JP5222162B2 - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施態様で使用されるシリコン単結晶引き上げ装置1は、CZ法による結晶成長に用いることのできる引き上げ炉(チャンバ)2を備えている。引き上げ炉2の内部には、多結晶シリコン(Si)からなる原料を溶融した融液5を収容する坩堝3が設けられている。坩堝3は、黒鉛坩堝32とその内側の石英坩堝31とから構成されている。坩堝3の周囲には、坩堝3の中にある原料を加熱して溶融するヒータ9が設けられている。このヒータ9と引き上げ炉2の内壁との間には、保温筒13が設けられている。
次に、シリコン単結晶6の成長途中にドーパントを融液5に添加する際に使用されるドーパント供給機構について説明する。
次に、本発明の第一実施態様のシリコン単結晶の製造方法を説明する。本実施態様のシリコン単結晶の製造方法は、種結晶を融液5の表面5aに着液させる着液工程、及び融液5の表面5aに着液させた種結晶を引き上げ機構4で引き上げることによりシリコン単結晶6を成長させる成長工程に分けられる。以下、それぞれの工程について説明する。
まず着液工程について説明する。この工程は、種結晶を融液5に着液させる工程である。
次に、融液5に着液させた種結晶を引き上げることにより、シリコン単結晶6を成長させる成長工程について説明する。図2は、本実施態様で製造されるシリコン単結晶6の一例を示す図である。
次に、シリコン単結晶6の成長工程のうち、直胴部63を成長させる期間に設けられるドーパント添加工程について説明する。
次に、本発明の第二実施態様のシリコン単結晶の製造方法について説明する。第二実施態様のシリコン単結晶の製造方法では、ドーパントの融液5への添加速度を制御するのではなく、ドーパントの添加によるシリコン単結晶6の抵抗率の低下割合を制御することにより、シリコン単結晶6に転位が導入されるのを防止する。なお、既に説明した第一実施態様と重複する部分については説明を省き、第一実施態様と異なる点を中心に以下説明する。
2 引き上げ炉(チャンバ)
3 坩堝
4 引き上げ機構
5 融液
6 シリコン単結晶
63 直胴部
8 熱遮蔽板
9 ヒータ
13 保温筒
15 整流筒
16 回転軸
21 ドープ管
22 供給管
24 遮蔽手段
25 昇降手段
26 ワイヤ
27 試料室
Claims (7)
- 種結晶をシリコンの融液に着液させた後、前記種結晶を引き上げてシリコン単結晶を成長させる成長工程に、前記シリコン単結晶の直胴部の成長中にドーパントを前記融液に添加するドーパント添加工程を含むシリコン単結晶の製造方法であって、
前記ドーパント添加工程において、前記ドーパント添加工程の開始時点における前記融液の残りの質量を算出し、算出された前記融液の残りの質量1kgあたり、ドーパントを毎分0.01〜0.035g/min・kgの速度で前記融液に添加することを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記ドーパント添加工程において、ドーパントの添加による前記シリコン単結晶の抵抗率の低下割合が、前記シリコン単結晶の成長方向10mmあたり、2〜8%の範囲である請求項1記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記ドーパント添加工程において添加されるドーパントは、昇華可能なドーパントであり、
前記ドーパント添加工程において、昇華したドーパントを前記融液に吹き付けることにより、前記融液にドーパントを供給する請求項1又は2記載のシリコン単結晶の製造方法。 - 前記ドーパント添加工程で添加されるドーパントは、砒素である請求項1から3のいずれか1項記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記ドーパントが収納されたドープ管の内部に対する熱源からの輻射熱量を調整することにより、前記融液にドーパントを添加する速度を調整する請求項1から4のいずれか1項記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記ドープ管を不透明の石英で構成することにより、前記輻射熱量を調整する請求項5記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記ドープ管と熱源との間に断熱材を設けることにより、前記輻射熱量を調整する請求項5又は6記載のシリコン単結晶の製造方法。
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