JP5222083B2 - 多方路光スイッチ - Google Patents
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Description
図4(a)に、本発明の第1の実施形態における多方路光スイッチの配線設計、図4(b)に、多方路光スイッチの回路構成を示す。
第1の実施形態では、1×8光スイッチを構成する1×4光スイッチに本発明を適用した。本実施形態では、1×8光スイッチに本発明を適用した場合を説明する。図9の多方路光スイッチは、第1の実施形態と同じように、1×8ツリー型スイッチと1段ゲート型スイッチからなり、2方路光スイッチに2つの4方路光スイッチが接続された光スイッチとみることもできる。
1×2Nツリー型スイッチからなる多方路光スイッチにおいて、Nが3以上の整数で奇数である時、第1と第2の実施形態で説明したように、i段目とj段目(iとjは1≦i<j≦Nを満たす整数)のスイッチ素子の駆動手段を直列に接続し(N−1)/2組の直列接続のペアを作ると、N段目のうちの1つのスイッチ素子の駆動手段が余る。そこで、本実施形態では、図12(a)に示すように、多方路光スイッチを構成するスイッチ素子の駆動手段とは別に設けた第3の駆動手段611を、第1のスイッチ素子の駆動手段201に直列に接続する。
第1から第3の実施形態では、多方路光スイッチ上で、一部の駆動手段の電極が互いに接続されていたが、図14に示す本発明の第4の実施形態における多方路光スイッチのように、電極を多方路光スイッチ外部に取り出し、図15に示すように、外部で電気的に接続し、共通駆動しても良い。
第1の実施形態で示した図8(a)では、駆動するチャネルを切り替える時に、電極を2本ずつ電源に接続した。このとき、例えば駆動電極チャネル1を駆動する場合は、電極516と524は接続されるが、電極515と523が接続されていないように注意する必要がある。そうでなければ、駆動電極チャネル1に流した電流が、薄膜ヒータ304と312を通して流れてしまう。
図17に示すように、2×1の電気スイッチ631を用い、駆動電極チャネル1〜4の駆動時に、それぞれ電極524と516、電極515と523、電極522と514、電極513と521を電源601に電気的に接続すれば、1つの電源のみで共通駆動でき、駆動経路を切り替えることができる。
図18に、本発明の第7の実施形態における多方路光スイッチを示す。本実施形態の多方路光スイッチの回路構成は、図4(b)において、2分岐スイッチ素子401の出力の導波路121と122につながる二つの4方路光スイッチのうち、導波路122につながる4方路光スイッチと同じ導波路構成である。異なるのは、駆動手段の接続設計である。
図20に、本発明の第8の実施形態における多方路光スイッチを示す。回路構成は1×2N(N=2)ツリー型スイッチとM段(M=2)ゲート型スイッチからなる多方路光スイッチである。これまでの実施形態と異なるのは、スイッチ素子の一部を、遮断から透過まで光強度を連続的に可変にした可変光アッテネータとして用いたことである。
図22に示す本発明の第9の実施形態における多方路光スイッチは、平面基板上に形成され、2分岐スイッチ素子で構成される1×2N(N=1)ツリー型スイッチ434と、タップスイッチ(411と412)がM段(M=2)従属に接続された、2N(=2)個のM段タップ型スイッチ(436)とからなり、1×2ツリー型スイッチの2個の出力に、それぞれ2段タップ型スイッチが接続されている。そして、2個の2段タップ型スイッチを構成するタップスイッチ素子411、412、413、414に、それぞれゲートスイッチ素子419、420、421、422が接続され、これらゲートスイッチ素子に2N×M(=4)個の出力ポート101〜104が接続されている。
子552、553、555、556、558、559、561〜564を給電線とした。
図23に示す本発明の第10の実施形態における多方路光スイッチは、平面基板上に形成され、2分岐スイッチ素子で構成される1×2N(N=2)ツリー型スイッチ434と、タップスイッチ素子(411と412)がM段(M=2)従属に接続された、2N(=4)個のM段タップ型スイッチ(436)とからなり、1×2ツリー型スイッチの4個の出力に、それぞれ2段タップ型スイッチが接続されている。そして、4個の2段タップ型スイッチを構成するタップスイッチ素子411〜418に、それぞれゲートスイッチ素子419〜426が接続され、これらゲートスイッチ素子に2N×M(=8)個の出力ポートが接続されている。
図24に示す本発明の第11の実施形態における多方路光スイッチは、多方路光スイッチが複数、平面基板上に形成されている。
第9〜11の実施形態で述べた平面型光回路は、図25に示すように作製した。平面基板161上に火炎堆積法でSiO2を主体にした下部クラッドガラススート162、SiO2にGeO2を添加したコアガラススート163を堆積した。((a))。その後、1000℃以上の高温でガラス透明化を行った。この時に、下部クラッドガラス層164、コアガラス165は設計した厚さとなるように、ガラスの堆積を行った((b))。引き続き、フォトリソグラフィ技術を用いてコアガラス165上にエッチングマスク166を形成し((c))、反応性イオンエッチングによってコアガラス165のパターン化を行った((d))。エッチングマスク166を除去した後、上部クラッドガラス167を再度火炎堆積法で形成した。上部クラッドガラス167にはB2O3やP2O5などのドーパントを添加してガラス転移温度を下げ、それぞれのコアガラス165とコアガラス165の狭い隙間にも上部クラッドガラス167が入り込むようにした((e))。続いて、上部クラッド167の上面にAuの電気配線と電極端子、及び窒化タンタルの薄膜ヒータを形成し、電極端子の開口部を除く領域を石英の絶縁膜で覆った。電気配線と電極端子はAuで、薄膜ヒータは窒化タンタルで形成したが、その他の材料を用いても良い。また、窒化タンタル上にAuを形成するなど、2種類以上の材料を用いて電気配線や電極端子を作製しても良い。電気配線層を作製した後、薄膜ヒータ近傍に断熱溝(図示せず)を形成した。
111、112 光カプラ
121、122、123、124、125、126、127、128、129、130、131、132、133、134 導波路
141、142、143、144 入力/出力ポート
145、146 導波路
161 平面基板
162 下部クラッドガラススート
163 コアガラススート
164下部クラッドガラス
165 コアガラス
166 エッチングマスク
167 上部クラッドガラス
201、202、203、204、205、206、207 2分岐スイッチのヒータ1
211、212、217、218 ゲートスイッチのヒータ1
301、302、303、304、305、306、307 2分岐スイッチのヒータ2
311、312、313、314、315、316 ゲートスイッチのヒータ2
401、402、403、404、405、406、407 2分岐素子
411、412、413、414、415、416、417、418、419、420、421、422、423、424、425、426 ゲート素子、または、タップスイッチ素子
430 4方路光スイッチ
431 432、433 2方路光スイッチ
434 ツリー型スイッチ
435 ゲート型スイッチ
436 タップ型スイッチ
501、502、503、504、505、506、507、508、509、510、511、512、513、514、515、516、517、518、519、520、521、522、523、524、525、526、527、528、529、530、531、532、533、534、535、536、537、538、639、540、541、542 電極
551、552、553、554、555、556、557、558、559、560、561、562、563、564 電極端子
601、602、603、604 電源
611、612 外部抵抗
621、622、623、624 ダイオード
631、632 電気スイッチ
900、901、902、903、904、905、906、907、908 入力/出力ポート
909、910 光カプラ
990、991、992、993 入力/出力ポート
994 第1の導波路
995 第2の導波路
911、912、913、914、915、916、917 2分岐素子
921、922、923、924、925、926、927、928 ゲート素子
951、952、953、954、955、956、957、958、959、960、961、962、963、964、965、966、967、968、969 電極
931、932、934、935、941、942、943、944 ヒータ
971、972、973 電気デジタルスイッチ
Claims (18)
- 複数のスイッチ素子より構成された多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子のそれぞれは、光路の切り替え、または、光の透過もしくは遮断を行う駆動手段を備え、
前記複数のスイッチ素子のうちの第1のスイッチ素子において電力を印加しない初期状態から光を遮断する状態まで変化させるのに要する第1のパワーP1と、前記複数のスイッチ素子のうちの第2のスイッチ素子において電力を印加しない初期状態から光を遮断する状態まで変化させるのに要する第2のパワーP2が異なり、
前記第1のスイッチ素子に配分されるパワーと前記第2のスイッチ素子に配分されるパワーの比率がP1/P2になるように、前記第1のスイッチ素子の駆動手段及び前記第2のスイッチ素子の駆動手段は、共通の電源によって駆動されることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1のスイッチ素子の駆動手段と前記第2のスイッチ素子の駆動手段とが、並列に接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項2に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子のうちの第3のスイッチ素子の駆動手段が、前記第1のスイッチ素子の駆動手段と直列に接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項3に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1から第3のスイッチ素子の駆動手段が抵抗発熱体であり、
前記抵抗発熱体の抵抗値を夫々R1、R2、R3としたとき、R1とR3は夫々R2の半分に設定されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項2に記載の多方路光スイッチにおいて、
抵抗体が、前記第1のスイッチ素子の駆動手段と直列に接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項5に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1および第2のスイッチ素子の駆動手段が抵抗発熱体であり、
前記第3の駆動手段が抵抗値R3の抵抗体であり、
前記第1および第2のスイッチ素子の発熱抵抗体の抵抗値を夫々R1、R2としたとき、R1とR3の和がR2に設定されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1のスイッチ素子の駆動手段と前記第2のスイッチ素子の駆動手段が、直列に接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項7に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1および第2のスイッチ素子の駆動手段が抵抗発熱体であり、
前記第1のスイッチ素子の駆動手段の抵抗値をR1、前記第2のスイッチ素子の抵抗値をR2としたとき、R1/R2がP1/P2に等しいことを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項3または4に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子のそれぞれは、
入力光を2分波する光分波器と、
前記光分波器に接続された第1の光導波路および第2の光導波路と、
前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を合波する光合波器と、
前記光合波器に接続された1つ又は2つの出力ポートと、
前記第1および第2の光導波路に形成された駆動手段と
を備えるマッハツェンダ干渉計(MZI)型素子であり、
前記MZI型素子のスイッチングパワーをPπとすると、
前記第1および前記第3のスイッチ素子は、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有し、前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートに光を出力するのに要するパワーがそれぞれPπ/2である2分岐スイッチであり、
前記第2のスイッチ素子は、電力を印加しない状態で、単一の出力ポートを有する場合には、前記単一の出力ポートの出力光が遮断されるように、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有する場合には、前記MZI型素子の前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートのいずれかの出力光が遮断されるように、前記第1の光導波路と前記第2の光導波路との光学的光路長差が設定されているゲートスイッチ素子であることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項5または6に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子のそれぞれは、
入力光を2分波する光分波器と、
前記光分波器に接続された第1の光導波路および第2の光導波路と、
前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を合波する光合波器と、
前記光合波器に接続された1つ又は2つの出力ポートと、
前記第1および第2の光導波路に形成された駆動手段と
を備えるマッハツェンダ干渉計(MZI)型素子であり、
前記MZI型素子のスイッチングパワーをPπとすると、
前記第1のスイッチ素子は、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有し、前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートに光を出力するのに要するパワーがそれぞれPπ/2である2分岐スイッチであり、
前記第2のスイッチ素子は、電力を印加しない状態で、単一の出力ポートを有する場合には、前記単一の出力ポートの出力光が遮断されるように、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有する場合には、前記MZI型素子の前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートのいずれかの出力光が遮断されるように前記第1の光導波路と前記第2の光導波路との光学的光路長差が設定されているゲートスイッチ素子であることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項8に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子のそれぞれは、
入力光を2分波する光分波器と、
前記光分波器に接続された第1の光導波路および第2の光導波路と、
前記第1の光導波路と前記第2の光導波路を合波する光合波器と、
前記光合波器に接続された1つ又は2つの出力ポートと、
前記光導波路に形成された駆動手段とからなるマッハツェンダ干渉計(MZI)型素子であり、
前記MZI型素子のスイッチングパワーをPπとすると、
前記第1のスイッチ素子は、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有し、前記MZI型素子の前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートに光を出力するのに要するパワーがそれぞれPπ/2である2分岐スイッチであり、
前記第2のスイッチ素子は、電力を印加しない状態で、単一の出力ポートを有する場合には、前記単一の出力ポートの出力光が遮断されるように、第1の出力ポートおよび第2の出力ポートを有する場合には、前記MZI型素子の前記第1の出力ポートおよび前記第2の出力ポートのいずれかの出力光が遮断されるように前記第1の光導波路と第2の光導波路との光学的光路長差が設定されているゲートスイッチ素子であり、
R1がR2の半分に設定されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1〜11のいずれかに記載の多方路光スイッチにおいて、
前記スイッチ素子の駆動手段と前記電源との間、または前記スイッチ素子の駆動手段間にダイオードを備えることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項12に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記複数のスイッチ素子の駆動手段は、電気スイッチを介して前記電源に接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1〜11のいずれかに記載の多方路光スイッチにおいて、
前記スイッチ素子の一部を、光強度可変にしたことを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1〜14のいずれかに記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1のスイッチ素子は2分岐スイッチ素子であり、
前記第2のスイッチ素子はゲートスイッチ素子であり、
前記多方路光スイッチは、
N段(Nは1以上の整数)の前記2分岐スイッチ素子で構成される1×2Nツリー型スイッチと、
前記ゲートスイッチ素子がM段(Mは1以上の整数)従属に接続された、2N個のM段ゲート型スイッチと
を備え、
前記1×2Nツリー型スイッチの2N個の出力と前記2N個のM段ゲート型スイッチの入力とが夫々導波路で接続されて、前記2N個のM段ゲート型スイッチに2N個の出力ポートが接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1〜14のいずれかに記載の多方路光スイッチにおいて、
前記第1のスイッチ素子は2分岐スイッチ素子であり、
前記第2のスイッチ素子はタップスイッチ素子であり、
前記多方路光スイッチは、
前記2分岐スイッチ素子で構成される1×2N(Nは1以上の整数)ツリー型スイッチと、
前記タップスイッチ素子がM段(Mは2以上の整数)従属に接続された、2N個のM段タップ型スイッチと
を備え、
前記1×2Nツリー型スイッチの2N個の出力に夫々M段タップ型スイッチが接続されて、前記2N個のM段タップ型スイッチに(2N×M)個の出力ポートが接続されているか、または1段以上従属接続されたゲートスイッチ素子を通して(2N×M)個の出力ポートが接続されていることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項1〜16のいずれかに記載の多方路光スイッチにおいて、
前記多方路光スイッチは、平面基板上に形成された石英系光導波路で構成され、前記駆動手段は、前記石英系光導波路の近傍に形成された薄膜ヒータであることを特徴とする多方路光スイッチ。 - 請求項17に記載の多方路光スイッチにおいて、
前記多方路光スイッチは、複数、平面基板上に形成されていることを特徴とする多方路光スイッチ。
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