JP2008055896A - 液体移送装置及び液体移送装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】複数のプレートの間から液体が漏れ出さないように接合する。
【解決手段】流路ユニット３０はプレート２１〜２７が積層されることにより構成されている。マニホールドプレート２５に形成された凹部５１には、複数の突起５２、５３が形成され、突起５２、５３の先端がサプライプレート２４の下面に接合されている。マニホールドプレート２６はマニホールドプレート２５と同じ形状のプレートであり、凹部５１及び突起５２、５３と同様の凹部６１及び突起６２、６３が形成されている。突起６２、６３の先端はマニホールドプレート２５の下面に接合されている。また、マニホールドプレート２５の突起５２、５３と異なる位置には貫通孔が形成されており、貫通孔を介して凹部５１と凹部６１とが連通している。
【選択図】図５

Description

本発明は、圧力室内の液体を移送する液体移送装置及び液体移送装置の製造方法に関する。

圧力室内の液体を移送する液体移送装置において、複数枚のプレートが積層されることによって、複数の圧力室及び複数の圧力室に液体を供給する共通液室が形成されているものがある。例えば、特許文献１に記載のインクジェットヘッド（液体移送装置）においては、９枚のプレートが互いに積層されることにより、複数の圧力室及び複数の圧力室に連通するマニホールド（共通液室）を有する流路ユニットが形成されている。
特開２００５−２２１８４号公報（図４）

ここで、このような流路ユニットを作製する際には、複数のプレートを積層し、これら複数のプレートをその積層方向に押圧しながら接合する。しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、複数枚のプレートを積層させたときに比較的大きな空間である共通液室が形成されるので、複数のプレートを接合する際に、複数のプレートにおける共通液室に重なる部分には圧力が加わりにくい。このため、複数のプレートにおける共通液室に重なる部分周辺においてはプレート同士が十分に密着せず、プレートの間に隙間ができ、この隙間から液体が漏れ出してしまう虞がある。

本発明の目的は、プレートの間から液体が漏れ出すことのない液体移送装置及び液体移送装置の製造方法を提供することである。なお、以下に示す各要素に付した括弧付き符号は、その要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。

本発明の第１の態様に従えば、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、１６０、２７、４０）が積層されることによって構成される液体移送装置（３）であって、複数の圧力室（１０）、複数の圧力室に液体を供給する共通液室（１１）、及び複数の圧力室と共通液室とを連通させる連通流路（１２、１３、１４）を含む液体流路（１０、１１、１２、１３、１４）を有する流路ユニット（３０）と、複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与機構（３１）とを備え、複数のプレートが、第１プレート（１６０）と第１プレートの一表面に接合された第２プレート（２４）とを含み、第１プレートには、前記一表面に開口を有し共通液室を構成する凹部（１６１）が形成され、凹部には、凹部の底壁から、第２プレートに接触するように突起（１６２、１６３）が延在し、第２プレートは、第１プレートの前記一表面及び突起の先端に接触し、前記開口を塞いでいる液体移送装置が提供される。

本発明の液体移送装置によれば、第１プレートに共通液室を構成する凹部が形成されており、凹部の底壁から突起が突出し、突起の先端が第２プレートに接触しているため、複数のプレートを接合する際に、積層方向から見て、複数のプレートの突起と重なる部分、つまり、共通液室に重なる部分に十分に圧力を加えることができる。これにより、複数のプレートの共通液室と重なる部分においてもプレート同士が十分に密着する。したがって、接合したプレートの間に隙間が生じ、その隙間から液体が漏れ出してしまうのを防止することができる。また、共通液室（凹部）内に設けられた突起により、共通液室内の圧力波が吸収されるため、圧力波を効率よく減衰させることができる。さらに共通液室内は、突起が設けられていることにより流路抵抗が大きくなっている。このため、例えば共通液室から複数の圧力室に対して連続して液体を供給する場合でも、共通液室内には液体の流れが生じにくい。したがって、連続して液体が供給されてきたある圧力室に対する液体の供給を急に止めた場合でも、共通液室から液体の供給を止めた圧力室に、液体が流れによって流れ出すのを防止することができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、４０）は、複数の第１プレート（２５、２６）と、１枚の第２プレート（２４）とを含んでもよく、複数の第１プレートは互いに隣接して積層されてもよい。第２プレートは複数の第１プレートのうち最も外側に位置する第１プレートの前記一表面に接合されてもよく、複数の第１プレートにはそれぞれ、凹部の底壁の突起と異なる位置に、第１プレートを貫通する第１貫通孔が形成されていてもよい。この場合、第１貫通孔が形成された複数の第１プレートを積層させることにより、各第１プレートに形成された凹部同士が、第１貫通孔を介して互いに連通し１つの共通液室となる。したがって、共通液室の容積を十分に確保することができ、共通液室内において圧力波を効率よく減衰させることができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数の第１プレート（２５、２６）のそれぞれに形成された突起（５２、６２）同士が、少なくとも一部分において互いに重なっていてもよい。この場合、突起同士が少なくとも一部分において互いに重なっていることにより、複数のプレートの突起に重なる部分に大きな圧力を加えることができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数の第１プレート（２５、２６）が全て同じ形状であってもよい。この場合、複数の第１プレートが同じ形状であるので、突起同士が完全に重なり、複数のプレートの突起に重なる部分により大きな圧力を加えることができる。また、部品の種類を減らすことができるので液体移送装置の製造が簡略化される。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数の第１プレート（２５、２６）には、突起（５２、６２）及び第１貫通孔（５４、６４）がそれぞれ複数形成されてもよく、複数の圧力室（１０）の各々と、複数の圧力室の各々の近傍に形成された複数の突起及び複数の第１貫通孔との位置関係が、全て同じであってもよい。この場合、各圧力室周辺の流路の構成を同じにすることができるため、圧力室間で、アクチュエータにより圧力室内の液体に圧力を付与したときの液体の移送量、移送速度等にばらつきが生じるのを防止することができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数の圧力室（１０）が一方向に等間隔で配列されてもよく、複数の突起（５２、６２）及び複数の第１貫通孔（５４、６４）が、それぞれ一方向に等間隔で配列されていてもよい。この場合、圧力室が一方向に等間隔で配列されている場合、突起及び第１貫通孔をそれぞれ一方向に等間隔で配列することにより、各圧力室周辺の流路の構成を同じにすることができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数の第１プレート（２５、２６）のそれぞれには、突起（５２、６２）及び第１貫通孔（５４、６４）がそれぞれ複数形成されてもよく、第１貫通孔は、複数の突起のうちの隣接する２つの突起の間に形成されてもよい。この場合、共通液室内において、複数の突起と複数の第１貫通孔とが均一に配置されるため、共通液室内における流路抵抗が均一になる。したがって、共通液室から全ての圧力室に確実に液体が供給される。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、４０）が、第２プレート（２４）の第１プレート（２５、２６）と反対側に配置され、複数の圧力室（１０）を構成する第３プレート（２１）をさらに含んでもよく、第２プレートに連通流路を構成する流路孔（１４）が形成されてもよい。また凹部（５１、６１）が複数の圧力室に跨って形成されてもよく、突起（５２、６２）が、隣接する２つの圧力室の間に形成されていてもよい。この場合、突起が隣接する２つの圧力室の側壁となる部分に重なるように形成されているので、複数のプレートを接合する際に突起に大きな圧力を加えることができる。したがって、複数のプレートを確実に密着させた状態で接合することができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、４０）が、第２プレート（２４）の第１プレート（２５、２６）と反対側に配置され、複数の圧力室（１０）を構成する第３プレート（２１）をさらに含んでもよく、第２プレートに連通流路を構成する流路孔（１４）が形成されてもよい。また凹部（５１、６１）が複数の圧力室に跨って形成されてもよく、突起（５２、６２）が、複数の圧力室に重なる部分に形成されていてもよい。複数のプレートの共通液室に重なる部分のうち、圧力室とも重なる部分には、共通液室となる空間に加え、圧力室となる空間も形成されているため、特に圧力が加わりにくいが、これによると、突起が圧力室に重なる部分に形成されているので、複数のプレートの圧力室と重なる部分においても十分に圧力を加えることができる。したがって、複数のプレートを十分に密着させた状態で接合することができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、４０）が、第２プレート（２４）の第１プレート（２５、２６）と反対側に配置され、複数の圧力室（１０）を構成する第３プレート（２１）をさらに含んでもよく、第２プレートに連通流路を構成する流路孔（１４）が形成されてもよい。また複数の圧力室が一方向に等間隔で配列された複数の圧力室列（８）を構成してもよく、凹部（５１、６１）が複数の圧力室列に跨って形成されてもよく、凹部には突起（５２、５３、６２、６３）が複数形成されてもよい。これら複数の突起のうちの一部（５３、６３）は、複数の圧力室に対応して一方向に等間隔で配列され、それらの内部には第１プレートを貫通する複数の第２貫通孔（１５ｄ、１５ｅ）が形成されてもよい。複数の第２貫通孔は、複数の圧力室に連通し、複数の圧力室内の液体を移送する移送流路（１５）を構成してもよく、凹部の複数の圧力室列に重なる部分同士は、第２貫通孔が形成された突起（５３、６３）の間の部分を介して互いに連通していてもよい。この場合、凹部が複数の圧力室列に跨って形成され、複数の突起の一部が、複数の圧力室に対応して配列され、それらの内部に圧力室内の液体を移送する移送流路を構成する第２貫通孔が形成されていることにより、凹部の複数の圧力室列に重なる部分同士が、第２貫通孔が形成された突起の間の部分を介して連通するため、共通液室の容積を十分に確保することができる。したがって、共通液室において十分に圧力波を吸収することができる。

本発明の液体移送装置（３）においては、突起（５２、５３、６２、６３）が円柱形状を有していてもよい。この場合、突起を円柱形状に構成することにより、突起の、接合の際に圧力が加わる部分の面積を大きくしつつ共通液室の容積を十分に確保することができる。

本発明の液体移送装置（３）は、複数の圧力室（８）に連通し液体を噴射する複数のノズル（１６）が形成されたノズルプレート（２７）をさらに備える液体噴射装置（３）であってもよい。この場合も、複数のプレートの共通液室に重なる部分に十分に圧力を加えることができるので、液体噴射装置において、接合したプレートの間に隙間が生じ、その隙間から液体が漏れ出してしまうのを防止することができる。

本発明の第２の態様に従えば、液体移送装置（３）の製造方法であって、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、１６０、４０）に、複数の圧力室（１０）、複数の圧力室に液体を供給する共通液室（１１）、及び複数の圧力室と共通液室とを連通させる連通流路（１２、１３、１４）を含む液体流路（１０、１１、１２、１３、１４）を構成する流路孔を形成することと、流路孔が形成された複数のプレートを積層して液体流路が形成された流路ユニット（３０）を形成することと、複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与機構（３１）を、流路ユニットに設けることとを含み、複数のプレートは、第１プレート（１６０）と第１プレートの一表面に接合される第２プレート（２４）とを含み、流路孔を形成する際に、第１プレートに、その一表面に開口を有し、共通液室を構成する凹部（１６１）を形成するとともに、凹部の底壁から第２プレートに接触するように延在する突起（１６２、１６３）を形成する液体移送装置の製造方法が提供される。

本発明の液体移送装置の製造方法によれば、第１プレートに凹部及び凹部の底壁から第２プレートに接触するように延在する突起を形成することにより、積層工程において、突起が第２プレートに接触するため、積層方向から見て、複数のプレートの突起と重なる部分にも圧力を加えることができる。したがって、共通液室に重なる領域においても、プレート同士が確実に密着した状態で接合を行うことができる。

本発明の液体移送装置（３）の製造方法においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、４０、４１）が、複数の第１プレート（２５、２６）と、１枚の第２プレート（２４）とを含んでもよく、流路孔形成工程において、凹部（５１、６１）の底壁の突起（５２、６２）と異なる位置に、第１プレートを貫通する貫通孔（５４、６４）を形成してもよい。積層工程において、複数の第１プレートが互いに隣接し、第２プレートが複数の第１プレートのうち最も外側に位置する第１プレートの一表面に接合されるように、複数のプレートを積層してもよい。この方法によれば、複数の第１プレートを積層させることにより、各第１プレートの凹部同士が貫通孔を介して連通し１つの共通液室となるので、共通液室の容積を十分に確保することができる。

本発明の液体移送装置（３）の製造方法においては、流路孔形成工程において、第１プレート（２５、２６）の一表面から、共通液室（１１）となる部分に突起（５２、５３、６２、６３）が形成される部分を除いてハーフエッチングを施すことによって、凹部（５１、６１）及び突起を形成してもよい。この方法によれば、第１プレートの一方の表面からハーフエッチングを施すことにより、第１プレートに凹部及び突起を容易に形成することができる。

本発明の液体移送装置（３）の製造方法においては、流路孔形成工程において、第１プレート（２５、２６）の一表面と反対側の表面から、貫通孔（５４、１５ｄ、６４、１５ｅ）が形成される部分にエッチングを施すことにより、貫通孔を形成してもよい。この方法によれば、第１プレートの凹部と反対側の表面からエッチングを施すことにより、第１プレートに貫通孔を容易に形成することができる。

本発明の液体移送装置（３）の製造方法においては、積層工程において、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、４０）を接着剤により互いに接合してもよい。接着剤によってプレートの接合を行う際には、プレートを十分に密着させる必要があるが、接合を行う際に複数のプレートの突起に重なる部分にも圧力を加えることができるため、プレート同士を十分に密着させた状態で接着剤による接着を行うことができる。

本発明の液体移送装置（３）の製造方法においては、複数のプレート（２１、２２、２３、２４、２５、２６、４０）が金属材料からなってもよく、積層工程において、複数のプレートを金属拡散接合により互いに接合してもよい。この方法によれば、プレートが金属材料により構成されている場合には、金属拡散接合によってプレート同士を確実に接合することができる。金属拡散接合によってプレートの接合を行う際には、プレートを十分に密着させる必要があるが、接合を行う際に複数のプレートの突起に重なる部分にも圧力を加えることができるため、プレート同士を十分に密着させた状態で金属拡散接合を行うことができる。

以下、本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、本発明における実施の形態に係るプリンタ１の概略構成図である。図１に示すように、プリンタ１はキャリッジ２、インクジェットヘッド３（液体移送装置、液体噴射装置）、用紙搬送ローラ４などを備えている。キャリッジ２は、走査方向（図１の左右方向）に往復移動する。インクジェットヘッド３は、キャリッジ２の下面に取り付けられており、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しながらその下面に形成されたノズル１６（図２参照）からインクを吐出する。用紙搬送ローラ４は、記録用紙Ｐを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する。そして、プリンタ１においては、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に搬送される記録用紙Ｐに、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド３からインクを吐出することにより、記録用紙Ｐに印刷を行う。そして、印刷が完了した記録用紙Ｐは、用紙搬送ローラ４により排出される。

次に、インクジェットヘッド３について図２〜図８を用いて説明する。ただし、図面をわかりやすくするため、図２、図３においては、後述する突起５２、５３、６２、６３を一点鎖線で図示し、貫通孔５４、６４を破線で図示している。また、図８においては、突起５２、５３、６２、６３が形成されている部分にハッチングを施している。

図２〜図７に示すように、インクジェットヘッド３は、圧力室１０及びマニホールド流路（共通液室）１１を含むインク流路が形成された流路ユニット３０と、圧力室１０内のインクに圧力を付与する圧電アクチュエータ（圧力付与機構）３１とを有する。

図２〜図７に示すように、流路ユニット３０は、上から順に、キャビティプレート２１、ベースプレート２２、アパーチャプレート２３、サプライプレート２４、２枚のマニホールドプレート２５、２６及びノズルプレート２７の７枚のプレートが互いに積層されることによって構成されている。これら７枚のプレート２１〜２７は金属材料により構成されている。なお、本実施の形態においては、マニホールドプレート２５、２６が本発明の請求項に係る第１プレートに相当し、サプライプレート２４がマニホールドプレート２５の上面（最も外側に位置する第１プレートの一表面）に接合された本発明の請求項に係る第２プレートに相当し、キャビティプレート２１がサプライプレート２４の上方に（マニホールド流路２５と反対側に）設けられた本発明の請求項に係る第３プレートに相当する。

キャビティプレート２１には、複数の圧力室１０が形成されており、キャビティプレート２１は圧力室１０を区画する。複数の圧力室１０は、走査方向（図２の左右方向）に長い略楕円の平面形状を有しており、紙送り方向（図２の上下方向）に沿って６つずつ配置されて、圧力室列８を構成する。圧力室列８は、走査方向（図２の左右方向）に２列に配列されている。ベースプレート２２には、平面視で（プレート２１〜２７の積層方向から見て）複数の圧力室１０の長手方向の一方（図２の左右方向に関する外側）の端部に複数の貫通孔１２が形成されている。また、ベースプレート２２には、平面視で圧力室１０の長手方向の他方（図２の左右方向に関する内側）の端部に貫通孔１５ａが形成されている。

アパーチャプレート２３には、平面視で貫通孔１２と重なる部分から圧力室１０の略中央部まで圧力室１０の長手方向に延びた、絞りとしてのアパーチャ１３が形成されている。また、アパーチャプレート２３には、平面視で貫通孔１５ａに重なる位置に貫通孔１５ｂが形成されている。サプライプレート２４には、平面視でアパーチャ１３の貫通孔１２と反対側の端部に重なる位置に貫通孔１４が形成されている。また、サプライプレート２４には、平面視で貫通孔１５ｂに重なる位置に貫通孔１５ｃが形成されている。

マニホールドプレート２５には、その上面（一表面）に開口を有し、平面視で２つの圧力室列８に跨って延びた凹部５１が形成されている。凹部５１には複数の突起５２、５３及び複数の貫通孔（第１貫通孔）５４が形成されている。なお、凹部５１の開口は、マニホールドプレート２５の上面に積層されたサプライプレート２４によって塞がれている。

複数の突起５２は略円柱形状を有しており、凹部５１の底壁からサプライプレート２４に接触するように延在しており、その先端がサプライプレート２４の下面に接合されている（接触している）。また、複数の突起５２は、図２の上下方向（一方向）及び左右方向に等間隔で配列されており、これらのうちの一部は、平面視で圧力室１０に重なる位置、及び、隣接する圧力室１０の間に重なる位置（圧力室１０の側壁となる部分）に配置されている。

複数の突起５３は略円柱形状を有しており、平面視で複数の圧力室１０に対応して形成された複数の貫通孔１５ｃ、及び、複数の貫通孔１５ｃを取り囲む領域に配置され（複数の圧力室１０に対応して図２の上下方向に等間隔に配列され）る。また、複数の突起５３は凹部５１の底壁からサプライプレート２４に接触するように延在しており、その先端がサプライプレート２４の下面に接合されている。また、複数の突起５３の内部には、平面視で貫通孔１５ｃに重なる部分に貫通孔（第２貫通孔）１５ｄが形成されている。そして、凹部５１の平面視で２つの圧力室列８に重なる部分同士は、隣接する突起５３の間の部分を介して連通している。

複数の貫通孔５４は、図２の上下方向及び左右方向に等間隔で配列されており、平面視で複数の突起５２から図２の上下方向及び左右方向に関して隣接する２つの突起５２の間隔の半分だけずれた位置に配置されている（凹部５１の底壁の突起５２、５３と異なる位置に形成されている）。つまり、図２の上下方向に配列された複数の突起５２の列の間に、図２の上下方向に配列された複数の貫通孔５４の列が配置されている。

マニホールドプレート２６は、マニホールドプレート２５と同じ形状のプレートであり、凹部６１、複数の突起６２、複数の突起６３及び複数の貫通孔６４（第１貫通孔）が形成されている。凹部６１は凹部５１と同様のものであり、その開口がマニホールドプレート２５によって塞がれている。複数の突起６２、６３は、それぞれ複数の突起５２、５３と同様のものであり、その先端がマニホールドプレート２５の下面に接合されている。また、複数の突起６３の内部には貫通孔１５ｄと同様の貫通孔（第２貫通孔）１５ｅが形成されている。複数の貫通孔６４は複数の貫通孔５４と同様のものである。

そして、マニホールドプレート２５とマニホールドプレート２６とが互いに隣接して積層されることにより、貫通孔５４を介して凹部５１と凹部６１とが連通し、マニホールド流路１１が形成される。なお、マニホールド流路１１には、後述する振動板４０に形成されたインク供給口９からインクが供給される。

このとき、図２に示すように、凹部５１、６１が平面視で２つの圧力室列８に跨って形成され、凹部５１、６１の平面視で２つの圧力室列８に重なる部分の間に、それぞれ、複数の突起５３、６３が形成されているので、凹部５１、６１の平面視で２つの圧力室列８に重なる部分同士は、それぞれ、突起５３、６３の間の部分を介して互いに連通している。

このように、マニホールド流路１１が、積層方向に関して凹部５１と凹部６１とにわたって形成されているとともに、平面視で２つの圧力室列８に跨って形成されているので、マニホールド流路１１の容積を十分に確保することができ、後述するように圧力室１０内のインクに圧力を付与したときに発生する圧力波をマニホールド流路１１内において十分に減衰させることができる。

また、マニホールド流路１１内に突起５２、５３、６２、６３が設けられていることにより、マニホールド流路１１の流路抵抗が大きくなり、マニホールド流路１１から圧力室１０に必要以上の液体が流れ出すのを防止することができる。

また、複数の突起５２、５３、６２、６３及び貫通孔５４、６４が、複数の圧力室１０と同じ図２の上下方向に等間隔で配列されているので、圧力室１０の各々と、圧力室１０の各々の近傍に配置された突起５２、５３、６２、６３及び貫通孔５４、６４との位置関係は全て同じとなっている。これにより、マニホールド流路１１における、複数の圧力室１０周辺の流路抵抗が均一になり、複数のノズル１６から吐出されるインクの吐出体積、インクの吐出速度等、インクの吐出特性にばらつきが生じるのが抑制される。

さらに、図２の上下方向に配列された突起５２、６２の列の間に図２の上下方向に配列された貫通孔５４、６４の列が配置されているので、マニホールド流路１１内において、突起５２と貫通孔５４、及び、突起６２と貫通孔６４とがそれぞれ均一に配置される。これにより、マニホールド流路１１全域において流路抵抗が均一になり、マニホールド流路１１から全ての圧力室１０に確実にインクを供給することができる。

ノズルプレート２７には、平面視で複数の貫通孔１５ｅに重なる位置に複数のノズル１６が形成されている。また、ノズルプレート２７は、貫通孔６４のマニホールドプレート２６の下面における開口を塞いでいる。そして、これら７枚のプレート２１〜２７が積層されることにより、マニホールド流路１１は、貫通孔１４、アパーチャ１３及び貫通孔１２を介して複数の圧力室１０に連通し、複数の圧力室１０は、それぞれ貫通孔１５ａ〜１５ｅが重なることにより形成されたディセンダ流路（移送流路）１５を介してノズル１６に連通している。このように、流路ユニット３０には、マニホールド流路１１の出口から圧力室１０を介してノズル１６まで連通する複数の個別インク流路が形成されている。ここで、マニホールド流路１１と圧力室１０とを連通させる貫通孔１２、１４及びアパーチャ１３により構成される流路が本発明に係る連通流路に相当する。

次に、圧電アクチュエータ３１について説明する。圧電アクチュエータ３１は、振動板４０、圧電層４１及び複数の個別電極４２を有している。

振動板４０は金属材料からなり、複数の圧力室１０を覆うようにキャビティプレート２１の上面に接合されている。また、振動板４０は導電性を有し、個別電極４２との間で圧電層４１を挟む共通電極を兼ねており、常にグランド電位に保持されている。

圧電層４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなり、振動板４０の上面に複数の圧力室１０にわたって形成されている。また、圧電層４１は、予めその厚み方向に分極されている。

複数の個別電極４２は金属などの導電材料からなる。複数の個別電極４２は平面視で圧力室１０よりも一回り小さい略楕円形状を有しており、複数の圧力室１０の略中央部に重なる位置に配置されている。複数の個別電極４２は、それぞれその長手方向に関してノズル１６と反対側に、圧力室１０と重ならない位置まで延びており、その先端部が、図示しないフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）との電気的接続を行うための接点４２ａとなっている。個別電極４２には図示しないドライバＩＣにより、ＦＰＣ及び接点４２ａを介して駆動電位が付与される。

ここで、圧電アクチュエータ３１の駆動方法について説明する。個別電極４２は予めグランド電位に保持されており、ドライバＩＣにより、複数の個別電極４２のいずれかに駆動電位が付与されると、駆動電位が付与された個別電極４２と共通電極としての振動板４０とに挟まれた部分において、圧電層４１に電位差が生じ、圧電層４１のこの部分には厚み方向の電界が発生する。この電界の方向は圧電層４１の分極方向と同一であるので、圧電層４１は厚み方向と直交する水平方向に収縮し、圧電層４１の収縮に伴って、圧電層４１の下面に配置された振動板４０が下に凸になるように変形する。これにより、圧力室１０の容積が下がり圧力室１０内のインクの圧力が上昇するので、圧力室１０に連通するノズル１６からインクが吐出される。個別電極４２をグランド電位に戻すと、この変形が元に戻り、圧力室１０の容積が増加する。これにより、圧力室１０内の圧力が低下し、圧力室１０に連通するマニホールド流路１１から圧力室１０にインクが導入される。

このとき、圧力室１０内のインクの圧力の変動により、圧力室１０内には圧力波が発生するが、前述したようにマニホールド流路１１の容積が十分に確保されているので、圧力室１０からマニホールド流路１１に伝播した圧力波を、マニホールド流路１１内において効率よく減衰させることできる。

次に、インクジェットヘッド３の製造方法について説明する。

インクジェットヘッド３を製造するには、まず、プレート２１〜２７にインク流路を構成する流路孔を形成する。より詳細には、プレート２１〜２４にはエッチングを施し、複数の圧力室１０、複数の貫通孔１２、１４、複数のアパーチャ１３及び複数の貫通孔１５ａ、１５ｂ、１５ｃを形成する。ノズルプレート２７にはプレス加工により複数のノズル１６を形成する。

マニホールドプレート２５、２６に流路孔を形成する方法について図９、図１０を用いて説明する。図９は、マニホールドプレート２５、２６に流路孔を形成する工程の前半を示す図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）、（ｃ）がそれぞれ。IX(Ｂ)−IX(Ｂ)線断面図、IX(Ｃ)−IX(Ｃ)線断面図である。図１０は、マニホールドプレート２５、２６に流路孔を形成する工程の後半を示す図であり、（ａ）が平面図、（ｂ）、（ｃ）がそれぞれＸ(Ｂ)−Ｘ(Ｂ)線断面図、Ｘ(Ｃ)−Ｘ(Ｃ)線断面図である。

マニホールドプレート２５、２６に流路孔を形成するには、図９に示すように、マニホールドプレート２５、２６の上面の、凹部５１を取り囲む部分に重なる領域、突起５２、６２となる部分に重なる領域、及び、突起５３、６３となる部分に重なる領域のうち貫通孔１５ｄ、１５ｅが形成される部分を除く領域をマスクＭ１で覆い、この面からハーフエッチングを施すことにより、凹部５１、６１、突起５２、６２、５３、６３及び貫通孔１５ｄ、１５ｅのこの面側の略半分を形成する。この後、マスクＭ１を除去する。

次に、図１０に示すように、マニホールドプレート２５、２６の下面（一表面と反対側の表面）の、貫通孔５４、６４及び貫通孔１５ｄ、１５ｅが形成される部分を除く領域をマスクＭ２で覆い、この面からエッチングを施すことにより、貫通孔５４、６４及び貫通孔１５ｄ、１５ｅを形成する。この後、マスクＭ２を除去する。

このように、マニホールドプレート２５、２６に、上面からハーフエッチングを施し下面からエッチングを施すことにより、マニホールドプレート２５に凹部５１、複数の突起５２、５３及び貫通孔５４、１５ｄを、マニホールドプレート２６に凹部６１、複数の突起６２、６３及び貫通孔６４、１５ｅをそれぞれ容易に形成することができる。

次に、プレート２１〜２７及び予め作製しておいた振動板４０を前述した位置関係となるように積層し、積層方向の両側から押圧してプレート２１〜２７及び振動板４０に圧力を付与しつつ加熱を行う金属拡散接合によって互いに接合させる。

ここで、プレート２１〜２７及び振動板４０を接合する際には、上述したように積層方向に圧力を加える必要があるが、比較的大きな空間となる凹部５１、６１にはそれぞれ突起５２、５３及び突起６２、６３が形成されており、突起５２、５３及び突起６２、６３の先端が、それぞれ、サプライプレート２４の下面及びマニホールドプレート２５の下面に接触していることにより、各プレートの平面視で突起５２、５３、６２、６３に重なる部分、つまり、圧力が加わりにくい平面視で凹部５１、６１（マニホールド流路１１）に重なる部分に十分な圧力を加えることができる。これにより、プレート２１〜２７及び振動板４０が十分に密着した状態で接合される。したがって、接合したプレート２１〜２７及び振動板４０の間に隙間が生じ、その隙間からインクが漏れ出してしまうのを防止することができる。

さらに、マニホールドプレート２５、２６は同じ形状及び配置を有しているため、平面視で突起５２と突起６２、及び、突起５３と突起６３とがそれぞれ完全に重なる。したがって、各プレートの平面視で突起５２、５３、６２、６３に重なる部分により大きな圧力を加えることができ、プレート同士がさらに密着した状態で接合される。また、マニホールドプレート２５とマニホールドプレート２６とが同じ部品であるので、部品の種類を減らすことができ、製造工程が簡略化される。

加えて、複数の突起５２、６２のうちの一部が、平面視で圧力室１０の側壁となる部分に重なる位置に形成されていることにより、複数のプレート２１〜２７及び振動板４０に大きな圧力を加えることができる。

また、平面視でマニホールド流路１１に重なる部分のうち、圧力室１０にも重なる部分には、マニホールド流路１１となる空間に加え、圧力室１０となる空間も形成されているため、特に圧力が加わりにくいが、複数の突起５２、６２のうちの一部が、平面視で圧力室１０に重なる部分に形成されていることにより、この部分にも十分な圧力を加えることができる。

また、突起５２、５３、６２、６３が略円柱形状であるので、突起５２、５３のサプライプレート２４との接触面積及び突起６２、６３のマニホールドプレート２５との接触面積を大きくしつつ、マニホールド流路１１の容積を十分に確保することができる。

そして、形成された流路ユニット３０と振動板４０との積層体において、振動板４０の表面に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）、スパッタ法、ＣＶＤ等により圧電層４１を形成し、圧電層４１の上面に個別電極３５を形成する。以上のようにして、インクジェットヘッド３が製造される。

以上に説明した実施の形態によると、突起５２、５３の先端がサプライプレート２４の下面に接触し、突起６２、６３の先端がマニホールドプレート２５の下面に接触しているので、プレート２１〜２７及び振動板４０を接合する際に、平面視で突起５２、５３、６２、６３に重なる部分に十分に圧力を加えることができる。これにより、接合したプレート２１〜２７及び振動板４０を十分に密着させた状態でプレート２１〜２７及び振動板４０を接合することができる。したがって、接合したプレート２１〜２７及び振動板４０との間に隙間が生じ、その隙間から液体が漏れ出してしまうのを防止することができる。

このとき、マニホールドプレート２５とマニホールドプレート２６とが同じ形状を有しており、平面視で突起５２と突起６２、及び、突起５３と突起６３とがそれぞれ重なるため、さらに大きな圧力を加えることができる。また、マニホールドプレート２５とマニホールドプレート２６とが同じ形状であるので、部品の種類を減らすことができ、インクジェットヘッド３の製造（流路ユニット３０の作製）が簡略化される。

さらに、複数の突起５２、６２のうちの一部が、平面視で圧力室１０の側壁となる部分に重なる位置に形成されていることにより、複数のプレート２１〜２７及び振動板４０に大きな圧力を加えることができる。

加えて、平面視で共通液室１１に重なる部分のうち、圧力室１０にも重なる部分は特に圧力が加わりにくいが、複数の突起５２、６２のうちの一部が、平面視で圧力室１０に重なる部分に形成されていることにより、この部分にも十分な圧力を加えることができる。

また、マニホールドプレート２５、２６に、上面からハーフエッチングを施し下面からエッチングを施すことにより、マニホールドプレート２５に凹部５１、複数の突起５２、５３及び貫通孔５４を、マニホールドプレート２６に凹部６１、複数の突起６２、６３及び貫通孔６４をそれぞれ容易に形成することができる。

また、マニホールド流路１１内に設けられた突起５２、５３、６２、６３により、マニホールド流路１１内の圧力波が吸収されるため、圧力波を効率よく減衰させることができる。さらにマニホールド流路１１は、突起５２、５３、６２、６３が設けられていることにより、流路抵抗が大きくなっている。このため、例えばマニホールド流路１１から複数の圧力室１０に対して連続してインクを供給する場合でも、マニホールド流路１１内にはインクの流れが生じにくい。したがって、連続してインクが供給されてきたある圧力室１０に対するインクの供給を、印字データに従って急に止めたとしても、マニホールド流路１１からインクの供給を止めた圧力室１０に、インクが流れによって流れ出すのを防止することができる。

また、複数の貫通孔５４を介して凹部５１と凹部６１とが連通し、１つのマニホールド流路１１となっているので、マニホールド流路１１の容積を十分に確保することができ、マニホールド流路１１内において圧力波を効率よく減衰させることができる。

さらに、凹部５１、６１が２つの圧力室列８に跨って形成され、凹部５１、６１の平面視で２つの圧力室列８に重なる部分同士が、それぞれ、凹部５１の突起５３の間の部分、及び、凹部６１の突起６３の間の部分を介して連通しているので、マニホールド流路１１の容積を十分に確保することができ、マニホールド流路１１内において圧力波をさらに効率よく減衰させることができる。

また、複数の圧力室１０が図２の上下方向に等間隔に配列され、複数の突起５２、６２及び貫通孔５４、６４が、図２の上下方向に等間隔で配列され、複数の突起５３、６３が、複数の圧力室１０に対応して、図２の上下方向に等間隔で配列されているので、圧力室１０の各々と、圧力室１０の各々の近傍に配置された突起５２、５３、６２、６３及び貫通孔５４、６４との位置関係は全て同じとなっている。これにより、マニホールド流路１１における、複数の圧力室１０周辺の流路抵抗が均一になり、複数のノズル１６から吐出されるインクの吐出特性にばらつきが生じるのが抑制される。

さらに、図２の上下方向に配列された突起５２、６２の列の間に図２の上下方向に配列された貫通孔５４、６４の列が配置されているので、マニホールド流路１１内において、突起５２と貫通孔５４、及び、突起６２と貫通孔６４とがそれぞれ均一に配置される。これにより、マニホールド流路１１全域において流路抵抗が均一になり、マニホールド流路１１から全ての圧力室１０に確実にインクを供給することができる。

また、突起５２、５３、６２、６３が略円柱形状であるので、突起５２、５３のサプライプレート２４との接触面積及び突起６２、６３のマニホールドプレート２５との接触面積を大きくしつつ、マニホールド流路１１の容積を十分に確保することができる。

次に、本実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付し適宜その説明を省略する。

変形例１では、図１１に示すように、マニホールドプレート７０に形成された複数の突起７２とマニホールドプレート８０に形成された複数の突起８２とが、平面視で一部分においてのみ重なっている。この場合でも、平面視で突起７２と突起８２とがその一部分において重なっているため、プレート２１〜２４、２７、７０、８０及び振動板４０を接合する際に、突起７２及び突起８２に重なる部分に大きな圧力を加えることができ、プレート２１〜２４、２７、７０、８０及び振動板４０を十分に密着させた状態で接合することができる。

変形例２では、図１２に示すように、マニホールドプレート１００に形成された突起１０２が、平面視でマニホールドプレート９０に形成された隣接する２つの突起９２の間に位置している。つまり、平面視で突起９２と突起１０２とが互いに重ならないように配置されている。この場合でも、突起９２の先端がサプライプレート２４の下面に接触し、突起１０２の先端がマニホールドプレート９０の下面に接触しているため、プレート２１〜２４、２７、９０、１００及び振動板４０を接合する際に平面視で突起９２、１０２に重なる部分に圧力を加えることができ、プレート２１〜２４、２７、９０、１００及び振動板４０を十分に密着させた状態で接合を行うことができる。

変形例３では、図１３に示すように、マニホールドプレート１１０に形成された複数の突起１１２のうち、圧力室１０の短手方向（図１３の短手方向）に関して隣接する２つの突起１１２の間に貫通孔１１４が形成され、マニホールドプレート１２０に形成された複数の突起１２２のうち、圧力室１０の短手方向に関して隣接する２つの突起１２２の間に貫通孔１２４が形成されている。つまり、突起１１２と貫通孔１１４、及び、突起１２２と貫通孔１２４が、それぞれ圧力室１０の短手方向に関して交互に配置されている。この場合には、突起１１２と貫通孔１１４、及び、突起１２２と貫通孔１２４とが、それぞれマニホールド流路１１内において均一に配置されるため、マニホールド流路１１内の流路抵抗が均一になり、マニホールド流路１１から全ての圧力室１０に確実にインクが供給される。

変形例４では、ベースプレート２２とマニホールドプレート２５との間に、実施の形態のアパーチャプレート２３及びサプライプレート２４が積層される（図４参照）代わりに、図１４に示すようにプレート１３０が積層されている。プレート１３０の上面には、複数の圧力室１０に対応して、圧力室１０の短手方向における略中央部の、平面視で貫通孔１２に重なる部分から圧力室１０の長手方向にディセンダ流路１５近傍まで延びた複数の凹部１３１が形成されている。複数の凹部１３１には、それぞれ、ディセンダ流路１５近傍から圧力室１０の長手方向に並んだ２つの貫通孔１３４が形成されている。また、プレート１３０の平面視でディセンダ流路１５に重なる部分には貫通孔１５ｆが形成されている。この場合には、凹部５１は、２つの貫通孔１３４、凹部１３１及び貫通孔１２を介して圧力室１０に連通しており、凹部１３１のうち、平面視で図１４の右側の貫通孔１３４に重なる部分及びこの部分よりも左側の部分がマニホールド流路の一部となり、平面視で図１４の右側の貫通孔１３４に重なる部分よりも右側の部分がアパーチャとなる。

変形例５では、図１５に示すように、キャビティプレート２１の上面に８枚の圧電層１４２が積層される。下から２番目と３番目とに積層された圧電層１４２の間及び下から４番目と５番目とに積層された圧電層１４２の間の、平面視で圧力室１０に重なる位置に複数の個別電極１４３が形成される。また、下から１番目と２番目とに積層された圧電層１４２の間、下から３番目と４番目とに積層された圧電層１４２の間及び下から５番目と６枚目の圧電層１４２の間に、それぞれ、その全域にわたって共通電極１４４が形成されることにより、圧電アクチュエータ１４１が構成されている。このように、圧電アクチュエータは、本実施形態で説明した圧電アクチュエータ３１と異なる種類のものであってもよい。さらには、圧力室１０内のインクに圧力を付与することができるものであれば、圧電アクチュエータ以外のものであってもよい。

変形例６では、図１６に示すように、複数のマニホールドプレートが積層されるのではなく、１枚のマニホールドプレート１６０（第１プレート）が、サプライプレート２４（第２プレート）とノズルプレート２７との間に介在する。マニホールドプレート１６０は、本実施形態と同様に、その上面（一表面）に開口を有し、平面視で２つの圧力室列８に重なる凹部１６１が形成されている。凹部１６１には、凹部１６１の底壁からサプライプレート２４に接触するように突起１６２、１６３が延在し、それらの先端がサプライプレート２４の下面に接合されている。また突起１６３の内部には貫通孔１５gが形成されている。ただし、凹部１６１の底壁には、本実施形態とは異なり貫通孔は形成されていない。この場合でも、突起１６２、１６３の先端がサプライプレート２４の下面に接触しているため、プレート２１〜２４、２７、１６０及び振動板４０を接合する際に平面視で突起１６２、１６３に重なる部分に十分に圧力を加えることができる。このため、プレート２１〜２４、１６０、２７、及び振動板４０を十分に密着させた状態で接合することができる。また、この場合も基本的には本実施形態と同様に、流路孔形成工程、及び積層工程を経て流路ユニット３０と振動板４０との積層体を形成し、さらに振動板４０上に圧電層４１、及び個別電極３５を形成することにより、インクジェットヘッド３を製造することができる。ただし本実施形態とは異なり、マニホールドプレート１６０は１枚なので、流路孔形成工程において、１枚のマニホールドプレート１６０にのみ、凹部１６１、突起１６２、１６３、及び貫通孔１５ｆを形成すればよい。接合工程においても、１枚のマニホールドプレート１６０を、他のプレートと接合すればよい。

また、本実施形態では、プレート２１〜２７及び振動板４０を金属拡散接合により接合したが、これらを接着剤により接合してもよい。プレート２１〜２７及び振動板４０を接着剤により接着する際にも、プレート２１〜２７及び振動板４０に圧力を加える必要があり、平面視で突起５２、５３、６２及び６３が形成されている部分にも十分に圧力を加えることができるので、プレート２１〜２７及び振動板４０の間に隙間が生じるのが防止される。

前記実施形態、及びその変形例では、キャリッジ２の下面に取り付けられ、キャリッジ２とともに走査方向に往復移動しながらその下面に形成されたノズル１６からインクを吐出するインクジェットヘッド３に本発明を適用した例について説明した。しかし本発明はこれに限らず、複数のプレートを積層することにより形成され、その内部に共通液室や圧力室等の空間が形成されるインクジェットヘッドであれば適用することができる。例えば、複数のノズルが走査方向にわたって直列に並んでいるライン型ヘッドにも適用することができる。この場合、インクジェットヘッドを走査方向に往復移動させる必要はなく、キャリッジ２は必須ではない。

また、前記実施形態、及びその変形例では、振動板４０の表面に、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）、スパッタ法、ＣＶＤ等により圧電層４１を形成し、圧電層４１の上面に個別電極３５を形成することにより、圧力付与機構を形成したが、圧力付与機構は上記のように形成されたものに限られない。例えば、セラミックス粉末、バインダ、溶剤を混合したものを１枚の厚さが３０μｍ程度になるように扁平に成形した圧電セラミックス素材のシート（グリーンシート）を利用してもよい。複数枚のシート面に導電性ペーストで電極層を形成し、その複数枚のグリーンシートを積層して焼成することで、圧力付与機構を形成することができる。

また、以上の説明では、本発明をノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに適用した例について説明した。しかし、複数のプレートを積層することによって、圧力室、圧力室に液体を供給する液室、及び圧力室と液室とを連通する流路が形成された流路ユニットと、圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与機構とを備え、所定のプレートの一表面に形成された凹部と、凹部を塞ぐ他のプレートによって液室が形成され、凹部の底壁から延在する突起が、凹部を塞ぐ他のプレートに接触するような構造を有する液体移送装置であれば、任意の液体移送装置に適用することができる。そのような液体移送装置への液体の供給及び排出口は、用途に応じて任意の部位に設けることができる。排出口の形状もノズルに限らず任意の形状のものを採用し得る。移送する液体はインクに限られない。例えば、本発明を、試薬、生体溶液、配線材料溶液、電子材料溶液、冷媒用、燃料用などインク以外の液体を移送する液体移送装置に適用することも可能である。

本発明の実施の形態に係るプリンタの概略構成図である。 図１のインクジェットヘッドの平面図である。 図２の部分拡大図である。 図３のIV−IV線断面図である。 図３のＶ−Ｖ線断面図である。 図３のVI−VI線断面図である。 図３のVII−VII線断面図である。 図４〜７のマニホールドプレートの平面図である。 マニホールドプレートの製造工程の前半を示す図である。 マニホールドプレートの製造工程の後半を示す図である。 変形例１の図５相当の断面図である。 変形例２の図５相当の断面図である。 変形例３の図６相当の断面図である。 変形例４の図４相当の断面図である。 変形例５の図４相当の断面図である。 変形例６の図５相当の断面図である。

符号の説明

３ インクジェットヘッド
１０ 圧力室
１１ マニホールド流路
２１〜２７ プレート
３１ 圧電アクチュエータ
４０ 振動板
５１ 凹部
５２、５３ 突起
５４ 貫通孔
６１ 凹部
６２、６３ 突起
６４ 貫通孔
７０ マニホールドプレート
７２ 突起
８０ マニホールドプレート
８２ 突起
９０ マニホールドプレート
９２ 突起
１００ マニホールドプレート
１０２ 突起
１１０ プレート
１１１ 凹部
１１４ 貫通孔
１３１ 圧電アクチュエータ

Claims (18)

1. 複数のプレートが積層されることによって構成される液体移送装置であって、
   複数の圧力室、前記複数の圧力室に液体を供給する共通液室、及び前記複数の圧力室と前記共通液室とを連通させる連通流路を含む液体流路を有する流路ユニットと、
   前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与機構とを備え、
   前記複数のプレートが、第１プレートと該第１プレートの一表面に接合された第２プレートとを含み、
   前記第１プレートには、前記一表面に開口を有し共通液室を構成する凹部が形成され、
   前記凹部には、該凹部の底壁から、前記第２プレートに接触するように突起が延在し、
   前記第２プレートは、前記第１プレートの前記一表面及び前記突起の先端に接触し、前記開口を塞いでいる液体移送装置。
2. 前記複数のプレートは、複数の前記第１プレートと、１枚の前記第２プレートとを含み、前記複数の第１プレートは互いに隣接して積層され、前記第２プレートは複数の第１プレートのうち最も外側に位置する第１プレートの前記一表面に接合されており、前記複数の第１プレートにはそれぞれ、前記凹部の底壁の突起と異なる位置に、当該第１プレートを貫通する第１貫通孔が形成されている請求項１に記載の液体移送装置。
3. 前記複数の第１プレートのそれぞれに形成された突起同士が、少なくとも一部分において互いに重なっている請求項２に記載の液体移送装置。
4. 前記複数の第１プレートが全て同じ形状である請求項３に記載の液体移送装置。
5. 前記複数の第１プレートには、前記突起及び前記第１貫通孔がそれぞれ複数形成されており、複数の圧力室の各々と、複数の圧力室の各々の近傍に形成された突起及び第１貫通孔との位置関係が、全て同じである請求項２に記載の液体移送装置。
6. 前記複数の圧力室が一方向に等間隔で配列されており、複数の前記突起及び複数の前記第１貫通孔が、それぞれ前記一方向に等間隔で配列されている請求項５に記載の液体移送装置。
7. 前記複数の第１プレートのそれぞれには、前記突起及び前記第１貫通孔がそれぞれ複数形成されており、第１貫通孔は、複数の突起のうちの隣接する２つの突起の間に形成されている請求項２に記載の液体移送装置。
8. 前記複数のプレートは、前記第２プレートの前記第１プレートと反対側に配置され、前記複数の圧力室を構成する第３プレートをさらに含み、第２プレートに前記連通流路を構成する流路孔が形成されており、前記凹部が複数の圧力室に跨って形成されており、前記突起が、隣接する２つの圧力室の間に形成されている請求項１〜７のいずれか１項に記載の液体移送装置。
9. 前記複数のプレートは、前記第２プレートの前記第１プレートと反対側に配置され、前記複数の圧力室を構成する第３プレートをさらに含み、第２プレートに前記連通流路を構成する流路孔が形成されており、前記凹部が複数の圧力室に跨って形成されており、前記突起が、複数の圧力室に重なる部分に形成されている請求項１〜８のいずれか１項に記載の液体移送装置。
10. 前記複数のプレートは、前記第２プレートの前記第１プレートと反対側に配置され、前記複数の圧力室を構成する第３プレートをさらに含み、第２プレートに前記連通流路を構成する流路孔が形成されており、複数の圧力室は一方向に等間隔で配列された複数の圧力室列を構成しており、前記凹部が複数の圧力室列に跨って形成されており、凹部には前記突起が複数形成されており、これら複数の突起のうちの一部は、複数の圧力室に対応して前記一方向に等間隔で配列され、それらの内部には第１プレートを貫通する複数の第２貫通孔が形成されており、当該複数の第２貫通孔は、複数の圧力室に連通し、複数の圧力室内の液体を移送する移送流路を構成しており、凹部の複数の圧力室列に重なる部分同士は、第２貫通孔が形成された突起の間の部分を介して互いに連通している請求項１〜９のいずれか１項に記載の液体移送装置。
11. 前記突起が円柱形状を有している請求項１〜１０のいずれか１項に記載の液体移送装置。
12. 前記複数の圧力室に連通し液体を噴射する複数のノズルが形成されたノズルプレートをさらに備える液体噴射装置である請求項１〜１１のいずれか１項に記載の液体移送装置。
13. 液体移送装置の製造方法であって、
    複数のプレートに、複数の圧力室、複数の圧力室に液体を供給する共通液室、及び複数の圧力室と共通液室とを連通させる連通流路を含む液体流路を構成する流路孔を形成することと、
    流路孔が形成された複数のプレートを積層して液体流路が形成された流路ユニットを形成することと、
    複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧力付与機構を、流路ユニットに設けることとを含み、
    複数のプレートは、第１プレートと当該第１プレートの一表面に接合される第２プレートとを含み、流路孔を形成する際に、第１プレートに、その一表面に開口を有し、共通液室を構成する凹部を形成するとともに、凹部の底壁から第２プレートに接触するように延在する突起を形成する液体移送装置の製造方法。
14. 前記複数のプレートが、複数の前記第１プレートと、１枚の前記第２プレートとを含んでおり、前記流路孔形成工程において、前記凹部の底壁の前記突起と異なる位置に、第１プレートを貫通する貫通孔を形成し、前記積層工程において、複数の第１プレートが互いに隣接し、第２プレートが複数の第１プレートのうち最も外側に位置する第１プレートの前記一表面に接合されるように、複数のプレートを積層する請求項１３に記載の液体移送装置の製造方法。
15. 前記流路孔形成工程において、前記第１プレートの前記一表面から、前記共通液室となる部分に前記突起が形成される部分を除いてハーフエッチングを施すことによって、前記凹部及び突起を形成する請求項１４に記載の液体移送装置の製造方法。
16. 前記流路孔形成工程において、前記第１プレートの前記一表面と反対側の表面から、前記貫通孔が形成される部分にエッチングを施すことにより、貫通孔を形成する請求項１４又は１５に記載の液体移送装置の製造方法。
17. 前記積層工程において、前記複数のプレートを接着剤により互いに接合する請求項１３〜１６のいずれか１項に記載の液体移送装置の製造方法。
18. 前記複数のプレートが金属材料からなり、前記積層工程において、複数のプレートを金属拡散接合により互いに接合する請求項１３〜１７のいずれか１項に記載の液体移送装置の製造方法。

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