入時や定期的なメンテナンス時に行われる。
画像形成時において、制御部100は、全ての開閉弁55、56、58、59を開の状態とする。このとき、ポンプ51は、内部をインクが流通可能な状態で停止している。画像形成によるインクの消費分は、吐出口のメニスカスが作る負圧によって、インクタンク17およびサブタンク57から補充される。このとき、インクは、インクタンク17およびサブタンク57からインク流路52〜54を通り、供給流路31aおよび排出流路31bを介してリザーバユニット3内に流入する。リザーバユニット3内では、インクが分岐流路32cおよび排出流路32bに分配され、その一部は2つの供給流路対33a、34aを介して流路ユニット4の開口4yに流入する。インクの残部は、2つの供給流路33b、34bを介して流路ユニット4の開口4xに流入する。これにより、インクが、流路ユニット4内に補充されることになる。
なお、サブタンク57内のインク量が所定量を割ったときには、制御部100は、開閉弁59を閉の状態とし、開閉弁55、56、58を開の状態とし、ポンプ51を駆動する。これにより、インクがインクタンク17からサブタンク57に補充される。サブタンク57への補充動作は、印刷ジョブの待ち時間中やジョブの完了時に行われる。
メンテナンス処理において、例えば、制御部100が前回のメンテナンス処理から所定期間が経過したと判断したとき、制御部100は、開閉弁55、58を閉の状態とし、開閉弁56、59を開の状態とし、その後ポンプ51を駆動する。これにより、図5中の矢印で示すように、ポンプ51によって、インクがサブタンク57から供給流路31aを介してヘッド1に供給されると共に、ヘッド1内のインクがインク流路53、54を介してサブタンク57に戻される。
メンテナンス処理時のインクの流れ方について説明する。ヘッド2へとインクが供給されると、供給流路31aを介して位置C1から主流路32a内へとインクが流入する。このインクは、主流路32a中を主走査方向に関して両方向へと流れ、主走査方向の両端に配置された排出流路32bへと向かう。この移動途中で、主流路32a中のインク流は、連通流路32fを通じて各分岐流路32cへと分岐する。
本実施形態では、連通流路32fが各分岐流路32cにおいて位置C1に近い方の端部(インクの流れの上流側端部)に接続されている。また、主流路32aの方向Xに沿う部分は、同じ方向に延びる連通流路32fに繋がっている。したがって、インクは、いずれの分岐流路32cにも連通流路32fから確実に流入する。また、分岐流路32cは、上記の通り主流路32aのジグザグに折れ曲がった角部に配置されており、位置C1について対称に配置されている。このため、各分岐流路32cへと円滑に液体を流通させることができる。
主流路32aから分岐流路32cへと向かったインクは、一部が連通流路32hに流入し、主流路32a中の流れへと再び合流する。このインクの分流により、例えば流路ユニット4側から浮かび上がってきた空気(気泡)が、分岐流路32cに溜まっていたとしても、連通流路32hを介して主流路32aへと排出される。連通流路32hは、プレート部材32を貫通して形成された間口の広い流路であり、気泡は容易に主流路32a側に移動する。主流路32aへと排出された気泡は、主流路32a中の流れに沿って排出流路32bへと向かい、上方の排出流路31bを介してヘッド2の外部へと排出される。
ここで、分岐流路32cから連通流路32hを介して主流路32aへと排出された気泡が、再び別の分岐流路32cへと侵入することも考えられる。しかし、分岐流路32cへのインクの流入経路である連通流路32fは、プレート部材32の一部を薄肉部32tとすることで形成された部分流路32x及び32yである。したがって、流路がプレート部材32を貫通している場合と比べて、主流路32aから連通流路32fへの流入口、特にその高さ(深さ)が小さくなっている。これにより、連通流路32fを通じた分岐流路32cへの気泡の侵入が抑制されている。
本実施形態では連通流路32fが2つの部分流路32x、32yに分割されていることにより、さらに流入口、特にその幅が狭められているので、気泡の侵入がさらに抑制される。また、部分流路32x及び32yは、プレート部材32においてプレート部材33側の表面に開口する凹部として形成されている。したがって、吐出面2aを鉛直方向下方に向けてヘッド1をプリンタ101内に配置した場合、薄肉部32tが上方に配置されるため、主流路32a側の気泡が薄肉部32tに阻まれる。これによって、分岐流路32cへの気泡の進入がさらに抑制される。
本実施形態では、連通流路32fと異なって、分岐流路32cからのインクの流出経路である連通流路32hはプレート部材32を貫通している。このため、主流路32aへの流出口が広くなっており、気泡が排出されやすい。
また、本実施形態では、連通流路32f及び32hは方向X及びYに沿って形成されている(図2、図3参照)。そして、方向X及びYは、それぞれ主流路32aの延び方向にほぼ沿っている。したがって、主流路32a中を流れるインクは、主流路32aの延び方向に流れつつ、連通流路32fを介して円滑に分岐流路32cに流入する。また、分岐流路32cから連通流路32hを介して主流路32aへと流出したインク流は、分岐流路32cから運び出した気泡と共に、主流路32aの延び方向に沿った流れに円滑に合流する。
以上のメンテナンス処理では、インクが循環していても、インクが吐出口から流出しないようにポンプ51が駆動されている。そのため、気泡が流路内に残留してしまうことがある。本実施の形態では、所定の回数のメンテナンス処理を繰り返した後、より強力なメンテナンス処理(パージ処理)を行う。この処理では、インクの循環に加えて、吐出口からインクが排出される。このとき、制御部100は、ポンプ51の駆動力を高くして、単位時間当たりの循環インク量を増やす。これにより、主流路32a内では、位置C1から位置C2に向かってより流量の大きいインク流が生じる。この流れに乗って、気泡がヘッド1外に確実に排出される。一部のインクは、開口4x、4yから流路ユニット4内にも流入し、吐出口から排出される。これにより、ヘッド1内の異物(気泡を含む)や吐出口の増粘インクが排出され、インクの吐出特性が回復される。
以上のメンテナンス処理において、ヘッド1から排出された気泡は、サブタンク57にインクと共に流入し、インクから分離される。サブタンク57では、開閉弁58が開の状態にあるので、分離された気泡(空気)は、大気に放出されることになる。メンテナンス処理が完了すると、制御部100は、ポンプ51を停止し、その後に、開閉弁58を閉の状態とし、開閉弁55、56、59を開の状態にする。制御部100は、さらに印字指令があれば、用紙Pの搬出と用紙P上への画像形成を行う。また、所定時間待っても印字指令がなければ、制御部100は、図示しないキャップで吐出面2aを覆い、印字指令の入力を待つ。
以上説明した本実施形態により、以下の効果が奏される。
上記の通り、プレート部材31〜33並びにプレート部材34x及び34yは、互いに積層された状態で積層方向に両側から圧力を印加することにより、接合されている。この押圧力は、各部材においてインク流路が形成されていない部分を介して伝達される。例えば、これらの部材が積層された際、プレート部材32においてインク流路が形成されていない部分と、プレート部材34xにおいてインク流路が形成されていない部分とで、プレート部材33を積層方向に両側から挟持することとなる。
しかし、プレート部材32は、全体としてインク流路の面積が大きい。したがって、プレート部材33においてプレート部材32のインク流路と対向した部分は、プレート部材32側からの押圧力が伝達されにくい。このため、プレート部材33及びプレート部材34xの接合領域において、プレート部材32のインク流路と対向する部分の近傍は、接合不良を招くおそれがある。特に、プレート部材33において分岐流路32cと対向した部分には、供給流路対34aに連通する供給流路対33aが形成されている。供給流路対33a、34aを画定する部分同士の接合が十分でないと、これらの部分間に生じた隙間から、供給流路対33a内のインクが外部へと漏れ出す事態も生じかねない。
これに対して本実施形態によると、主流路32aと分岐流路32cの間に厚肉部32eが形成されている。厚肉部32eは、プレート部材32においてインク流路が形成されていないその他の部分と同じ厚みを有している。さらに、厚肉部32cは、プレート部材32のインク流路が形成されていない部分と共に、分岐流路32aを包囲している。このため、3つのプレート部材32、33、34xを積層した際、プレート部材33の供給流路対33aを画定する部分が、供給流路対33aの全周に亘って積層方向に両側から2つのプレート部材32、34xによって挟持される。したがって、接合時の押圧力は、供給流路対33aを画定する部分へと確実に伝達される。これにより、プレート部材33及び34xにおいて供給流路対33aの周辺が確実に接合され、供給流路対33a内のインクが外部へと漏れ出すといった事態が回避される。
また、本実施形態では、主流路32aから分岐流路32cへの流れ込みである連通流路32f内にも、プレート部材32においてインク流路が形成されていないその他の領域と同じ厚みを有する厚肉部32gが形成されている。このため、厚肉部32gもプレート部材34xとの間でプレート部材33を挟持するので、積層体が積層方向に両側から押圧された際、供給流路対33aの周辺がより確実に接合される。
<変形例>
以上は、本発明の好適な実施形態についての説明であるが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された範囲の限りにおいて様々な変更が可能なものである。
例えば、上述の実施形態では、連通流路32hがプレート部材32を厚み方向に貫通している一方で、連通流路32fを構成する部分流路32x及び32yが、プレート部材33側の表面に開口した凹部として形成されている。しかし、連通流路32fがプレート部材32を厚み方向に貫通した流路として形成されており、連通流路32hが凹部として形成されていてもよい。また、部分流路32x及び32yがプレート部材31側の表面に開口した凹部として形成されていてもよい。
また、上述の実施形態は、ノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明を適用可能な対象はこのようなインクジェットヘッドに限られない。例えば、導電ペーストを吐出して基板上に微細な配線パターンを形成したり、あるいは、有機発光体を基板に吐出して高精細ディスプレイを形成したり、さらには、光学樹脂を基板に吐出して光導波路等の微小電子デバイスを形成するための、液滴吐出ヘッドに適用することができる。