JP5224522B2 - 圧電振動子及びその製造方法 - Google Patents
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210 キャビティ
220 貫通電極
230 外部端子
230A 下地膜
230B 金属膜
240 搭載パッド
260 水晶片
280 蓋
Claims (2)
- ガラスからなる基板と、
前記基板のうち、圧電片を搭載するための搭載面から、前記搭載面と対向する非搭載面まで貫通するように、前記基板の所望の領域に形成された貫通電極と、
前記基板の前記搭載面上に、前記貫通電極と電気的に接続するように搭載された前記圧電片と、
前記圧電片を収容する収容部を形成するようにして、前記基板と接合された蓋と、
前記基板の前記非搭載面のうち、前記貫通電極が露出する領域を含む外部端子形成領域内に、前記外部端子形成領域より小さい面積を有する下地膜が複数配置されると共に、前記外部端子形成領域及び前記下地膜上に、前記下地膜よりガラスとの密着性が低い金属膜が形成された外部端子と
を備えることを特徴とする圧電振動子。 - ガラスからなる基板のうち、圧電片を搭載するための搭載面から、前記搭載面と対向する非搭載面まで貫通するように、前記基板の所望の領域に、貫通電極を形成する貫通電極形成ステップと、
前記基板の前記非搭載面のうち、前記貫通電極が露出する領域を含む外部端子形成領域内に、前記外部端子形成領域より小さい面積を有する下地膜を複数配置した後、前記外部端子形成領域及び前記下地膜上に、前記下地膜よりガラスとの密着性が低い金属膜を形成することにより、外部端子を形成する外部端子形成ステップと、
前記基板の前記搭載面上に、前記貫通電極と電気的に接続するように、前記圧電片を搭載する搭載ステップと、
前記圧電片を収容する収容部を形成するようにして、前記基板と蓋とを接合する接合ステップと
を備えることを特徴とする圧電振動子の製造方法。
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